JPH0319977Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0319977Y2 JPH0319977Y2 JP1985061620U JP6162085U JPH0319977Y2 JP H0319977 Y2 JPH0319977 Y2 JP H0319977Y2 JP 1985061620 U JP1985061620 U JP 1985061620U JP 6162085 U JP6162085 U JP 6162085U JP H0319977 Y2 JPH0319977 Y2 JP H0319977Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure water
- inlet
- nozzle
- base body
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この考案は、被処理体に対して高圧水を噴射さ
せ、この噴射された高圧水によつて被処理体に対
して洗滌など各種の処理を行なう高圧水噴射装置
に関するものである。
せ、この噴射された高圧水によつて被処理体に対
して洗滌など各種の処理を行なう高圧水噴射装置
に関するものである。
「従来の技術」
被処理体に対して、高圧水を噴射させて、被処
理体の付着物などを取り除いて洗滌を行なつた
り、さらに噴射水の圧力を高めて被処理体に対し
て削孔処理を行なつたり或は被処理体を切断した
りする高圧水噴射装置が使用されている。
理体の付着物などを取り除いて洗滌を行なつた
り、さらに噴射水の圧力を高めて被処理体に対し
て削孔処理を行なつたり或は被処理体を切断した
りする高圧水噴射装置が使用されている。
この種の高圧水噴射装置は、例えば被処理体の
洗滌を行なう場合を例にとれば、被処理体の表面
傷を付けることなく迅速確実に洗滌を行なうこと
が可能であり、噴射水圧を高めることにより、被
処理体に付着している取れにくい付着物をも容易
に取り除くことが可能である。さらに洗滌で除去
された付着物は、洗滌と同時に低圧水により除去
することが容易に行なわれ、流れ作業の中で効率
的に且つ確実迅速に被処理体の洗滌を行なわせる
ことが可能である。
洗滌を行なう場合を例にとれば、被処理体の表面
傷を付けることなく迅速確実に洗滌を行なうこと
が可能であり、噴射水圧を高めることにより、被
処理体に付着している取れにくい付着物をも容易
に取り除くことが可能である。さらに洗滌で除去
された付着物は、洗滌と同時に低圧水により除去
することが容易に行なわれ、流れ作業の中で効率
的に且つ確実迅速に被処理体の洗滌を行なわせる
ことが可能である。
この種の高圧水噴射装置において、例えば被処
理体の洗滌を行なう場合には、被処理体の被処理
面の比較的広い処理領域に対して高圧噴射水を均
一に噴射させて洗滌効率を高めることが必要であ
る。被処理体の被処理面の円形領域に対して、高
圧噴射水を均一に噴射させて被処理体に対する処
理を行なわせるために、所謂回転ノズルガンが用
いられることがある。
理体の洗滌を行なう場合には、被処理体の被処理
面の比較的広い処理領域に対して高圧噴射水を均
一に噴射させて洗滌効率を高めることが必要であ
る。被処理体の被処理面の円形領域に対して、高
圧噴射水を均一に噴射させて被処理体に対する処
理を行なわせるために、所謂回転ノズルガンが用
いられることがある。
第2図は従来提案されている回転ノズルガンの
構成を示すもので、基台2に対してボールベアリ
ング20を介して回転体1が回転自在に取り付け
られている。この回転体の周面にはプリー3が固
定されている、モータ4の回転がベルト6によ
り、プリー3に伝達され、モータ4の回転によつ
て回転体1が回転するような構成となつている。
構成を示すもので、基台2に対してボールベアリ
ング20を介して回転体1が回転自在に取り付け
られている。この回転体の周面にはプリー3が固
定されている、モータ4の回転がベルト6によ
り、プリー3に伝達され、モータ4の回転によつ
て回転体1が回転するような構成となつている。
