JPH01262483A - 半導体集積回路の試験装置 - Google Patents
半導体集積回路の試験装置Info
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- JPH01262483A JPH01262483A JP63092069A JP9206988A JPH01262483A JP H01262483 A JPH01262483 A JP H01262483A JP 63092069 A JP63092069 A JP 63092069A JP 9206988 A JP9206988 A JP 9206988A JP H01262483 A JPH01262483 A JP H01262483A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体集積回路（ＩＣ）の試験袋ごに関し、
特に電源ｒＩＬ流の試験装置に関する。
特に電源ｒＩＬ流の試験装置に関する。
半導体集積回路（ＩＣ）の試験に用いられる。一般のＩ
Ｃテスタで電源電流を試験する際には、ＩＣテスタの電
源回路から所定の大きさの直流電圧をＩＣの電源端子に
印加して、電源電流を電流検出用抵抗に流し、その抵抗
端子間の電圧を判定基準となる基？Ｆ！電圧とアナログ
比較器で比較することで、ＩＣの電源電流が基準内か基
準外かを判断していた。
Ｃテスタで電源電流を試験する際には、ＩＣテスタの電
源回路から所定の大きさの直流電圧をＩＣの電源端子に
印加して、電源電流を電流検出用抵抗に流し、その抵抗
端子間の電圧を判定基準となる基？Ｆ！電圧とアナログ
比較器で比較することで、ＩＣの電源電流が基準内か基
準外かを判断していた。
ところで、０ＭＯ５ＩＣの消費電力の測定などでは、ゲ
ートにパルスを印加する動作になるので電源電流は一定
の直流でなく、周期的に変動する。そのため、通常平滑
用コンデンサを利用して擬似的に電源電流を平滑化して
、この平滑電流を電源平均電流として測定していた。
ートにパルスを印加する動作になるので電源電流は一定
の直流でなく、周期的に変動する。そのため、通常平滑
用コンデンサを利用して擬似的に電源電流を平滑化して
、この平滑電流を電源平均電流として測定していた。
第５図〜第７図により上記試験装置および方法の概要を
説明する。
説明する。
第５図はＩＣテスタにより電源平均電流測定を行なう場
合の試験装置の構成図であり、第６図・第７図は第５図
゛の点線で囲った要部の具体回路である。第６図では、
電流検出用抵抗Ｒ５に並列にコンデンサＧＯを組合せ、
’ｔ！ｉＬ検出用抵抗Ｒｓに流れる電流を平滑化して
、擬似的に平均電流としている。第７図は電圧検出回路
５′内に、その出力側に抵抗Ｒ１、コンデンサＣ１を設
けて平滑化を行なっている。どちらも電源電流の平滑化
に対しては同様の効果を与える。以下、従来例の説明と
しては、第６図の場合につき説明する。
合の試験装置の構成図であり、第６図・第７図は第５図
゛の点線で囲った要部の具体回路である。第６図では、
電流検出用抵抗Ｒ５に並列にコンデンサＧＯを組合せ、
’ｔ！ｉＬ検出用抵抗Ｒｓに流れる電流を平滑化して
、擬似的に平均電流としている。第７図は電圧検出回路
５′内に、その出力側に抵抗Ｒ１、コンデンサＣ１を設
けて平滑化を行なっている。どちらも電源電流の平滑化
に対しては同様の効果を与える。以下、従来例の説明と
しては、第６図の場合につき説明する。
被試験ＩＣ４の電源電流の平均電流（以下電源ｆ均電流
という）の試験に際して、先ず制御部ｌはＤ／Ａ変換器
２（以下ＤＡＣという）にディジタル信号を送出し、Ｄ
ＡＣ２はディジタル信号をアナログ信号に変換出力し、
電流電圧増幅回路３で増幅し、被試験ＩＣ４の電源端子
に印加する。被試験ＩＣ４に流れる電源平均電流を求め
るため、電流電圧増幅回路３内の演算増幅器８の出力に
接続された電流電圧変換回路３０において、電流検出用
抵抗Ｒｓ に流れる電流ｒｏを平滑用コンデンサＣＯに
て平滑し、電圧検出回路５内の演算増幅器９で電流Ｉｏ
によって生じる電流検出用抵抗Ｒ５の両端の電圧を検出
する。
という）の試験に際して、先ず制御部ｌはＤ／Ａ変換器
２（以下ＤＡＣという）にディジタル信号を送出し、Ｄ
ＡＣ２はディジタル信号をアナログ信号に変換出力し、
電流電圧増幅回路３で増幅し、被試験ＩＣ４の電源端子
に印加する。被試験ＩＣ４に流れる電源平均電流を求め
