JPH01284982A - 形状検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、カメラの撮像範囲よりも大きな被検査対象
の全体形状を、撮像することによって検査する形状検査
装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は従来の形状検査装置を示すブロック接続図であ
り、図において、１は被検査対象である基板、２は基板
１を搭載する検査ステージとじてのＸＹ子テーブル３は
ＸＹ子テーブルを駆動する制御部、４は基板１を照明す
る照明装置、５は基板１の検査部分を撮像するためのビ
デオカメラ等の撮像装置、６は撮像装置５よりの画像を
処理する画像処理装置である。

次に動作について説明する。まず、被検査対象である基
板１の検査時には、照明装置４が点燈され、制御部３は
第６図に示すような基板１の検査箇所８ａがｍｌｉ！Ｉ
装置５の視野に入るように、ＸＹ子テーブルを移動させ
て位置決め（停止）する。

次に、この位置決めの完了後、制御部３は画像処理装置
６に位置決め完了コマンドを送り、これにより画像処理
袋′１１６は撮像装置５からの検査箇所８ａの画像を取
り込み、処理する。そして、この画像取り込みの完了後
、画像処理装置６は制御部３に次の検査位置移動コマン
ドを送る。この検査位置移動コマンドを受けて、制御部
３は次の検査箇所８ｂが撮像装置５の視野に入るような
位置に、ＸＹ子テーブルを移動させて、位置決めする。

そしてこれらの一連の動作の繰り返しにより、基板１の
検査箇所８ａ、８ｂ、・・・８ｎ全体の形状検査を行う
ことができる。ここでこのＸＹ子テーブルの動作は、第
７図のタイムチャートに示すようであり、移動の速度か
安定的に停止した時点で、各検査箇所８ａ、８ｂの画像
をとり込む。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の形状検査装置は以上のように構成されているので
、画像数り込みのなめにＸＹ子テーブルを一画面取り込
み期間ごとに停止させねばならず、次回の画像の取り込
みを行うには、ＸＹ子テーブルを移動させ、再び位置決
めすることが必要であり、この結果、一つの基板１を検
査するための時間が長くなるなどの問題点があった。

尚近似技術として、特開昭５９−８１７６７号がある。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ＸＹ子テーブル連続移動させながら、高速に
基板などの被検査対象の検査を実施できる形状検査装置
を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る形状検査装置は、被検査対象を載せた検
査ステージを一定速度で連続的に移動させ、画１象処理
装置が一定時間ごとにパルス光源である照明装置を発光
させて、撮像装置により上記被検査対象の静止画像を撮
像するとともに、この静止画像と前回の静止画像とを画
像処理装置においてつなぎ合せて、被検査対象全体の画
像を連続的に得て、この被検査対象の検査を高速に実施
できるようにしたものである。

〔作用〕

この発明における画像処理装置は、照明装置をパルス発
光させることにより、移動中の被検査対象より静止画像
を撮像し、この静止画像と前回撮像した静止画像とを、
撮像時の検査ステージの位置や画像中の特徴的パターン
の位置によりつなぎ合わせて、一連の被検査対象全体の
静止画像を得て、形状検査を迅速に行えるようにする。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、１は被検査対象である基板、２は基板１を
搭載する検査ステージとしてのＸＹ子テーブル３はＸＹ
子テーブルを駆動する制御部、４Ａは基板１を照明する
パルス光源であるストロボスコープ等の照明装置、５は
基板１の検査部分を撮像するビデオカメラ等の撮像装置
、６Ａは撮像装置５よりの画像を処理する画像処理装置
、７は撮像装置ｔ５に対する基板１の位置を示すための
、ＸＹ子テーブルに収り付けられた位置検出装置である
。

次に動作について゛説明する。まず、被検査対象たる基
板１の検査開始時には、制御部３がＸＹ子テーブルを検
査開始位置に移動させる０次に、制御部３は画像処理装
置６Ａに検査開始コマンドを送り、ＸＹ子テーブルを検
査終了位置まで一定速度で移動させる。

検査開始コマンドを受は収った画像処理装置６Ａは、一
定時間ごとに照明装置４Ａにパルス発光信号を送り、こ
れをパルス発光させて撮像装置５より静止画像を取り込
む。また、上記パルス発光と同時に、位置検出装置７よ
り、上記静止画像の基板１上の位置データを取り込む。

