JPH01257249A - プリント板のスルーホール検査装置 - Google Patents
プリント板のスルーホール検査装置Info
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- JPH01257249A JPH01257249A JP8491888A JP8491888A JPH01257249A JP H01257249 A JPH01257249 A JP H01257249A JP 8491888 A JP8491888 A JP 8491888A JP 8491888 A JP8491888 A JP 8491888A JP H01257249 A JPH01257249 A JP H01257249A
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- Japan
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- light
- hole
- printed board
- rotary body
- irradiation light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
プリント板のスルーホールの欠陥を検査するプリント板
のスルーホール検査装置に関し、厚いプリント板でも精
度よくスルーホールの欠陥を検知することを目的とし、 プリント板の片面に位置し且つ該プリント板と密着して
転動するローラ状回転体でスルーホールのみをマスクし
て該スルーホールを含む領域を回転体上方から光照射し
、該プリント板の他面に配置した光検出系でスルーホー
ル内の該プリント板からの拡散光有無を検知して当該ス
ルーホールの欠陥の有無を検出するプリント板のスルー
ホール検査装置であって、上記回転体が、該回転体を照
射光から遮光する手段を備えて構成する。
のスルーホール検査装置に関し、厚いプリント板でも精
度よくスルーホールの欠陥を検知することを目的とし、 プリント板の片面に位置し且つ該プリント板と密着して
転動するローラ状回転体でスルーホールのみをマスクし
て該スルーホールを含む領域を回転体上方から光照射し
、該プリント板の他面に配置した光検出系でスルーホー
ル内の該プリント板からの拡散光有無を検知して当該ス
ルーホールの欠陥の有無を検出するプリント板のスルー
ホール検査装置であって、上記回転体が、該回転体を照
射光から遮光する手段を備えて構成する。
本発明はプリント板の検査装置に係り、特に導電層が内
壁面に形成されたスルーホールの欠陥を検査するプリン
ト板のスルーホール検査装置に関する。
壁面に形成されたスルーホールの欠陥を検査するプリン
ト板のスルーホール検査装置に関する。
一般に両面プリント板や多層プリント板には、それら基
板に形成されている表裏プリント配線間や各層プリント
配線間の電気的接続のために電気的或いは化学的方法で
内壁面にメンキされたスルーホールが形成される。
板に形成されている表裏プリント配線間や各層プリント
配線間の電気的接続のために電気的或いは化学的方法で
内壁面にメンキされたスルーホールが形成される。
この場合、上記のメツキ層は常に良好な状態にあるとは
限らず切れ目やピンホール等の欠陥を有することがある
が、これら欠陥はその接続目的を阻害しまたプリント板
の信頼性を低下せしめることから欠陥の有無を検査する
必要がある。
限らず切れ目やピンホール等の欠陥を有することがある
が、これら欠陥はその接続目的を阻害しまたプリント板
の信頼性を低下せしめることから欠陥の有無を検査する
必要がある。
スルーホールの欠陥を検査する検査方法の一つに、透光
性プリント板のスルーホールの一端を柔軟性ある遮光材
料で密着して遮光状態とした後該スルーホールを含む領
域をその上部から光照射し、上記スルーホールの周辺部
から該プリント板に進入して拡散し内壁面メツキ層の欠
陥部を通過してスルーホール内に漏れ出た光を該プリン
ト板の他面に配置した光検出系で検出することによって
、メツキ層での欠陥の有無を知る方法がある。(特願昭
57−228376号、昭和57年12月27日出願) 第3図は従来のプリント板のスルーホール検査装置の一
例を示した図である。
