JPH017723Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は石英管などの反応管と、その反応管内
に気相原料と供給するための気相配管とを連結す
るための内付けCVD法用ロータリージヨイント
に関する。

内付けCVD法では、第１図に示すように、ガ
ラス旋盤のチヤツク１に石英管等の反応管２を回
転自在に保持させ、これを回転させつつその内部
に気相系配管３から気相原料を供給し、反応管２
内で同原料を酸化させてその内周壁にガラス粉末
を堆積させ、バーナ４により同粉末を加熱してガ
ラス化させることにより母材を作製している。

ところでかかる内付けCVD法では、固定した
気相系配管３と回転する反応管２とをロータリー
ジヨイント５を介して連結している。

従来この種のロータリージヨイントとしては、
第２図に示すような球面ジヨイントが使用されて
いる。

つまり反応管５に連結される回転パイプ６の先
端に設けた凸状の球面部６ａを、気相系配管３に
連結される固定パイプ７の先端に設けた凹状の球
面部７ａに回転自在に嵌合することにより反応管
２と気相系配管３とを連結するようにしたもので
ある。

同ジヨイントでは、球面部６ａ，７ａの嵌合面
を研磨することにより、気相原料の漏洩を極力防
止するようにしている。

しかしそれにもかかわらずかかる従来の球面ジ
ヨイントでは気密性が不充分になりがちで、しば
しば気相原料の漏洩が生じることがあつた。

本考案は回転パイプと固定パイプとの間の漏洩
通路に複数の気密保持部を設けることによつて上
記問題点を解決しようというもので、これを図面
に示す実施例を参照しながら説明すると、第３図
に示すように反応管２に連結される第一パイプ１
０の先端部には、その内径が他の部分のそれより
大になつた径大部１０ａが形成されており、この
径大部１０ａと径小部１０ｂとの境界には、内径
の差に基づく段差部１０ｃが形成されている。

他方気相系配管３に連結される第二パイプ１１
の長手方向中間における外周には環状突起１２が
形成されており、同パイプ１１の先端部、即ち同
パイプ１１の端面１１ａと環状突起１２との間の
部分は、上記第一パイプ１０の径大部１０ａ内に
挿入されており、第二パイプ１１の先端側方向を
向く環状突起１２の内側端面１２ａは、第一パイ
プ１０の端面に接当していると共に第二パイプ１
１の先端面は上記段差部１０ｃに接当している。

さらに径大部１０ａと第一パイプ１１との間隙
には、１対のＯ−リングによるシール部材１３
ａ，１３ｂが設けられており、これらシール部材
１３ａ，１３ｂは径大部１０ａの内周面と第二パ
イプ１１の外周面との両周面に摺接し得るように
なつている。

さらに第二パイプ１１の基端側には袋ナツト１
４が取り付けられている。

この袋ナツト１４の天井面には、透孔１４ａが
形成されており、同孔１４ａの内径は環状突起１
２の外径より小さくかつ第一パイプ１１の外径と
同等かまたはそれよりも大になつている。

この袋ナツト１４を第二パイプ１１に取り付け
るには、透孔１４ａに同パイプ１１の基端側を挿
入し、同ナツト１４の取付け部１４ｂ内周に形成
されたネジ部１４ｃを第一パイプ１０の外周に形
成されたネジ部１０ｄに螺合させ、天井面が環状
突起１２の外側端面１２ｂに接面するまで同ナツ
ト１４を回転すればよい。

即ち、環状突起１２と袋ナツト１４とは、第一
パイプ１０と第二パイプ１１とを連結するための
連結部Ａを構成している。

しかし連結部Ａは上記構成に限らず、環状突起
１２と袋ナツト１４とを一体構成にしたものでも
よい。

さらに第二パイプ１１の基端部には可撓性を有
する可撓パイプ１５の一端が取り付けられてお
り、同パイプ１５の他端は気相系配管３に取り付
けられるようになつている。

尚、第一パイプ１０、第二パイプ１１及び袋ナ
ツト１４の材質としては、耐蝕性を有するフツ素
系樹脂が好ましく、特に両パイプ１０，１１は摩
擦抵抗の小さいフツ素樹脂が有利である。

