JPH01251650A - ワーク洗浄・バリ取り装置 - Google Patents
ワーク洗浄・バリ取り装置Info
- Publication number
- JPH01251650A JPH01251650A JP63076155A JP7615588A JPH01251650A JP H01251650 A JPH01251650 A JP H01251650A JP 63076155 A JP63076155 A JP 63076155A JP 7615588 A JP7615588 A JP 7615588A JP H01251650 A JPH01251650 A JP H01251650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- workpiece
- work
- high pressure
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、超高圧ジェット噴流によりワークの洗浄やパ
リ取りを行なうワーク洗浄・バリ取り装置に関するもの
である。
リ取りを行なうワーク洗浄・バリ取り装置に関するもの
である。
(発明の背景)
IC基板のフレームなどのワークを洗浄したり、そのパ
リを取るのに水や洗浄液などの超高圧ジェット噴流を当
てて行なうことがある。この場合ジェットの噴射面積に
は制限があるため、大きなワークの洗浄・バリ取りには
ジェットノズルをワークに対して走査する必要がある。
リを取るのに水や洗浄液などの超高圧ジェット噴流を当
てて行なうことがある。この場合ジェットの噴射面積に
は制限があるため、大きなワークの洗浄・バリ取りには
ジェットノズルをワークに対して走査する必要がある。
特に大きなワークを効率的に洗浄・バリ取りするため従
来は、ジェットノズルを多連にしこのノズル列に対し直
角方向にワークを移動して行なっていた。
来は、ジェットノズルを多連にしこのノズル列に対し直
角方向にワークを移動して行なっていた。
しかしこのような多連ノズルを用いた場合には、ジェッ
ト噴流を送出するポンプ吐出量が増大することになり、
ポンプなどの動力入力が増大し動力ロスを生じたり運転
コストが高くなるという不都合があった。
ト噴流を送出するポンプ吐出量が増大することになり、
ポンプなどの動力入力が増大し動力ロスを生じたり運転
コストが高くなるという不都合があった。
(発明の目的)
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、ポ
ンプ吐出量を増大させなくても、少ない数のジェットノ
ズルを用いて幅広のワークを効率的に洗浄・バリ取りす
ることができるワーク洗浄書パリ取り装置を提供するこ
とを目的とする。
ンプ吐出量を増大させなくても、少ない数のジェットノ
ズルを用いて幅広のワークを効率的に洗浄・バリ取りす
ることができるワーク洗浄書パリ取り装置を提供するこ
とを目的とする。
(発明の構成)
本発明によればこの目的は、ワークを一方向に移動する
ワーク移動手段と、このワークに対し超高圧ジェット噴
流を噴射するノズルと、超高圧ジェット噴流の噴出方向
に対し略直交する平面内で前記ノズルを回転走査するノ
ズル回転手段と、このノズル回転手段を前記ワークの移
動方向と交差する方向に往復動するノズル往復手段とを
備えることを特徴とするワーク洗浄・バリ取り装置によ
り達成される。
ワーク移動手段と、このワークに対し超高圧ジェット噴
流を噴射するノズルと、超高圧ジェット噴流の噴出方向
に対し略直交する平面内で前記ノズルを回転走査するノ
ズル回転手段と、このノズル回転手段を前記ワークの移
動方向と交差する方向に往復動するノズル往復手段とを
備えることを特徴とするワーク洗浄・バリ取り装置によ
り達成される。
(実施例)
第1図は本発明の一実施例の斜視図、第2図はそのn−
n線断面図、第3図は同じ<m−m線断面図である。
n線断面図、第3図は同じ<m−m線断面図である。
これらの図において符号10は基台である。この基台1
0の上部側縁付近には平行する2本のガイドレール12
.12が設けられている。基台10上方には、往復移動
台14がその一方が基台10の突端部10aより延出す
るように(第1図で右方向に)配設されている。この移
動台14の両側縁付近下部には、前記ガイドレール12
゜12上を滑動するリニアベアリング16.16が取付
けられ、また移動台14下部中央付近には、ナツト18
が固着されている。このナツト18は、基台10上部に
ブラケッ)20を介して設けられたスクリュ軸22に螺
合している。このスクリュ軸22はブラケット20に取
付けられたモータ24により回転駆動され、ナラ)18
を介して移動台14をガイドレール12に沿って第1図
左右方向に滑動させる。移動台14の移動a四端部には
不図示のマイクロスイッチが設けられ、移動台14が移
動範囲の端部に達するとモータ24が逆転して移動台1
4を反対方向に移動させる。このように本実施例のノズ
ル往復手段は、移動台14とこれを往復動させるための
ガイドレール12、リニアベアリング14、ナツト18
、スクリュ軸22、モータ24等により構成される。
0の上部側縁付近には平行する2本のガイドレール12
.12が設けられている。基台10上方には、往復移動
台14がその一方が基台10の突端部10aより延出す
るように(第1図で右方向に)配設されている。この移
動台14の両側縁付近下部には、前記ガイドレール12
゜12上を滑動するリニアベアリング16.16が取付
けられ、また移動台14下部中央付近には、ナツト18