性プリント板のスルーホールの一端を柔軟性ある遮光材
料で密着して遮光状態とした後該スルーホールを含む領
域をその上部から光照射し、上記スルーホールの周辺部
から該プリント板に進入して拡散し内壁面メツキ層の欠
陥部を通過してスルーホール内に漏れ出た光を該プリン
ト板の他面に配置した光検出系で検出することによって
、メツキ層での欠陥の有無を知る方法がある。(特願昭
57−228376号、昭和57年12月27日出願) 第3図は従来のプリント板のスルーホール検査装置の一
例を示した図である。
図で(A)は側面図を示しくB)は回転、体部分の斜視
図である。
図である。
図(A) 、 (B)で、1は検査されるプリント板、
2は該プリント板1を構成するガラスエポキシ樹脂等よ
りなる光透過性基板であり、該基vi2の透孔2aの内
壁面にメツキ層3を生成して表裏導体を電気的に接続す
るスルーホール4を形成している。
2は該プリント板1を構成するガラスエポキシ樹脂等よ
りなる光透過性基板であり、該基vi2の透孔2aの内
壁面にメツキ層3を生成して表裏導体を電気的に接続す
るスルーホール4を形成している。
また5は図示されない検査用光源からの照射光である。
6は紙面前後方向に並んだ複数個の上記スルーホール4
を同時に該照射光5から遮光するに足る長さを有するロ
ーラ状の遮光体よりなる回転体であり、その支持軸7の
両端は固定部に回動可能に装着したアーム8によって支
持され、該アーム8と固定部間に引張ばね9を張架して
上記回転体6をプリント板1の光照射面に密接させるよ
うになっている。
を同時に該照射光5から遮光するに足る長さを有するロ
ーラ状の遮光体よりなる回転体であり、その支持軸7の
両端は固定部に回動可能に装着したアーム8によって支
持され、該アーム8と固定部間に引張ばね9を張架して
上記回転体6をプリント板1の光照射面に密接させるよ
うになっている。
また上記プリント板1は図示しないX−Yテーブル上に
セットされて矢印A方向に移動することによってプリン
ト板1に密接して軸回転する回転体6で複数のスルーホ
ール4を閉塞し照射光5がこれらのスルーホール4内に
入射しないようになっている。
セットされて矢印A方向に移動することによってプリン
ト板1に密接して軸回転する回転体6で複数のスルーホ
ール4を閉塞し照射光5がこれらのスルーホール4内に
入射しないようになっている。
10は上記プリント板1の他面側に上記回転体6に対向
して配置された光検知器であり、上記回転体6で遮光さ
れる複数のスルーホール4からの光信号が検出できるも
のである。
して配置された光検知器であり、上記回転体6で遮光さ
れる複数のスルーホール4からの光信号が検出できるも
のである。
11はスルーホール4の欠陥によって該スルーホール内
部に漏れた光を上記光検知器10に集光するレンズであ
る。
部に漏れた光を上記光検知器10に集光するレンズであ
る。
かかる構成になる検査装置で、図示しないX−Yテーブ
ルでプリント板1がA方向に所定距離だけ移動して回転
体6がスルーホール4の照射光5例の開口部を閉塞する
と、照射光5はスルーホール4内に入射しない。
ルでプリント板1がA方向に所定距離だけ移動して回転
体6がスルーホール4の照射光5例の開口部を閉塞する
と、照射光5はスルーホール4内に入射しない。
一方、スルーホール4の周囲からプリント板1の基板2
内に入射する照射光5は基板2内で拡散するが、この際
スルーホール4のメツキN3に切れ目やピンホール等の
欠陥3aがあると、拡散光は該欠陥3aを通過してスル
ーホール4内に漏れ更にレンズ11を経て光検知器10
に集光される。
内に入射する照射光5は基板2内で拡散するが、この際
スルーホール4のメツキN3に切れ目やピンホール等の
欠陥3aがあると、拡散光は該欠陥3aを通過してスル
ーホール4内に漏れ更にレンズ11を経て光検知器10
に集光される。
また上記メツキ層に欠陥がない場合には上記拡散光がス
ルーホール4内に漏れ出ることがないため光検知器10
は動作しない。
ルーホール4内に漏れ出ることがないため光検知器10
は動作しない。
従って該光検知器10が、スルーホール4内の光信号を
検知するか否かによってスルーホール4の欠陥の有無が
検出できる。
検知するか否かによってスルーホール4の欠陥の有無が
