JPH01264236A - ウエハブレーク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分骨〕 この発明は、ウェハ状態の半導体素子を素子単位に分離
するウェハブレーク装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第６図は、従来のウェハブレ゛−り装置の例の構成図で
ある。

図において、（１）はセミフルカットされたウェハ、（
２）は（１）のウェハを固定する粘着シート、（３）は
、この粘着シート（２）を支えるフレームリング、（４
）は、このフレームリング（３）を脱着自在に固定でき
るテーブル、（５）は、ブレーク刃（６）は、このブレ
ーク刃（５）を回転可能とする回転軸、（７）は、ブレ
ーク刃（５）回転軸（６１を固定する固定治具、である
。

次に動作について説明する。上記の様な構成の従来ウェ
ハブレーク装置においては、ブレークしたいラインとブ
レーク刃（５）の進行方向とブレーク位置を合わせ、ブ
レーク刃（５）の位置を決定する。

この際、ブレーク刃（５）は、粘着シート（２）をわず
かに突上げ高さに設定する。次にウェハ（１）を固定す
る粘着シート（２）を支えているフレームリング（３）
を装着しているテーブル（４）とブレーク刃（５）を相
対的に移動させブレーク刃（６）を第８図の位置まで動
かす。この移動の際ブレーク刃（５）によりシート（２
）と共にウェハ（１）のセミフルカットされた下部が押
し上げられ、この部分のラインがブレークされる。

第８図の状態で更に新しくブレークしたいラインにブレ
ーク刃（５）を移動させ以上の動作を繰返す。

横方向の全ラインをブレーク終了後フレームリング（３
）を固定している、テーブル（４）を９０″回転させ再
度ブレーク刃（５）の進行方向の全ラインをブレークし
ブレーク動作を終了する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハブレーク装置は、ブレーク刃（５）を用い
てダイシングラインを１ラインづつブレークしていくこ
とが必要でブレーク処理時間が長くなるという問題かぁ
、た。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ダイシングライン数に関係がなく２回のス
トロークでブレークでき、ブレーク処理時間を短縮する
ことのできるウェハブレーク装置を得ることを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るウェハブレーク装置は、フレームリング
に貼付けられた粘着シート上に固着はれたダイシング済
のウェハをウェハ表面パターンに接触する事なく、テー
プの裏側よりテ・−ブとウェハとの接着力と、フレ−ム
リングとテープの接着力、及び７１／−ムリングに接着
されたテープに裏面より荷重をＨ４けた時のテープの剛
性を利用してブレークを行う、其の時、テープの裏面よ
り荷重を掛けるためのローラーの形状を中央の径を大き
く、両端に行く程小径に構成Ｉ７、ローラー移動に対し
、フレームリングと干渉しない様にすると共に中央部の
径と両端部の径をブレークするチップサイズにより選定
するものである。

〔作用〕

この発明におけるウェハブレーク装ｆｌは、フレームリ
ングにより粘着シートを外周周辺で接着されているため
、テープ裏面から荷重を負荷した時テープの変形は境界
条件が周辺支持のドＳ肉内板と同様の変位を行うため、
テープ面内には位置ζこより全て異る応力を発生すると
共に単純な荷重形態ではプＬ／−り出来る曲率を得る事
は出来ない。そのため中央部と両端部の径を変えた中央
部が大きい両端部が小ζい径のローラーでブレークする
様にしたものである。

〔発明の実施例〕

以下この発明の一実施例を図について説明する。

第１図において（８）は、中央が最大の半径Ｒで両端部
半径がそれより小さい半径ｒで構成された中央部にふく
らみを持つローラー、（９）は、このローラー（８）を
回転可能にさせる回転軸である。第４図において（１）
はダイシングされたウェハ（２）は粘着シート（３）は
ウェハリング（４）はウェハリングを挟み込んで締付＋
１固定する様に構成した固定用テーブル、（８）は本発
明になるローラーα４は此のローラーが回転出来るよう
にするための軸受（１０は、（９）軸及びローう−（８
）を支える軸受台αＤは軸受台αｄを上下出来る様に設
えた上下動機構、０２はローラーをブレーク線に沿って
移動させるためのローラー移動機構のための移動軸０３
はその移動機構を支持するためのガイド機構の一部を示
す。第２図はローラー（８）によりブレークを開始する
時のローラー（８）とウェハ（１）粘着シート（２）及
びフレームリング（３）との関係を示す、第３図はロー
ラー（８）を移動しブレークを完了した時のローラー（
８）とウェハ（ｉ）　？ニー　粘着テープ（２）及びフ
レームリング（３）と固定用テーブル（４）の関係を示
す。

