JPH01267264A - 薄板と粘着テープの貼着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基板となるシリコン
ウェハのような円形状などの薄板を粘着テープ上に貼着
する方法に関するもので、そののち、薄板のキャリア治
具となる円形環状などのリングを１枚の粘着テープ上に
貼着して、テープをリングに沿って切断するものである
。

〔従来の技術〕

従来では上記のようなリング状のキャリヤ治具に対する
フィルムの貼着と、フィルムに対するシリコンウェハな
どの貼着は手作業で行ない、リングの周囲からはみ出し
たフィルムの切り取りも手作業で行なっていた。

また、貼着面を上にした粘着テープ上に薄板を供給して
、上下のゴム製のローうで薄板と粘着テープを挾んで粘
着テープ上に薄板を貼る方法、あるいは粘着テープ上に
薄板を供給し、さらに、この薄板上に保護テープを供給
して、上下のゴム製のローラで挾むことにより薄板を粘
着テープと保護テープ間に挾む方法も提案されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の従来方法のうち１番目の手作業による方法は手数
がかかり、皺ができないように張るためには熱線を要す
ることは勿論であるが、２番目の上下のローラで粘着テ
ープとその上の薄板を挾んで貼着する方法は自動化でき
る点で優れているが、薄板を上下のローラで挾むために
、薄板の表面が微小な圧力でも敏感に反応し、ダメージ
を受ける場合があるという問題があった。

また、３番目の方法は粘着テープと保護テープとで３板
を挾むので、薄板の表面のダメージを保護テープで吸収
できるという点で優れているが、保護テープの供給手段
が必要であり、薄板を粘着テープ上に貼着したのちは保
護テープは不要であるため、薄板貼着後に保護テープを
巻取る手段が必要となる。

この発明は上記のような従来の方法の問題点を解決した
薄板と粘着テープの貼着方法を提供することを目的とす
るものである。

〔課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明はフィルム状の
粘着テープを粘着面を上にして長手方向に間欠的に移動
させ、送出し手段により１枚づつ送出される薄板の上面
外周を、下面外周のみを吸着面とした真空吸引式の搬送
具で吸着して上記粘着テープ上に搬送し、搬送具を下降
さセ゛てその下端の薄板を粘着テープ上に貼着したのち
、吸着を解除して搬送具を元に戻すことを特徴とする薄
板と粘着テープの貼着方法を提供するものである。

〔実施例〕

以下にこの発明方法の実施例を添付図面に示す実施例に
基づいて説明する。

図において、１はシリコンウェハのような薄板で円板の
一部を直線状に切除したものである。

このような薄板１を第１図のようにマガジン２に一定の
間隔で積上げる。このマガジン２は受台３上に載ってお
り、受台３はユニット化されたスクリュージヤツキ式、
ラックピニオン式、シリンダ式などの昇降機構４により
一定のピッチで間欠的に下降し、最下端のものから１枚
づつ送出し手段５により取出される。

送出し手段５は駆動プーリ６により第１図矢印方向に連
Ｖｔ駆動される無端搬送ベルト７を有し、マガジン２が
１ピンチ下ると最下段の薄板１がベルト７上に載って取
出されるものであるが、図示以外の機構のものを用いて
もよい。

また、マガジン２の前方には位置決め手段８を設ける。

この位置決め手段８は、例えば第３図のように、エアシ
リンダとパルスモータからなる駆動手段により４降およ
び旋回自在の真空吸引台９と、薄板１の外周一部の直線
状のオリエンテーションフラット（以下オリフラと略称
する）の向きを検出する光電式などの検出器（図示省略
）よりなるものである。

ただし、オリフラのない薄板１を扱う場合は位置決め手
段８は省略する。

１０は前記昇降機構４、送出し手段５などを取（１けた
機台で、その上部側方には機′ｎ１）を設ける。

１３は機台１０に設けたローラで、第１図、第３図の矢
印方向記間欠駆動される。

また、第５図のように機台１０に設けた巻軸１４から引
出された粘着テープ１５がガイドローラ１６を経てゴム
などの弾性材料からなるローラ１３上へ導かれる。この
テープ１５は片面に粘着面を設けたポリエチレンなどの
フィルムで、粘着面を上にしてローラ１３上に向かう。

