JPH01271321A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、産業上の利用分野 本発明は搬送装置に関する。

口、従来技術 １台のコンベヤによって１列に次々に搬送されてくる被
搬送物に所定の処理を施すに際し、生産性を上げるため
、これらの被搬送物を複数（例えば２基）の処理装置に
振分けて処理を施すことが行われている。

この場合、例えば第３図（Ａ）及び同図（Ａ）のＩ［［
Ｅ３−１１１Ｂ線矢視断面図である同図（日）に示すよ
うなベルトコンベヤを組合せた搬送装置が使用されてい
る。このコンベヤでは、基台５０に立設された支持柱５
２．５２に回転可能に支持されたプーリー５３．５３間
にベルト５４を掛渡し、図示しない駆動装置によって一
方のプーリー５３を回転させ、ベルト５４上の被搬送物
Ｗを搬送し、隣接するベルトコンベヤ（図示せず）に被
搬送物Ｗを移すようにしている。図中、５７．５７はテ
ンションプーリーであって、支点５５．５５に揺動可能
に軸支されたアーム５６．５６に取付けられてばね５８
．５８によって付勢されてベルト５４を押圧し、被搬送
物Ｗを載置するベルト部分を水平に保持して搬送に支障
ないようにする役割を果す。なお、ベルト５４は、紐状
のベルトであって２本を１対とし、被搬送物Ｗをその側
縁部で載置するようにしている。

第１７図（Ａ）〜（１）は、第３図のコンベヤを組合せ
て被搬送物Ｗを１列から２列に振分ける手順を図解的に
示す要部概略平面図である。この搬送装置では、上流側
に第一のコンベヤ４１が、下流側に２台の第二のコンベ
ヤ４３Ａ、４３Ｂが夫々位置し、これらの間に搬送方向
に直角の水平方向に移動可能な移換え用コンベヤ４２が
位置している。

第１７図（Ａ）は、上流側の搬送部（図示せず）から第
一のコンベヤ４１に被搬送物Ｗが搬送された状態を示す
。このとき、移換え用コンベヤ４２は第一のコンベヤ４
１に直線的に対向している。

図中、矢印は被搬送物Ｗの移動方向を示している（以下
、同様）。

この状態から第一のコンベヤ４１が駆動し、同図（日）
に示すように被搬送物Ｗは移換え用コンベヤ４２上に移
動する。

次に同図（Ｃ）に示すように移換え用コンベヤ４２が移
動して第二のコンベヤの一方のコンベヤ４３Ａに直線的
に対向し、次いで移換え用コンベヤ４２が駆動して被搬
送物Ｗは同図（Ｄ）に示すように第二のコンベヤ４３Ａ
に移換えられる。

次に、同図（ε）に示すように、移換え用コンベヤ４２
は第一のコンベヤ４１に直線的に対向するように移動す
ると共に、被搬送物Ｗは第二のコンベヤ４３Ａの駆動に
よって下流側の搬送部（図示せず）に搬送され、これと
同時に第一のコンベヤ４１には上流側の搬送部から次の
被搬送物Ｗが搬送される。

次に、第一のコンベヤ４１が駆動して次の被搬送物Ｗは
移換え用ｌコンベヤ４２に搬送される（同図Ｆ）。

次に、移換え用コンベヤ４２が移動して第二のコンベヤ
の他方のコンベヤ４３Ｂに直線的に対向位置しく同図（
Ｑ））、次いで移換え用コンベヤ４２が駆動してこの被
搬送物Ｗは第二のコンベヤ４３Ｂに移換えられる（同図
（Ｈ））。

次に、移換え用コンベヤ４２が移動して第一のコンベヤ
４１に直線的に対向する（同図（１））。

次に、第二のコンベヤ４３Ｂが駆動して被搬送物Ｗが下
流側の搬送部に送られると共に、更にその次の被搬送物
Ｗが上流側の搬送部から第一のコンベヤ４１に搬送され
、同図（Ａ）の状態に戻る。

上記のように第１７図（Ａ）〜（１）の９ステツプを経
て被搬送物Ｗは第一のコンベヤ４１から第二のコンベヤ
４３Ａ、４３Ｂに振分けられ、次の１０番目のステップ
で同図（Ａ）の当初の状態に戻る。このような多数のス
テップを要する振分は操作では、長時間を要して以降の
各列の処理が手際良（遂行されず、従って生産性向上の
目的が充分には達せられない。このような問題は、処理
終了後に２列のラインから被搬送物を１列のラインに集
合させる場合にも同様に存する。

ハ１発明の目的 本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、
第一の搬送手段（例えば第一のコンベヤ）とこの第一の
搬送手段よりも多い数の被搬送物を併送できる第二の搬
送手段（例えば１列の第一のコンベヤに対して２列又は
３列以上の第二のコンベヤ）との間で、被搬送物をより
少ないステップで移換えられる搬送装置を提供すること
を目的としている。

二８発明の構成 本発明は、第一の搬送手段と、被搬送物移換え手段と、
前記第一の搬送手段よりも多い数の被搬送物を併送でき
る第二の搬送手段とを有し、前記被搬送物移換え手段が
前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段の各被搬送
物授受位置に順次対向するように移動し、これによって
前記第一の搬送手段と前記第二の搬送手段との間で被搬
送物を移換え可能にする搬送装置に於いて、前記被搬送
物移換え手段がｌ複数の被搬送物授受部を有し、前記被
搬送物移換え手段の前記移動時以外は、前記被搬送物移
換え手段の第一の被搬送物授受部が前記第一の搬送手段
と前記対向の状態にありかつ前記被搬送物移換え手段の
第二の被搬送物授受部が前記第二の搬送手段と前記対向
の状態にあるように構成されていることを特徴とする搬
送装置に若しくは上下、そのほか斜めの位置で互いに平
行の方向又は任意の方向であって良い。