回転体1の軸心A−Aに対して偏心して設けら
れる偏心軸心B−Bを中心に回動自在に、回転体
1内にノズルシヤフト7が回動自在に取り付けら
れる。このノズルシヤフト7には軸心方向に高圧
水流路7aが形成され、この高圧水流路7aの一
端には、高圧水供給管13が取り付けられる。又
高圧水流路7aの他端には、偏心軸心に対して、
所定の角度をなすようにして、二個のノズル8−
1,8−2が形成されている。
れる偏心軸心B−Bを中心に回動自在に、回転体
1内にノズルシヤフト7が回動自在に取り付けら
れる。このノズルシヤフト7には軸心方向に高圧
水流路7aが形成され、この高圧水流路7aの一
端には、高圧水供給管13が取り付けられる。又
高圧水流路7aの他端には、偏心軸心に対して、
所定の角度をなすようにして、二個のノズル8−
1,8−2が形成されている。
高圧水供給管13には、図示していないポンプ
手段で作成された例えば数1000Kg/cm2の高圧水
が供給され、この高圧水が高圧水流路7aを通過
してノズル8−1,8−2から噴射されるような
構成となつている。一方回転体1の回転とは別
に、低速でノズルシヤフト7が揺動運動を行なう
ように構成される。即ちノズルシヤフト7の高圧
水供給管13側には、ユニバーサル継手9を介し
てピニオン10が結合され、シリンダ12の往復
駆動機構によつて、往復動されるラツク11とこ
のピニオン10とが噛合するようになつている。
手段で作成された例えば数1000Kg/cm2の高圧水
が供給され、この高圧水が高圧水流路7aを通過
してノズル8−1,8−2から噴射されるような
構成となつている。一方回転体1の回転とは別
に、低速でノズルシヤフト7が揺動運動を行なう
ように構成される。即ちノズルシヤフト7の高圧
水供給管13側には、ユニバーサル継手9を介し
てピニオン10が結合され、シリンダ12の往復
駆動機構によつて、往復動されるラツク11とこ
のピニオン10とが噛合するようになつている。
ラツク11の往復動により、ピニオン10が正
転及び逆転を交互に繰返すことにより、ノズルシ
ヤフト7はユニバーサル継手9を介して回転体1
の偏心位置において正転、逆転を繰返すように構
成される。
転及び逆転を交互に繰返すことにより、ノズルシ
ヤフト7はユニバーサル継手9を介して回転体1
の偏心位置において正転、逆転を繰返すように構
成される。
ノズル8−1,8−2からは、例えば数1000
Kg/cm2という高圧水が噴出されるので、ノズル
8−1,8−2はダイヤモンドなどの高硬度の材
質で形成され、先端部には直径0.1〜0.4mmの噴出
孔が形成されている。回転体1には低圧流体供給
管14が取り付けられていて、この低圧流体供給
管14に供給される低圧水が低圧水流路16を通
つて、低圧水流出口17から放出される。この低
圧水流出口17から放出される低圧水によつて、
高圧水の噴射により被処理体から離脱し流れ落ち
る付着物が外部に流し出される。
Kg/cm2という高圧水が噴出されるので、ノズル
8−1,8−2はダイヤモンドなどの高硬度の材
質で形成され、先端部には直径0.1〜0.4mmの噴出
孔が形成されている。回転体1には低圧流体供給
管14が取り付けられていて、この低圧流体供給
管14に供給される低圧水が低圧水流路16を通
つて、低圧水流出口17から放出される。この低
圧水流出口17から放出される低圧水によつて、
高圧水の噴射により被処理体から離脱し流れ落ち
る付着物が外部に流し出される。
第3図は、この従来提案されている回転ノズル
ガンでの高圧水の噴射の軌跡を示すものであり、
回転体1のみを回転させるとノズル8−1の軌跡
は円軌跡31のようになり、ノズル8−2の軌跡
は円軌跡32のようになる。ノズルシヤフト7の
偏心軸心Bは、回転体1の軸心Aを中心とした円
軌跡となる。
ガンでの高圧水の噴射の軌跡を示すものであり、
回転体1のみを回転させるとノズル8−1の軌跡
は円軌跡31のようになり、ノズル8−2の軌跡
は円軌跡32のようになる。ノズルシヤフト7の
偏心軸心Bは、回転体1の軸心Aを中心とした円
軌跡となる。
ノズルシヤフト7に対して、正転及び逆転を行