るため、電流電圧増幅回路３内の演算増幅器８の出力に
接続された電流電圧変換回路３０において、電流検出用
抵抗Ｒｓ に流れる電流ｒｏを平滑用コンデンサＣＯに
て平滑し、電圧検出回路５内の演算増幅器９で電流Ｉｏ
によって生じる電流検出用抵抗Ｒ５の両端の電圧を検出
する。
次に判定回路６は、この検出電圧値と制御部１の制御の
もとに生成される判定の基準となる電圧値とをこの回路
に含まれる、図示されていないアナログ比較器でストロ
ーブ信号ＳＴＢのタイミングで逐時比較し、被試験ＩＣ
４のＴｊ、源平均電流が基準内あるいは基準外であるか
を判断し、その結果を制御部ｌへ送出していた。
もとに生成される判定の基準となる電圧値とをこの回路
に含まれる、図示されていないアナログ比較器でストロ
ーブ信号ＳＴＢのタイミングで逐時比較し、被試験ＩＣ
４のＴｊ、源平均電流が基準内あるいは基準外であるか
を判断し、その結果を制御部ｌへ送出していた。
上記に示した装置で、ＩＣの電源平均電流を測定した例
を第８図に示す、第８図には、被試験ＴＣ４に流れる実
際の電源電流と平滑用コンデンサＣＯによって平滑され
た平滑電流（電源平均電流として測定される）とを図示
しである０判定回路６で基準値と比較するが、時刻ｔｏ
における実際の電源電流が急激に増大する場合には平滑
用コンデンサＣＯの平滑能力力く追随出来ず、その結果
時刻ｔ１で平滑電流が基準値を越えると、判定回路６は
この一時刻ｔ１で平滑電流は基準値より大きいと判定し
、制御部ｌへその判定結果を送出し、制御部１はその結
果を受けて被試験ＩＣ４の電源平均電流は不良とみなす
ことがあった。
を第８図に示す、第８図には、被試験ＴＣ４に流れる実
際の電源電流と平滑用コンデンサＣＯによって平滑され
た平滑電流（電源平均電流として測定される）とを図示
しである０判定回路６で基準値と比較するが、時刻ｔｏ
における実際の電源電流が急激に増大する場合には平滑
用コンデンサＣＯの平滑能力力く追随出来ず、その結果
時刻ｔ１で平滑電流が基準値を越えると、判定回路６は
この一時刻ｔ１で平滑電流は基準値より大きいと判定し
、制御部ｌへその判定結果を送出し、制御部１はその結
果を受けて被試験ＩＣ４の電源平均電流は不良とみなす
ことがあった。
ＣＲによる平滑化は、ＣＲの時定数の選定が難しい、Ｃ
Ｒを大きくすれば、上述の基準値より大きいと判定され
ることは少なくなるが、真の電源平均ｉｘ流より、小さ
い値しか得られない。
Ｒを大きくすれば、上述の基準値より大きいと判定され
ることは少なくなるが、真の電源平均ｉｘ流より、小さ
い値しか得られない。
未発明の目的は、平滑化により擬似的に電源平均電流を
求めるものでなく、実際の電源電流から、演算的手段に
より電源平均電流を求めて、被試験ＩＣの良否の判定を
行なう試験装置を提供することにある。
求めるものでなく、実際の電源電流から、演算的手段に
より電源平均電流を求めて、被試験ＩＣの良否の判定を
行なう試験装置を提供することにある。
本発明の試験装置は、ＩＣの電源電流を電流検出用抵抗
により電圧に変換する電流電圧変換回路と、前記電圧を
検出電圧として出力する電圧検出回路と、前記検出電圧
をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、前記Ａ／
Ｄ変換器の出力を経時的にサンプリングし、サンプリン
グ値から、平均値を算出するディジタル信号処理プロセ
ッサと、前記ディジタル信号処理プロセッサの算出デー
タを受領し、ＩＣの電源平均電流が基準内にあるか否か
で良否の判定をなす制御部とを有するものである。
により電圧に変換する電流電圧変換回路と、前記電圧を
検出電圧として出力する電圧検出回路と、前記検出電圧
をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、前記Ａ／
Ｄ変換器の出力を経時的にサンプリングし、サンプリン
グ値から、平均値を算出するディジタル信号処理プロセ
ッサと、前記ディジタル信号処理プロセッサの算出デー
タを受領し、ＩＣの電源平均電流が基準内にあるか否か
で良否の判定をなす制御部とを有するものである。
電流電圧変換回路は、電流検出用抵抗のみ用い電流を抵
抗における電圧降下として変換するものであるからタイ
ムラグをもたない、また。
抗における電圧降下として変換するものであるからタイ
ムラグをもたない、また。