ホ、実施例 以下、本発明の詳細な説明する。

本発明に基く搬送装置には、先に第３図（Ａ）、（Ｂ）
で説明したベルトコンベヤが便利に使用できる。但し、
移換え用コンベヤは複数台平行に設ける。

第１図（Ａ）〜（Ｆ）は、第一のコンベヤ４１を１台と
し、移換え用コンベヤを４２Ａ、４２日の２台として左
右平行に並べ、第一のコンベヤ４１上の被搬送物Ｗを２
台の第二のコンベヤ４３Ａ、４３Ｂに移換える手順を図
解的に示す要部概略平面図である。なお、第１７図と共
通する部分には同じ符号を付して表わしである。

コンベヤ４１．４２Ａ、４２Ｂ、４３Ａ、４３Ｂはいず
れも第３図（Ａ）、（日）で説明したものを使用してお
り、第一のコンベヤ４１、第二のコンベヤ４３Ａ、４３
Ｂは固定されていて、２台の移換え用コンベヤ４２Ａ、
４２日は、第４図に示すように移動可能な共通の基台５
１上に固定されている。基台５１．Ｅに取付けられた車
輪４６．４６が床４４上に固定されたレール４５上を移
動することにより、移換え用コンベヤ４２Ａ、４２Ｂが
移動する。この移動は次のようにしてなされる。床４４
にプーリー支持部４７．４７が立設し、これら回動可能
に支持されたプーリー４８．４８にはベルト４９が掛け
られ、ベルト４９の両端は基台５１の両端面に固定され
ている。図示しない駆動装置によってプーリー４８が回
動することによって基台５１はベルト４９に引張られ、
図に於いて左右方向に移動するようにしである。第４図
は、移換え用コンベヤ４２Ａ、４２Ｂが実線位置から仮
想線で示す位置に図に於いて右方へ移動する状態を示し
ており、第１図（日）の位置から同図（Ｃ）の位置に移
動する状態を示す右側面図となっている。

第１図（Ａ）は、上流側の搬送部（図示せず）から第一
のコンベヤ４１に被搬送物Ｗが搬送された状態を示す。

このとき、第一のコンベヤと第二のコンベヤ４３Ａ、４
３日間に設けられた移換え用コンベヤ４２Ａ、４２Ｂの
うちの４２Ａが第一のコンベヤ４１に直線的に対向して
いる。図中、矢印は被搬送物Ｗの移動方向を示している
（以下、同じ）。

この状態から第一のコンベヤ４１及び移換え用コンベヤ
４２Ａが駆動し、同図（日）に示すように被搬送物Ｗは
移換え用コンベヤ４２Ａ上に移動する。

次に、同図（Ｃ）に示すように移換え用コンベヤ４２Ａ
、４２Ｂが移動し、一方のコンベヤ４２Ａが第二のコン
ベヤの一方のコンベヤ４３Ａに直線的に対向すると共に
、他方の移換え用コンベヤ４２Ｂが第一のコンベヤ４１
に直線的に対向する。

それと同時に第一のコンベヤ４１が駆動してその上に次
の被搬送物Ｗが搬送される。

次に、移換え用コンベヤ４２Ａ、４２日、第二のコンベ
ヤ４３Ａ及び第一のコンベヤ４１が駆動し、同図（Ｄ）
に示すように、移換えコンベヤ４２Ａ上の被搬送物Ｗが
第二のコンベヤ４３ＡにＷＩｉ送されると共に、第一の
コンベヤ４１上の次の被搬送物Ｗが移換え用コンベヤ４
２日に搬送される。

次に、同図（Ｅ）に示すように、移換え用コンベヤ４２
Ａ、４２日が移動して４２Ｂが第二のコンベヤの他方の
コンベヤ４３Ｂに直線的に対向し、４２Ａは第一のコン
ベヤ４１に直線的に対向する。

それと同時に第二のコンベヤ４３Ａ及び第一のコンベヤ
４１が駆動して第二のコンベヤ４３Ａ上の被搬送物は図
示しない下流側の搬送部に搬送されると共に、第一のコ
ンベヤ４１は更に次の被搬送物Ｗを受入れる。

次に、第一のコンベヤ４１、移換え用コンベヤ４２Ａ、
４２Ｅ３及び第二のコンベヤ４３日が駆動し、同図（Ｆ
）に示すように、第一のコンベヤ４１上の被搬送物Ｗは
移換え用コンベヤ４２Ａに、移換え用コンベヤ４２日上
の被搬送物Ｗは第二のコンベヤ４３日に夫々搬送される
。

次に、第一のコンベヤ４１及び第二のコンベヤ４３日が
駆動すると共に移換え用コンベヤ４２Ａ、４２Ｂが移動
し、同図（Ｇ）に示すように、移換え用コンベヤ４２Ａ
は第二のコンベヤ４３Ａに直線的に対向し、移換え用コ
ンベヤ４２日は第一のコンベヤ４１に直線的に対向し、
第二のコンベヤ４３日上の被搬送物は下流側の搬送部に
送られると共に、第一のコンベヤ４１が次の被搬送物Ｗ
を受入れる。

次に、第一のコンベヤ４１、移換え用コンベヤ４２Ａ及
び第二のコンベヤ４３Ａが駆動すると、移換え用コンベ
ヤ４２Ａ上の被搬送物Ｗは第二のコンベヤ４３Ａに、第
一のコンベヤ４１上の被搬送物Ｗは移換え用コンベヤ４
２Ｂに夫々搬送され、同図（Ｄ）の状態に戻る。

即ち、第１図（Ｄ）以降で搬送装置は定常状態となる。

第１図から次のことが理解できる。本例では、（Ｄ）〜
（Ｇ）の４ステツプで、搬送装置は、上流側から新しい
被搬送物を２回受入れると共に、載置している被搬送物
を下流側へ２回送出す。この搬送速度は、前述した第１
７図（Ａ）〜（１）の９ステツプで上流側から新しい被
搬送物を２回受入れ、載置している被搬送物を下流側へ
２回送出すのと較べて、２倍以上にスピードアップされ
ていて、生産性が著しく向上する。このような搬送のス
ピードアップは、被搬送物の第一のコンベヤから移換え
用コンベヤへの移動と移換え用コンベヤから第二のコン
ベヤへの移動とが同時に遂行されることによってもたら
されるものである。

