JPH01245412A

JPH01245412A - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH01245412A
Application number: JP7253788A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Osawa; 裕一大沢
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-03-26
Filing date: 1988-03-26
Publication date: 1989-09-29
Anticipated expiration: 2012-09-30
Also published as: JP2659989B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は磁気記録媒体に対してデータの記録および再
生を行う磁気ヘッドに関する。

（従来の技術）近年、メタルテープに対応させるよう、高飽和磁束密度
の金属磁性体を用いてメインコアを形成した磁気ヘッド
（いわゆるメタルヘッド、メタルインギャップヘッド）
が開発されつつある。

上述の磁気ヘッドは、フェライトなどで形成された一対
のサブコアの対向する箇所に金属磁性体を用いてメイン
コアが形成され、これらのメインコアの間に磁気的ギャ
ップが形成されている。

この磁気的ギャップは、対向するメインコアの間に絶縁
層を設けることにより形成されており、この絶縁層であ
るギャップ材としては、一般に、真空薄膜形成法（たと
えば真空蒸着、スパッタ）により形成した酸化物膜が用
いられる。

ところで、上述の磁気ヘッドを構成する場合、上述した
一対のサブコア（メインコアおよびギャップ部が形成さ
れた状態のもの）をガラス材料を用いて比較的高温で接
着するプロセスがある。

しかしながら、前述した従来の磁気ヘッドでは、一対の
コアを接着するプロセスにおいて、ギャップ部を構成す
る酸化物膜とメインコアを構成する金属磁性体との界面
で、各部を構成する原素（たとえば酸素、金属元素）の
拡散が発生し、酸化物膜の酸素がメインコアである金属
磁性体内部へ混入しメインコアの磁気的特性を顕るしく
劣化させてしまう虞れがある。また、ギャップ部を形成
する酸化物膜の酸素の拡散により、ギャップ部のギャッ
プ長（実効ギャップ−膜厚）が大きくなる。

つまり形成した膜厚よりも大きくなる。これにより、所
定の磁気特性を得ることが困難である。

また、上述の酸素の拡散量は、２つのコアの接着プロセ
ス（温度時間）やギャップ材料、金属磁性体材料の組み
合せなどで決まるため、実効ギャップの寸法制御が困難
であるという課題があった。

（発明が解決しようとする課８）上述したように従来の磁気ヘッドでは、ヘッドの製造プ
ロセスにおいて、磁気ヘッドの特性を左右するギャップ
部のギャップ長が変動し、所定の磁気特性を得ることが
困難であり、またギャップ長の寸法制御が困難であると
いう課題があった。

この発明は上述した課題を解決するためのもので、ギャ
ップ長の寸法制御を簡単に行うことができ、ヘッドの所
定の磁気特性を得ることのできる磁気ヘッドを提供する
ことを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）この発明は、一対のサブコアの対向する面にそれぞれ金
属磁性体のメインコアが形成され、これらのメインコア
の間に磁気的ギャップを形成するための酸化物膜が形成
された磁気ヘッドにおいて、前記メインコアと前記酸化
物膜との間の面に、ＩＶａ族原素またはＶｌａ族原素の
いずれか１つの原素の金属膜、または少なくともいずれ
か１つの原素を含む合金膜からなる酸化保護膜を形成し
たものである。

（作　用）この発明では、メインコアと酸化物膜との間の面に、ｒ
Ｖａ族原素またはＶＩａ族原素のいずれか１つの原素の
金属膜、または少なくともいずれか１つの原素を含む合
金膜からなる酸化保護膜を形成したので、ギャップ長の
寸法制御を簡単に行うことができ、ヘッドの所定の磁気
特性を得ることが可能である。

（実施例）以下、この発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する
。

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
である。

同図において、ｌａ、ｌｂはたとえばフェライトにより
形成された一対のサブコアを示している。

これらのサブコア１　ａ　％　１　ｂの対向する面には
、たとえばＰｅ−Ａ　Ｉ　−８Ｉ合金などの金属磁性体
により真空薄膜技術を用いてメインコア２ａ、２ｂが形
成されている。

また、メインコア２ａ、２ｂの対向する面には、メイン
コア２ａ、２ｂの酸化を保護するための酸化保護膜であ
るＴＩ膜３ａ、３ｂが形成されている。

さらに、Ｔｉ膜３ａ、３ｂの対向する面には、ギャップ
部となる酸化物膜である５ｉ０２膜４ａ、４ｂが設けら
れている。

そしてこれらのサブコアｌａ、ｌｂは、５ｊ０２膜４　
ａ　％　４　ｂが当接するよう突き合され、メインコア
２ａ、２ｂの両側がガラス５により接合されている。な
お、６は貫通孔、７は貫通孔６に巻回されたコイルであ
る。