電圧検出回路の出力をサンプリングし、各サンプリング
値を高速のディジタル信号処理プロセッサでサンプリン
グ値の積算・平均値演算を行なうので、常に真の電源平
均電流をうることができる。
値を高速のディジタル信号処理プロセッサでサンプリン
グ値の積算・平均値演算を行なうので、常に真の電源平
均電流をうることができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施例につき説明する
。第１図は、本発明の第１実施例の構成図であり、第２
゛図は第１図の点線で囲った部分の具体的回路を示す、
第１図中の１１は制御部、１２はＤ／Ａ変換器（ＤＡＣ
）、１３は電流電圧増幅回路、１４は被試験ＩＣ，１５
は電圧検出回路、１６はＤ／Ａ変換器（ＡＤＣ）、１７
はディジタル信号処理プロセサ（ＤＳｒ）、３ＯＡは電
流電圧変換回路であり、第２図中で１８．１９は演算増
幅、Ｒｓは’ｙ電流検出用抵抗ある。すなわち電流電圧
変換回路３ＯＡでは、平滑化は行なわず、電流電圧変換
をするだけである。また、電圧検出回路１５も第５図の
電圧検出回路５と同一で平滑化は行なわない。
。第１図は、本発明の第１実施例の構成図であり、第２
゛図は第１図の点線で囲った部分の具体的回路を示す、
第１図中の１１は制御部、１２はＤ／Ａ変換器（ＤＡＣ
）、１３は電流電圧増幅回路、１４は被試験ＩＣ，１５
は電圧検出回路、１６はＤ／Ａ変換器（ＡＤＣ）、１７
はディジタル信号処理プロセサ（ＤＳｒ）、３ＯＡは電
流電圧変換回路であり、第２図中で１８．１９は演算増
幅、Ｒｓは’ｙ電流検出用抵抗ある。すなわち電流電圧
変換回路３ＯＡでは、平滑化は行なわず、電流電圧変換
をするだけである。また、電圧検出回路１５も第５図の
電圧検出回路５と同一で平滑化は行なわない。
ＩＣテスタの電源回路は、ＤＡＣ１２と電流電圧増幅回
路１３とで構成され、制御部１１の制御のもとでＤＡＣ
１２にディジタル信号を送出し、ＤＡＣ１２はそのディ
ジタル信号をアナログ信号に変換し、電流電圧増幅回路
１３に送出し、電流電圧増幅回路１３は演算増幅器１８
でそのアナログ信号を増幅して被試験ＩＣ４の電源端子
に所定の電圧を印加する。被試験ＩＣの電源電流は、電
流電圧増幅回路１３内の演算増幅器１８の出力に接続さ
れた電流検出用抵抗Ｒ５に流れる電流Ｉとほぼ等しく、
電流検出用抵抗Ｒ５はこの電流■を電圧に変換し、″ｆ
ｒＬ圧検出回路１５内の演算増幅器１９がその電圧を検
出し、ＡＤＣ１６はその電圧値であるアナログ信号をス
トローブ信号のタイミングでディジタル信号に変換し、
ＤＳＰ１７へ送出する。ＤＳＰ１７は、そのディジタル
信号をストローブ信号に回期して取り込みそれ等ディジ
タル信号の積算等の演算処理をする。制御部１１は一定
時間後にＤＳＰ１７に対して電源平均電流値の送出を要
求する。ＤＳＰ１７はａ算したデータをサンプリング数
で割算し、電源平均電流を算出し制御部１１へ送出し、
制御部１１は、その電源平均電流が基準内であるか否か
判断する。
路１３とで構成され、制御部１１の制御のもとでＤＡＣ
１２にディジタル信号を送出し、ＤＡＣ１２はそのディ
ジタル信号をアナログ信号に変換し、電流電圧増幅回路
１３に送出し、電流電圧増幅回路１３は演算増幅器１８
でそのアナログ信号を増幅して被試験ＩＣ４の電源端子
に所定の電圧を印加する。被試験ＩＣの電源電流は、電
流電圧増幅回路１３内の演算増幅器１８の出力に接続さ
れた電流検出用抵抗Ｒ５に流れる電流Ｉとほぼ等しく、
電流検出用抵抗Ｒ５はこの電流■を電圧に変換し、″ｆ
ｒＬ圧検出回路１５内の演算増幅器１９がその電圧を検
出し、ＡＤＣ１６はその電圧値であるアナログ信号をス
トローブ信号のタイミングでディジタル信号に変換し、
ＤＳＰ１７へ送出する。ＤＳＰ１７は、そのディジタル
信号をストローブ信号に回期して取り込みそれ等ディジ
タル信号の積算等の演算処理をする。制御部１１は一定
時間後にＤＳＰ１７に対して電源平均電流値の送出を要
求する。ＤＳＰ１７はａ算したデータをサンプリング数
で割算し、電源平均電流を算出し制御部１１へ送出し、
制御部１１は、その電源平均電流が基準内であるか否か
判断する。
第３図、第４図は本発明の第２実施例の構成図であり、
第３図中の１６’はＡ／Ｄ変換蕃１−ｎ群（ＡＤＣＩ−
ｎ）、２０はメモ１）回路１− ｎ群であり、Ａ−ＤＣ
ｉとメモリ回路ｉとストローブ信号ｉとが１つのセット
ｉ （ｉ＝１〜ｎ）を形成している。