第１図（Ａ）〜（Ｃ）のステップとこれに続く同図（Ｄ
）〜（Ｇ）のステップの繰返しとによって図示しない連
続処理装置に次々に搬入された被搬送物は、所定の処理
を施されて連続処理装置から次々と排出され、この連続
処理装置の下流側に設けられた次の搬送装置を経由して
その下流側へと搬送される。この搬送装置は、２列の第
二のコンベヤ、２列の移換え用コンベヤ及び第一のコン
ベヤがこの順に位置してなっていて、これら各コンベヤ
は第３図（Ａ）、（Ｂ）及び第４図で説明した第１図（
Ａ）〜（Ｇ）のコンベヤ４３Ａ、４３日、４２Ａ、４２
Ｂ、４１と同じ構造のものである。

この搬送装置による被搬送物搬送の手順を第２図（Ａ）
〜（Ｇ）によって説明する。

第１図（Ｅ）のステップで最初に連続処理装置に搬入さ
れた被搬送物Ｗは、やがて連続処理装置から排出され、
それと同時に第２図（Ａ）に示すように第二のコンベヤ
４３Ａが駆動してその上に載置される。

次に、第二のコンベヤ４３Ａ及びこれに直線的に対向す
る移換え用コンベヤ４２Ａが駆動し、同図（Ｂ）に示す
ように被搬送物Ｗは移換え用コンベヤ４２Ａに搬送され
る。

次に、移換え用コンベヤ４２Ａ、４２日が移動して移換
え用コンベヤ４２Ｂが第二のコンベヤ４３日に直線的に
対向する。それと同時に第二のコンベヤ４３Ｂが駆動し
て第１図（Ｇ）のステップで連続処理装置に次に搬入さ
れた被搬送物Ｗが排出され、これが第二のコンベヤ４３
日上に載置され、同図（Ｃ）の状態となる。

次に、第二のコンベヤ４３日、移換え用コンベヤ４２Ａ
、４２日及び第一のコンベヤ４１が駆動し、同図（Ｄ）
に示すように移換え用コンベヤ４２Ａ上の被搬送物Ｗは
第一のコンベヤ４１に、第二のコンベヤ４３Ｂ上の被搬
送物Ｗは移換え用コンベヤ４２Ｂに夫々移換えられる。

次に、移換え用コンベヤ４２Ａ、４２Ｂが移動して４２
Ａは第二のコンベヤ４３Ａに、４２Ｂが第一のコンベヤ
４１に夫々直線的に対向すると共に、第二のコンベヤ４
３Ａ、移換え用コンベヤ４２Ａ及び第一のコンベヤ４１
が駆動し、同図（Ｅ）に示すように第二のコンベヤ４３
Ａは連続処理装置から排出された被搬送物Ｗを受入れ、
第一のコンベヤ上の被搬送物Ｗは下流側の搬送装置（図
示せず）に送出される。

次に、第二のコンベヤ４３Ａ、４３Ｂ、移ｔＡ　エ用コ
ンベヤ４２Ａ、４２日及び第一のコンベヤ４１が駆動し
、同図（Ｆ）に示すように第二のコンベヤ４３Ａ上の被
搬送物Ｗは移換え用コンベヤ４２Ａに、移換え用コンベ
ヤ４２Ｂ上の被搬送物Ｗは第一のコンベヤ４１に夫々移
換えられる。

次に、移換え用コンベヤ４２Ａ、４２Ｂが移動して４２
Ａが第一のコンベヤ４１に、４２日が第二のコンベヤ４
３Ｂに夫々直線的に対向すると共に、第二のコンベヤ４
３日及び第一のコンベヤ４１が駆動して、同図（Ｇ）に
示すように連続処理装置から排出された被搬送物Ｗが第
二のコンベヤ４３日に移換えられ、第一のコンベヤ４１
上の被搬送物Ｗが下流側の搬送装置に送出される。

次に、第二のコンベヤ４３日、移換え用コンベヤ４２Ａ
、４２日及び第一のコンベヤ４１が駆動し、第二のコン
ベヤ４３Ｂ上の被搬送物Ｗが移換え用コンベヤ４２Ｂに
移換えられると共に、移換え用コンベヤ４２Ａ上の被搬
送物Ｗが第一のコンベヤ４１に移換えられ、同図（Ｄ）
の状態に戻る。

即ち、第２図（Ｄ）以降でこの搬送装置は定常状態とな
る。

この搬送装置でも、第２図（０）〜（Ｇ）の４ステツプ
で処理済みの被搬送物を２回受入れ、下流側の搬送装置
へ処理済みの被搬送物を２回送出し、連続処理装置の上
流側の搬送装置と同じく下流側のこの搬送装置とは同期
して駆動でき、被搬送物Ｗの搬送が滞りな（遂行される
。

これらの搬送装置を構成する各コンベヤは、第３図及び
第４図に示したベルトコンベヤに替えて、第５図及び第
６図に示す構造のローラコンベヤが使用できる。このロ
ーラコンベヤは、第５図（Ａ）に正面図で、同図（Ａ）
のＶＳ−Ｖ８線矢視である同図（Ｅｌ）に示すように、
基台５０上に立設する支柱５２．５２に架は渡された梁
５９には複数のローラ６０が回転可能に取付けられてい
て、これらローラ６０は図示しない駆動装置によって回
転する構造にしである。また、ローラ６０は幅狭にして
あって、左右２列に設けられ、被搬送物Ｗをその側縁部
で載置するようにしである。第６図は移換え用ローラコ
ンベヤの、先に説明した第４図と同様の側面図である。

２台のローラコンベヤは、移動可能な共通の基台５１上
に互に平行に固定され、第４図に於けると同様に、プー
リー４８の回動によってこれに掛渡されたベルト４９に
基台５１が引張られることによってレール４５上を移動
することにより、ローラコンベヤが移動する。

次に、第３図、第４図のベルトコンベヤを連続熱処理炉
の上流側、下流側に設置した例について説明する。

先ず、上記連続熱処理炉の構造について説明する。

半導体部品や、セラミックス基板にスクリーン印刷によ
って所定の回路パターンを形成し、焼成してなる厚膜集
積回路、或いは配向膜や偏向膜が形成された液晶表示装
置用ガラス基板等の電子部品の熱処理にあっては、塵埃
の付着によって電子部品の品質が甚だしく劣化するので
、清浄な雰囲気中で熱処理がなされる必要がある。

