JPH01237398A

JPH01237398A - 真空ポンプ

Info

Publication number: JPH01237398A
Application number: JP6336288A
Authority: JP
Inventors: Takashi Nagaoka; 隆司長岡
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-03-18
Filing date: 1988-03-18
Publication date: 1989-09-21
Anticipated expiration: 2012-05-21
Also published as: JP2613245B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、特に堆積しやすい物質を含む気体を排気する
のに適した乾式真空ポンプの保護装置に関する。

〔従来の技術〕

ターボ真空ポンプのような乾式真空ポンプは。

吸込口から流入した腐食性ガスや反応生成物が通過する
ポンプ機構部に油が存在しないため、油の劣化がなく、
保守が容易であるという優れた特徴を持っている。しか
し、回転体を支える軸受には、潤滑油を供給しているた
め、潤滑油またはその蒸気がポンプ機構部に入ったり、
ポンプ機構部を通過する気体が軸受部に流入したりしな
し１ようしこ、軸封部に特別の配慮をする必要がある。

この種の軸封部については、特開昭６１−２４７８９３
号に記載されている。上記公知技術では、第２図に示す
ように、ポンプ機構部６と軸受７との間に位置する軸封
部９に、ポンプ外部からシールガスを供給するためのシ
ールガス供給口１０を設けている。＠封部９に供給され
たシールガスはポンプ機構部６と軸受７の両方へ分かれ
て流れるため、ポンプ係構部６を通過する気体と軸受潤
滑油とが接することはない。ポンプ機構部６に流入した
シールガスは、ポンプの吸込口１から流入した気体と混
じり合って吐出口２から排気される。一方、軸受７側へ
流入したシールガスは、ケーシング３に設けられたシー
ルガス排気口１１から排気されるようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記公知技術に係るシールガス式の軸封機構は、清浄な
気体を扱う場合には充分に機能を発揮する。

しかし、吸込気体中に、付着堆積しやすい物質が含まれ
ている場合は、気体吐出流路の途中に異物が堆積して気
体の流通を妨げるようになる。

このようにして気体吐出流路が詰まると、吸込気体がポ
ンプ機構部を腐食したり、軸受潤滑油を劣化させるなど
の問題を生じる。

本発明の目的は、ポンプの吸込気体中に堆積しやすい物
質が含まれていて、この物質が吐出口や吐出配管に堆積
し、流路を詰まらせるに至った場合、外部に警報を発し
たり、ポンプを非常停止させたりして、ポンプの軸受部
に腐食性気体などが流入することを未然に防止する乾式
真空ポンプの保護装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するための請求項１記載の発明は、吸込
口と吐出口を有するケーシング内にステータおよびロー
タを収納したポンプ機構部と、上記ポンプ機構部の下方
に設けられた油潤滑軸受と、前記ポンプ機構部と軸受の
間に位置してポンプ外部からシールガスを供給される軸
封部とを有し、前記吸込口から吸込まれた気体が前記吐
出口から排気される真空ポンプにおいて、前記吐出口に
設定値まで圧力が上昇すると電気的信号出力を発生する
圧力検知手段を設け、上記圧力検知手段から発せられる
信号出力により警報装置および非常停止装置の少なくと
も一方を作動させるようにしたことを特徴とする。

また、請求項２記載の発明は、前記圧力検知手段の取付
凹付近に窒素ガス注入口を設けたことを特徴とするもの
である。

〔作用〕

気体吐出流路に異物が堆積すると、吸込口から吸込まれ
た気体の流れが妨げられるため、吐出口の圧力が上昇す
る。その圧力がある設定値に達すると、吐出口に設けら
れて圧力検知手段が電気的信号出力を発するようになっ
ているので、この信号出力によって警報装置を作動させ
たり、真空ポンプを非常停止させたりすることができる
。