が固着されている。このナツト18は、基台10上部に
ブラケッ)20を介して設けられたスクリュ軸22に螺
合している。このスクリュ軸22はブラケット20に取
付けられたモータ24により回転駆動され、ナラ)18
を介して移動台14をガイドレール12に沿って第1図
左右方向に滑動させる。移動台14の移動a四端部には
不図示のマイクロスイッチが設けられ、移動台14が移
動範囲の端部に達するとモータ24が逆転して移動台1
4を反対方向に移動させる。このように本実施例のノズ
ル往復手段は、移動台14とこれを往復動させるための
ガイドレール12、リニアベアリング14、ナツト18
、スクリュ軸22、モータ24等により構成される。
基台上部突端部10aより延出する移動台端部14aに
はノズル回転手段26が設けられている。すなわち端部
14aを上下に貫通するように取付けられたアウタケー
ス28内には、ベアリング30を介して回転円柱体32
が回転自在に保持され、その上部にはプーリ34がポル
ト36により同軸に固着される。一体に回転するプーリ
34と回転円柱体32には、その回転軸Aに偏心した軸
Bの位置に、互いに連通・貫通するノズル挿入孔38が
設けられ、このノズル挿入孔38に挿入されたジェット
ノズル40は回転円柱体32に設けられたベアリング4
2により回転自在に保持される。一方移動台14上部に
はブラケット44によりプーリ46が回転自在に保持さ
れ、プーリ34.46間には回転ベルト48が巻き掛け
られている。50はブール46回転駆動するモータであ
り、このモータ50によりプーリ46.ベルト48、プ
ーリ34を介してノズル40が回転駆動される。52は
ノズル40に超高圧加圧された水を送る送水ホースであ
る。
はノズル回転手段26が設けられている。すなわち端部
14aを上下に貫通するように取付けられたアウタケー
ス28内には、ベアリング30を介して回転円柱体32
が回転自在に保持され、その上部にはプーリ34がポル
ト36により同軸に固着される。一体に回転するプーリ
34と回転円柱体32には、その回転軸Aに偏心した軸
Bの位置に、互いに連通・貫通するノズル挿入孔38が
設けられ、このノズル挿入孔38に挿入されたジェット
ノズル40は回転円柱体32に設けられたベアリング4
2により回転自在に保持される。一方移動台14上部に
はブラケット44によりプーリ46が回転自在に保持さ
れ、プーリ34.46間には回転ベルト48が巻き掛け
られている。50はブール46回転駆動するモータであ
り、このモータ50によりプーリ46.ベルト48、プ
ーリ34を介してノズル40が回転駆動される。52は
ノズル40に超高圧加圧された水を送る送水ホースであ
る。
54は基台突端部10a下部に設けられたワーク移動手
段としてのベルトコンベアである。このコンベア54は
移動台端部14aのノズル40の下方に位置し、移動台
14の往復方向と直交する方向(第1図上下方向)にワ
ニク56を移動させる。なお58はコンベア54を駆動
するモータである。
段としてのベルトコンベアである。このコンベア54は
移動台端部14aのノズル40の下方に位置し、移動台
14の往復方向と直交する方向(第1図上下方向)にワ
ニク56を移動させる。なお58はコンベア54を駆動
するモータである。
次に本実施例の動作を説明する。
まず未処理ワークをコンベア54上に載せ、モータ58
を起動して第1図矢印方向に移送する。またモータ24
により移動台14を第1図左右方向に往復動する。この
往復動に伴ない、モータ50も駆動してノズル40を回
転駆動する。この状態で不図示の吐出ポンプを駆動して
ノズル40から超高圧水ジエツト噴流をワーク56に噴
射させる。この結果ノズル40より噴射される超高圧水
ジエツト噴流は、第1図に示すように、ジグザグ状かつ
ラセン状の軌跡を描いてワーク56の噴射走査され、ワ
ーク56の洗浄・バリ取りが行なわれることになる。
を起動して第1図矢印方向に移送する。またモータ24
により移動台14を第1図左右方向に往復動する。この
往復動に伴ない、モータ50も駆動してノズル40を回
転駆動する。この状態で不図示の吐出ポンプを駆動して
ノズル40から超高圧水ジエツト噴流をワーク56に噴
射させる。この結果ノズル40より噴射される超高圧水
ジエツト噴流は、第1図に示すように、ジグザグ状かつ
ラセン状の軌跡を描いてワーク56の噴射走査され、ワ
ーク56の洗浄・バリ取りが行なわれることになる。
このように、超高圧ジェット噴流はワーク56にラセン
を描きながらジグザグ状に噴射されることになるので、
超高圧ジェット噴流のエネルギー密度はほぼ均一になり
、むら無くワーク56の洗浄・バリ取りができる。また
1個のノズル40で大きなワーク56全面にわたって処
理できるので複数のノズル40を用いる必要がなく、超
高圧水を送出するポンプはその送水能力が小さいもので
よい。なおノズル40はベアリング42によりプーリ3
4等に対して回転自在に保持されているから、回転中に
送水ホース52が回転することはない。
を描きながらジグザグ状に噴射されることになるので、
超高圧ジェット噴流のエネルギー密度はほぼ均一になり
、むら無くワーク56の洗浄・バリ取りができる。また
1個のノズル40で大きなワーク56全面にわたって処
理できるので複数のノズル40を用いる必要がなく、超
高圧水を送出するポンプはその送水能力が小さいもので
よい。なおノズル40はベアリング42によりプーリ3
4等に対して回転自在に保持されているから、回転中に
送水ホース52が回転することはない。
本実施例では、ノズル往復手段をスクリュ22とナツト
