JPS59201225A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPS59201225A JPS59201225A JP7456983A JP7456983A JPS59201225A JP S59201225 A JPS59201225 A JP S59201225A JP 7456983 A JP7456983 A JP 7456983A JP 7456983 A JP7456983 A JP 7456983A JP S59201225 A JPS59201225 A JP S59201225A
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- JP
- Japan
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- vapor flow
- magnetic recording
- frequency coil
- recording medium
- magnetic layer
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録媒体の製造装置に関するものである。
最近、磁気テープ等の磁気記録媒体として、従来の磁性
粉をバインダーとともに塗布した塗布型のものの代りに
、強磁性体金属を真空蒸着等にょリテープ等に付着した
蒸着型のものが用いられるようになってきた。
粉をバインダーとともに塗布した塗布型のものの代りに
、強磁性体金属を真空蒸着等にょリテープ等に付着した
蒸着型のものが用いられるようになってきた。
ところで、蒸着型の磁気記録媒体は、塗布型に比べて記
録密度が高いという長所があるが、耐摩耗性が低く、磁
気ヘット等により擦られると損傷し易いという欠点があ
る。
録密度が高いという長所があるが、耐摩耗性が低く、磁
気ヘット等により擦られると損傷し易いという欠点があ
る。
本発明は、以上の欠点を改良し、表面の摩擦係数が低く
耐摩耗性を向上しうる磁気記録媒体の製造装置の提供を
目的とづ゛るものである。
耐摩耗性を向上しうる磁気記録媒体の製造装置の提供を
目的とづ゛るものである。
本発明は、上記の目的を達成するために、蒸発源から強
磁性体金属を蒸発し基体に所定の入射角度で付着し磁性
層を形成しつる磁気記録媒体の製造装置において、蒸気
流の低入射角付近にガスを導入しつる孔を有する高周波
コイルをマスクにより前記蒸気流が遮蔽される位置に設
けることを特徴とする磁気記録媒体の製造Ｓ！置を提供
するものである。
磁性体金属を蒸発し基体に所定の入射角度で付着し磁性
層を形成しつる磁気記録媒体の製造装置において、蒸気
流の低入射角付近にガスを導入しつる孔を有する高周波
コイルをマスクにより前記蒸気流が遮蔽される位置に設
けることを特徴とする磁気記録媒体の製造Ｓ！置を提供
するものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
１は、円筒状の真空槽であり、１０〜１０−′Ｔ ｏｒ
ｒ程度の真空度に保持されている。２は、供給ローラで
あり、高分子プラスチックフィルムや紙等の帯状材から
なる基体３が巻かれ、送り出すようになっている。４は
、巻取０−ラであり、磁性層形成後の基体３を最終的に
巻取るものである。
ｒ程度の真空度に保持されている。２は、供給ローラで
あり、高分子プラスチックフィルムや紙等の帯状材から
なる基体３が巻かれ、送り出すようになっている。４は
、巻取０−ラであり、磁性層形成後の基体３を最終的に
巻取るものである。
５は、キャンであり、基体３をその７周面に沿って走行
させ冷却させるものである。６は、蒸発源であり、コバ
ルトやニッケル等の強磁性体金属が収納され、抵抗加熱
や高周波加熱等により強磁性体金属を溶融し蒸着させる
ものである。７は、マスクであり、はぼ強磁性体金属の
蒸気流に沿って配設されている。８は、マスク７の近傍
で蒸気流が遮蔽される位置に設けられた高周波コイルで
あり、酸素や窒素カス等のガスを導入しうる孔９を有し
、蒸気流の低入射角付近にガスを導入するようになって
いる。
させ冷却させるものである。６は、蒸発源であり、コバ
ルトやニッケル等の強磁性体金属が収納され、抵抗加熱
や高周波加熱等により強磁性体金属を溶融し蒸着させる
ものである。７は、マスクであり、はぼ強磁性体金属の
蒸気流に沿って配設されている。８は、マスク７の近傍
で蒸気流が遮蔽される位置に設けられた高周波コイルで
あり、酸素や窒素カス等のガスを導入しうる孔９を有し
、蒸気流の低入射角付近にガスを導入するようになって
いる。
ずなわら、供給ローラ１がら送り出された基体２はキャ
ン５の周面に治って走行され、その間に、蒸発８！６か
ら蒸発した強磁性体金属の蒸気流が基体２に入用し、強
磁性体金属が付着して磁性層が形成される。ところで、
蒸気流の低入射角付近には酸素ガス等が導入されている
が、このガスは、高周波コイル８の作用によりグロー放
電が生じており、イオン化されていて、このイオン化さ
れたガスが基体２に形成された磁性層の表面にあたる。
ン５の周面に治って走行され、その間に、蒸発８！６か