検出できる。
しかしプリント板1中を伝播し拡散する光は進行と共に
急激に弱められるため、メツキ層3の欠陥位置によって
は欠陥の検出精度が低下する。
急激に弱められるため、メツキ層3の欠陥位置によって
は欠陥の検出精度が低下する。
すなわちスルーホール4の欠陥が照射光5の照射面に近
い位置に存在する場合と遠い位置に在る場合とでは光検
出器10が受ける光信号の強さに差が生じ、例えば照射
面から遠い位置に小さい欠陥が在った場合に検出できな
い等の場合がある。
い位置に存在する場合と遠い位置に在る場合とでは光検
出器10が受ける光信号の強さに差が生じ、例えば照射
面から遠い位置に小さい欠陥が在った場合に検出できな
い等の場合がある。
そこでプリント板1の厚さすなわちスルーホール4の長
さによって照射光5の明るさを変える必要がある。
さによって照射光5の明るさを変える必要がある。
例えば、プリント板の厚さが3mm程度でスルーホール
の内径が0.2mm位のときに如何なる欠陥でも検出で
きる照射光の明るさを1とすると、プリント板が7mm
程度の厚さになると同じ内径のスルーホールの欠陥を検
出するのに約50倍の明るさを必要とする。
の内径が0.2mm位のときに如何なる欠陥でも検出で
きる照射光の明るさを1とすると、プリント板が7mm
程度の厚さになると同じ内径のスルーホールの欠陥を検
出するのに約50倍の明るさを必要とする。
他方コンピユークシステムの高速化要求は、プリント板
の多層化延いてはプリント板の厚さの増加を雪らしてい
る。
の多層化延いてはプリント板の厚さの増加を雪らしてい
る。
従って上記照射光5を明るくする必要があるが、この場
合スルーホール4を遮光するローラ状の回転体6が強力
な照射光の熱を吸収して熱変形し該スルーホール4の遮
光が不完全となる場合がある。
合スルーホール4を遮光するローラ状の回転体6が強力
な照射光の熱を吸収して熱変形し該スルーホール4の遮
光が不完全となる場合がある。
従来の構成になるプリント板のスルーホール検査装置で
は、プリント板の厚さが増加するにつれて強力な照射光
を使わざるを得す、これによるローラ状の回転体の変形
によってスルーホールの遮光が不完全となり、スルーボ
ールの欠陥の検出精度が低下すると云う問題があった。
は、プリント板の厚さが増加するにつれて強力な照射光
を使わざるを得す、これによるローラ状の回転体の変形
によってスルーホールの遮光が不完全となり、スルーボ
ールの欠陥の検出精度が低下すると云う問題があった。
上記問題点は、プリント板の片面に位置し且つ該プリン
ト板と密着して転動するローラ状回転体でスルーホール
のみをマスクして該スルーホールを含む領域を回転体上
方から光照射し、該プリント板の他面に配置した光検出
系でスルーホール内の該プリント板からの拡散光有無を
検知して当該スルーホールの欠陥の有無を検出するプリ
ント板のスルーホール検査装置であって、 上記回転体が、該回転体を照射光から遮光する手段を備
えてなるプリント板のスルーホール検査装置によって解
決される。
ト板と密着して転動するローラ状回転体でスルーホール
のみをマスクして該スルーホールを含む領域を回転体上
方から光照射し、該プリント板の他面に配置した光検出
系でスルーホール内の該プリント板からの拡散光有無を
検知して当該スルーホールの欠陥の有無を検出するプリ
ント板のスルーホール検査装置であって、 上記回転体が、該回転体を照射光から遮光する手段を備
えてなるプリント板のスルーホール検査装置によって解
決される。
強力な照射光を照射しても精度のよいスルーホールの欠
陥検出を可能とするには、該スルーホールを遮光する回
転体の受光による変形をな(すことが必要である。
陥検出を可能とするには、該スルーホールを遮光する回
転体の受光による変形をな(すことが必要である。
本発明になるプリント板のスルーホール検査装置では、
スルーホールを遮光する回転体の照射光側に該回転体を
遮光するための遮光手段を配設することによって照射光
の回転体への照射を回避している。
スルーホールを遮光する回転体の照射光側に該回転体を
遮光するための遮光手段を配設することによって照射光
の回転体への照射を回避している。
従って強力な照射光を投射して厚いプリント板のスルー