また、圧力検知手段の取付凹付近に設けた窒素ガス注入
口から、少量の窒素ガスを流し込んでおくことにより、
圧力検知手段の取付口に異物が堆積して、圧力検知手段
が正常に働かなくなるのを防ぐことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１図において、吸込口１と吐出口２を有するケーシン
グ３内には、油潤滑される軸受７により支承されてモー
タ８によって直結駆動されるロータ４と、ロータ４を囲
むようにして設けられたステータ５とから成るポンプ機
構部６がある。吸込口１から流入した気体は、ポンプ機
構部６を通って吐出口２から大気へ排気される。ポンプ
機構部６と軸受７との間には軸封部９があり、この軸封
部９には外部からシールガス供給口１０を通ってシール
ガスが供給される。シールガスとしては、吸込口１から
流入する気体と反応することのないように、乾燥窒素な
どを用いる。シールガス供給口１０から流入したシール
ガスは２方向に分かれ、一部はポンプ機構部６へ流入し
て、吸込口１から流入した気体と一緒に吐出口２から排
気され、残りは軸受７を通ってモータ室１２に入り、シ
ールガス排気口１１から排気される。この２方向に分か
れて流れるシールガスにより、潤滑油が軸受７からポン
プ機構部６へ流入するのを防ぐとともに、吸込口１から
流入した気体が軸受７を通ってモータ室１２へ流入する
のを防止している。

前記吐出口２には、圧力検知手段として、例えば設定値
まで圧力が上昇すると接点が作動して外部に電気的信号
出力を発する圧力スイッチ１３が取付けられている。こ
の圧力スイッチ１３からの信号出力は、警報装置１７お
よび非常停止装置１８（いずれか一方のみでもよい）を
作動させる入力となる。また上記圧力スイッチ１３の取
付口１４付近には、窒素ガス注入口１５が設けられてい
る。

いま、吸込口１から流入する気体中に固形物や、固体化
して付着堆積しやすい物質が含まれている場合、吐出口
２の付近に異物が付着堆積して吐出口２を詰まらせてし
まうことがある。特に、温度が低下すると固体化するよ
うな物質の場合は、吐出口２を通過した後、急に温度が
低下するため、吐出配管１６に付着堆積することが多い
。吐出口２から吐出配管１６にかけての内部の気体の圧
力は、通常はぼ大気圧であるが、吐出配管工６が詰まっ
てくると、この圧力が上昇する。圧力スイッチ１３は、
あらかじめ設定した値まで吐出口２の圧力が上昇すると
、電気的信号出力を発し、この信号出力によって警報を
発したり、真空ポンプを非常停止させたりすることがで
きる。

このような保護装置を設ける場合、圧カスイッチ１３の
取付口１４に異物が堆積すると、圧力スイッチ１３が正
常に作動しなくなる恐れがある。

そこで、取付口１４の付近に設けた窒素ガス注入口１５
から常時少量の窒素ガスを流し込み、取付口１４への異
物の堆積を防止する。これによって保護装置の信頼性が
向上する。

また、圧力検知手段として、圧力スイッチ１３の代わり
に接点付圧力計を用いることも可能であり、この場合は
、吐出配管１６内の異物堆積の進行程度を圧力計の指示
によって推察できるから便利である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、乾式真空ポンプの気体吐出流路に異楠
が付着堆積し、吐出口の圧力が上昇した場合、これを早
期に検知して、警報や非常停止により、ポンプの軸受部
に有害な気体が流入するのを未然に防止することができ
る。また、圧力検知手段の取付凹付近に窒素ガス注入口
を設けることにより、圧力検知手段の取付口に異物が付
着堆積して圧力検知手段が正常に作動しなくなることも
防止できるので、吸込気体中に付着堆積しやすい物質を
含む乾式真空ポンプの信頼性、耐久性の向上に貢献する
ところ大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は従来
技術による乾式真空ポンプの断面図である。１・・・吸込口、２・・・吐出口、３・・・ケーシング
、４・・・ロータ、５・・・ステータ、６・・・ポンプ
機構部、７・・・軸受、９・・・軸封部、１０・・・シ
ールガス供給口、１１・・・シールガス排気口、１２・
・・モータ室、１３・・・圧力検知手段である圧力スイ
ッチ、１４・・取付口、１５・・・窒素ガス注入口、１
６・・吐出配管、草　）Ｉ￥１１　吸込１口　　　　１５望ヤη入うｉべ℃１４取何口

Claims

【特許請求の範囲】

１、吸込口と吐出口を有するケーシング内にステータお
よびロータを収納したポンプ機構部と、上記ポンプ機構
部の下方に設けられた油潤滑軸受と、前記ポンプ機構部
と軸受の間に位置してポンプ外部からシールガスを供給
される軸封部とを有し、前記吸込口から吸込まれた気体
が前記吐出口から排気される真空ポンプにおいて、前記
吐出口に設定値まで圧力が上昇すると電気的信号出力を
発生する圧力検知手段を設け、上記圧力検知手段から発
せられる信号出力により警報装置および非常停止装置の
少なくとも一方を作動させるようにしたことを特徴とす
る真空ポンプの保護装置。