JPH02236805A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は磁気記録媒体に対してデータの記録および再
生を行う磁気ヘッドに関する。

（従来の技術） 近年、メタルテーブに対応させるよう、高飽和磁束密度
の金属磁性体を用いてメインコアを形成した磁気ヘッド
（いわゆるメタルヘッド、メタルインギャップヘッド）
が開発されつつある。

上述の磁気ヘッドにおける磁気コアは、フエライトなど
で形成された一対のサブコアと、このサブコアの対向す
る箇所に金属磁性体を用いて形成されたメインコアと、
これらのメインコアの間に形成された磁気的ギャップ部
とから構成されている。

この磁気的ギャップ部は、対向するメインコアの間に絶
縁層を設けることにより形成されており、この絶縁層で
あるギャップ材としては、一般に、真空薄膜形成法（た
とえば真空蒸着、スバッタ）により形成した酸化物膜が
用いられる。

ところで、上述の磁気ヘッドを作製する場合、上述した
一対の磁気コア（サブコアにメインコアおよびギャップ
部が形成された状態のもの）をガラス材料を用いて比較
的高温で接着するプロセスがある。

しかしながら、上述した従来の磁気ヘッドでは、一対の
磁気コアを接着するプロセスにおいて、メインコアを構
成する金属磁性体とサブコアを構成するフエライトなど
の磁性体との界面で、各コアを構成する元素（たとえば
酸素、金属元素）の拡散が発生し、この拡散によって、
メインコアである金属磁性体とサブコアであるフエライ
トとの間で、元素の移動による界面近傍のコアの磁気特
性の劣化が起こるおそれがある。

このような磁気特性の劣化は、疑似ギャップ、（すなわ
ち本来の磁気ギャップ部とは別に作用する磁気ギャップ
）となるため、実際に磁気ヘッドとして使用する場合、
ヘッドの磁気特性が低下し、再生出力にうねりが生じる
という課題があった。

（発明が解決しようとする課題） 上述したように従来の磁気ヘッドでは、ヘッドの製造プ
ロセスにおいて、ガラス接着時の高温処理によって、メ
インコアとサブコアとの間でコアを構成する元素の拡散
が生じ、疑似ギャップを形成してしまうという問題があ
った。

このような元素の拡散現象を防止するためにはガラス接
着時の処理温度を低くすることが考えられる。しかしな
がら、低融点ガラスで接着した磁気ヘッドは耐摩耗性や
耐候性が低く、高品質の優れた磁気ヘッドを得るために
は、高融点ガラスを使用する必要がある。

また、メインコアを形成する金属磁性体は、一般的に高
い温度で熱処理することにより、保磁力、透磁率などの
磁気特性が向上するという事実が知られている。

したがって、磁気ヘッドの製造においては高い温度で処
理することが好ましく、高温処理を行ってもコア元素の
拡散が生じない磁気ヘッドが望まれていた。

この発明は上述した課題を解決するためのもので、疑似
ギャップの生成を防ぎ、磁気特性の良好な磁気ヘッドを
提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、一対の磁気コアの対向する面にそれぞれ金
属磁性体のメインコアが形成され、これらのメインコア
の間に磁気的ギャップが形成された磁気ヘッドにおいて
、前記磁気コアと前記金属磁性体との間の面に、拡散防
止膜を形成したことを特徴とする磁気ヘッドである。

この発明の拡散防止膜は、ＩＶａ族元素または少なくと
もＩＶａ族元素の一種を含有する化合物からなる膜であ
ることが好ましく、特に、ＩＶａ族元素の一種を含有す
る窒化化合物を用いることが好ましい。

（作　用） この発明では、メインコアとサブコアとの間の面に、拡
散防止膜を形成したので、高温条件下でのコアを構成す
る元素の拡散を防ぐことができる。

これによって、疑似ギャップの発生がなくなるため、再
生出力のうねりが抑制され、磁気特性の良好な磁気ヘッ
ドを得ることができる。

（実施例） 次に、この発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
である。

同図において、１ａ１ｌｂはたとえばフエライトにより
形成された一対のサブコアを示している。

これらのサブコアｌａ，ｌｂの対向する面には、たとえ
ばセンダスト合金などの金属磁性体により真空薄膜技術
を用いてメインコア２ａ，２ｂが形成されている。

また、サブコア１ａとメインコア２ａが接触する界面、
およびサブコア１ｂとメインコア２ｂが接触する界面に
は、コアを構成する元素の拡散を防止するための拡散防
止膜３８％　３ｂが、たとえば、ＴＩＮ膜などによって
それぞれ形成されている。