18で往復するものとしたが、このスクリュ22はスク
リュ溝が互いに逆巻きに形成されたいわゆるダイヤモン
ドスクリュ(リバースネジ)としてもよく、この場合に
は本実施例のようなにモータ24を逆回転させるための
マイクロスイッチを用いなくてもよい、またスクリュと
ナツトの代りにカム機構やエアシリンダにより移動台1
4を往復動させるものでもよい。
18で往復するものとしたが、このスクリュ22はスク
リュ溝が互いに逆巻きに形成されたいわゆるダイヤモン
ドスクリュ(リバースネジ)としてもよく、この場合に
は本実施例のようなにモータ24を逆回転させるための
マイクロスイッチを用いなくてもよい、またスクリュと
ナツトの代りにカム機構やエアシリンダにより移動台1
4を往復動させるものでもよい。
またノズル往復手段は、実施例のような直線的に往復す
るものに限られず、移動台端部14aをその反対側を軸
として円弧状に揺動させるものでもよい。この場合には
ワーク移動手段54は第1図左右方向にワーク56を移
動させるものとするのは勿論である。
るものに限られず、移動台端部14aをその反対側を軸
として円弧状に揺動させるものでもよい。この場合には
ワーク移動手段54は第1図左右方向にワーク56を移
動させるものとするのは勿論である。
なお実施例では移動台14の往復移動方向とワーク移動
手段54の移送方向とは略直交しているが、本発明はこ
れに限られず、両方向が交差していていればよい。本実
施例のように略直交していれば、幅広のワークを最も効
率的に洗浄・バリ取り処理することができる。
手段54の移送方向とは略直交しているが、本発明はこ
れに限られず、両方向が交差していていればよい。本実
施例のように略直交していれば、幅広のワークを最も効
率的に洗浄・バリ取り処理することができる。
なおノズルより噴射される超高圧液は、水に限られず、
ワークの材質や使用目的などに応じて有機溶媒など適宜
のものを用いてもよいのは勿論である。
ワークの材質や使用目的などに応じて有機溶媒など適宜
のものを用いてもよいのは勿論である。
(発明の効果)
以上のように本発明は、回転かつ往復動する超高圧噴射
ノズルに対しワークをノズル往復方向に交差する方向に
移動するようにしたので、ポンプ吐出量を増大させなく
ても、少ない数のジェットノズルを用いて幅広のワーク
を効率的に洗浄・バリ取りすることができる。
ノズルに対しワークをノズル往復方向に交差する方向に
移動するようにしたので、ポンプ吐出量を増大させなく
ても、少ない数のジェットノズルを用いて幅広のワーク
を効率的に洗浄・バリ取りすることができる。
第1図は本発明の一実施例の斜視図、第2図はその■−
■線断面図、第3図は同じ<m−m線断面図である。 10・・・基台、 14・・・往復移動台、 26・・・ノズル回転手段、 40・・・ノズル、 54・・・ワーク移動手段(ベルトコンベア)、56・
・・ワーク。 特許出願人 株式会社 芝浦製作所
■線断面図、第3図は同じ<m−m線断面図である。 10・・・基台、 14・・・往復移動台、 26・・・ノズル回転手段、 40・・・ノズル、 54・・・ワーク移動手段(ベルトコンベア)、56・
・・ワーク。 特許出願人 株式会社 芝浦製作所
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ワークを一方向に移動するワーク移動手段と、このワ
ークに対し超高圧ジェット噴流を噴射するノズルと、 超高圧ジェット噴流の噴出方向に対し略直交する平面内
で前記ノズルを回転走査するノズル回転手段と、 このノズル回転手段を前記ワークの移動方向と交差する
方向に往復動するノズル往復手段とを備えることを特徴
とするワーク洗浄・バリ取り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63076155A JPH01251650A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63076155A JPH01251650A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01251650A true JPH01251650A (ja) | 1989-10-06 |
Family
ID=13597146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63076155A Pending JPH01251650A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01251650A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0543711U (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-11 | 古河電気工業株式会社 | 相間スペーサ用洗浄機 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63076155A patent/JPH01251650A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0543711U (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-11 | 古河電気工業株式会社 | 相間スペーサ用洗浄機 |
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