ホールを検査する場合でも、回転体の照射光による変形
がないため精度のよいスルーホールの欠陥検出を実現さ
せることができる。
ホールを検査する場合でも、回転体の照射光による変形
がないため精度のよいスルーホールの欠陥検出を実現さ
せることができる。
第1図は本発明になるプリント板のスルーホール検査装
置の一例を示した側面図であり、第2図は他の実施例を
示した図である。
置の一例を示した側面図であり、第2図は他の実施例を
示した図である。
第1図で、20は図示されないX−Yテーブル上に装着
され紙面の前後左右方向への移動が可能な被検のプリン
ト板、21は該プリント板20を構成するガラスエポキ
シ樹脂等よりなる光透過性基板であり図の場合には3枚
の該光透過性基板21でプリント板20を構成している
ことを示している。また該基板21の透孔21aの内壁
面にメツキ122を生成して表N導体を電気的に接続す
るスルーホール23を形成している。
され紙面の前後左右方向への移動が可能な被検のプリン
ト板、21は該プリント板20を構成するガラスエポキ
シ樹脂等よりなる光透過性基板であり図の場合には3枚
の該光透過性基板21でプリント板20を構成している
ことを示している。また該基板21の透孔21aの内壁
面にメツキ122を生成して表N導体を電気的に接続す
るスルーホール23を形成している。
また破線で示す24は、図示されない検査用光源から射
出された検査せんとするスルーホールを含む領域を面照
射する照射光を示している。
出された検査せんとするスルーホールを含む領域を面照
射する照射光を示している。
6は紙面前後方向に並んだ複数個の上記スルーホール2
3を同時に該照射光24から遮光するに足る長さを有す
るローラの如き形状の遮光体よりなる第3図同様の回転
体であり、その支持軸7の両端がアーム8によって支持
され、該アーム8と固定部間に張架した引張ばね9で上
記回転体6をプリント板20の光照射面に密接するよう
に構成していることは、第3図の場合と同様である。
3を同時に該照射光24から遮光するに足る長さを有す
るローラの如き形状の遮光体よりなる第3図同様の回転
体であり、その支持軸7の両端がアーム8によって支持
され、該アーム8と固定部間に張架した引張ばね9で上
記回転体6をプリント板20の光照射面に密接するよう
に構成していることは、第3図の場合と同様である。
また上記アーム8と一体化した補助アーム8aの先端部
8a1には、上記回転体6がプリント板20に密接した
ときに上記回転体6を照射光24から遮光する位置に上
記回転体6とほぼ同等の径と長さを有する例えば黄銅の
遮光体25を取り付けている。
8a1には、上記回転体6がプリント板20に密接した
ときに上記回転体6を照射光24から遮光する位置に上
記回転体6とほぼ同等の径と長さを有する例えば黄銅の
遮光体25を取り付けている。
10および11は上記プリント板20の他面側に上記回
転体6に対向して配置した第3図の場合と同等の光検知
器および集光レンズである。
転体6に対向して配置した第3図の場合と同等の光検知
器および集光レンズである。
かかる構成になる検査装置では、上記プリント板20を
例えば図示へ方向に所定量だけ移動することによって、
プリント板20に密接して軸回転する回転体6が該プリ
ント板20上の所定位置で紙面前後方向に並んだ複数の
スルーホール23の開口Q[−閉塞するので、照射光2
4はこれらのスルーホール23内に入射しないが同時に
該照射光24は遮光体25で遮光されるため回転体6を
直接照射することがない。
例えば図示へ方向に所定量だけ移動することによって、
プリント板20に密接して軸回転する回転体6が該プリ
ント板20上の所定位置で紙面前後方向に並んだ複数の
スルーホール23の開口Q[−閉塞するので、照射光2
4はこれらのスルーホール23内に入射しないが同時に
該照射光24は遮光体25で遮光されるため回転体6を
直接照射することがない。
従って照射光24が如に強力な場合でも、該回転体6は
熱吸収によって変形することがなくスルーホール23の
開口部の完全な閉塞が維持される。
熱吸収によって変形することがなくスルーホール23の
開口部の完全な閉塞が維持される。
一方、スルーホール23の周囲からプリント板20の光
透過性基板21内に入射する照射光24は基板21内で
