JPH0223511A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0223511A JPH0223511A JP17329388A JP17329388A JPH0223511A JP H0223511 A JPH0223511 A JP H0223511A JP 17329388 A JP17329388 A JP 17329388A JP 17329388 A JP17329388 A JP 17329388A JP H0223511 A JPH0223511 A JP H0223511A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- film
- metallic film
- recording
- recording medium
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
磁気記録装置における記録媒体として、従来より、非磁
性基体の表面に、酸化鉄粉末と有機バインダとからなる
磁性膜を形成した所謂塗布型磁気記録媒体が使用されて
きたが、近時は磁気記録の高密度化の要請から強磁性金
属薄膜を磁性膜とする金属薄膜型磁気記録媒体へと変わ
りつつある。
性基体の表面に、酸化鉄粉末と有機バインダとからなる
磁性膜を形成した所謂塗布型磁気記録媒体が使用されて
きたが、近時は磁気記録の高密度化の要請から強磁性金
属薄膜を磁性膜とする金属薄膜型磁気記録媒体へと変わ
りつつある。
その非磁性基体に形成される磁性膜の成分組成は、磁気
的性質、記録再生特性、耐候性等を総合的に評価して決
定されるが、一般的にＣｏ、ＣｏＮｉ系、ＣｏＣｒ系、
またはＣｏＮｉＣｒ系合金が使用されている。
的性質、記録再生特性、耐候性等を総合的に評価して決
定されるが、一般的にＣｏ、ＣｏＮｉ系、ＣｏＣｒ系、
またはＣｏＮｉＣｒ系合金が使用されている。
上記金属薄膜型磁気記録媒体は、これまでの塗布型磁気
記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、記録再
生ノイズが大きいため、これ以上の高密度化は期待し難
い。その記録密度の向上を実現するためには、再生ノイ
ズを低減し、ノイズによる再生波形のピークシフトを少
なくすることが必要である。
記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、記録再
生ノイズが大きいため、これ以上の高密度化は期待し難
い。その記録密度の向上を実現するためには、再生ノイ
ズを低減し、ノイズによる再生波形のピークシフトを少
なくすることが必要である。
本発明は上記に鑑み、記録再生ノイズを可及的に低くし
て分解能とノイズのつり合いのとれたピークシフトの低
い高密度記録用金属薄膜型磁気記録媒体を提供すること
を目的としている。
て分解能とノイズのつり合いのとれたピークシフトの低
い高密度記録用金属薄膜型磁気記録媒体を提供すること
を目的としている。
〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明の金
属薄膜型磁気記録媒体は、その金属系磁性膜が、 Ｃｏ１−Ｘ−Ｙ−ＺＮ ｉ ｘＣｒ ｖＴ ａ ｚ〔但
し、ｘ、ｙ、ｚは原子比を示し、Ｘは０．０５〜０．２
５、ｙは０．０７〜０．１４、Ｚは０．０１〜０．０３
である〕で示される組成を有することを特徴としている
。
属薄膜型磁気記録媒体は、その金属系磁性膜が、 Ｃｏ１−Ｘ−Ｙ−ＺＮ ｉ ｘＣｒ ｖＴ ａ ｚ〔但
し、ｘ、ｙ、ｚは原子比を示し、Ｘは０．０５〜０．２
５、ｙは０．０７〜０．１４、Ｚは０．０１〜０．０３
である〕で示される組成を有することを特徴としている
。
本発明の磁気記録媒体の金属系磁性膜は、上記のように
、ＣｏＮｉＣｒ系合金にＴａが添加された４元合金であ
る。ＣｏＮｉＣｒ系３元合金は、磁性膜として望まれる
高保磁力（Ｈｃ）および高残留磁束密度（Ｂｒ）を有す
る合金であり、本発明に従ってこれに第４元素として適
量のＴａを添加することにより、ＣｏＮｉＣｒ系３元合
金磁性膜の磁気特性・電気特性を損なうことになく、記
録再生ノイズ特性の顕著な改善効果が得られる。これは
Ｔａの適量添加に伴って磁性膜の結晶磁気異方性の変化
、結晶粒の微細化、Ｃｒの粒界析出等が生じ、その結果