なわせながら、回転体1を回転させると、ノズル
8−1,8−2の軌跡が第3図に点線で示すよう
に、円形領域33内の全ての点を通るようにする
ことが出来る。従つて、この状態で高圧水をノズ
ル8−1,8−2から噴出させることにより、被
処理体の被処理面の円形領域33に対して均一な
処理を行なわせることが出来る。
なわせながら、回転体1を回転させると、ノズル
8−1,8−2の軌跡が第3図に点線で示すよう
に、円形領域33内の全ての点を通るようにする
ことが出来る。従つて、この状態で高圧水をノズ
ル8−1,8−2から噴出させることにより、被
処理体の被処理面の円形領域33に対して均一な
処理を行なわせることが出来る。
第3図に示すような円形領域33での洗滌を行
なわせながら、被処理体に対して、回転ノズルガ
ンを相対的に直線移動させると、第4図に示すよ
うに円形領域33の直径を幅とする直線帯状領域
に対すて被処理体に対する処理を行なわせること
が出来る。
なわせながら、被処理体に対して、回転ノズルガ
ンを相対的に直線移動させると、第4図に示すよ
うに円形領域33の直径を幅とする直線帯状領域
に対すて被処理体に対する処理を行なわせること
が出来る。
被処理体に対して、さらに広い処理面に洗滌な
どの処理を行なわせて処理効率を高めようとする
と、被処理体と回転ノズルガンとの相対的な移動
方向と直角方向に配列されるノズル数を増加させ
て行くとよい。しかし、被処理体と回転ノズルガ
ンとの相対的な移動方向と直角方向に配列される
ノズル数を増加させるには、被処理体と回転ノズ
ルガンとの相対的な移動方向と直角方向において
回転ノズルガンを複数個配列した構成とする必要
がある。
どの処理を行なわせて処理効率を高めようとする
と、被処理体と回転ノズルガンとの相対的な移動
方向と直角方向に配列されるノズル数を増加させ
て行くとよい。しかし、被処理体と回転ノズルガ
ンとの相対的な移動方向と直角方向に配列される
ノズル数を増加させるには、被処理体と回転ノズ
ルガンとの相対的な移動方向と直角方向において
回転ノズルガンを複数個配列した構成とする必要
がある。
このように回転ノズルガンを複数個配列した構
成とすると、装置構成が複雑になると共に装置を
駆動するための電力が増加し、装置の製造費用も
増加し望ましくない。
成とすると、装置構成が複雑になると共に装置を
駆動するための電力が増加し、装置の製造費用も
増加し望ましくない。
「考案の解決すべき問題点」
この考案は、従来提案されている高圧水噴射装
置での欠点を解決することを目的とし、簡単な構
成で、被処理体の広い処理面に対して同時に洗滌
などの各種の処理を行なわせることが可能な高圧
水噴射装置を提供するものである。
置での欠点を解決することを目的とし、簡単な構
成で、被処理体の広い処理面に対して同時に洗滌
などの各種の処理を行なわせることが可能な高圧
水噴射装置を提供するものである。
「考案の構成」
この考案では、軸心に対して回動自在に基体が
設けられ、この基体の一端側には高圧水の流入口
が設けられる。基体には流入口の近傍において流
入口に連通して高圧水を噴出する複数のノズルが
配列される。又基体の他端側には、軸心及び高圧
水の流入口の配列方向にほぼ平行に係合溝が形成
され、この係合溝に対して回転体の偏心軸の端部
が挿入係合され、この偏心軸を回転駆動する手段
が設けられている。
設けられ、この基体の一端側には高圧水の流入口
が設けられる。基体には流入口の近傍において流
入口に連通して高圧水を噴出する複数のノズルが
配列される。又基体の他端側には、軸心及び高圧
水の流入口の配列方向にほぼ平行に係合溝が形成
され、この係合溝に対して回転体の偏心軸の端部
が挿入係合され、この偏心軸を回転駆動する手段
が設けられている。
「実施例」
以下、この考案の高圧水噴射装置を、その実施
例に基づき図面を使用して詳細に説明する。
例に基づき図面を使用して詳細に説明する。
第1図は、この考案の高圧水噴射装置の実施例
の構成を示すもので、軸心に対して回動自在に基
体が設けられ、この基体の一端側には高圧水の流
入口が設けられる。即ち、ほぼ板状の保持体41
