JPH0460916A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0460916A JPH0460916A JP16779590A JP16779590A JPH0460916A JP H0460916 A JPH0460916 A JP H0460916A JP 16779590 A JP16779590 A JP 16779590A JP 16779590 A JP16779590 A JP 16779590A JP H0460916 A JPH0460916 A JP H0460916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- recording
- base film
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はノイズ特性にすぐれた金属薄膜型面内記録用磁
気記録媒体に関する。
気記録媒体に関する。
近時、磁気記録媒体として、ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒ。
ＣｏＣｒＮｉ等の強磁性金属の薄膜（磁性層）を非磁性
基体上に成膜した金属薄膜型磁気記録媒体が、その高密
度記録性により、従来の塗布型磁気記録媒体に置き代り
つつある。その記録層である磁性膜の形成は、スパッタ
リング、イオンブレーティング、真空蒸着等の各種物理
的蒸着法により行われる。磁気記録方式を面内磁化方式
とする場合の記録媒体では、その磁性膜に面内異方性を
導入するための下地層、代表的にはクロム膜が基体上に
成膜され、そのＣｒ膜面に上記磁性膜の積層成膜が行わ
れる。
基体上に成膜した金属薄膜型磁気記録媒体が、その高密
度記録性により、従来の塗布型磁気記録媒体に置き代り
つつある。その記録層である磁性膜の形成は、スパッタ
リング、イオンブレーティング、真空蒸着等の各種物理
的蒸着法により行われる。磁気記録方式を面内磁化方式
とする場合の記録媒体では、その磁性膜に面内異方性を
導入するための下地層、代表的にはクロム膜が基体上に
成膜され、そのＣｒ膜面に上記磁性膜の積層成膜が行わ
れる。
−Ｊ−記金属薄膜型磁気記録媒体は、ごれまでの塗布型
磁気記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、次
世代の磁気記録媒体としては更に記録密度の向上が要求
される。
磁気記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、次
世代の磁気記録媒体としては更に記録密度の向上が要求
される。
本発明は、上記金属薄膜型磁気記録媒体について、更に
その高密度記録を可能とするためのノ、イズ特性の改良
された磁気記録媒体を提供しようとするものである。
その高密度記録を可能とするためのノ、イズ特性の改良
された磁気記録媒体を提供しようとするものである。
〔課題を解決するための手段および作用〕本発明は、非
磁性基体上に記録層として強磁性金属からなる７！１１
膜が下地膜を介して積層形成されている面内記録用磁気
記録媒体において、前記下地膜か下式： Ｃｒ１ｏｏ−ｘＳ ｉｘ −Ｎ：］（但し、Ｘ
は０．１〜３．０である〕 で示される組成を有する合金からなること特徴としてい
る。
磁性基体上に記録層として強磁性金属からなる７！１１
膜が下地膜を介して積層形成されている面内記録用磁気
記録媒体において、前記下地膜か下式： Ｃｒ１ｏｏ−ｘＳ ｉｘ −Ｎ：］（但し、Ｘ
は０．１〜３．０である〕 で示される組成を有する合金からなること特徴としてい
る。
上記のように本発明の磁気記録媒体は、記録層である強
磁性金属薄膜（磁性膜）に面内異方性を付与する下地膜
か、（１）弐で示されるＣｒＳ ｉ合金を以て形成され
ている。この下地膜を形成するＣｒＳｉ合金中のＳｉは
Ｃｒに固溶せず、Ｃｒの粒界に析出して下地膜の結晶粒
界を明確化する。
磁性金属薄膜（磁性膜）に面内異方性を付与する下地膜
か、（１）弐で示されるＣｒＳ ｉ合金を以て形成され
ている。この下地膜を形成するＣｒＳｉ合金中のＳｉは
Ｃｒに固溶せず、Ｃｒの粒界に析出して下地膜の結晶粒
界を明確化する。
ぞの粒界の明確化に伴い、その下地膜面上に積層形成さ
れる磁性膜の粒界の明確化・磁区の孤立化か促され、結
果として磁性膜の保磁力増加、磁化遷移幅の減少等によ
る記録再生ノイズ特性の低減効果が得られる。
れる磁性膜の粒界の明確化・磁区の孤立化か促され、結
果として磁性膜の保磁力増加、磁化遷移幅の減少等によ
る記録再生ノイズ特性の低減効果が得られる。
下地膜のＣｒＳｉ合金におけるＳｉ量（ｘ）の下限を０
．１としたのは、」−記効果を十分ならしめるためであ
る。しかし、その量かあまり多くなると、却って磁性膜
の保磁力（１−１ｃ ）の低下傾向をみる。
．１としたのは、」−記効果を十分ならしめるためであ
る。しかし、その量かあまり多くなると、却って磁性膜
の保磁力（１−１ｃ ）の低下傾向をみる。
これは、Ｓｌの増量に伴ってＣｒの結晶に乱れが生じる
ごと等によるものと考えられる。このため、Ｓｉ量の１