また、機箱１）には左右方向のガイドレール１２を設け
、このレール１２に沿って適宜の駆動手段により往復す
る往復台１７を設け、この往復台１７に固定した搬送ア
ーム１８の先端には、ｎｉｒ記位置決め手段８と同様な
作用を有する位置決め手段を備えた昇降自在の搬送具１
９を設ける。

上記搬送具ＩＳは第３図に示すように）１板１の外周の
みを吸引するように下面外周にのみ複数の吸引孔２０を
有する吸着面ａを設け、この吸着面ａ以外の下面は凹入
して空間２１となり、この空間２１に空気を吹込む空気
吹込口（図示省略）を設ける。

薄板１の表面に凹凸などがあり、真空吸着のみでは、薄
板の保持が不十分な場合には、第６図、第７図に示すよ
うに、搬送具１Ｓに複数の保持爪２８を軸３１により開
閉自在に取付け、これを適宜の駆動手段で適宜のタイミ
ングで開閉するようにし、この保持爪２８で薄板１を保
持して移動に伴って爪２８を開放していく方法もある。

前記送出し手段５により送出された薄板１はこの送出し
手段５の前端に位置した条件でヘルド７が停止すること
により停止する。

ついで真空吸引台９がベルト７間から上昇し、その上面
がヘルド７の上面より上ることにより薄板１は第３図の
ようにベルト７上から吸引台９１−に移される。

この状態で吸引台Ｓが薄板１を真空吸引しながら旋回す
る。

薄板１の周縁は吸引台９の周囲より出ているから、検出
器が薄板１の周縁を検出し、オリフラが所定の向きにな
ると検出器から信号が出て吸引台９の回転が止る。

つぎに、この薄板１の直上にあった搬送具１９が下降し
てその下面外周の吸着面ａが薄板１の外周に密着すると
、搬送具１９の真空吸引が開始され薄板１を吸引すると
ともに吸引台９の真空吸引が解除され、搬送具１９が上
昇して再度のオリフラの指定方向への修正を行ない、第
１図、第３図の右方向に水平移動を始める。

一方、ベルト７上へ上昇していた吸引台９はベルト７よ
り下へ下降してつぎの薄板１の進入の邪魔にならない位
置となる。

また、上記のように搬送具１９により吸着された薄板１
は吸引孔２０による真空吸引の作用で薄板１の外周と搬
送具１９の吸着面ａ間の微細な隙間からの空間２１内の
空気の吸引による負圧により下面が凹入状になるように
変形するおそれがあるが、このような場合、図示省略し
である空気吹込口から微圧の空気を空間２１に吹込むこ
とにより変形を防止できる。

前記粘着テープ１５は一定の速度でローラ１３上を第３
図の矢印のように移動しているから、このテープ１５と
同速で前記搬送具１９を移動させつつ下降させて薄板１
をテープ１５上に貼合せる。

こうしてテープ１５上に薄板１を貼合せたのら、搬送具
１９は吸引を解除して上昇し、元の位置、すなわち、前
記位置決め手段８上に戻る。

第２図の平面図において、２２はキャリヤ治具のような
リングｚ３のマガジンで、図示省略しであるが、第１図
に示す薄板のマガジン２とほぼ同様の構造であり、受台
３と同様の受台に載って１ピツチ毎に間欠的に下降する
もので、図示省略しである駆動機構で駆動される押出部
材２４により最下端のものから間欠的に矢印方向に押出
されて位置すとなる。

一ト記リング２３に薄板１と同様のオリフラがあるとき
は、この位ｇｂに設けた位置決め手段によりオリフラの
位置決めをする。

位置すのリング２３は例えば第４図のような移送手段２
５によりテープ切断手段２６上へ移送する。

この移送手段２５は機箱１）に固定したガイドアーム２
７に沿って送りネジなどでａ退する移送台２９と、この
台２Ｓにエアシリンダなどにより昇降するよう取付けた
吸引器３０からなっている。

この吸引器３０は中空でリング状の底部突出部に多数の
吸引孔を設け、吸引器３０内をフレキシブルチューブ（
図示省略）により、図示省略しである真空吸引装置に連
結して、第４図のように機台１０上のリング２３を吸着
して上昇し、鎖線の位置へ移動して下降し、テープ切断
手段２６上のテープ１５ヘリング２３を下降させて吸引
を解除して上昇し、元の位置へ復帰する運動を行なうよ
うにする。