が設けられ、この保持体41には、支持腕42の
一端が固定して取り付けられ、この支持腕42は
屈曲延長されて、保持体41の板面と対向した板
面42−Pが形成される。支持腕42の板面42
−Pに対して、ベアリング43に保持されて、軸
心A−Aを中心に回動自在に回転軸44の一端側
が取り付けられる。この回転軸44の他端側に
は、軸心A−Aにほぼ直角に基体45が固定され
る。
の構成を示すもので、軸心に対して回動自在に基
体が設けられ、この基体の一端側には高圧水の流
入口が設けられる。即ち、ほぼ板状の保持体41
が設けられ、この保持体41には、支持腕42の
一端が固定して取り付けられ、この支持腕42は
屈曲延長されて、保持体41の板面と対向した板
面42−Pが形成される。支持腕42の板面42
−Pに対して、ベアリング43に保持されて、軸
心A−Aを中心に回動自在に回転軸44の一端側
が取り付けられる。この回転軸44の他端側に
は、軸心A−Aにほぼ直角に基体45が固定され
る。
基体45の一端側において、支持腕42の板面
42−Pと対向する板面から突出して高圧水の流
入口46が設けられている。この流入口46に対
しては、図示していないポンプ手段により作成さ
れる例えば数1000Kg/cm2という高圧水が連結管
を介して流入されている。
42−Pと対向する板面から突出して高圧水の流
入口46が設けられている。この流入口46に対
しては、図示していないポンプ手段により作成さ
れる例えば数1000Kg/cm2という高圧水が連結管
を介して流入されている。
流入口の近傍において、基体には高圧水を噴出
する複数のノズルが配列される。
する複数のノズルが配列される。
即ち、基体45の端部が高圧水の流入口46近
傍において、流入口46の突出方向と反対方向に
屈曲され、この屈曲部分にノズル取付体47が構
成される。このノズル取付体47には、高圧水の
流入口46の突出方向と反対方向に高圧水を噴出
する複数のノズル51が形成されている。これら
のノズル51の口径は例えば0.05〜1.0(mm)に形
成され、実施例では5個のノズル51が配列され
た構成となつている。
傍において、流入口46の突出方向と反対方向に
屈曲され、この屈曲部分にノズル取付体47が構
成される。このノズル取付体47には、高圧水の
流入口46の突出方向と反対方向に高圧水を噴出
する複数のノズル51が形成されている。これら
のノズル51の口径は例えば0.05〜1.0(mm)に形
成され、実施例では5個のノズル51が配列され
た構成となつている。
保持体41には、被処理体移送路52が形成さ
れていて、図示していない駆動手段によつて、被
処理体移送路52上を被処理体53が直線移送可
能な構成となつている。
れていて、図示していない駆動手段によつて、被
処理体移送路52上を被処理体53が直線移送可
能な構成となつている。
基体の他端側において、軸心及び高圧水の流入
口の配列方向にほぼ平行に係合溝が形成され、こ
の係合溝に回転体の偏心軸の端部が挿入係合さ
れ、回転駆動手段により回転体が回転駆動される
構成となつている。
口の配列方向にほぼ平行に係合溝が形成され、こ
の係合溝に回転体の偏心軸の端部が挿入係合さ
れ、回転駆動手段により回転体が回転駆動される
構成となつている。
基体45の高圧水の送入口46と反対側の他端
側には、軸心A−Aと高圧水の流入口46の配列
方向にほぼ平行に係合溝55が形成される。一
方、支持腕42の板面42−Pに対してベアリン
グ56が取り付けられ、このベルト56に保持さ
れて回動自在に回転体57が配設される。
側には、軸心A−Aと高圧水の流入口46の配列
方向にほぼ平行に係合溝55が形成される。一
方、支持腕42の板面42−Pに対してベアリン
グ56が取り付けられ、このベルト56に保持さ
れて回動自在に回転体57が配設される。
回転体57にはベルト60が巻装され、このベ
アリング60は、保持体41に固定された取付片
62上に取り付けられるモータ61の回転駆動に
より、回転体57を軸心E−Eを中心にして回転
させる。この回転体57に対して軸心E−Eより
偏心して偏心軸63が設けられていて、モータ6