上記電子部品の熱処理を塵埃のない清浄な雰囲気中で連
続的に行う熱処理炉として、炉内に摺動する部分がなく
、従って本例では、塵埃の発生しない所謂ウオーキング
ビーム式搬送機構を用いた連続熱処理炉を採用している
。

このウオーキングビーム搬送機構は、長形の炉本体の長
さ方向の一端側入口から他端側出口に亘って炉本体内を
貫通する複数本の位置固定された平行棒材からなる固定
ビームと、この固定ビームに平行して上記と同様に炉本
体内を貫通する複数本の平行棒材からなりかつ前記固定
ビームに対する関係位置が上下及び長さ方向の前後に変
位可能に設けられた移動ビームとを備えている。そして
、駆動装置によって前記移動ビームを駆動して、この移
動ビームを前記固定ビームに対して上昇、前進、下降、
後退の順に反復して周期的に変位運動させることにより
、炉零°体内で被加熱物を前記両ビームに交互に載置さ
、せるようにしながら炉本体の長さ方向に漸次搬送する
ように構成されている。

このような搬送機構を備えた連続熱処理炉は、通常、鋼
片や鋼管等の熱処理に使用されている。

第９図及び第１０図は前述した電子部品（この例では液
晶表示装置用ガラス基板）の熱処理を連続的に行う連続
熱処理炉を示し、第９図は搬送方向に沿う断面図、第１
０図は第９図のＸ−Ｘ線矢視側面図である。

炉壁、天井、炉床は断熱材３からなっていて、これらは
鋼板製外殻５に覆われ、天井と炉床との内側には平板状
の赤外線ヒータ２が配置され、炉内周面ｔヒータ２をも
含めてセラミックス又は石英からなる被覆層４によって
被覆されている。これらによって筒状の炉本体１が構成
され、支持台（＾ ２３を介して基台８に裾付けられる。また、炉本体１の
一端には開口１ａによって装入口が形成され、他端には
開口１ｂによって排出口が形成されている。

炉本体１内を貫通して、複数（この例では２本を１組と
する２組）の位置固定された固定ビーム６．６と、固定
ビーム６．６と平行にかつ上下動時に固定ビーム６．６
に当接又は接触しないように配設された移動可能な複数
（この例では２本を１組とするＨＩＩ）の移動ビーム９
．９とが位置し、固定ビーム６．６と移動ビーム９．９
とは上記の組み合わせを１組として複数列（この例では
２列）互いに平行に設けられている（第１０図にＡ列及
び８列で示しである。）。また、ＷＪ７１Ｋ）！、！’
Ａ、ｇＶ開Ｉ／固定ビーム６と移動ビーム９とは、いず
れも開口１ａ、１ｂを通って本体外へ突出している。

固定ビーム６及び移動ビーム９は、いずれも石英製とし
、被加熱物の当接による発塵を防止するようにしている
。固定ビーム６は、基台８上に立設された支柱７．７に
よって装置本体外で支持されている。移動ビーム９は、
上下及び長さ方向の前後に運動可能な移動架枠１１に固
定された支柱１０．１０に装置本体外で支持されている
。

移動ビーム９は次のようにして上下及び長さ方向の前後
に駆動するようにしである。なお、第９図及び第１０図
は、移動ビーム９が上昇した状態を示している。

即ち、装置本体１の両端近くにはリンク支持部材１２．
１２が基台８上に立設され、リンク支持部材１２．１２
にはＬ字形のリンク１３．１３が回動可能に軸支され、
リンク１３．１３の先端にはローラ１４．１４が回動可
能に軸支され、ローラ１４．１４上に移動架枠１１が載
置される。リンク１３．１３の後端はリンクパー１５に
よって互いに連結されていて、一方のリンク１３のリン
クパー１５との連結部は、基台８上に支持部材１６を介
して回動可能に取付けられた油圧シリンダ１７のピスト
ンロッド端部に連結させである。これらによって上下動
駆動機構２４４が構成される。

図示しない駆動源によって油圧シリンダ１７を作動させ
、リンク１３．１３を時計方向に回動させるとローラ１
４．１４が時計方向に公転しながら下降し、ローラ１４
．１４に載置された移動架枠１１が下降して移動ビーム
９は破線矢印りのように下降し、固定ビーム６よりも下
方に位置する。

この状態から油圧シリンダ１７を駆動させてリンク１３
．１３を反時計方向に回動させると、ローラ１４．１４
は反時計方向に公転しながら上昇し、移動ビーム９は実
線矢印Ｕで示すように上昇して第１１図（Ａ）に部分正
面図で、同図（Ｂ）に側面図で示すように、移動ビーム
９は仮想線位置から実線で示す位置に上昇して固定ビー
ム６よりも上方に位置し、固定ビーム６に載置されてい
た被処理物Ｗは移動ビーム９に載置される。

基台８には軸受２０ａを備えた２枚の駆動軸支持板２０
．２０が立設され、雄ねじが螺刻された駆動軸１９が、
軸受２０ａ、２０ａによって駆動軸支持板２０．２０に
回動可能に支持され、モータ１８によって回動するよう
になっている。駆動軸１９には、その雄ねじに螺合する
雌ねじが螺設された往復動駆動部材２２が組合わされて
いて、往復動駆動部材２２は駆動軸支持板２０．２０間
に固定された案内軸２１に案内され、モータ１８の駆動
による駆動軸１９の回動によって往復動駆動部材２２が
前進、後退するようになっている。

往復動駆動部材２２は移動架枠１１から延設された延設
部１１ａの図示しない貫通孔を貫通して上方に突出して
いて、往復動駆動部材２２の上記前進、後退に伴って移
動架枠１１が前進、後退するようにしである。これらに
よって前進、後退駆動機構２４Ｂが構成される。