−限を３．０とした。
ごと等によるものと考えられる。このため、Ｓｉ量の１
−限を３．０とした。
上記下地膜の膜面上に積層形成される磁性膜は、Ｃｏ、
ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒ、ＣｏＣｒＮｉ等、あるいはその磁
気的・電気的特性の改善を目的として添加される、例え
ばＴａ、Ｎｂ、Ｖ等の元素を含有する各種の強磁性合金
であり、その合金組成の選択は自由である。
ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒ、ＣｏＣｒＮｉ等、あるいはその磁
気的・電気的特性の改善を目的として添加される、例え
ばＴａ、Ｎｂ、Ｖ等の元素を含有する各種の強磁性合金
であり、その合金組成の選択は自由である。
本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁気ディスクをは
しめ、磁気ドラム、磁気テープ、（■気シート等を包含
する。これらは、いずれもその磁性膜に面内異方性を導
入するだめの下地膜が前記〔１９式で示される組成を有
するＣｒＳｉ合金からなる点を除いて、公知の工程およ
び条件に従って製作することができる。例えば、磁気デ
ィスクについて述へれば、アルミニウム合金板等を基体
とし、その表面に無電解めっぎにより硬質のＮｉＰめっ
き膜（膜厚：例えば１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜
面にテキスチャ処理を施したのら、磁性膜に面内異方性
を与えるための下地層であるＣｒＳｉ合金膜を適宜膜厚
（例えば５００〜３０００人）に形成する。その膜面上
に、記録層である磁性膜（膜厚ば例えば５００〜２００
０人）を成膜する。ついで磁性膜の摩耗・１１１傷を防
１１・するだめの保護膜として、潤滑性と耐摩耗性を備
えた被膜、例えば炭素質膜（膜厚：例えば１５０〜６０
０人）を形成することにより、多層積層構造を有する面
内記録用磁気ディスクを得る。その積層構造は上記の例
に限定されず、例えば、磁性膜の上に、炭素質膜を成膜
するに先立って、Ｃｒ膜（膜厚約１００〜５００人）を
形成することにより、磁気ディスクの耐候性をさらに高
めることができ、また磁性膜面に炭素質膜を形成した後
、更にその表面に潤滑剤（膜厚：例えば１０〜１００人
）を設りて、磁気ヘン１′に対する保護潤滑機能をより
良好なものとすることもできる。なお、各層の成膜は、
スパンタリング法、イオンブレーティング法、真空蒸着
法などにより行うことかできる。
しめ、磁気ドラム、磁気テープ、（■気シート等を包含
する。これらは、いずれもその磁性膜に面内異方性を導
入するだめの下地膜が前記〔１９式で示される組成を有
するＣｒＳｉ合金からなる点を除いて、公知の工程およ
び条件に従って製作することができる。例えば、磁気デ
ィスクについて述へれば、アルミニウム合金板等を基体
とし、その表面に無電解めっぎにより硬質のＮｉＰめっ
き膜（膜厚：例えば１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜
面にテキスチャ処理を施したのら、磁性膜に面内異方性
を与えるための下地層であるＣｒＳｉ合金膜を適宜膜厚
（例えば５００〜３０００人）に形成する。その膜面上
に、記録層である磁性膜（膜厚ば例えば５００〜２００
０人）を成膜する。ついで磁性膜の摩耗・１１１傷を防
１１・するだめの保護膜として、潤滑性と耐摩耗性を備
えた被膜、例えば炭素質膜（膜厚：例えば１５０〜６０
０人）を形成することにより、多層積層構造を有する面
内記録用磁気ディスクを得る。その積層構造は上記の例
に限定されず、例えば、磁性膜の上に、炭素質膜を成膜
するに先立って、Ｃｒ膜（膜厚約１００〜５００人）を
形成することにより、磁気ディスクの耐候性をさらに高
めることができ、また磁性膜面に炭素質膜を形成した後
、更にその表面に潤滑剤（膜厚：例えば１０〜１００人
）を設りて、磁気ヘン１′に対する保護潤滑機能をより
良好なものとすることもできる。なお、各層の成膜は、
スパンタリング法、イオンブレーティング法、真空蒸着
法などにより行うことかできる。
〔Ｉ］供試磁気ディスクの製作
アルミニウム合金基板（外径１３０ｍｍ、内径４０ｍｍ
、厚さ１ 、９ ｍｍ ）の表面に、Ｎ ｉ −Ｐ無電
解めっき膜（膜厚２０７ｚｍ）を形成し、表面にポリッ
シュとチー１−スヂ、１・処理を行ったのら、゛ｌグネ
１１１ンスパソタリング法（但し、アルゴン雰囲気圧：
］ ＸＩＯ””ｔｏｒｒ）により、ＣｒＳ ｉ合金か
らなる下地膜、強磁性合金からなる磁性膜および潤滑膜
としての炭素質膜（膜厚３００人）をこの順に積層成膜
して供試磁気ディスクを得た。なお、各供試磁気ディス
ク同士の記録再生特性の正当な比較を行うために、各供
試磁気ディスクの保磁力（１−Ｉ ｃ ） 、および残
留磁束密度（Ｂｒ）と膜厚（δ）の積（Ｂｒ・δ）が互
いに等しくなるように下地膜および磁性膜の成膜を行っ
た。そのＨｃは１０５００ｅとし、Ｂｒ・δば４５０Ｇ
・μとした。
、厚さ１ 、９ ｍｍ ）の表面に、Ｎ ｉ −Ｐ無電