1の駆動によつて回転体57が回転すると、偏心
軸63は軸心E−Eの廻りに円運動を行なう。
アリング60は、保持体41に固定された取付片
62上に取り付けられるモータ61の回転駆動に
より、回転体57を軸心E−Eを中心にして回転
させる。この回転体57に対して軸心E−Eより
偏心して偏心軸63が設けられていて、モータ6
1の駆動によつて回転体57が回転すると、偏心
軸63は軸心E−Eの廻りに円運動を行なう。
この偏心軸63の端部は、基体45に形成され
る係合溝55内に挿入されている。従つてモータ
61の回転駆動によつて回転体57が回転する
と、偏心軸63によつて基体45は回転軸44の
軸心A−Aを中心として、第1図に矢印でX示す
ように所謂揺動運動を行なう。
る係合溝55内に挿入されている。従つてモータ
61の回転駆動によつて回転体57が回転する
と、偏心軸63によつて基体45は回転軸44の
軸心A−Aを中心として、第1図に矢印でX示す
ように所謂揺動運動を行なう。
図示していないポンプ手段により作成される、
例えば2500Kg/cm2という噴射水圧の高圧水が流
入口46に流入され、ノズル51から被処理体5
3の被処理面に対して噴出される。図示していな
い駆動手段により、被処理体移送路52上を第1
図の矢印Y方向に直線移送される被処理体53に
対して、ノズル51から高圧水を噴射させなが
ら、モータ61を回転して基体45に対して揺動
運動を行なわせる。この場合に得られる被処理体
53の処理面上における噴射高圧水の噴射軌跡
は、第1図に示すように、基体45の揺動幅に対
応して設定される所定幅内で、各ノズル51から
の噴射水が鋸歯状に走査された形状となる。
例えば2500Kg/cm2という噴射水圧の高圧水が流
入口46に流入され、ノズル51から被処理体5
3の被処理面に対して噴出される。図示していな
い駆動手段により、被処理体移送路52上を第1
図の矢印Y方向に直線移送される被処理体53に
対して、ノズル51から高圧水を噴射させなが
ら、モータ61を回転して基体45に対して揺動
運動を行なわせる。この場合に得られる被処理体
53の処理面上における噴射高圧水の噴射軌跡
は、第1図に示すように、基体45の揺動幅に対
応して設定される所定幅内で、各ノズル51から
の噴射水が鋸歯状に走査された形状となる。
各ノズル51のノズル取付体47での配列間隔
と、基体45の揺動範囲を選定して、それぞれの
ノズル51から噴出される高圧水の走査幅の両端
部が隣接するもの同志互に連続するようにすれ
ば、被処理面に対して幅lの直線帯状領域に高圧
水による処理を行なわせることが出来る。
と、基体45の揺動範囲を選定して、それぞれの
ノズル51から噴出される高圧水の走査幅の両端
部が隣接するもの同志互に連続するようにすれ
ば、被処理面に対して幅lの直線帯状領域に高圧
水による処理を行なわせることが出来る。
この考案の高圧水噴射装置では、例えば回転ノ
ズルガンを複数個配列させるような複雑な構成で
はなく、その構造が簡単であり、高圧水の噴射に
関しては高圧水の流入口46に対してポンプ手段
で作成した高圧水を流入させるに必要な比較的小
さな駆動電力により被処理体に対して効率的に各
種の処理を行なわせることが可能である。このよ
うに少ない消費エネルギーで被処理体の処理面の
広い領域に対して均一に、洗滌などの各種の処理
を効果的に行なわせることが出来る。
ズルガンを複数個配列させるような複雑な構成で
はなく、その構造が簡単であり、高圧水の噴射に
関しては高圧水の流入口46に対してポンプ手段
で作成した高圧水を流入させるに必要な比較的小
さな駆動電力により被処理体に対して効率的に各
種の処理を行なわせることが可能である。このよ
うに少ない消費エネルギーで被処理体の処理面の
広い領域に対して均一に、洗滌などの各種の処理
を効果的に行なわせることが出来る。
実施例では、ノズル5個配列された構成のもの
を説明したが、ノズル数は実施例のものに限らず
各値が選択可能である。又、各ノズルに対してシ
ヤツタ機能を設け、必要な位置のノズルを開状態
として、必要なノズル数による処理を設定可能な