さらに、メインコア２ａ％　２ｂの対向する面には、磁
気ギャップ部４が８１０２膜などの酸化物膜により形成
されている。

そして、この磁気ギャップ部４を中心にして、サブコア
１　ａ　ｓ　１　ｂ同士、メインコア２ａｓ２ｂ同士が
対向するように配置され、ガラス５により接合されてい
る。

なお、６はコイル巻装用の貫通孔であり、７は貫通孔６
に巻回されたコイルである。

次に、上述した磁気ヘッドの製造プロセスについて説明
する。

まず、第２図（ａ）に示すように、所定の凹溝１１８が
形成されたサブコアとなるフエライト基板１１を作製す
る。

次に、第２図（ｂ）に示すように、ＴＩＮを用いた拡散
防止膜１２、メインコアとなる金属磁性膜１３、磁気ギ
ャップ部となる酸化物膜１４を、真空薄膜形成法により
フエライト基板１１側がら順に形成する。

これらの膜の厚さは、たとえば拡散防止膜１２が１００
人、金属磁性膜１３が４〜５μＩ１酸化物膜１４が１０
００人とする。

この後、第２図（ｃ）に示すように、第２図（ｂ）の状
態のフエライト基板１１を２枚用意して、それぞれ酸化
物膜１４の面同士が接合されるように突き合せ、フエラ
イト基板１１、１１に形成された凹満１１ａ，ｌｌａに
より形成される貫通孔に、接着用のガラス１５を配置し
、約５５０”Ｃ、３０分間の熱処理を行うことにより各
フエライト基板１１、１１を接若する。

この後、所定の貫通孔に充填されたガラス１５部分にコ
イル巻装用の貫通孔６を形成し、第２図（ｃ）に示した
破線部分で切断し、所定の形状に成形する。

これにより、第１図に示した磁気ヘッドが得られる。

さらに、この実施例で得た磁気ヘッドの出力を測定して
周波数変化に伴って生じる出力のうねりを調べたところ
、１ｄＢ以下であった。

比較例 実施例と同一のフエライト基板を用いて、実施例と同一
条件で金属磁性膜と酸化物膜とを、真空薄膜形成法によ
りフエライト基板側から順に形成した。

次いで、２枚のフエライト基板を、実施例と同一条件（
５５０℃、３０分間）で接合し、拡散防止膜を有してい
ない磁気ヘッドを作製した。

この磁気ヘッドの出力を実施例と同一条件で測定し、周
波数変化に伴って生じる出力のうねりを調べたところ、
５ｄＢ程度であった。

これらの結果から、この実施例による磁気ヘッドは、サ
ブコアとメインコアとの間に拡散防止膜が形成されてい
るため、高温で処理を行ってもコア元素の拡散が起こら
ず、磁気特性が向上することが明らかである。

なお、この実施例では、拡散防止膜としてＴＩＮ膜を用
いた例について説明したが、このような■ａ族元索のほ
かに、たとえばＣ『などのＶｌａ族元素を含有する化合
物を使用しても同様の効果が得られる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明の磁気ヘッドは、サブコ
アとメインコアとの間の面に拡散防止膜を形成したので
、コアを構成する元素の拡散を防ぐことができ、磁気特
性の良好な磁気ヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
、第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ第１図の磁
気ヘッドの製造工程を説明するための図である。 ｌａｓｌｂ・・・サブコア、２　ａ　ｓ　２　ｂ・・・
メインコア、３ａ，３ｂ・・・拡散防止膜、４・・・酸
化物膜、５・・・ガラス。 出願人　　　　　　株式会社　東芝 同　　　　　東芝オーディオ・ビデオ エンジニアリング株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）一対の磁気コアの対向する面にそれぞれ金属磁性
   体のメインコアが形成され、これらのメインコアの間に
   磁気的ギャップが形成された磁気ヘッドにおいて、 前記磁気コアと前記金属磁性体との間の面に、拡散防止
   膜を形成したことを特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）前記拡散防止膜は、IVａ族元素または少なくとも
   IVａ族元素の一種を含有する化合物からなる膜である請
   求項１記載の磁気ヘッド。