JPH01239745A - イオン注入装置における走査用電源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高圧直流電源と二極真空管を備えた三角波発
生器とを有し、三角波発生器からの三角波出力をイオン
注入装置の走査系の各偏向電極に印加するイオン注入装
置における走査用電源に関するものである。

［従来の技術］ 一般に知られているように、イオン注入装置は、゛イオ
ン源と、イオン源で生成されたイオン中から所望の同一
イオンのみを質量分離する質量分析系と、この質量分析
系で質量分離したイオンを加速させる加速管と、加速さ
れたイオンを集束させる集束レンズ系と、集束レンズ系
から出てきたイオン中から中性粒子を除去する屠肉系と
、イオンビームをＸ、Ｙ両方向に走査する偏向ｔ＠から
成る走査系とから成っている。走査系のＸ、Ｙ方向偏向
電極には走査用電源から三角波電圧が印加される。この
三角波電圧を供給する走査用電源は添付図面の第２図に
示すように高圧直流電源Ａと三角波発生器Ｂとから成り
、三角波発生器Ｂの各出力端子を高圧ケーブルＣを介し
て走査系のＹ、Ｘ方向偏向′ｒ４極り、Ｅ、Ｆ、Ｇに接
続し、それぞれの電極に対応した三角波電圧を供給する
ように構成されている。

［発明が解決しようとする課題］ 従来イオン注入装置に用いられている走査用電源におい
ては、三角波は、上述のように三角波発土器から高圧ケ
ーブルを介して走査系の各偏向電極に印加されるため、
三角波発生器の出力ケーブルのもつ浮遊容量が周波数の
向上と共に無視できなくなる０例えはこの種の走査用電
源の出力ケーブルとして通常使用される高圧ケーブル自
体のもつ静電容量は、ケーブルが他のものに接している
場合には３０ｐＦ／１程度であり、ケーブル同志が接し
ている場合には３６ＤＦ／ＩＩ程度であり、ケーブルの
もつ浮遊容量は相当なものとなり得、その結果三角波発
生器の出力向上が困難であると共にケーブル自体が邪魔
となり安全性や保守がやりにくい等の問題がある。

また出力電圧の増大と共にコロナ放電やり一ケージが発
生し易くなる。

従って、本発明が解決しようとする課題は、走査用電源
に使用される高圧ケーブルの浮遊容量の問題解決、およ
びコロナ放電やり一ゲージ対策ににある。

［課題を解決するための手段］ そこで、本発明の目的は実質的な長さの高圧ケーブルを
使用せずに三角波電圧を走査系の各偏向電極へ供給でき
るようにしたイオン注入装置における走査用電源を提供
することにある。

上記の目的を達成するなめに、本発明のによるイオン注
入装置における走査用電源は、三角波発生器を各偏向電
ｆ！毎に分割して設け、各三角波発生器を走査系のチャ
ンバに収り付けたことを特徴としている。

［作　　　用］ このように構成した本発明による走査用電源においては
、各三角波発生器で発生された三角波電圧は直接組み合
さった偏向電極に印加でき、浮遊容量は大幅に低減でき
、走査周波数を上げても波形の鈍り等を避けることがで
きる。

［実　施　例］ 以下添付図面の第１図を参照して本発明の実施例につい
て説明する。

第１図には本発明による走査用電源の一実施例を示し、
１は高圧直流電源、２は走査系のチャンバで、このチャ
ンバ２の外側の上下、左右にはそれぞれ三角波発生器（
図面にはその内の三つ３〜５のみを示す）が取り付けら
れ、各三角波発生器３〜５はチャンバ２内に配置された
二枚のＹ方向偏向型［１（図示してない）および二枚の
Ｘ方向面内電極（図示してない）にそれぞれ接続されて
いる。また各三角波発生器３〜５はケーブル６を介して
共通の高圧直流電源１に接続され、それぞれ組み合さっ
た面内電極に相応した三角波電圧を発生するように構成
されている。。

図示実施例の動作において、各三角波発生器３〜５から
直接組み合さった偏向＠極に三角波電圧が印加されるの
で、従来のように出カケープルのもつ容量がなくなり、
偏向電極板のもつ容量だけとなる。その結果、時定数お
よび従って周波数特性は大幅に改善され得る。

ところで図示実施例では、走査系がＹ、Ｘ方向それぞれ
二つの電極板から成る場合の例について説明してきたが
、当然二つ以上の多重極偏向器を使用した走査系にも同
様に適用でき、三角波発生器は面内器電極の数に応じて
分割して設けられ得る。

［発明の効果］ 以上説明してきたように、本発明によるイオン注入装置
における走査用電源においては、三角波発生器を走査系
の偏向電極の数に合わせて分割し、各三角波発生器から
直接組み合さった偏向電極に三角波を供給するように構
成しているので、高圧ケーブルを省くことができ、浮遊
容量は偏向電極のもつ容量だけとなり、従来の高圧ケー
ブルを使用した場合に比敦して時定数が約１７４程度と
なり、従って周波数が四倍程度上がっても波形の鈍り等
が生じない、また出カケープルを使用しないことにより
、安全性が向上し、しかも保守点検が容易となる等の効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例を示す概路線図、第２図は従
来の走査用電源の一例を示す概路線図である。 図　　　中 １：高圧直流電源 ２：チャンバ ３〜５：三角波発生器 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高圧直流電源と三極真空管を備えた三角波発生器とを有
   し、三角波発生器からの三角波出力をイオン注入装置の
   走査系の各偏向電極に印加するイオン注入装置における
   走査用電源において、上記三角波発生器を各偏向電極毎
   に分割して設け、各三角波発生器を走査系のチャンバに
   取り付けたことを特徴とするイオン注入装置における走
   査用電源。