ら蒸発した強磁性体金属の蒸気流が基体２に入用し、強
磁性体金属が付着して磁性層が形成される。ところで、
蒸気流の低入射角付近には酸素ガス等が導入されている
が、このガスは、高周波コイル８の作用によりグロー放
電が生じており、イオン化されていて、このイオン化さ
れたガスが基体２に形成された磁性層の表面にあたる。
そのために、磁性層の表面は凹凸状になり、摩擦係数が
減少する。
減少する。
例えば、強磁性体金属としてコバルトを用い、真空度７
Ｘ１０ Ｔｏ＋・ｒの雰囲気中で基体に蒸着し、高周
波コイルに２００Ｗの出力を与えてグロー放電を発生さ
せ、イオン化した酸素ガスを低入射角イ］近から導入さ
せた本発明によるものと、ただ単に酸素ガスを導入した
従来のものについて動摩擦係数を測定したところ前者は
０．３０であるのに対して後者は０．３８となり、本発
明による方が従来のものに比べて約２１％減少している
。
Ｘ１０ Ｔｏ＋・ｒの雰囲気中で基体に蒸着し、高周
波コイルに２００Ｗの出力を与えてグロー放電を発生さ
せ、イオン化した酸素ガスを低入射角イ］近から導入さ
せた本発明によるものと、ただ単に酸素ガスを導入した
従来のものについて動摩擦係数を測定したところ前者は
０．３０であるのに対して後者は０．３８となり、本発
明による方が従来のものに比べて約２１％減少している
。
以上の通り、本発明によれば、磁性層の表面を凹凸状に
することにより摩擦係数を減少できるので、耐摩耗性が
向上し、磁気ヘッド等により表面が擦られても容易に損
傷することがなく、諸だ、ガス導入用の高周波コイルが
マスクにより遮蔽され、蒸気流を妨げることがないので
蒸着効率を向上しつる磁気記録媒体の製造装置が得られ
る。
することにより摩擦係数を減少できるので、耐摩耗性が
向上し、磁気ヘッド等により表面が擦られても容易に損
傷することがなく、諸だ、ガス導入用の高周波コイルが
マスクにより遮蔽され、蒸気流を妨げることがないので
蒸着効率を向上しつる磁気記録媒体の製造装置が得られ
る。
図は本発明の実施例の正面断面図を示す。
３・・・基体、 ７・・・マスク、 ８・・・高周波コ
イル、９・・・孔。 特許出願人 日立コンデンサ株式会社 （
イル、９・・・孔。 特許出願人 日立コンデンサ株式会社 （
Claims (2)
- （１）蒸発源から強磁性体金属を蒸発し基体に所定の入
射角度で付着し磁性層を形成しうる磁気記録媒体の製造
装置において、蒸気流の低入射角付近にガスを導入しう
る孔を有する高周波コイルをマスクにより前記蒸気流が
遮蔽される位置に設けることを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置。 - （２）ガスが酸素である特許請求の範囲第１項記載の磁
気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7456983A JPS59201225A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7456983A JPS59201225A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201225A true JPS59201225A (ja) | 1984-11-14 |
Family
ID=13550967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7456983A Pending JPS59201225A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201225A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5812317A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-24 | Sony Corp | 薄膜磁気媒体の製法 |
| JPS5814328A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS5817544A (ja) * | 1981-07-23 | 1983-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP7456983A patent/JPS59201225A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5812317A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-24 | Sony Corp | 薄膜磁気媒体の製法 |
| JPS5814328A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS5817544A (ja) * | 1981-07-23 | 1983-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
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