第３図中の１６’はＡ／Ｄ変換蕃１−ｎ群（ＡＤＣＩ−
ｎ）、２０はメモ１）回路１− ｎ群であり、Ａ−ＤＣ
ｉとメモリ回路ｉとストローブ信号ｉとが１つのセット
ｉ （ｉ＝１〜ｎ）を形成している。
第４図はストローブ信号１−ｎのタイミング関係を示し
ている。電圧検出回路１５までの処理は、第１実施例と
同様で、１つのセットｉについて処理内容を説明すると
、ＡＤＣｉはストローブ信号ｉのタイミングでｉ時点の
アナログ信号をディジタル信号に変換し、メモリ回路ｉ
に送出し、メモリ回路ｉはそのディジタル信号を逐時格
納する。他のセットｉについても同様に行なわれる。Ｄ
ＳＰ１７は制御部１１より送出される電源平均電流の要
求信号を受はメモリ回路１−ｎ群２０内の全てのデータ
を積算し、ストローブ信号１〜ｎの全てのサンプリング
数で商をとり電源平均電流値を求め制御部１１へ送出し
、制御部１１は、その′４！源平均電流値力（基準内で
あるか否かを、判断する。
ている。電圧検出回路１５までの処理は、第１実施例と
同様で、１つのセットｉについて処理内容を説明すると
、ＡＤＣｉはストローブ信号ｉのタイミングでｉ時点の
アナログ信号をディジタル信号に変換し、メモリ回路ｉ
に送出し、メモリ回路ｉはそのディジタル信号を逐時格
納する。他のセットｉについても同様に行なわれる。Ｄ
ＳＰ１７は制御部１１より送出される電源平均電流の要
求信号を受はメモリ回路１−ｎ群２０内の全てのデータ
を積算し、ストローブ信号１〜ｎの全てのサンプリング
数で商をとり電源平均電流値を求め制御部１１へ送出し
、制御部１１は、その′４！源平均電流値力（基準内で
あるか否かを、判断する。
前述の第１実施例は比較的精度的にみて、あらく電源平
均電流を求める方法であるのに対し、第２実施例は精度
良く電源平均電流を求める方法を示している。
均電流を求める方法であるのに対し、第２実施例は精度
良く電源平均電流を求める方法を示している。
以上説明したように、本発明の試験装置は変動する電源
平均電流値を求めるのに、従来の試験装置のようにＣＲ
回路により変動する電源電流を平滑して、その平滑電流
を電源平均’！’ｌｔ流とするものでなく、実際の電源
電流を、電流検出用抵抗で電圧に変換してから、電圧検
出回路で電圧検出を行ない、Ａ／Ｄ変化後、サンプリン
グし高速なディジタル信号処理プロセッサで、経時的な
サンプリング値の積算およびその割算を行なうことで、
真の電源平均電流値を測定するものである。
平均電流値を求めるのに、従来の試験装置のようにＣＲ
回路により変動する電源電流を平滑して、その平滑電流
を電源平均’！’ｌｔ流とするものでなく、実際の電源
電流を、電流検出用抵抗で電圧に変換してから、電圧検
出回路で電圧検出を行ない、Ａ／Ｄ変化後、サンプリン
グし高速なディジタル信号処理プロセッサで、経時的な
サンプリング値の積算およびその割算を行なうことで、
真の電源平均電流値を測定するものである。
したがって、電源電流の変動のタイプがどのようなもの
であっても、この測定によりＩＣの良品、不良品の判定
を正しく行なうことのできる効果がある。
であっても、この測定によりＩＣの良品、不良品の判定
を正しく行なうことのできる効果がある。
第１図は本発明の第１実施例の構成図、第２図は第１図
の要部、第３図は第２実施例の構成図、第４図は第３図
におけるストローブ信号のタイミング波形図、第５図は
従来例の構成図。 第６図・：ＪＳ７図は第５図の要部、第８図は従来例に
よる電源平均電流を試験する際の不具合点を説明するた
めの図である。 １１・・・制御部、 １２・・・Ｄ／Ａ変換器、
１３・・・電流電圧増幅回路。 １４・・・被試験ＩＣ１１５・・・電圧検出回路、１６
・・・Ａ／Ｄ変換器、 １６′・・・Ａ／Ｄ変換器群、 １７・・・ディジタル信号処理プロセッサ、２０・・・
メモリ回路群。 ３ＯＡ・・・電流電圧変換回路。 特許出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 内 原 晋第１図 第２図 λ−ｎ群 第４図 ストロ−ブイｆ４ −」−ｍ−「−−ｌ−−１−一」Ｌ
−−「−ストローフ゛（ま号 ストＯ−）イ” ＪＬｆ’ｍ−且−ＪＬＬ（＋＋２
＋＝＋。） ＝’１ｆｌｆＬ−ｉ−１１１ｆＬ
ｉ−ｊ用Ｌ−１第５図
の要部、第３図は第２実施例の構成図、第４図は第３図
におけるストローブ信号のタイミング波形図、第５図は
