JPS59174677A - 保護フイルムの剥離方法 - Google Patents

保護フイルムの剥離方法

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JPS59174677A
JPS59174677A JP58051182A JP5118283A JPS59174677A JP S59174677 A JPS59174677 A JP S59174677A JP 58051182 A JP58051182 A JP 58051182A JP 5118283 A JP5118283 A JP 5118283A JP S59174677 A JPS59174677 A JP S59174677A
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船越　啓吾
Kozo Nomura
野村　晃三
Minoru Ametani
雨谷　稔
Kenji Onishi
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    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
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    • B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C63/0013—Removing old coatings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B44—DECORATIVE ARTS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は例えばシリコンウェハのような薄板状物品の
上面に貼付した粘着フィルムからなる保護フィルムの剥
離方法に関するものである。
このようなシリコンウェハの場合、表面に保護フィルム
を貼付して保護したのち、フィルムを貼付していない側
を水流を併用して研磨するなどの作業を行ない、その後
不用になった保護フィルムを剥離しなければならない。
従来はこのような保護フィルムの剥離作業を手作業で行
なっていたのできわめて手数がかかり非能率なものであ
った。
この発明の目的は上記のような問題を解決することであ
り、粘着テープを利用して簡単に保護フィルムを剥離す
る方法を提供するものである。
すなわち、この発明は薄板状物品の表面に貼付した粘着
性の保護フィルムの表面に粘着テープを圧着して、この
粘着テープの粘着力により保護フィルムを薄板状物品か
ら剥離することを特徴とするものである。
この発明は上記の通りであるから薄板状物品の上面に貼
付した保護フィルムの上面に貼付した粘着テープを引張
ることにより簡単に剥離できる。
従って粘着テープを薄板状物品の−に面の保護フィルム
に圧着させる手段と薄板状物品を保護しつつ粘着テープ
を引張る手段とからなる簡単な装置により自動的に保護
フィルムを剥離できるものである。
以下にこの発明方法の一実施例を添付図面に基づいて説
１明する。
第１図はこの発明方法を実施する装置の一例である。１
は機台であって、その上部後寄りに多数のシリコンウェ
ハのような薄板状物品２を一定の間隔で積上けたマガジ
ン３を設けるが、このマガジン内の物品２の上面には粘
着フィルムからなる保護フィルム４が貼着しである。
５は無端搬送ベルト６を有する取出し手段、７はベルト
６の駆動プーリであり、図示省略しであるモータにより
駆動される。
８はマガジンの受台で適宜の昇降機構９により一定ピッ
チにて下降し、っぎの物品２をベルト６上に載せる作用
を行なう。１０は機一台１上の側方に設けた機箱で、そ
の側面には、一対の巻軸１１゜１２を設ける。
巻軸１１には粘着テープ１４を巻き、巻軸１２は物品２
から剥離した保護フィルム４を併設した粘着テープ１４
を巻きとるものであり、巻軸１１には制動装置、巻軸１
２には駆動装置を設ける。
１５は機箱１０に設けた上下一対の圧着ローラであり、
保護フィルム４を上面に貼着した物品２と、巻軸１１か
ら引出された粘着テープ１４がこのローラ１５間を通る
と粘着テープ１４の下面の粘着面が保護フィルム４に圧
着される。
圧着ローラ１５の前方には真空吸引台１６がある。この
吸引台１６は第５図のように上面に無数の吸引孔を有す
る中空体であり、真空吸引装置に弁を介して連通してい
る。
この吸引台１６の前方には前後一対のピーリング口〜う
１７があり、粘着テープ１４はこの一対のピーリングロ
ーラ１７間を経て上方へ導かれ、ガイドローラ１８を経
て巻軸１２に巻取られる。
ピーリングローラ１７は第３図、第４図のように移動台