構成とすることが出来る。さらに、回転体57に
対して偏心軸63を偏心量の異なる位置を選定し
て、その位置に螺合固定可能な構成とし、基体4
5の揺動幅を選択可能な構成のものも実施可能で
ある。
を説明したが、ノズル数は実施例のものに限らず
各値が選択可能である。又、各ノズルに対してシ
ヤツタ機能を設け、必要な位置のノズルを開状態
として、必要なノズル数による処理を設定可能な
構成とすることが出来る。さらに、回転体57に
対して偏心軸63を偏心量の異なる位置を選定し
て、その位置に螺合固定可能な構成とし、基体4
5の揺動幅を選択可能な構成のものも実施可能で
ある。
「考案の効果」
以上、詳述に説明したように、この考案による
と、簡単な構造で、少ない消費電力により、被処
理体の被処理面の広い領域に対して、高圧水によ
る洗滌など各種の処理を均一且つ効率的に行なわ
せることが可能であり、しかも安価に製造可能な
高圧水噴射装置を提供することが出来る。
と、簡単な構造で、少ない消費電力により、被処
理体の被処理面の広い領域に対して、高圧水によ
る洗滌など各種の処理を均一且つ効率的に行なわ
せることが可能であり、しかも安価に製造可能な
高圧水噴射装置を提供することが出来る。
第1図は、この考案の高圧水噴射装置の実施例
の構成を示す斜視図、第2図は、従来規定されて
いる高圧水噴射装置の構成を示す断面図、第3図
は、第2図に示す高圧水噴射装置の高圧水の噴射
軌跡を示す図、第4図は、第2図に示す高圧水噴
射装置により得られる直線帯状被処理面を示す図
である。 1…回転体、2…基台、3…プリー、4…モー
タ、7…ノズルシヤフト、7a…高圧水流路、8
−1,8−2…ノズル、9…ユニバーサル継手、
10…ピニオン、12…シリンダ、13…高圧水
供給管、14…低圧流体供給管、16…低圧水流
路、17…低圧水流出口、33…円形領域、41
…保持体、42…支持腕、42−P…板面、43
…ベアリング、45…基体、46…流入口、47
…ノズル取付体、51…ノズル、52…被処理体
移送路、53…被処理体、55…係合溝、56…
ベアリング、57…回転体、60…ベルト、61
…モータ、63…偏心軸。
の構成を示す斜視図、第2図は、従来規定されて
いる高圧水噴射装置の構成を示す断面図、第3図
は、第2図に示す高圧水噴射装置の高圧水の噴射
軌跡を示す図、第4図は、第2図に示す高圧水噴
射装置により得られる直線帯状被処理面を示す図
である。 1…回転体、2…基台、3…プリー、4…モー
タ、7…ノズルシヤフト、7a…高圧水流路、8
−1,8−2…ノズル、9…ユニバーサル継手、
10…ピニオン、12…シリンダ、13…高圧水
供給管、14…低圧流体供給管、16…低圧水流
路、17…低圧水流出口、33…円形領域、41
…保持体、42…支持腕、42−P…板面、43
…ベアリング、45…基体、46…流入口、47
…ノズル取付体、51…ノズル、52…被処理体
移送路、53…被処理体、55…係合溝、56…
ベアリング、57…回転体、60…ベルト、61
…モータ、63…偏心軸。
Claims (1)
- 軸心に対して回動自在に基体が設けられ、この
基体の一端側には高圧水の流入口が設けられ、こ
の流入口の近傍において前記基体には前記流入口
と連通し、前記高圧水を噴出する複数のノズルが
配列され、前記基体の他端側には前記軸心及び前
記流入口の配列方向に対してほぼ平行に係合溝が
形成され、この係合溝に回転体の偏心軸の端部が
挿入係合され、前記回転体を回転駆動する回転駆
動手段が設けられてなることを特徴とする高圧水
噴射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985061620U JPH0319977Y2 (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985061620U JPH0319977Y2 (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178987U JPS61178987U (ja) | 1986-11-08 |