上記のウェハブレーク装置についての作用ｉｌ’ＪＩ　
作説明を行なう。

第２図において、ダイシングラインとローラー回転軸を
平行に合せてローラーの位置を決定する。

この際ローラーは、シート（２）をわずかに突き上げ所
定の高ζに第４図αＢに示す上下動機構で調整する。

次にウェハ（１）を固定する粘着シート（２）を支Ａ−
ているフレームリング（３）を装着するテーブル（４）
とローラー（８）を相対的に移動させローラー（８）を
第３図の位置まで動かす。この時ローラー（８）の回転
する方向は、ローラー回転軸（９）により、粘着シーｂ
　（２＋との接触抵抗の大きい方へ向きローラー（８）
の曲率によりダイシングラインがブレークされ第３図に
示す位置までローラーが移動し１ストローク目のブｌ／
−りを完了させた後、フレームリング（３）を固定して
いる、テーブル（４）を９０°回転させ上記一連の動作
を行ない２ストローク目のブレークでブレーク動作を終
了する。ブレーク出来る曲率半径は粘着テープの接着力
Ｐとチップサイズ縦寸法ａと横寸法す及びダイシングに
よる切残しｌ　ｔｌ　トウエバの弾性率Ｅ、によりロー
ラーの最大直径を決め、ローラー両端部の直径は、粘着
シートの外周径寸法、すなわちフレームリング内周寸法
とテープ厚み、ｔ２とテープの弾性係数Ｅ２で粘着テー
プの変位が決るためテープ中央部と、９＋周部の変位差
を求めその差よりローラーの中央部径と両端部の径の差
が大きくなる様に設計する。

なお、上記図１の実施例では中央の最大径Ｒと、両端の
最小径ｒとの間を直線で構成したウェハ径より大きい長
さｌのローラーを示したが、前述した様に粘着テープの
変位は、フレームリング内径周囲形状と、フレームリン
グ内径周囲を支えるテーブルの支持方法で境界条件が変
わることからフレームリングの形状を変えたり、フレー
ムリングの支持方法を変えたりする事で種々に粘着テー
プの変位は変わるその場合Ｒとｒの差を変化する事で同
様の効果が得られる、フレームリングに粘着テープを貼
付けた状態で粘着テープに張力を持たせたものをテープ
の裏面より割る場合、最大径Ｒと最小径ｒを結ぶ絆が直
線であっても図４に示したように他の曲線であっても同
様の効果を奏することは言うまでもない、又ローラーの
長さｅに対しても、図１や図４に示したようにウェハ径
に合わせる必要はなく、ウェハ径より短くても同様にブ
レーク可能である、又ｅを小さくしていくと、Ｒとｒの
差が少なくなりＲとｒが同寸法となったとしても、チッ
プサイズａ、やｂより４が大きい限り、本発明と同様の
効果を奏する、但しｅが小さい時はウェハ直径の端から
端までブレークするため往復させるローラーの回数は多
くなるが、ブレークする事は可能である。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によればふくらみをもつローラー
を用いることで、従来のブレーク装置では１ライン１ス
トロークのブレーク動作を行なっていたのを、２向のス
トロークで全ラインブレークできるように構成したので
、ブレーク処理時間の短縮が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例によるローラーを示す斜
視図、第２．３．４図は、この発明が、およぼす作用層
び動作を示す正面図、第５．６．７．８図は、従のブレ
ーク装置の作用及び動作を示す正面図、（１）ウェハ、
（２）は、粘着シート、（３）は、フレームリング、（
４）はテーブル、（５）は、ブレーク刃、（６）はブレ
ーク刃回転軸、（７）は、ブレーク刃固定治具、（８）
はローラー、（９）はローラー回転軸、Ｑｄは軸受台０
１）は上下動ｉ溝、（２）はローラー移動機構、０３は
ガイド機構、α→は軸受 なお図中、同一符号は、同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　フレームリングに貼付けられた粘着シートとその粘着
   シートで固定されたダイシング済みウェハを粘着シート
   の裏面から、ロ−ラーを用いてウェハ状態の半導体素子
   を素子単位に切離するウェハブレーク装置において、中
   央を最大の半径Ｒで、両端部がそれより小さい半径ｒに
   なるようにした中央部にふくらみのあるローラーとその
   ローラーが回転出来る回転機構と、そのローラーを直線
   状に移動出来る機構とを備えたウェハブレーク装置。