前進、後退駆動機構２４Ｂの上記駆動により、移動架枠
１１はローラ１４．１４を回動されながらこれらの上を
前進又は後退し、これに伴って支柱１０．１０を介して
移動架枠１１に取付けられた移動ビーム９が前進又は後
退する。

次に、前記の上下動駆動機構２４Ａ及び前進、後退駆動
機構２４日によって被処理物を装置本体内で搬送し、熱
処理を施す方法を説明する。

まず、ヒータ２に給電して装置本体１内を所定の温度分
布に加熱する。次に、第９図に仮想線で示すように移動
ビーム９を固定ビーム６の下方に位置させる。それには
、図示しない駆動源により油圧シリンダ１７を駆動して
リンクパー１５により連動するリンク１３．１３を時計
方向に回動させることにより、ローラ１４．１４を下降
させて移動架枠１１を下降させる。また、モータ１８は
比較的高速で運転して往復動駆動部材２２を駆動するこ
とよにり移動架枠１１を矢印Ｒの向きに速やかに移動さ
せて、移動ビーム９を被処理物搬送方向に対して所定位
置まで後退させておく。

以上の準備態勢をとってから、被処理物（この例では幅
４００＋＋ｎ＋　、長さ４００＋＋ｕ＋＋　、厚さ１．
１ｍＩｍの液晶表示装置用ガラス基板）Ｗを本体の入口
１ａ側の固定ビーム６の上に載置する。そして、油圧シ
リンダ１７を上記と逆に駆動して、リンク１３．１３を
反時計方向に回動させローラ１４．１４を上昇させるこ
とよにり、移動ビーム９を矢印Ｕの方向に上昇させる。

この上昇過程で、固定ビーム６の上に載っていた被処理
物Ｗは移動ビーム９により押し上げられて固定ビーム６
から離れ、第４図に実線で示すように移動ビーム９によ
り保持される。

第１１図（Ａ）、（日）はこの被処理物移動動作を示し
たものである。その後、モータ１８を所定の時間だけ低
速運転して往復動駆動部材２２を前記と逆に駆動するこ
とにより、移動ビーム９を矢印Ｆの方向に所定の距離し
たけ徐々に移動させる。

これにより、第１１図（Ａ）に示したように、被処理物
Ｗが搬送方向に距ｆｌＬだけ緩やかに搬送される。次ｌ
、最初のようにシリンダ１７を駆動して、リンク１３．
１３を介しローラ１４．１４を下降させる（第９図の矢
印Ｏ）ことにより、第１１図（Ａ）、（日）に仮想線で
示したように、移動ビーム９を始めの低位置に下降させ
る。この下降過程で、被処理物Ｗは前記と逆に移動ビー
ム９の上から固定ビーム６の上に移し変えられる。この
後、最初に述べたようにモータ１８を高速で運転して往
復動駆動部材２２を駆動し、移動ビーム９を速やかに始
めの所定位置まで後退させる。

上記のようにして、移動ビーム９は固定ビーム６に対し
て第１２図に示すように移動変位するのを１サイクルと
して繰り返し駆動させる。この駆動で、前進を緩速、後
退を急速にするのは、時間的な加熱特性曲線が段階状に
ならないよう、緩やかに温度変化させるためである。こ
のように前進と後退とで移動速度を変えるには、例えば
、回転用できる。また、通常の交流誘導モータを使用し
、自動車の変速に於けると同様にシフトフォークによる
ギアチェンジで駆動軸１９の回転数を変えるようにして
も良い。

前述した移動ビーム９の周期的な変位運動により、被処
理物Ｗは装置本体１内を前記の距離りずつ徐々に搬送方
向に搬送されて、所定の温度領域を所定の時間で通過し
、その間に所要の表面処理が施される。

第７図は第９図の炉本体１の装入口１ａの手前に設置さ
れた搬送装置の正面図、第８図は同じく炉本体１の排出
口１ｂの後に設置された搬送装置の正面図である。但し
、第７図、第８図共、炉本体１は断面図で示しである。

これら搬送装置は、第１図〜第４図で説明したベルトコ
ンベヤ４１（第一のコンベヤ）、４２Ａ、４２日（移換
え用コンベヤ）、４３Ａ、４３Ｂ（第二のコンベヤ）か
らなっている。

第７図に於いて、図示しない搬送手段によって搬送され
て第一のコンベヤ４１上に載置された被処理物（被搬送
物）Ｗは、第１図で説明したステップに従って移換え用
コンベヤ４２Ａ又は４２Ｂを経由して第二のコンベヤ４
３Ａ又は４３日に移換えられる。このとき、移動ビーム
９は、下降して後退していて被処理物Ｗの下位の実線位
置にある。この状態ざら移動ビーム９が一点鎖線で示す
位置に上昇すると、被処理物ＷはＡ列又は８列の移動ビ
ーム９に載置されて一点鎖線で示す位置に位置する。次
に、移動ビーム９が前進して被処理物Ｗは二点鎖線で示
すように炉本体１内に装入される。

引続き、前述した移動ビーム９の運動により、被処理物
Ｗは、炉本体１内を通過して所定の熱処理が施され、第
８図に示すように排出口１ｂから炉本体１外に排出され
る。この状態で第二のコンベヤ４３Ａ、４３Ｂのベルト
５４は移動ビーム９の下位に位置している０次に移動ビ
ーム９が一点鎖線で示す位置に下降し、被処理物Ｗは実
線位置から一点鎖線で示すように下降して第二のコンベ
ヤ４３Ａ又は４３日上に載置される。その後は第２図で
説明した手順に従って、被処理物Ｗは、移換え用コンベ
ヤ４２Ａ又は４２日を経由して第一のコンベヤ４１１に
移換えられ、次いで図示しない搬送手段によって下流側
へ搬送される。

第１３図は、カートリッジに多数収容された未処理の被
処理物を順次取出して上流側の搬送装置を経由して炉本
体のＡ列、８列のウオーキングビームに搬送し、出炉後
に下流側の搬送装置を経由して空のカートリッジに熱処
理済みの被処理物を順次収容させる模様を図解的に示す
要部概略平面図である。