実線で示す24“の如く拡散するが、スルーホール23
のメツキ層22に切れ目やピンホール等の欠陥23aが
あると拡散光の一部が該欠陥3aを通過してスルーボー
ル23内に漏れ更にレンズ11を経て光検知器10に集
光され、また上記メツキ層22に欠陥がない場合には上
記拡散光がスルーホール23内に漏れ出ることがないた
め光検知器10が動作しないことは前述の通りである。
透過性基板21内に入射する照射光24は基板21内で
実線で示す24“の如く拡散するが、スルーホール23
のメツキ層22に切れ目やピンホール等の欠陥23aが
あると拡散光の一部が該欠陥3aを通過してスルーボー
ル23内に漏れ更にレンズ11を経て光検知器10に集
光され、また上記メツキ層22に欠陥がない場合には上
記拡散光がスルーホール23内に漏れ出ることがないた
め光検知器10が動作しないことは前述の通りである。
そこで照射光24の強度すなわち明るさに関係なく、検
知器10がスルーホール23内の光信号を検知するか否
かによってスルーホール23の欠陥の有無を検出するこ
とができる。
知器10がスルーホール23内の光信号を検知するか否
かによってスルーホール23の欠陥の有無を検出するこ
とができる。
照射光の使用効率を向上させるためにラインビーム状の
照射光を使用した場合の例を示す第2図は回転体を遮光
する部分を拡大したものであり、(A)は回転体遮光手
段に表面が鏡面仕上げされたアルミ・ウェッジを使用し
た場合を、また(B)は回転体遮光手段に光学系を使用
した場合をそれぞれ示している。
照射光を使用した場合の例を示す第2図は回転体を遮光
する部分を拡大したものであり、(A)は回転体遮光手
段に表面が鏡面仕上げされたアルミ・ウェッジを使用し
た場合を、また(B)は回転体遮光手段に光学系を使用
した場合をそれぞれ示している。
図(A)で、第1図同様に21はプリント板を構成する
光透過性基板、23は該光透過性基板21を貫通するス
ルーホール、6は該スルーホール23の開口体、7はそ
の両端の支軸、8が該支軸7と嵌合して回転体6をプリ
ント板に密接せしめるアーム。
光透過性基板、23は該光透過性基板21を貫通するス
ルーホール、6は該スルーホール23の開口体、7はそ
の両端の支軸、8が該支軸7と嵌合して回転体6をプリ
ント板に密接せしめるアーム。
8aがアーム8と一体化した補助アームである。
また25は断面が二等辺三角形で長さが上記回転体6と
ほぼ等しい喫状のアルミニウム(A / )で形成され
たアルミ・ウェッジであり、該アルミ・ウェッジ25は
長手(紙面前後)方向の両端面部で上記補助アーム8a
でその頂角25a部分が照射光方向を向くように固定し
でいる。更に該頂角25aを挟む二面は鏡面状に仕上げ
ている。
ほぼ等しい喫状のアルミニウム(A / )で形成され
たアルミ・ウェッジであり、該アルミ・ウェッジ25は
長手(紙面前後)方向の両端面部で上記補助アーム8a
でその頂角25a部分が照射光方向を向くように固定し
でいる。更に該頂角25aを挟む二面は鏡面状に仕上げ
ている。
破線で示す24aは図示されない検査用の光源から射出
する紙面前後方向に長いラインビーム状照射光である。
する紙面前後方向に長いラインビーム状照射光である。
この場合の該ラインビーム状照射光24aは、すべてア
ルミ・ウェッジ25の頂角25aを挟む両面の鏡面で反
射してスルーホール23部分を除くプリント板面上に入
射して実線で示す拡散光24a°となる。
ルミ・ウェッジ25の頂角25aを挟む両面の鏡面で反
射してスルーホール23部分を除くプリント板面上に入
射して実線で示す拡散光24a°となる。
以後該拡散光24a′によって該スルーホール23の欠
陥の有無を光検知器10が検出することは第1図の場合
と同様である。
陥の有無を光検知器10が検出することは第1図の場合
と同様である。
従ってこの場合には、照射光としての使用効率がよいと
共に、回転体6を照射せず該回転体を加熱変形させるこ
とがないため、精度のよいスルーホール欠陥の検出が可
能である。
共に、回転体6を照射せず該回転体を加熱変形させるこ
とがないため、精度のよいスルーホール欠陥の検出が可
能である。
図(B)は、図(A)におけるアルミ・ウェッジ25の
代わりに光学プリズム26を使用したものであり、他の
