JPH01232516A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属薄膜型磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

磁気記録装置における記録媒体として、従来より、非磁
性基体の表面に、酸化鉄粉末と有機バインダとからなる
磁性膜を形成した所謂塗布型磁気記録媒体が使用されて
きたが、近時は磁気記録の高密度化の要請から強磁性金
属薄膜を磁性膜とする金属薄膜型磁気記録媒体へと変わ
りつつある。

その非磁性基体に形成される磁性膜の成分組成は、磁気
的性質、記録再生特性、耐候性等を総合的に評価して決
定されるが、−ａ的にＣ０１ＣｏＮｉ系、ＣｏＣｒ系、
またはＣｏＮｉＣｒ系合金が使用されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記金属薄膜型磁気記録媒体は、これまでの塗布型磁気
記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、その記
録再生ノイズが大きいため、これ以上の高密度化は期待
し難い。その記録密度の向上を実現するためには、再生
ノイズを低減し、ノイズによる再生波形のピークシフト
を少なくすることが必要である。

一本発明は上記に鑑み、記録再生ノイズを低減し、再生
波形ピークシフトが改善された高密度記録用金属薄膜型
磁気記録媒体を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明の金
属薄膜型磁気記録媒体は、その金属系磁性膜が、 ＣＯ＋−ｘ−ｙ−ｚＮ　ｉ　ｘＣｒ　ｙＣｚ〔但し、ｘ
、ｙ、ｚは原子比を示し、Ｘは０．１〜０．３５、ｙ′
は０．０５〜０．１５、Ｚは０．００１〜０．０１であ
る〕で示される組成を有することを特徴としている。

本発明の磁気記録媒体の金属系磁性膜は、上記のように
、ＣｏＮｉＣｒ系合金にＣが添加された４元合金である
。ＣｏＮｉＣｒ系３元合金は、磁性膜として望まれる高
保磁力（Ｈｃ）および高残留磁束密度（Ｂｒ）を有する
合金であり、本発明に従ってこれに第４元素として適量
のＣを添加することにより、ＣｏＮｉＣｒ系３元合金磁
性膜の有する磁気特性・電気特性を損なうことになく、
記録再生ノイズ特性の顕著な改善効果が得られる。これ
はＣの適量添加に伴って磁性膜の結晶磁気異方性の変化
、結晶粒の微細化、クロム炭化物（Ｃｒ＝Ｃ。

Ｃｒ　ｔＣＩ　　Ｃｒ　ｔ３ｃｓ等）の微細分散析出等
が生じ、その結果として磁区が微細化・固定化され、磁
化遷移幅が減少するものと考えられる。

本発明において磁性膜のＣｏＮ１ＣｒＣ系合金の成分組
成につき、Ｎｉｌを１０〜３５ａｔ％（ｘ＝０．１〜０
．３５）としたのは、１０ａｔ％に満だないと、磁性膜
の耐候性が悪くなり、他方３５ａ　ｔ％をこえると、飽
和磁束密度（Ｂｓ）が減少し、良好な磁気特性および電
気特性が得られなくなるからである。またＣｒ量を５〜
１５ａｔ％（ｙ　＝０．０５〜０．１５）としたのは、
５ａｔ％未満では、耐候性の不足だけでなく、Ｃ添加に
伴うクロム炭化物の析出量が不足するからであり、他方
１５ａｔ％より多くなると、良好な磁気特性・電気特性
を確保できなくなるからである。

更に、Ｃ量については、その下限を０．１ａｔ％（２＝
０．００１　）としたのは、それより少ないとＣ添加に
よる磁化遷移幅の減少効果が十分でないからであり、他
方１．Ｏａｔ％を上限としたのは、それをこえて添加し
ても上記効果の増加はなく、却って磁気特性・電気特性
の低下を招くからである。

本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁気ディスクをは
じめ、各種磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等を包
含する。これらは、いずれもその磁性膜が前記組成を有
するＣｏＮ１ＣｒＣ系４元合金からなる点を除いて、公
知の一般的な工程および条件に従って製作することがで
きる。例えば、面内記録用磁気ディスクについて述べれ
ば、アルミニウム合金板等を基体とし、その表面に無電
解めっきにより硬質のＮ１−Ｐめっき膜（膜厚：例えば
１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜面にテキスチャ処理
を施したのち、磁性膜に面内異方性を与えるための下地
層として、適宜の膜厚（例えば、１３００〜５０００人
）のＣｒ膜を形成する。そのＣｒ膜面上に、前記組成を
もつＣｏＮ１ＣｒＣ系４元合金磁性膜を成膜する。その
膜厚は、例えば５００〜２０００人であってよい。つい
で磁性膜の摩耗・損傷を防止するための保護膜として、
潤滑性と耐摩耗性を備えた被膜、例えば炭素質膜（膜厚
：例えば１５０〜６００人）を形成することにより、多
層積層構造を有する面内記録用磁気ディスクを得る。