炉本体１の装入口１ａ側には、固定ビーム３０及び移動
ビーム３１を有するウオーキングビーム搬送装置２９、
カセットプラットフォーム２８、フォーク２６を有する
移載装置２５が位置し、被加熱物Ｗを多数（この例では
４０枚）収容したカセット４０が、ウオーキングビーム
搬送装置２９によって搬送され、カセットプラットフォ
ーム２８に載置される。更に、被加熱物Ｗはフォーク２
６によってカセットプラットフォーム上のカセット４０
から上流側搬送装置２７Ｆの第一のコンベヤ４１に移さ
れ、第１図及び第７図のステップに従ってＡ列及び８列
（第１０図参照）の移動ビーム９に１枚ずつ移載される
ようになっている。炉本体１の排出口１ｂ側には、下流
側搬送装置２７Ｒが設置され、搬送装置２７Ｒに続いて
固定ビーム３７及び移動ビーム３８を有する滞留部３６
、装入口側と同様の移載装置２５、同じくカセットプラ
ットフォーム２８、同じくウオーキングビーム搬送装置
２９が位置していて、処理済みの被加熱物Ｗは、Ａ列及
び８列の移動ビーム９から第２図及び第８図のステップ
に従って下流側搬送装置２７Ｒを経由して滞留部３６に
搬送され、次いで移載装置２５のフォーク２６によって
カセットプラットフォーム２８上の空のカセット４０に
２枚ずつ順次装入される。空のカセット４０は、排出口
１ｂ側のウオーキングビーム搬送装置２９によって供給
され、排出口１ｂ側のカセットプラットフォーム２８に
移載される。

装入口側（図に於いて左側）のウオーキングビーム２９
によって搬送されてくるカセット４０は、カセットプラ
ットフォーム２８に載置され、カセット４０に対して移
載装置２５のフォーク２６が未処理の被処理物Ｗを１枚
ずつ支持する。カセット４０中では被処理物Ｗは僅かな
間隔を以て上下に重なるようにして収容されていて、フ
ォーク２６は、前進して上から順に被処理物Ｗの下側に
挿入され、次の上昇で被処理物Ｗを支持し、次いで後退
してカセット４０から離脱する。カセットプラットフォ
ーム２８は被処理物Ｗの取出し毎に上昇して次の被処理
物Ｗの取出しに備える。被処理物Ｗを支持したフォーク
２６は、搬送装置２７Ｆの第一のコンベヤ４１上に移動
し、次いで下降してこの被処理物Ｗは第一のコンベヤ４
１上に載置される。引続き、被処理物Ｗは、第１図のス
テップを経て前述したように第二のコンベヤ４３Ａ又は
４３日から炉本体内のＡ列又は８列の移動ビーム９に搬
送され、移動ビーム９の前述の運動によって炉本体内を
Ａ列、８列に沿って通過し、所定の熱処理が施される。

カセットプラットフォーム２８上で被加熱物Ｗが全部持
去られて空になったカセット４０は、Ａ列、８列の方向
に直交するウオーキングビーム搬送装置３３によって所
定位置に搬送される。この搬送は固定ビーム３４及び移
動ビーム３５によってなされる。

熱処理が終了して炉本体から排出された処理済みの被処
理物Ｗは、第８図のようにして下流側搬送装置２７Ｒの
第二のコンベヤ４３Ａ又は４３日に移され、第２図のス
テップを経て第一のコンベヤ４１に搬送される。

次に、滞留部３６の移動ビーム３８が被処理物Ｗの下流
に前進し、次いで上昇し、被処理物Ｗは移動ビーム３８
に移され、移動ビーム３８の運動によって被処理物Ｗは
滞留部３６の後端側へ搬送される。次に移載装置２５の
フォーク２６の前述とは逆の運動により、被処理物Ｗは
カセットプラットフォーム２８上の空のカセット４０に
１枚ずつ次々と収容される。滞留部３６は、被処理物Ｗ
の３枚分の領域で滞留可能となっていて、排出口側で新
しい空のカセットを供給する操作又はフォーク２６によ
る被処理物の移載操作に支障をきたした場合、これに対
応する時間を稼げるようになっている。

かくして、処理済みの被加熱物Ｗを所定枚数収容したカ
セット４０は、排出口側（図に於いて右側）のウオーキ
ングビーム搬送装置３３（固定ビーム３４及び移動ビー
ム３５を有する）によって所定位置に搬送される。

左右側のウオーキングビーム搬送装置２９．２９．３３
．３３及び滞留部３６の搬送機構は、第１１図及び第１
２図によって説明した機構と同様の機構によっている。

以上のようにして、上流側及び下流側の搬送装置２７Ｆ
、２７Ｒの手際良い搬送の助けにより、装入口側のカセ
ッ）４０中の未処理の被処理物Ｗは、１枚ずつ次々と炉
本体内のＡ列、８列の２列を時間の無駄なく順調に通過
して熱処理が施され、排出口側の空のカセット４０に次
々と収容される。

第１４図の搬送装置では、移換え用コンベヤのベルトを
互いに平行にかつ等間隔３本設けた１台のコンベヤとし
、中央のベルトを共通にして２本４″つのベルトで交互
に被処理物を載置するようにしている。即ち、移換え用
コンベヤ６２は、被搬送物Ｗを載置する位置が６２ａ、
６２ｂの２通りになっている。移換え用コンベヤを上記
のような構造とすることにより、第二のコンベヤ４３Ａ
、４３ＥＩの間隔を狭くすることができる。その他第１
図の搬送装置に於けると同様である。

第１４図（Ａ）〜（Ｇ）は、この搬送装置を用いて被搬
送物Ｗを第一のコンベヤ４１から２台のコンベヤ４３Ａ
、４３Ｂに移換える手順を図解的に示す要部概略平面図
である。この移換えの手順は、第１図（Ａ）〜（Ｇ）で
説明した手順と全く同様であるので、その説明は省略す
る。また、移換え用コンベヤ６２を使用し、第２図（Ａ
）〜（Ｇ）で説明したと全く同様にして被搬送物を２台
のコンベヤから１台のコンベヤに順次移換えることがで
きる。