構成は図(A)の場合と全く同等である。
代わりに光学プリズム26を使用したものであり、他の
構成は図(A)の場合と全く同等である。
上述の如(本発明により、積層数の多い換言すれば厚さ
の厚いプリン[・板でも精度のよいスルーホール欠陥の
検出が可能なプリント板のスルーホール検査装置を提供
することができる。
の厚いプリン[・板でも精度のよいスルーホール欠陥の
検出が可能なプリント板のスルーホール検査装置を提供
することができる。
第1図は本発明になるプリント板のスルーホール検査装
置の一例を示した側面図、 第2図は他の実施例を示した図、 第3図は従来のプリント板のスルーホール検査装置の一
例を示した図、 である。図において、 6は回転体、 7は支持軸、 8はアーム、 8aは補助アーム、8a’は先端部
、 9はばね、 10は光検知器、 11は集光レンズ、 20はプリント板、 21は光透過性基板、21aは透
孔、 22はメツキ層、23はスルーホール、23
aは欠陥部、24は照射光、 24a##はビーム状
照射光、25は遮光体、 26はアルミ・ウェッジ、26aは頂角、27は光学プ
リズム、 をそれぞれ表わす。 第 1 図 イで乙σつ 9で213f列どホしrこF?コ?1テ
2 図 第3m
置の一例を示した側面図、 第2図は他の実施例を示した図、 第3図は従来のプリント板のスルーホール検査装置の一
例を示した図、 である。図において、 6は回転体、 7は支持軸、 8はアーム、 8aは補助アーム、8a’は先端部
、 9はばね、 10は光検知器、 11は集光レンズ、 20はプリント板、 21は光透過性基板、21aは透
孔、 22はメツキ層、23はスルーホール、23
aは欠陥部、24は照射光、 24a##はビーム状
照射光、25は遮光体、 26はアルミ・ウェッジ、26aは頂角、27は光学プ
リズム、 をそれぞれ表わす。 第 1 図 イで乙σつ 9で213f列どホしrこF?コ?1テ
2 図 第3m
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 プリント板の片面に位置し且つ該プリント板と密着して
転動するローラ状回転体でスルーホールのみをマスクし
て該スルーホールを含む領域を回転体上方から光照射し
、該プリント板の他面に配置した光検出系でスルーホー
ル内の該プリント板からの拡散光有無を検知して当該ス
ルーホールの欠陥の有無を検出するプリント板のスルー
ホール検査装置であって、 上記回転体が、該回転体を照射光から遮光する手段を備
えてなることを特徴とするプリント板のスルーホール検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8491888A JPH01257249A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | プリント板のスルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8491888A JPH01257249A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | プリント板のスルーホール検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01257249A true JPH01257249A (ja) | 1989-10-13 |
Family
ID=13844093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8491888A Pending JPH01257249A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | プリント板のスルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01257249A (ja) |
-
1988
- 1988-04-06 JP JP8491888A patent/JPH01257249A/ja active Pending
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