次に上述した磁気ヘッドの製造プロセスについて説明す
る。

まず、第２図（ａ）に示すように、寸法５ＴＩＩＩ１１
×５ＩＩ１ｍ×厚さ　１．５１の板状とされ所定の凹溝
１１ａが形成されたサブコアとなるフェライト基板１１
上に、第２図（ｂ）に示すように、ｒｅ−Ａ　Ｉ　−３
ｉ合金膜１２を真空薄膜形成法により厚さ約５μＩ形成
する。次いで、このＰｅ−Ａ　Ｉ　−３ｉ合金膜１２上
に酸化保護膜となるＴＩ金属膜１３を厚さ約３００人形
成する。さらに、Ｔｉ金属膜１３上にギャップ部を形成
するためのギャップ材である５ｉｏ２膜１４を厚さ約１
２００人形成する。

この後、第２図（ｃ）に示すように、第２図（ｂ）の状
態の２枚のフェライト基板１１を、そレソれ５ｉ０２膜
１４．１４の面が接合されるように突き合せ、フェライ
ト基板１１．１１に形成された凹溝１１　ａ　ｓ　１１
　ａにより形成される貫通孔に、接着用のガラス１５を
配置し、約５００℃、１時間の熱処理を行うことにより
各フェライト基板１１．１１を接着する。この後、所定
の貫通孔に充填されたガラス１５部分に貫通孔６を形成
し、第２図（ｃ）に示した破線部分で切断し、所定の形
状に成形することにより、第１図の磁気ヘッドが得られ
る。

なお、この磁気ヘッドの出力を測定し、出力の結果から
求めた実効ギャップは約３４００人となった。

次に、上記と同一構造の磁気ヘッドを熱処理の条件を変
化させて作製したところ（６００℃−１時間、５００℃
−３０分）いずれの場合のものも求められた実効ギャッ
プは約３４００人であった。

したがって、この実施例では、メインコア２　ａ　ｓ２
ｂとなるＦｅ−＾１−８ｉ合金膜１２と酸化物膜である
５ｉ０２膜１４との間の面に、ＩＶａ族原素または■ａ
族原素のいずれか１つの原素の金属膜、または少なくと
もいずれか１つの原素を含む合金膜からなる酸化保護膜
であるＴｌ膜１３を形成したので、ギャップ長の寸法制
御を簡単に行うことができ、ヘッドの所定の磁気特性を
得ることが可能となる。

ところで、従来の磁気ヘッドの製造と同様に、Ｆｅ−Ａ
　Ｉ　−３Ｉ合金膜上に厚さ１５００人の８１０２膜を
それぞれ直接形成し、これらの５ｉ０２膜が接合される
ことにより構成されるギャップ部の光学的測定値が３０
００人の磁気ヘッドの場合、ガラスによる接着プロセス
における熱処理の条件を５００℃−３０分、５００℃−
１時間、６００℃＝　１時間の３通りで処理し、これら
の各処理を行った各磁気ヘッドの実効ギャップは、それ
ぞれ約３４００人、約３５００人、約４０００人の値で
あった。なお、これらの各位および上述の実施例におけ
る各位を以下の表に示す。

（単位人）［発明の効果］以上説明したようにこの発明の磁気ヘッドは、メインコ
アと酸化物膜との間の面に、ＩＶａ族原素またはＶＩａ
族原素のいずれか１つの原素の金属膜、または少なくと
もいずれか１つの原素を含む合金膜からなる酸化保護膜
を形成したので、ギャップ長の寸法制御を簡単に行うこ
とができ、ヘッドの所定の磁気特性を得ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
、第２図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ第１図の磁
気ヘッドの製造工程を説明するための斜視図である。ｌａ、ｌｂ・・・サブコア、２　ａ　ｓ　２　ｂ・・・
メインコア、３ａ、３ｂ−４１膜、４　ａ、　４　ｂ−
８１０２膜。出願人　　　　　　株式会社　東芝代理人　弁理士　　須　山　佐　− 第１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一対のサブコアの対向する面にそれぞれ金属磁性
体のメインコアが形成され、これらのメインコアの間に
磁気的ギャップを形成するための酸化物膜が形成された
磁気ヘッドにおいて、前記メインコアと前記酸化物膜との間の面に、IVａ族原
素またはVIａ族原素のいずれか１つの原素の金属膜、ま
たは少なくともいずれか１つの原素を含む合金膜からな
る酸化保護膜を形成したことを特徴とする磁気ヘッド。