従来例の構成図。 第６図・：ＪＳ７図は第５図の要部、第８図は従来例に
よる電源平均電流を試験する際の不具合点を説明するた
めの図である。 １１・・・制御部、 １２・・・Ｄ／Ａ変換器、
１３・・・電流電圧増幅回路。 １４・・・被試験ＩＣ１１５・・・電圧検出回路、１６
・・・Ａ／Ｄ変換器、 １６′・・・Ａ／Ｄ変換器群、 １７・・・ディジタル信号処理プロセッサ、２０・・・
メモリ回路群。 ３ＯＡ・・・電流電圧変換回路。 特許出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 内 原 晋第１図 第２図 λ−ｎ群 第４図 ストロ−ブイｆ４ −」−ｍ−「−−ｌ−−１−一」Ｌ
−−「−ストローフ゛（ま号 ストＯ−）イ” ＪＬｆ’ｍ−且−ＪＬＬ（＋＋２
＋＝＋。） ＝’１ｆｌｆＬ−ｉ−１１１ｆＬ
ｉ−ｊ用Ｌ−１第５図
Claims (1)
- 半導体集積回路（ＩＣ）の電源電流が周期的に変動する
動作における電源平均電流の測定において、ＩＣの電源
電流を電流検出用抵抗により電圧に変換する電流電圧変
換回路と、前記電圧を検出電圧として出力する電圧検出
回路と、前記検出電圧をディジタル信号に変換するＡ／
Ｄ変換器と、前記Ａ／Ｄ変換器の出力を経時的にサンプ
リングし、サンプリング値から、平均値を算出するディ
ジタル信号処理プロセッサと、前記ディジタル信号処理
プロセッサの算出データを受領し、ＩＣの電源平均電流
が基準内にあるか否かで良否の判定をなす制御部とを有
することを特徴とする試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63092069A JPH01262483A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 半導体集積回路の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63092069A JPH01262483A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 半導体集積回路の試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01262483A true JPH01262483A (ja) | 1989-10-19 |
Family
ID=14044174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63092069A Pending JPH01262483A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 半導体集積回路の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01262483A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106771541A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 深圳众思科技有限公司 | 电流测试方法及电子设备 |
| CN112147399A (zh) * | 2020-09-25 | 2020-12-29 | 南京林洋电力科技有限公司 | 一种模拟量采集模块及其类型自动识别电路 |
-
1988
- 1988-04-13 JP JP63092069A patent/JPH01262483A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106771541A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 深圳众思科技有限公司 | 电流测试方法及电子设备 |
| CN112147399A (zh) * | 2020-09-25 | 2020-12-29 | 南京林洋电力科技有限公司 | 一种模拟量采集模块及其类型自动识别电路 |
| CN112147399B (zh) * | 2020-09-25 | 2024-02-23 | 南京林洋电力科技有限公司 | 一种模拟量采集模块及其类型自动识别电路 |
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