搬送装置を上記のように構成することにより、移換え用
コンベヤを簡単な構造にして設備費を低減させ、またス
ペースも小さくて済むようになる。

第１５図（Ａ）〜（Ｋ）は、被搬送物を１台のコンベヤ
から３台のコンベヤに振分けて移換える手順を図解的に
示す要部概略平面図である。３台の第二のコンベヤ４３
Ａ、４３Ｂ、４３Ｃのうちの中央のコンベヤ４３日は、
第一のコンベヤ４１の延長上に位置している。各コンベ
ヤの構造は第１図のそれと同様である。

先ず、第１５図（Ａ）に示すように、移換え用コンベヤ
のうちの一方のコンベヤ４２Ａを第一、第二のコンベヤ
４１．４３８間に位置せしめ、第一のコンベヤ４１を駆
動して図示しない上流側の搬送部から被搬送物Ｗを第一
のコンベヤ４１に載置させる。

次に、第一のコンベヤ４１及び移換え用コンベヤ４２Ａ
が駆動し、同図（Ｂ）に示すように、被搬送物Ｗは第一
のコンベヤ４１から移換え用コンベヤ４２Ａに移換えら
れる。

次に、移換え用コンベヤが移動し、移換え用コンベヤ４
２Ａが第二のコンベヤ４３Ａに、移換え用コンベヤ４２
Ｅ３が第一のコンベヤ４１に夫々直線的に対向する（同
図（Ｃ））。

次に、第一のコンベヤ４１、移換え用コンベヤ４２Ａ及
び第二のコンベヤ４３Ａが駆動し、移換え用コンベヤ４
２Ａ上の被搬送物Ｗが第二のコンベヤ４３Ａに移換えら
れると共に、第一のコンベヤ４１には上流側搬送部から
次の被搬送物Ｗが搬送される（同図（Ｏ））。

次に、第一のコンベヤ４１、移換え用コンベヤ４２Ｂ及
び第二のコンベヤ４２Ａが駆動し、第一のコンベヤ４１
上の被搬送物Ｗが移換え用コンベヤ４２Ｂに移換えられ
ると共に、第二のコンベヤ４３Ａ上の被搬送物は図示し
ない下流側搬送部へ搬送される（同図（Ｅ））。

次に、移換え用コンベヤが移動して移換え用コンベヤ４
２Ｂが第二のコンベヤ４３Ｃに、移換え用コンベヤ４２
Ａが第一のコンベヤ４１に夫々直線的に対向する（同図
（Ｆ））。

次に、第一のコンベヤ４１、移換え用コンベヤ４２Ｂ及
び第二のコンベヤ４３Ｃが駆動し、移換え用コンベヤ４
２日上の被搬送物Ｗが第二のコンベヤ４３Ｇに移換えら
れると共に、上流側搬送部から次の被搬送物Ｗが第一の
コンベヤ４１に搬送される（同図（Ｇ））。

次に、第一のコンベヤ４１、移換え用コンベヤ４２Ａ、
４２Ｂ及び第二のコンベヤ４３Ｃが駆動し、第一のコン
ベヤ４１上の被搬送物Ｗがこれと対向する移換え用コン
ベヤ４２Ａに移換えられると共に、第二のコンベヤ４３
Ｃ上の被搬送物は、下流側搬送部へ搬送される（同図（
Ｈ））。

次に、移換え用コンベヤ４２Ａ及び第二のコンベヤ４３
Ｂが駆動して移換え用コンベヤ４２Ａ上の被搬送物Ｗは
第二のコンベヤ４３Ｂに移換えられる（同図（１））。

次に、第一のコンベヤ４１が駆動して上流側搬送部から
次の被搬送物Ｗが第一のコンベヤ４１に搬送される（同
図（Ｊ））。

次に、第一のコンベヤ４１、移換え用コンベヤ４２Ａ及
び第二のコンベヤ４３Ｂが駆動し、第一のコンベヤ４１
上の被搬送物Ｗが移換え用コンベヤ４２Ａに移換えられ
ると共に、第二のコンベヤ４３Ｂ上の被搬送物は下流側
搬送部へ搬送される（同図（Ｋ））。

次に、移換え用コンベヤが移動して移換え用コンベヤ４
２Ａが第二のコンベヤ４３Ａに直線的に対向し、同図（
Ｃ）の状態に戻る。

即ち、第１５図（Ｃ）以降で搬送装置は定常状態となる
。

第１５図から次のことが理解できる。この例では、（Ｃ
）〜（Ｋ）の９ステツプで、搬送装置は、上流側から新
しい被搬送物を３回受入れると共に、載置している被搬
送物を３列の下流側搬送部へ１回ずつ送出す。また、上
記とは逆に、第２図の手順に準じて、３列の上流側搬送
部から１列の下流側搬送部へ被搬送物を次々と移換える
ことも可能である。更に、同様の機構によって複数列の
第一の搬送部とこれよりも更に多数列の第二の搬送部と
の間で被搬送物を移換えることも可能である。

以上の例は、複数の第二のコンベヤが平面的に配置され
ている例であるが、第二のコンベヤを上下方向に重ねる
ようにして配置することも可能である。

第１６図（Ａ）〜（Ｇ）は、第一のコンベヤ４１と、第
一のコンベヤ４１よりも上位及び下位に位置する第二の
コンベヤ４３Ａ、４３Ｂとの間に上下動可能な移換え用
コンベヤ４２Ａ、４２日を上下に配置し、移換え用コン
ベヤ４２Ａ、４２Ｂを用いて第一のコンベヤ４１と第二
のコンベヤ４３Ａ、４３Ｂとの間で被搬送物Ｗを移換え
る手順を図解的に示す要部概略正面図である。移換え用
コの駆動装置（図示せず）による。

この搬送装置は、移換え用コンベヤ４２Ａ、４２Ｂの移
動が上下動であるほかは、第１図（Ａ）〜（Ｇ）で説明
した手順と同様であるので、搬送のステップの説明は省
略する。