として磁区が微細化・孤立化され、磁化遷移幅が減少す
るものと考えられる。
、ＣｏＮｉＣｒ系合金にＴａが添加された４元合金であ
る。ＣｏＮｉＣｒ系３元合金は、磁性膜として望まれる
高保磁力（Ｈｃ）および高残留磁束密度（Ｂｒ）を有す
る合金であり、本発明に従ってこれに第４元素として適
量のＴａを添加することにより、ＣｏＮｉＣｒ系３元合
金磁性膜の磁気特性・電気特性を損なうことになく、記
録再生ノイズ特性の顕著な改善効果が得られる。これは
Ｔａの適量添加に伴って磁性膜の結晶磁気異方性の変化
、結晶粒の微細化、Ｃｒの粒界析出等が生じ、その結果
として磁区が微細化・孤立化され、磁化遷移幅が減少す
るものと考えられる。
本発明において磁性膜のＣｏＮｉＣｒＴａ系合金の成分
組成につき、Ｎｉの原子比（Ｘ）を０．０５〜０．２５
としたのは、０．０５に満たないと、磁性膜の耐候性が
悪くなり、他方０．２５をこえると、飽和磁束密度（Ｂ
ｓ）が減少し、良好な磁気特性および電気特性が得られ
なくなるからである。またＣｒの原子比（Ｙ）を０．０
７〜０．１４としたのは、０．０７未満では、磁性膜の
耐候性が不足し、他方０．１４より多くなると、良好な
磁気特性・電気特性を確保できなくなるからである。
組成につき、Ｎｉの原子比（Ｘ）を０．０５〜０．２５
としたのは、０．０５に満たないと、磁性膜の耐候性が
悪くなり、他方０．２５をこえると、飽和磁束密度（Ｂ
ｓ）が減少し、良好な磁気特性および電気特性が得られ
なくなるからである。またＣｒの原子比（Ｙ）を０．０
７〜０．１４としたのは、０．０７未満では、磁性膜の
耐候性が不足し、他方０．１４より多くなると、良好な
磁気特性・電気特性を確保できなくなるからである。
更に、Ｔａ量について、その原子比の下限を０、Ｏｌと
したのは、Ｔａ添加による磁化遷移幅の十分な減少効果
を確保するためであり、他方０．０３を上限としたのは
、それをこえて添加しても上記効果の増加はなく、却っ
て磁気特性・電気特性の低下を招くからである。
したのは、Ｔａ添加による磁化遷移幅の十分な減少効果
を確保するためであり、他方０．０３を上限としたのは
、それをこえて添加しても上記効果の増加はなく、却っ
て磁気特性・電気特性の低下を招くからである。
本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁気ディスクをは
じめ、各種磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等を包
含する。これらは、いずれもその磁性膜が前記組成を有
するＣｏＮｉＣｒＴａ系４元合金からなる点を除いて、
公知の一般的な工程および条件に従って製作することが
できる。例えば、面内記録用磁気ディスクについて述べ
れば、アルミニウム合金板等を基体とし、その表面に無
電解めっきにより硬質のＮ１−Ｐめっき膜（膜厚：例え
ば１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜面にテキスチャ処
理を施したのち、磁性膜に面内異方性を与えるための下
地層として、適宜の膜厚（例えば、５００〜３０００人
）のＣｒ膜を形成する。そのＣｒ膜面上に、前記組成を
もつＣｏＮｉＣｒＴａ系４元合金磁性膜（膜厚は、例え
ば５００〜２０００人）を成膜する。ついで磁性膜の摩
耗・損傷を防止するための保護膜として、潤滑性と耐摩
耗性を備えた被膜、例えば炭素質膜（膜厚：例えば１５
０〜６００人）を形成することにより、多層積層構造を
有する面内記録用磁気ディスクを得る。
じめ、各種磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等を包
含する。これらは、いずれもその磁性膜が前記組成を有
するＣｏＮｉＣｒＴａ系４元合金からなる点を除いて、
公知の一般的な工程および条件に従って製作することが
できる。例えば、面内記録用磁気ディスクについて述べ
れば、アルミニウム合金板等を基体とし、その表面に無
電解めっきにより硬質のＮ１−Ｐめっき膜（膜厚：例え
ば１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜面にテキスチャ処
理を施したのち、磁性膜に面内異方性を与えるための下
地層として、適宜の膜厚（例えば、５００〜３０００人
）のＣｒ膜を形成する。そのＣｒ膜面上に、前記組成を
もつＣｏＮｉＣｒＴａ系４元合金磁性膜（膜厚は、例え