切断手段２６は第４図のように機箱１）に取付けたエア
シリンダ３３で昇降するアーム３４端に設ける。アーム
３４端の下部にギヤモータ３５を固定し、このモータ３
５で旋回される旋回枠３６上に軸３７を支点として揺動
するカッタアーム３８を取付け、このアーム３８の先端
に自由回転の円板状カンタ３９を取付けたもので、アー
ム３８の先端はバネ４０により押上する。

また、旋回枠３６の中心に固定した垂直の軸４１の上端
に円板状の押え仮４２を回動自在に取付、この押え板４
２の外周上面に円形環状のゴム４３を取付けて旋回枠３
６の下部周囲に設けた複数の脚に押え坂４２の下部周面
に接するローラ４４を設ける。

従って、薄板１を上面に貼着したテープ１５の移動に伴
い、薄板１が切断手段２６上にきて停止したのち、前記
のように移送手段２５が作動してリング２３をテープ１
５上へ載せた条件で、エアシリンダ３３が作用し、アー
ム３４が上昇して押え板４２上のゴム４３と吸引器３０
でリング２３とテープ１５を挟み、カッタ３９がテープ
１５に切込むとともにモータ３５により軸４１、旋回枠
３６が回転してリング２３の下面でテープ１５を切断す
る。旋回枠３６が約２回転してテープ１５を完全に切断
したとき、モータ３５が停止し、シリンダ３３によりア
ーム３４が下り、吸引器３０も復帰する。

切断後のテープ１５は第１図、第５図のように切断手段
２６の前方でローラ４５に誘導され、ガイドローラ４６
を経て巻取軸４７に巻取られる。

従って巻取られる粘着テープ１５には第５図のように切
断により孔３２がおいており、薄板１を貼着したフィル
ム１５′を張ったリング２３はテープ１５から離れてコ
ンベヤ４９上へ移動する。

このコンベヤ４９は機箱１）や機台１０に取付けたもの
である。

第１図の５１は前記のように薄板１、フィルム１５′を
張ったリング２３を収納するマガジンである。このマガ
ジン５１は前記各マガジン２．２２とほぼ類似するもの
で、適宜のユニット化された昇降機構５２により昇降さ
れる受台５３上に載り、コンベヤ４Ｓ上を移動してきた
リング２３がマガジン５１内に１牧人る毎に受台５３が
１ピツチ上昇する。

〔発明の効果〕

この発明は上記のようにフィルム状の粘着テープを貼着
面を上にして長平方向に間欠的に移動させ、送出し手段
により１枚づつ送出される薄板を、必要に応じてオリフ
ラの位置決めを行なったのち、真空吸引式の搬送具によ
り粘着面を上にした粘着テープ上に貼着していくもので
、上記搬送具はその下面周囲の吸着面のみで薄板を吸着
するものである。従って、薄板の周囲部以外は搬送具に
接触しないから、薄板の上面を傷つけるおそれがない。

また、粘着テープと薄板を上下のゴム製ローラで挾む必
要がないため、ローラの圧着により薄板の表面にダメー
ジを受けるようなおそれが全くなくなるなどの効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はごの発明方法を実施する装置の一例を示す正面
図、第２図は同上の平面図、第３図は搬送具と位置決め
手段の拡大、縦断正面図、第４図は第１図Ａ−Ａ線の拡
大縦断側簡閲、第５図は要部の斜視図、第６図は搬送具
の他の例を示す拡大縦断正面図、第７図は同上の平面図
である。 １・・・・・・薄板、　　　　５・・・・・・送出し手
段、８・・・・・・位置決め手段、１３・川・・ローラ
、１４・・・・・・巻軸、　　　１５・・・・・・テー
プ、１５′・・・・・・フィルム、１９・・・・・・搬
送具、２３・・・・・・リング、　　２６・・・・・・
テープ切断手段、３０・・・・・・吸引器。 特許出願人　日東電気工業株式会社 同　代理人　　鎌　　　１）　　文　　　−第５図 第１図 百５３図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）フィルム状の粘着テープを貼着面を上にして長手
   方向に間欠的に移動させ、送出し手段により１枚づつ送
   出される薄板の上面外周を、下面外周のみを吸着面とし
   た真空吸引式の搬送具で吸着して上記粘着テープ上に搬
   送し、搬送具を下降させてその下端の薄板を粘着テープ
   上に貼着したのち、吸着を解除して搬送具を元に戻すこ
   とを特徴とする薄板と粘着テープの貼着方法。