以上、本発明の詳細な説明したが、そのほか本発明の技
術思想に基いて種々の変形が可能である。例えば、本発
明は、液晶表示装置用ガラス基板のような板状の電子部
品以外の種々の部品、半製品、完成品の搬送に適用でき
、被搬送物は固体のほか、容器に収容された流体又は粉
体であっても良い。また、搬送装置を構成する各搬送手
段は、前述のベルトコンベヤ、ローラコンさヤのほか、
被搬送物の形状、大きさに応じて適ｌの搬送手段とする
ことができる。また、各搬送手段の搬送方向は、互い平
行の方向のほか、種々の方向とすることができる。

へ１発明の詳細 な説明したように、本発明に基く搬送装置は、被搬送物
移換え手段が複数の被搬送物授受部（例えば前述の移換
え用コンベヤ４２Ａ、４２日又は移換え用コンベヤ６２
の被搬送物載置位置６２ａ、６２ｂ）を有し、被搬送物
移換え手段の移動時以外は、第−及び第二の被搬送授受
部と第−及び第二の搬送手段とが、被搬送物移換え可能
に対向するようにしているので、第一の搬送手段と被搬
送物移換え手段との間での被搬送物の授受、及び被搬送
物移換え手段と第二の搬送手段との間での被搬送物の授
受を同時に行うことができる。従って、被搬送物を、第
一の搬送手段から被搬送物移換え手段へ移換え、更に被
搬送物移換え手段から第二の搬送手段へ移換える、又は
その逆の手順で被搬送物を第二の搬送手段から第ｊの搬
送手段へ移換えるのに要するステップが少なくて済む。

その結果、第一の搬送手段と、これよりも多い数の被搬
送物を併送できる第二の搬送手段との間で被搬送物が手
際良く搬送され、ライン数の異なる前工程、後工程間で
の被搬送物の搬送が迅速に遂行されるようになり、生産
性が向上する。

【図面の簡単な説明】 第１図〜第１６図は本発明の実施例を示すものであって
、 第１図（Ａ）、（日）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ
）　、及び（Ｇ）は第一のコンベヤから２列の第二コン
ベヤへ被搬送物を振分けて搬送する手順を示す要部概略
平面図、 第２図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ
）、及び（Ｇ）は２列の第二のコンベヤから第一のコン
ベヤへ被搬送物を搬送する手順を示す要部概略平面図、 第３図はベルトコンベヤを示し、同図（Ａ）は正面図、
同図ＣＢ）は同図（Ａ）のＩ［［Ｂ−１１１Ｂ線矢視断
面図、 第４図は移換え用ベルトコンベヤの側面図、第５図はロ
ーラコンベヤを示し、同図（Ａ）は正面図、同図（日）
は同図（Ａ）の１日−Ｖ８線矢視断面図、 第６図は移換゛え用ローラコンベヤの側面図、第７図は
連続熱処理炉装入口側の搬送装置の正面図、 第８図は連続熱処理炉排出口側の搬送装置の正面図、 第９図は連続熱処理炉の搬送方向に沿う断面図、第１０
図は第９図のＸ−Ｘ線矢視側面図、第１１図は移動ビー
ム及び被処理物の運動を説明するための概略図で、同図
（Ａ）は概略部分正面図、同図（日）は概略側面図、 第１２図は移動ビームの変位運動要領を説明するための
説明図、 第１３図は連続熱処理炉及びその前後の搬送装置の要部
概略平面図、 第１４図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（
Ｆ）及び（Ｇ）は第一のコンベヤが゛ら２列の第二のコ
ンベヤへ被搬送物を振分けて搬送する、他の例による手
順を示す要部概略平面図、 第１５図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ＣＤ）、（Ｅ）、（
Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）、（１）、（Ｊ）及び（Ｋ）は第
一のコンベヤから３列の第二のコンベヤへ被搬送物を振
分けて搬送する手順を示す要部概略平面図 第１６図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（
Ｆ）及び（Ｇ）は第一のコンベヤから２列の第二のコン
ベヤへ被搬送物を振分けてである。 第１７図（Ａ）、（日）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（
Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）及び（１）は第一のコンベヤから
２列の第二のコンベヤへ被搬送物を振分けて搬送する、
従来の手順を示す要部概略平面図である。 なお、図面に示された符号に於いて、 １・・・・・・・・・炉本体 ２・・・・・・・・・ヒータ ６・・・・・・・・・固定ビーム ９・・・・・・・・・移動ビーム ２４Ａ・・・・・・・・・上下動駆動装置２４日・・・
・・・・・・前進、後退駆動装置４１・・・・・・・・
・第一のコンベヤ４２Ａ、４２Ｂ、６２・・・・・・・
・・移換え用コンベヤ６２ａ、６２ｂ・・・・・・・・
・被搬送物載置位置４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ・・・・・
・・・・第二のコンベヤ４６・・・・・・・・・車輪 ４８．５３・・・・・・・・・プーリー４９．５４・・
・・・・・・・ベルト ５０．５１・・・・・・・・・基台 ６０・・・・・・・・・ローラ Ｗ・・・・・・・・・被搬送物（被処理物）である。 代理人　　　弁理士　　逢坂　宏 第１図 （Ｇ） 第１１図 （Ａ） ＝：二二二−’、：＝＝−＝＝；、ニニ丁＝二：：ニニ
了＝二謁ゝ９ 第１２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、第一の搬送手段と、被搬送物移換え手段と、前記第
   一の搬送手段よりも多い数の被搬送物を併送できる第二
   の搬送手段とを有し、前記被搬送物移換え手段が前記第
   一の搬送手段及び前記第二の搬送手段の各被搬送物授受
   位置に順次対向するように移動し、これによって前記第
   一の搬送手段と前記第二の搬送手段との間で被搬送物を
   移換え可能にする搬送装置に於いて、前記被搬送物移換
   え手段が複数の被搬送物授受部を有し、前記被搬送物移
   換え手段の前記移動時以外は、前記被搬送物移換え手段
   の第一の被搬送物授受部が前記第一の搬送手段と前記対
   向の状態にありかつ前記被搬送物移換え手段の第二の被
   搬送物授受部が前記第二の搬送手段と前記対向の状態に
   あるように構成されていることを特徴とする搬送装置。