ば５００〜２０００人）を成膜する。ついで磁性膜の摩
耗・損傷を防止するための保護膜として、潤滑性と耐摩
耗性を備えた被膜、例えば炭素質膜（膜厚：例えば１５
０〜６００人）を形成することにより、多層積層構造を
有する面内記録用磁気ディスクを得る。
なお、その積層構造は上記の例に限定されず、例えば、
磁性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立って、約１０
０〜５００人の膜厚のＣｒ膜を形成することにより、磁
気ディスクの耐候性をさらに高めることもできる。また
、磁性膜面に炭素質膜を形成したうえ、更にその表面に
潤滑剤（膜厚：例えば１０〜１００人）を設けて、磁気
ヘッドに対する保護潤滑機能をより良好なものとするこ
ともできる。
磁性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立って、約１０
０〜５００人の膜厚のＣｒ膜を形成することにより、磁
気ディスクの耐候性をさらに高めることもできる。また
、磁性膜面に炭素質膜を形成したうえ、更にその表面に
潤滑剤（膜厚：例えば１０〜１００人）を設けて、磁気
ヘッドに対する保護潤滑機能をより良好なものとするこ
ともできる。
なお、各層の成膜は、スパッタリング法、イオンブレー
ティング法、真空蒸着法などにより行うことができる。
ティング法、真空蒸着法などにより行うことができる。
災施桝上
ＣＩ）供試磁気ディスクの製作
アルミニウム合金基板（外径１３０−１内径４０酎、厚
さ１．９ｍｍ）の表面に、Ｎ１−Ｐ無電解めっき膜（膜
厚２０μｍ）を形成し、表面にポリッシュとテキスチャ
処理を行ったのち、マグネトロンスパッタリング法（但
し、アルゴン雰囲気圧： ０．７ Ｘｌ０−２ｔｏｒｒ
）により、まずＣｒ膜（膜厚： ２５００人）を形成し
、ついでＣｏＮｉＣｒＴａ系４元合金をターゲットとし
て磁性膜を形成した。磁性膜の組成はＣｏ１１，？Ｏ５
Ｎ ｔ ｏ、 Ｉｂ５Ｃｒ ｏ、＋＋Ｔ ａ ｏ、ｏｚ
であり・膜厚は１０００人である。更に、その磁性膜面
上に保護膜として膜厚３００人の炭素質膜を形成して供
試磁気ディスク１ （１３０［１１１１１型）を得た。
さ１．９ｍｍ）の表面に、Ｎ１−Ｐ無電解めっき膜（膜
厚２０μｍ）を形成し、表面にポリッシュとテキスチャ
処理を行ったのち、マグネトロンスパッタリング法（但
し、アルゴン雰囲気圧： ０．７ Ｘｌ０−２ｔｏｒｒ
）により、まずＣｒ膜（膜厚： ２５００人）を形成し
、ついでＣｏＮｉＣｒＴａ系４元合金をターゲットとし
て磁性膜を形成した。磁性膜の組成はＣｏ１１，？Ｏ５
Ｎ ｔ ｏ、 Ｉｂ５Ｃｒ ｏ、＋＋Ｔ ａ ｏ、ｏｚ
であり・膜厚は１０００人である。更に、その磁性膜面
上に保護膜として膜厚３００人の炭素質膜を形成して供
試磁気ディスク１ （１３０［１１１１１型）を得た。
その保磁力（ＨＣ）は１１０００ｅ、残留磁束密度と膜
厚の積（Ｂｒ・δ）は５００Ｇ・μである。
厚の積（Ｂｒ・δ）は５００Ｇ・μである。
また、比較例として、ＣｏＮｉＣｒ系３元合金をターゲ
ットとし、Ｃｏｏ、ｙＮ ｉｏ、ｘｃ ｒｏ、を合金磁
性膜を形成した点を除いて上記と同じ工程を経て供試磁
気ディスク２を得た。
ットとし、Ｃｏｏ、ｙＮ ｉｏ、ｘｃ ｒｏ、を合金磁
性膜を形成した点を除いて上記と同じ工程を経て供試磁
気ディスク２を得た。
なお、供試磁気ディスク１および２のノイズ特性の正当
な比較のために、供試磁気ディスク２のＣｒ膜および磁
性膜は、前記供試磁気ディスク１と同じＨｃおよびＢｒ
・δとなるように成膜した。
な比較のために、供試磁気ディスク２のＣｒ膜および磁
性膜は、前記供試磁気ディスク１と同じＨｃおよびＢｒ
・δとなるように成膜した。
（ｎ）ノイズ特性の比較試験
各供試磁気ディスク１および２について薄膜型ヘッドを
用いて記録再生（磁気記録密度？１９ＫＦＣＩ）を行い
、フェイズマージンアナライザによるピークシフト（ｎ
５ｅｃ）、およびスペクトルアナライザによるノイズ
特性の比較を行った。
用いて記録再生（磁気記録密度？１９ＫＦＣＩ）を行い
、フェイズマージンアナライザによるピークシフト（ｎ
５ｅｃ）、およびスペクトルアナライザによるノイズ
特性の比較を行った。
（ａ）ピークシフト
ピットエラーレートＩＱ−１０におけるピークシフトを
測定。
測定。
供試ディスク ピークシフト（１５ｅｃ）磁気デ
ィスクｌ（発明例） １２．０磁気デイスク