またシール部材１３ａ，１３ｂとしては、バイ
トンのようなゴムが好ましく、可撓パイプ１５と
してはFRP製のチユーブが好ましい。

上述の実施例では、第一パイプ１０を回転パイ
プとし、第二パイプ１１を固定パイプ（非回転パ
イプ）としたが、これら両パイプ１０，１１は自
明の通り、相対回転する構成であるから、第二パ
イプ１１を回転パイプとし、第一パイプ１０を固
定パイプとして、第二パイプ１１を反応管２に、
第一パイプ１０を気相系配管３にそれぞれ連結し
てもよい。

以上のように、本考案ロータリージヨイントに
おいては、第一パイプ、第二パイプと、これら第
一、第二パイプを連結するための連結部とを有
し、第一パイプの端部が外側、第二パイプ端が内
側となるよう、これらのパイプ端部が相対回転可
能に嵌合され、連結部は第二パイプの外周に設け
られ、かつ、第一パイプの端面に接当自在な環状
突起と、第一パイプの外周に取り付け自在であつ
て環状突起を介して第二パイプに連結力を付与す
る取付け部とからなり、さらに第一パイプと第二
パイプとの間隙に設けられて、第一パイプの内周
面、第二パイプの外周面に摺接自在なシール部材
を備えていると共に第二パイプの端部には可撓パ
イプが取り付けられ、上記両パイプのいずれか一
方が回転自在に設けられ、その他方が固定されて
いると共に当該両パイプのいずれか一方が気相系
配管と連結され、その他方が反応管に連結されて
いるので、従来例に比べ気相原料の漏洩通路を阻
塞する気密個所が多く、したがつて気密性が良好
である。

また、第二パイプが可撓パイプを備えているの
で、その第二パイプとその連結相手との相互に軸
ずれがあつても、当該可撓パイプを介してこれら
が難なく連結できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般の内付けCVD法を示した模式図、
第２図は従来のロータリージヨイントを示した断
面図、第３図は本考案に係るロータリージヨイン
トを示した断面図である。 ２……反応管、３……気相系配管、１０……第
一パイプ、１１……第二パイプ、１２……環状突
起、１３ａ，１３ｂ……シール部材、１５……可
撓パイプ、Ａ……連結部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回転自在に保持された反応管と、該反応管内
   に気相原料を供給するための気相系配管とを連
   結するための内付けCVD法用ロータリージヨ
   イントにおいて、第一パイプ、第二パイプと、
   これら第一、第二パイプを連結するための連結
   部とを有し、第一パイプの端部が外側、第二パ
   イプ端が内側となるよう、これらのパイプ端部
   が相対回転可能に嵌合され、連結部は第二パイ
   プの外周に設けられ、かつ、第一パイプの端面
   に接当自在な環状突起と、第一パイプの外周に
   取り付け自在であつて環状突起を介して第二パ
   イプに連結力を付与する取付け部とからなり、
   さらに第一パイプと第二パイプとの間隙に設け
   られて、第一パイプの内周面、第二パイプの外
   周面に摺接自在なシール部材を備えていると共
   に第二パイプの端部には可撓パイプが取り付け
   られ、上記両パイプのいずれか一方が回転自在
   に設けられ、その他方が固定されていると共に
   当該両パイプのいずれか一方が気相系配管と連
   結され、その他方が反応管に連結されている内
   付けCVD法用ロータリージヨイント。 (2) 第二パイプが挿入される第一パイプの嵌合端
   側には径大部が設けられており、該径大部と径
   小部との段差部に第二パイプの端面が接当自在
   である実用新案登録請求の範囲第１項記載の内
   付けCVD法用ロータリージヨイント。 (3) 連結部は第二パイプの外周に形成された環状
   突起と、袋ナツトとからなり、該袋ナツトは環
   状突起の外径よりも小さく、かつ、第二パイプ
   の外径と同等かまたはそれよりも大きい径を有
   する透孔を備えている実用新案登録請求の範囲
   第１項または第２項記載の内付けCVD法用ロ
   ータリージヨイント。