| JPH0319977Y2 true JPH0319977Y2 (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=30590059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985061620U Expired JPH0319977Y2 (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0319977Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2934447B2 (ja) * | 1989-02-27 | 1999-08-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
| JP2008279317A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Ulvac Material Kk | 付着物除去装置及び付着物除去方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5823920A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-12 | Unitika Ltd | 湿式紡績法 |
-
1985
- 1985-04-24 JP JP1985061620U patent/JPH0319977Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61178987U (ja) | 1986-11-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100235245B1 (ko) | 판상 피처리물의 세정장치 | |
| JP5219055B2 (ja) | 噴射ノズル | |
| JPS61229000A (ja) | 表面の付着物除去方法 | |
| JP3933670B2 (ja) | 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 | |
| JP2004516651A (ja) | 基板エッジ洗浄装置 | |
| JPH1080393A (ja) | 食器洗浄機の洗浄水の噴射装置 | |
| JP2006278592A5 (ja) | ||
| JP2007007532A (ja) | 円筒体洗浄装置 | |
| JPH0347991B2 (ja) | ||
| JP2003010804A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPS61242655A (ja) | 回転ノズルガン | |
| JP3136063B2 (ja) | 食器洗い機 | |
| JPH05275408A (ja) | 平面状基板の洗浄装置 | |
| JP2618616B2 (ja) | タンク等の内部洗浄装置 | |
| CN217222614U (zh) | 一种用于电路板的双面清洗装置 | |
| JP4132340B2 (ja) | 鍋の内面洗浄機 | |
| CN222343547U (zh) | 一种磁环清洗一体式轨道 | |
| JP2699185B2 (ja) | バルブボディのバリ取り方法および装置 | |
| CN216464012U (zh) | 板型基材表面氧化物处理装置 | |
| JP2011019898A (ja) | ノズル装置とそのノズル装置を備えた洗浄機及び食器洗い機 | |
| JPH0512105B2 (ja) | ||
| JPH04327824A (ja) | 食器洗浄機 | |
| JPH08187471A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP7839017B2 (ja) | ウェーハ洗浄装置 | |
| JPH075807Y2 (ja) | 食器洗浄機用噴射ノズル |