解めっき膜（膜厚２０７ｚｍ）を形成し、表面にポリッ
シュとチー１−スヂ、１・処理を行ったのら、゛ｌグネ
１１１ンスパソタリング法（但し、アルゴン雰囲気圧：
］ ＸＩＯ””ｔｏｒｒ）により、ＣｒＳ ｉ合金か
らなる下地膜、強磁性合金からなる磁性膜および潤滑膜
としての炭素質膜（膜厚３００人）をこの順に積層成膜
して供試磁気ディスクを得た。なお、各供試磁気ディス
ク同士の記録再生特性の正当な比較を行うために、各供
試磁気ディスクの保磁力（１−Ｉ ｃ ） 、および残
留磁束密度（Ｂｒ）と膜厚（δ）の積（Ｂｒ・δ）が互
いに等しくなるように下地膜および磁性膜の成膜を行っ
た。そのＨｃは１０５００ｅとし、Ｂｒ・δば４５０Ｇ
・μとした。
〔■〕記録再生特性試験
各供試＆’を気ディスクについて、フェライトヘッドを
使用し、記録線密度２８ＫＦＣＩで、信号の記録再生試
験を行った。ヘット仕様は、ギャップ幅＋ １３．５μ
、ギャップ長ざ： ０．７９μ、インダクタンス：８Ｉ
ＩＩＩ、フライングハイｌ、：０．２０μ、Ｉコーディ
ング・フォース：９．５ｇｆ、コイル巻数＝２６であり
、回転速度は３ＧＯＯｒｐｍとした。
使用し、記録線密度２８ＫＦＣＩで、信号の記録再生試
験を行った。ヘット仕様は、ギャップ幅＋ １３．５μ
、ギャップ長ざ： ０．７９μ、インダクタンス：８Ｉ
ＩＩＩ、フライングハイｌ、：０．２０μ、Ｉコーディ
ング・フォース：９．５ｇｆ、コイル巻数＝２６であり
、回転速度は３ＧＯＯｒｐｍとした。
、４Ｃｒ Ｉ ２Ｔ ａ ４）をそれぞれ有する磁気デ
ィスクについての測定結果を示している。
ィスクについての測定結果を示している。
上記試験結果から、ＣｒＳｉ合金下地膜とする発明例の
磁気ディスクは、変調ノイズ、Ｓ／Ｎ比等の改良された
ノイズ特性を有していることかわかる。
磁気ディスクは、変調ノイズ、Ｓ／Ｎ比等の改良された
ノイズ特性を有していることかわかる。
各供試磁気ディスクの試験結果を、その磁性膜の合金組
成と併−已て第１表に示す。表中、Ｎｏ、 ］、２は下
地膜をＣｒＳｉ合金て形成した発明例、Ｎ。
成と併−已て第１表に示す。表中、Ｎｏ、 ］、２は下
地膜をＣｒＳｉ合金て形成した発明例、Ｎ。
１１．１２は下地膜がＣｒ単相和金属ある比較例である
。なお、「Ｓ／間」は再生信号出力とメチイアノイズ強
さの比を意味している。
。なお、「Ｓ／間」は再生信号出力とメチイアノイズ強
さの比を意味している。
また、第１図は、磁性膜の保磁力（Ｈｃ ）を、その下
地膜の膜厚（δ）との関係で示したグラフであり、図中
、（ａ）は」二足供試磁気ディスクＮｏ、 １と同じ合
金組成の下地膜（Ｃｒ９９Ｓｉ＋）と磁性膜（Ｃｏ、Ｃ
ｒ＋□Ｔａ、）、（ｂ）は供試磁気ディスクＮｏ、 １
１と同し合金組成の下地膜（Ｃｒ ＋ｏｏ）と磁性膜（
Ｃ。
地膜の膜厚（δ）との関係で示したグラフであり、図中
、（ａ）は」二足供試磁気ディスクＮｏ、 １と同じ合
金組成の下地膜（Ｃｒ９９Ｓｉ＋）と磁性膜（Ｃｏ、Ｃ
ｒ＋□Ｔａ、）、（ｂ）は供試磁気ディスクＮｏ、 １
１と同し合金組成の下地膜（Ｃｒ ＋ｏｏ）と磁性膜（
Ｃ。
本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、ノイズ特性にすぐ
れ、記録再生ノイズが低いことにより従来品を凌く高密
度記録が可能であり、これにより磁気記録媒体のコンパ
クト化と高品質・高性能化等の効果を得ることができる
。
れ、記録再生ノイズが低いことにより従来品を凌く高密
度記録が可能であり、これにより磁気記録媒体のコンパ
クト化と高品質・高性能化等の効果を得ることができる
。
第１図は、磁性膜の保磁力（Ｈｃ）を、その下地層の膜
厚との関係で示したグラフである。
厚との関係で示したグラフである。
Claims (1)
- （１）非磁性基体上に、記録層として強磁性金属からな
る薄膜が下地膜を介して積層形成されている面内記録用
磁気記録媒体において、 前記下地膜が下式： Ｃｒ＿１＿０＿０＿−＿ｘＳｉ＿ｘ 〔但し、ｘは０．１〜３．０である〕 で示される組成を有する合金からなることを特徴とする
ノイズ特性にすぐれた金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16779590A JPH0460916A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16779590A JPH0460916A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460916A true JPH0460916A (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=15856251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16779590A Pending JPH0460916A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0460916A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7239828B2 (en) | 2003-09-19 | 2007-07-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus with adjustment of belt member |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP16779590A patent/JPH0460916A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7239828B2 (en) | 2003-09-19 | 2007-07-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus with adjustment of belt member |
| US7379690B2 (en) | 2003-09-19 | 2008-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus with adjustment of belt member |
| US7389068B2 (en) | 2003-09-19 | 2008-06-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus with adjustment of belt member |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0460916A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| US5082750A (en) | Magnetic recording medium of thin metal film type | |
| JP2001093139A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
| JPH0312816A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JP2527616B2 (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH0770037B2 (ja) | 面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JP2001250223A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JPH08329442A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6313256B2 (ja) | ||
| JP2527618B2 (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JP3434845B2 (ja) | 磁気記録媒体、該磁気記録媒体の製造方法及び磁気記憶装置 | |
| JP2527617B2 (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JP2834154B2 (ja) | 面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH0268712A (ja) | 薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH01232516A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH03102615A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05189741A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01232517A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH10162338A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH0223511A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH03283016A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0793738A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2000182233A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0258723A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JPH03241516A (ja) | 磁気記録媒体 |