JPS6221045A - スル−ホ−ル検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 印刷配線板に形成されたスルーホールの欠陥部からスル
ーホール内部に漏れてくる光を検知するスルーホール検
査装置は、検知画像の像ぶれを防止ために被検物体を瞬
間的に静止させたり、瞬間的に発光する光で被検領域を
照射したりしている。

しかし前者は検査時間が長くなり後者は十分な光量を有
する光源が得られない。そこで定當的に発光する光源か
らの光を回転多面体で偏向し、瞬間的に被検査領域を照
射することによって検査時間の高速化と光量の増大を図
ったものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は印刷配線板の検査方法に係り、特にスルーホー
ルの導電層に生ずるピンホール等の欠陥を検知するスル
ーホール検査方法に関する。

両面印刷配線板や多層印刷配線板には、異なった層に形
成された導体パターンの間の電気的接続のためにスルー
ホールが設けられており、スルーホールの内壁には電気
的或いは化学的めっき法により導電層が形成されている
。

このスルーホールの内壁に形成された導電層は常に良好
な状態にあるとは限らず、亀裂やピンホール等の欠陥が
発生することがあり、かかる欠陥の発生はその接続目的
を阻害し印刷配線板の信頼性を低下せしめる。したがっ
て製造された全ての印刷配線板に関し上記欠陥の有無を
予め検査する必要がある。

かかるスルーホールの欠陥を検査するために各種のヰ★
査方法に基づいた検査装置が開発されているが、高密度
化し細緻化する印刷配線板の検査に対処するために、例
えば検査の高速化や信頼性向上等、なお一層改良された
検査装置の実現が望まれている。

〔従来の技術〕

第４図は漏光検査法の原理を示す図である。

図においてｌは内壁面に導電層１１を有するスルーホー
ル１２を透光性基板１３に形成してなる電気部材（以下
印刷配線板と称する）を示す。かかる印刷配線板を検査
する装置は少なくともスルーホール１２を覆う遮光部体
２と、遮光部体２の背面から被検査領域を照射する照明
光３と、スルーホール１２の内部における光を検知する
光検出部４とを具えている。遮光部体２は印刷配線板１
の照明側（照明光３によって照射される側）において印
刷配線板１に密着するように配設されており、光検出部
４は遮光部体２の反対側に配設されていてレンズ４１と
光検知器例えばＴＶカメラ４２とで構成されている。

かかる装置において遮光部体２の背面から被検査領域に
照明光３を照射すると、照明光３は遮光部体２以外の部
分から透光性基板１３に入光する。

ここで導電層１１に亀裂やピンホール等の欠陥部が無け
れば、遮光部体２で覆われているスルーホール１２の内
部に光が漏れてくることは無い。しかし導電層１１に欠
陥部１４が発生していれば透光性基板１３に入光し内部
を伝播してきた光は、その欠陥部１４を通してスルーホ
ール１２の内部に漏れる。その漏洩光をレンズ４１を経
て光検知器４２で検知することによって導電層１１に生
じる欠陥の有無を検出することができる。

遮光部体２、照明光３、および光検出部４と印刷配線板
１との相対位置を順次移動させながら、上記漏光検査法
によりスルーホールの欠陥を検査することによって、ス
ルーホールの欠陥検査を自動化し高速度化することが可
能である。しかしその相対位置を連続的に移動させると
振動等によって検知画像に像ぶれが発生し信頼度が低下
する。

そこで従来の漏光検査法においては検知画像の像ぶれを
防止ために、被検物体を瞬間的に静止させたり、被検査
領域を瞬間的に発光する光で照射したりする方法がとら
れている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし従来の漏光検査法において被検物体を瞬間的に静
止させる方法は検査に要する時間が長くなり、一方被検
査領域を瞬間的に発光する光で照射する方法は照射する
光量が不足し信頼度が低下するという問題があった。

一実施例を示すブロック図である。

上記問題点は第１図に示す内壁面に導電層１１を有する
スルーホール１２を、透光性基板１３に形成してなる印
刷配線板１の片面に、少なくともスルーホール１２を覆
う遮光部体２を載置し、定常的、に発光する光源５１か
らの光を回転多面体５２で複数個の光ガイド５３に振り
分け、遮光部体２の背面から光ガイド５３からの出射光
を、被検査領域に照射して透光性基板１３内に光を注入
し、導電層１１の欠陥部１４からスルーホール１２の内
部に漏れて（る光を、撮像素子４２で映す本発明になる
スルーホール検査装置によって解決される。