この画像取込時の位置データおよび前回の画像取込時の
位置データにもとすき、画像処理袋Ｗ６Ａは各位置にお
ける静止画像をつなぎ合わせていく。そして、かかる静
止画像の収り込みおよびつなぎ合わせの動作を繰り返す
ことにより、基板１の検査部分全体の一連の画像情報を
得ることができる。ここでＸＹ子テーブルの動作は第２
図のタイムチャートに示すようであり、ＸＹ子テーブル
の連続移動中に画像を取り込んでいく。

第３図はこの発明の他の実施例を示す、上記実施例では
位置検出装置７により検査部分の位置なる静止画像の基
板上における位置を検知し、これらの各位置ごとの画像
をつなぎ合わせるものを示したが、画像上の特徴的パタ
ーンを検知して、以下のように画像をつなぎ合わせるこ
ともできる。

すなわち、第３図はこの実施例の形状検査装置を示すブ
ロック接続図であり、これについて説明すると、検査開
始時に、まず制御部３が検査ステージとしてのＸＹ子テ
ーブルを検査開始位置に移動させ、画像処理袋′１ｔ６
Ａに検査開始コマンドを送る。こうして、ＸＹ子テーブ
ルを第２図に示すように検査終了位置まで一定速度で移
動させる。

検査開始コマンドを受けた画像処理装置６は、一定時間
ごとに照明袋Ｗ４をパルス発光させ、静止画像を取り込
む、この場合において、ＸＹ子テーブルの速度は、この
静止画像と前回の静止画（’Ａとが一部分重複するよう
な速度とする。いま、第４図（ａ）に示すように、前回
とり込んだ静止画像中の特徴的パターン９の画面内の位
置を（ｘｌ。

ｙ＋）とし、一方、今回とり込んだ静止画像中の前回画
像と同一の特徴的パターン９の画面内の位置を、第４図
（ｂ）に示すように＜ｘｉ　、　３’ｚ　）とする。こ
のとき、今回の静止画像中のある点の位置（ｘ、ｙ）は
、前回の静止画像での座標を用いると、第４図（Ｃ）に
示す座標から（ｘ、ｙ）±（ｘ＋　　Ｘ２　、　ｙ＋　
　ｙｘ　）と表わすことができ、ＸＹ子テーブルの移動
圧Ｈ”　（Ｘ　ＩＸ　２　＊　５’　ＩＶ２）によって
、今回の画面と前回の画面とをつなぎ合わせることがで
きる。そして、このような座標演算を画像処理装置６Ｂ
において行うことにより、その特徴的パターン９を基準
として今回および前回の各静止画像をつなぎ合わせるこ
とができ、検査部分全体の一連の画像情報を順次高精度
に得ることができる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば照明装置をパルス発光
させ、このパルス発光のタイミングで画像処理装置によ
り撮像した複数の静止画像をつなぎ合わせて、被検査対
象全体の画像情報を得るように構成したので、ＸＹ子テ
ーブルど検査ステージの移動停止や位置決めの動作がな
くなり、連続的にしかも迅速に一連の静止画像を得るこ
とができ、従って被検査対象の形状検査を効率的に行え
るものが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による形状検査装置を示す
ブロック接続図、第２図は第１図に示すＸＹ子テーブル
速度と画像取込タイミングとの関係を示すタイムチャー
ト、第３図はこの発明の他の実施例を示すブロック接続
図、第４図は第３図に示す画像処理装置により処理する
画像の説明図、第５図は従来の形状検査装置を示すブロ
ック接続図、第６図は第１図における基板の検査箇所を
示す説明図、第７図は第５図に示すＸＹ子テーブル速度
と画像取込タイミングとの関係を示すタイムチャートで
ある。 １は被検査対象（基板）、２は検査ステージ（ＸＹ子テ
ーブル、３は制御部、４Ａは照明装置（ストロボスコー
プ）、５は撮像装置、６Ａは画像処理装置。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 第１ＷＪ 第５図 第７図 面イ煽２）ＱＶΣ−ｉイ載二耳ｑｙ 取込　取込　取込　取込

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検査対象を搭載して一定速度で移動する検査ステージ
   と、上記被検査対象を照明する照明装置と、上記被検査
   対象を撮像する撮像装置と、上記照明装置をパルス発光
   させるとともに、このパルス発光のタイミングで撮像し
   た複数の静止画像をつなぎ合わせて、上記被検査対象全
   体の画像情報を得る画像処理装置とを備えた形状検査装
   置。