１９に取付けられたものでこの移動台１９は機箱１０に
設けたがイドレール２０に摺動自在に取付けられ、動力
駆動の送りネジあるいはエアシリンダなどにより移動す
る。
前記の無端搬送ベルト６により圧着ローラ１５間に送り
込まれ、上面の保護フィルム４上に粘着テープ１４の粘
着面を圧着された物品２がテープ１４とともに吸引台１
６上にくると、巻軸１１．１２および圧着ローラ１５は
−たん停止する。このとき、第５図のように物品２上に
粘着層１３を介して貼着しである保護フィルム４上にテ
ープ１４が粘着層２１を介して圧着している。
ついで、吸引台１６の真空吸引が始まり、品物２を台１
６上に固定したのち、巻軸１２のみが第１図の矢印方向
へ回転を始め、巻軸１１は制動装置の働きによって回転
を阻止され、同時に移動台１９が第３図の矢印方向に移
動を始める。
このため、圧着ローラ１５から巻軸１２間の粘着テープ
１４が巻取られ、第４図のように保護フィルム４が粘着
テープ１４に粘着して物品２から剥１（ｉトされる。こ
のときローラ１７は移動に合わせて駆動をかけることも
ある。こうして保護フィルム４が物品２から殆んど剥離
した第４図の段階で巻軸１１の制動および吸引台１６の
真空吸引を解除し、さらに巻軸１２を駆動してテープ１
４を巻取りながら、移動台１９を第４図の矢印方向に移
動させると、粘着テープ１４の粘着力で、物品２上から
大部分剥離された保護フィルム４．！：ともに物品２も
同方向に移動し、物品２はっぎの無端搬送ベルト２２上
へ戦１す、保護フィルム４は物品２から完全に剥がれて
テープ１４とともに巻軸１２に巻取られる。
また、受台１６を、第７図、第８図に示すように複数に
分割してベルト２２の後部が受台１６間に組み込まれる
ようにしてテープ剥離の終了した物品２をベルト２２に
より送り出すようにする場合がある。このさい、受台１
６を上下するようにして、物品２がベルト２２上にきた
とき受台１６を下げると物品２はベルト２２に確実に乗
り移ることができる。
また、フィルム１４は第６図１に示すように物品２の巾
に比較して狭いものでよい。
上記のように保護フィルム４が剥がされてコンベヤ２２
上へ載った物品２はっぎのマガジン２３内に送り込まれ
る。
このマガジン２３も前記マガジン３とほぼ類似するもの
で、適宜の昇降機構２４により昇降される受台２５上に
載り、物品２がマガジン２３内に１枚挿入される毎に受
台２５が１ピツチ」二昇するものである。
上記の作用においてピーリングローラ１７を有する移動
台１９が第４図の矢印方向に移動している途中において
、搬送ベルト６が駆動され、つきの物品２が圧着ローラ
１５間に送り込まれてくる。
実施例の装置では上記の作用の繰返しによりつきつきと
、物品２上の保護フィルム４が粘着テープ１４の粘着力
により剥離され、剥がされたフィルム４はテープ１４と
ともに巻軸に巻取られ、フィルム４を剥離した物品２は
マガジン２３に収容されるので、従来きわめて手数がか
が１でいた保護フィルム４の剥離作業が全自動的に能率
よく行なわれる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の剥離方法を実施する装置の一例を示
す一部縦断正面図、第２図は同上の平面図、第３図、第
４図は同上要部の作用を示す一部切欠拡大正面図、第５
図は粘着状態の拡大縦断面ｒ９．１、第６図は真空吸引
台の平面図、第７図は真空吸引台附近の他の例の縦断側
面図、第８図は同上の正面図である。 ２・・・薄板状物品、４・・・保護フィルム、１１．１
２・・・巻軸、１４・・・粘着テープ、１６・・・真空
吸引台、１７・・・ピーリングローラ。 特許出願人　　日東電気工業株式会社 同　代理人　鎌　１）文　二

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、薄板状物品の表面に貼付した粘着性の保護フィルム
    の表面に粘着テープを圧着して、この粘着テープの粘着
    力により保護フィルムを薄板状物品から剥離することを
    特徴とする保護フィルムの剥離方法。 ２、真空吸引台上に吸着固定した薄板状物品の上面に貼
    付した保護フィルムの上面に、粘着テープの粘着面を圧
    着せしめたのち、この粘着テープを挾む一対のピーリン
    グローラを薄板状物品の上′面とほぼ平行に移動させる
    ことにより粘着テープとともに保護フィルムを剥離した
    のち、この粘着テープを巻取ることを特徴とする特許請
    求の範囲第１項記載の保護フィルムの剥離方法。
JP58051182A 1983-03-24 1983-03-24 保護フイルムの剥離方法 Granted JPS59174677A (ja)

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