なお、その積層構造は上記の例に限定されず、例えば、
磁性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立って、約１０
０〜５００人の膜厚のＣｒ膜を形成することにより、磁
気ディスクの耐候性をさらに高めることもできる。また
、各層の成膜は、スパッタリング法、イオンブレーティ
ング法、真空蒸着法などにより行うことができる。

〔実施例〕

裏施■土 （１）供試磁気ディスクの製作 アルミニウム合金基板（外径１３０ｍｍ、内径４０Ｍ１
厚さ１．９ｍｍ）の表面に、Ｎ１−Ｐ無電解めっき膜（
膜厚２０μｍ）を形成し、表面をテキスチャ処理したの
ち、マグネトロンスパッタリング法（但し、アルゴン雰
囲気圧：０．７　Ｘｌ０−”ｔｏｒｒ）により、まずＣ
ｒ膜（膜厚：　２５００人）を形成し、ついでＣｏＮ　
１ＣｒＣ系４元合金をターゲットとして磁性膜を形成し
た。磁性膜の組成はＣ０６，７Ｎ　Ｉ　Ｏ，２Ｃｒｏ、
＋Ｃ０，。。２．であり、膜厚は１０００人である。更
に、その磁性膜面上に保護膜として膜厚３００人の炭素
質膜を形成して供試磁気ディスク１を得た。その保磁力
（Ｈｃ）は８５００ｅ、残留磁束密度と膜厚の積（Ｂｒ
・δ）は６３０Ｇ・μである。

また、比較例として、ＣｏＮｉＣｒ系°３元合金をター
ケラトとし、ＣＯｏ、ｖＮｉｏ、ｚＣｒｏ、＋合金磁性
膜を形成した点を除いて上記と同じ工程を経て供試磁気
ディスク２を得た。

なお、供試磁気ディスク１および２のノイズ特性の正当
な比較のためには、互いの磁束密度と膜厚の積（Ｂｒ・
δ）および保磁力（Ｈｃ）は同一にすべきであるので、
供試磁気ディスク２のＣｒ膜および磁性膜は、前記供試
磁気ディスク１と同じＨｅおよびＢｒ・δとなるように
成膜した。

（Ｉｔ）ノイズ特性の比較試験 各供試磁気ディスク１および２に信号を記録し、再生時
のノイズのスペクトルをスペクトルアナライザーにより
分析する。但し、記録周波数は２．５ＭＨｚおよび７．
　Ｑ　ＭＨｚ、ディスク回転数は２７００ｒｐｍ。

記録電流は４５ｍＡｐ−ｐであり、使用したベツドは３
３７０モノシリツクタイプのヘッドである。また、スペ
クトルアナライザーの中心周波数は５ＭＨｚ、周波数ス
パンは１０ＭＨｚ、分解能は３０　Ｋ　ｌ（ｚである。

供試磁気ディスク１（発明例）の測定結果を第１図に、
供試磁気ディスク２（比較例）のそれを第２図にそれぞ
れ示す。図中、Ａ、は記録周波数７．０ＭＨｚのときの
変調ノイズ、Ａ２は記録周波数２．５Ｍ１ｌｚのときの
変８周ノズル、Ｂはシステムノイズである。両図の比較
から、ＣｏＮｉＣｒ系にＣを添加した磁性膜を有する発
明例はノイズが大きく低減していることがわかる。

実膳拠主 磁性膜を、、　ＣＯｏ、ｂｑＮ　ｉ　ｏ、ｚｏＣｒ　Ｏ
，１（ｌｃＯ，ｏ１合金で形成した点を除いて前記実施
例１の供試ディスク１と同一の条件で供試磁気ディスク
３を製作し、記録再生時のバックグランドノイズのスペ
クトル分析を実施例１と同一の条件で行った結果、実施
例１の供試磁気ディスク１と同等の改良されたノイズ特
性を有することが観察された。

〔発明の効果〕

本発明の磁気記録媒体は、ＣｏＮｉＣｒ３元合金磁性膜
のすぐれた磁気特性・電気特性と、その３元合金磁性膜
を凌ぐ良好なノイズ特性を有しており、再生波形相互の
干渉によるピークシフトに変化を与えずに、ノイズによ
るピークシフトが大幅に改善され、従って磁気記録の−
そうの高密度化、磁気記録媒体のコンパクト化、高品質
・高性能化を可能とするものである。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は、磁気ディスクの記録再生時のバック
グランドノイズスペクトル分析を示すグラフである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、非磁性基体上に金属系磁性膜が形成された磁気記録
   媒体において、該金属系磁性膜が、ＣＯ＿１＿−＿Ｘ＿
   −＿Ｙ＿−＿ＺＮｉ＿ｘＣｒ＿ＹＣ＿Ｚ〔但し、ｘ、ｙ
   、ｚは原子比を示し、ｘは０．１〜０．３５、ｙは０．
   ０５〜０．１５、Ｚは０．００１〜０．０１である〕で
   示される組成を有することを特徴とするノイズ特性にす
   ぐれた金属薄膜型磁気記録媒体。