２（比較例”） １４．５（ｂ）ノイズ特性 スペクトルアナライザ 中心周波数：５ＭＨｚ、周波数スパン：１０Ｍｔｌｚ。
ィスクｌ（発明例） １２．０磁気デイスク
２（比較例”） １４．５（ｂ）ノイズ特性 スペクトルアナライザ 中心周波数：５ＭＨｚ、周波数スパン：１０Ｍｔｌｚ。
分解能３０ Ｋ Ｈｚ
磁気ディスク１（発明例）の測定結果を第１図に、磁気
ディスク２（比較例）のそれを第２図に示す、 図中、
Ａ１は記録周波数７．５ ＭＨ２のときの変調ノイズ、
Ａｔは同５．０１ｖＨｌｚのときの変調ノイズ、Ａ、は
同２．５ ＭＨｚのときの変調ノイズであり、Ｂはシス
テムノイズである。
ディスク２（比較例）のそれを第２図に示す、 図中、
Ａ１は記録周波数７．５ ＭＨ２のときの変調ノイズ、
Ａｔは同５．０１ｖＨｌｚのときの変調ノイズ、Ａ、は
同２．５ ＭＨｚのときの変調ノイズであり、Ｂはシス
テムノイズである。
上記試験結果から明らかなように、発明例の磁気ディス
クは、ノイズが低く、ノイズによるピークシフトが大き
く改善されていることがわかる。
クは、ノイズが低く、ノイズによるピークシフトが大き
く改善されていることがわかる。
本発明の磁気記録媒体は、ＣｏＮＬＣｒａ元合金磁性膜
のすぐれた磁気特性・電気特性と、その３元合金磁性膜
を凌ぐ良好なノイズ特性を有しており、再生波形相互の
干渉によるピークシフトに変化を与えずに、ノイズによ
るピークシフトが大幅に改善され、従って磁気記録の−
そうの高密度化、磁気記録媒体のコンパクト化、高品質
・高性能化を可能とするものである。
のすぐれた磁気特性・電気特性と、その３元合金磁性膜
を凌ぐ良好なノイズ特性を有しており、再生波形相互の
干渉によるピークシフトに変化を与えずに、ノイズによ
るピークシフトが大幅に改善され、従って磁気記録の−
そうの高密度化、磁気記録媒体のコンパクト化、高品質
・高性能化を可能とするものである。
第１図、第２図は、磁気ディスクの記録再生時のバック
グランドノイズスペクトル分析を示すグラフである。 第１図
グランドノイズスペクトル分析を示すグラフである。 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性基体上に金属系磁性膜が形成された磁気記録
媒体において、該金属系磁性膜が、Ｃｏ＿１＿−＿Ｘ＿
−＿Ｙ＿−＿ＺＮｉ＿ＸＣｒ＿ＹＴａ＿Ｚ〔但し、ｘ、
ｙ、ｚは原子比を示し、ｘは０．０５〜０．２５、ｙは
０．０７〜０．１４、Ｚは０．０１〜０．０３である〕
で示される組成を有することを特徴とするノイズ特性に
すぐれた金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17329388A JPH0223511A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17329388A JPH0223511A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223511A true JPH0223511A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15957760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17329388A Pending JPH0223511A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223511A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01237925A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気記録媒体 |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP17329388A patent/JPH0223511A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01237925A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気記録媒体 |
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