〔作用〕

第１図において定常的に発光する光源５１の光を回転多
面体５２で偏向して得た照明光は、瞬間的に発光させる
光源に比べて照明時間が同じ程度で光量を十分に増大す
ることが可能である。したがってスルーホールの検査を
高速化すると共に検査の信頼性を一層向上させることが
できる。

〔実施例〕

以下第１図により本発明の実施例について詳細に説明す
る。また第２図は本発明の他の実施例を示す図であり、
第３図は本発明の変形例を示す図である。なお全図を通
し同じ対象物は同一記号で表している。

第１図において定常的に発光する光源５１からの光は回
転多面体５２で偏向されており、偏向された光はレンズ
５４を透過して複数個の光ファイバ５３に入力される。

光ファイバ５３を伝播してきた光はそれぞれレンズ５５
を透過して遮光物体２の背面かうする発振回路６２とで
構成されている。

前述のレンズ５５と印刷配線板１の間には少なくともス
ルーホール１２を遮光する遮光物体２が配設されており
、遮光物体２以外の部分から透光性基板１３内に入った
光は導電［１１に欠陥があると欠陥部Ｉ４からスルーホ
ール１２の内部に漏れ、スルーホール１２の内部は欠陥
部１４から漏れる光によって明るくなる。この光はレン
ズ４１を経て回転多面体５２と同期して作動するＴＶカ
メラ４２によって撮影され、欠陥の有無を判定する欠陥
判定回路７に入力される。

定常的に発光する光源５１からの光を回転多面体５２で
偏向しパルス化した光は、瞬間的に発光する光源に比べ
て照明時間が同じ程度で光量を十分に増大することが可
能である。したがって印刷配線板１を紙面と垂直な方向
に常に定速度で移動させながら検査しても、瞬間的に発
光する光源を用いた場合と同様に検知画像に発生する像
ぶれを防止でき検査の高速化を維持することができる。

また光量が大きいため漏洩光をＴＶカメラ４２によって
確実に撮影でき検査の信頼度が向上する。

また第２図に示す他の実施例において定常的に発光する
光源５１からの光は回転多面体５２で偏向されており、
偏向された光はレンズ５４を透過して複数個のスリット
５６、スリット５６と対向して設けられた反射鏡５７お
よび５８によって導かれ、それぞれレンズ５５を透過し
て遮光物体２の背面から被検査領域を照射する。

更に第３図に示す本発明の変形例において定常的に発光
する光源５１からの光は回転多面体５２で偏向されてお
り、偏向された光はレンズ５４を透過して複数個のスリ
ット５６に入射され、スリット５６を通過した光が直接
遮光物体２の背面から被検査領域を照射する。

第２図および第３図の実施例に示した方法を用いても第
１図における実施例と同様に、印刷配線板１を紙面と垂
直な方向に常に定速度で移動させながら検査しても、瞬
間的に発光する光源を用いた場合と同様に検知画像に発
生する像ぶれを防止でき検査の高速化を維持することが
できる。また光量が大きいため漏洩光をＴＶカメラ４２
によって確実に撮影でき検査の信頼度を向上させること
ができるＪ 〔発明の効果〕 上述の如く本発明によれば高速度で検査でき、しかも信
頼度の高いスルーホール検査装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
本発明の他の実施例を示すブロック図、第３図は本発明
の変形例を示すブロック図、第４図は漏光検査法の原理
を示す図、 である。図において １は印刷配線板、　　　２は遮光物体、３は照明光、　
　　　　４は光検出部、６は回転多面体　　　　７は欠
陥判定回路、駆動機構、 １１は導電層、　　　　　１２はスルーホール、１３は
透光性基板、　　　１４は欠陥部、４１．５４．５５は
レンズ、　４２はＴＶカメラ（撮（象素子）、 ５１は光源、　　　　　　５２は回転多面体、６２は発
振回路、 をそれぞれ表す。 券１図 本錆呵０麦形存・１合示す７でツク珂 草３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 内壁面に導電層（１１）を有するスルーホール（１２）
   を、透光性基板（１３）に形成してなる電気部材（１）
   の片面に、少なくとも該スルーホール（１２）を覆う遮
   光物体（２）を載置し、 定常的に発光する光源（５１）からの光を回転多面体（
   ５２）で複数個の光ガイド（５３）に振り分け、該遮光
   物体（２）の背面から該光ガイド（５３）からの出射光
   を、被検査領域に照射して該透光性基板（１３）内に光
   を注入し、 該導電層（１１）の欠陥部（１４）から該スルーホール
   （１２）の内部に漏れてくる光を、撮像素子（４２）で
   映すことを特徴とするスルーホール検査装置。