JPH01290564A - セラミックス製品焼成用シート - Google Patents
セラミックス製品焼成用シートInfo
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- JPH01290564A JPH01290564A JP63122397A JP12239788A JPH01290564A JP H01290564 A JPH01290564 A JP H01290564A JP 63122397 A JP63122397 A JP 63122397A JP 12239788 A JP12239788 A JP 12239788A JP H01290564 A JPH01290564 A JP H01290564A
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- Japan
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- sheet
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- ceramic product
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 28
- 238000001354 calcination Methods 0.000 title 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 16
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 14
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical group C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 6
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 4
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はアルミナ基板やその他のセラミックス製品を焼
成する際に、製品相互の融着を防止するために用いられ
るセラミックス製品焼成用シートの改良に関するもので
ある。
成する際に、製品相互の融着を防止するために用いられ
るセラミックス製品焼成用シートの改良に関するもので
ある。
（従来の技術）
アルミナ基板のようなセラミックス製品を焼成する際に
は、相互間の融着を防止するために高融点セラミックス
からなる敷粉を人手により基板上に散布しつつセラミッ
クス製品を積層して焼成する方法が採用されていたが、
この方法によるときには散布の不均一が原因となってセ
ラミックス製品にうねり、ピンホール等の欠陥が生じ易
い、このために本出願人は特開昭６２−４９１８８号公
報、特開昭６３−５０３６９号公報等に示されるように
可燃性のシートの表面に収縮防止用のカーボン粉と敷粉
としてのセラミックス粉とを層着させたセラミックス製
品焼成用シートを既に開発し、実用に供している。
は、相互間の融着を防止するために高融点セラミックス
からなる敷粉を人手により基板上に散布しつつセラミッ
クス製品を積層して焼成する方法が採用されていたが、
この方法によるときには散布の不均一が原因となってセ
ラミックス製品にうねり、ピンホール等の欠陥が生じ易
い、このために本出願人は特開昭６２−４９１８８号公
報、特開昭６３−５０３６９号公報等に示されるように
可燃性のシートの表面に収縮防止用のカーボン粉と敷粉
としてのセラミックス粉とを層着させたセラミックス製
品焼成用シートを既に開発し、実用に供している。
ところがこのようなシートは一定寸法のシートとして販
売され、使用時にセラミックス製品の寸法に合わせて切
断して使用されるものであるために、切断端面に可燃性
の゛シートがカーボン粉によって保護されない状態で露
出することが避けられず、焼成時に可燃性のシートの端
面が酸化して周縁部分が熱収縮することを防止できない
という問題が残されていた。このような熱収縮は敷粉密
度の不均一やセラミックス製品どうしの融着を招くおそ
れがあるため、高度の平滑性が要求されるセラミックス
基板の焼成時には太き目のシートを用いなければならな
い問題があった。
売され、使用時にセラミックス製品の寸法に合わせて切
断して使用されるものであるために、切断端面に可燃性
の゛シートがカーボン粉によって保護されない状態で露
出することが避けられず、焼成時に可燃性のシートの端
面が酸化して周縁部分が熱収縮することを防止できない
という問題が残されていた。このような熱収縮は敷粉密
度の不均一やセラミックス製品どうしの融着を招くおそ
れがあるため、高度の平滑性が要求されるセラミックス
基板の焼成時には太き目のシートを用いなければならな
い問題があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は上記のような従来の問題点を解決して、シート
を切断して使用しても切断面から熱収縮を生ずるおそれ
がなく、アルミナ基板などのセラミックス製品をうねり
や融着のない平滑度の高い状態で正しく焼成することが
できるセラミックス製品焼成用シートを目的として完成
されたものである。
を切断して使用しても切断面から熱収縮を生ずるおそれ
がなく、アルミナ基板などのセラミックス製品をうねり
や融着のない平滑度の高い状態で正しく焼成することが
できるセラミックス製品焼成用シートを目的として完成
されたものである。
（課題を解決するための手段）
本発明はカーボンファイバーを骨格とするカーボンシー
トの凹凸をカーボン粉末により平滑化したうえ、更にそ
の表面に高融点セラミックスからなる敷粉の層を形成し
たことを特徴とするものである。
トの凹凸をカーボン粉末により平滑化したうえ、更にそ
の表面に高融点セラミックスからなる敷粉の層を形成し
たことを特徴とするものである。
（実施例）
以下に本発明を図示の実施例とともに更に詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の第１の実施例を模式的に示すもので、
（１１はカーボンファイバーを骨格とするカーボンシー
ト、（２）はこのカーボンシート（１）の片面あるいは
両面にバインダー（３）によって接着され形成された高
融点セラミックスからなる敷粉の層である。
（１１はカーボンファイバーを骨格とするカーボンシー
ト、（２）はこのカーボンシート（１）の片面あるいは
両面にバインダー（３）によって接着され形成された高
融点セラミックスからなる敷粉の層である。
カーボンシート（１）としては、例えば２０μｍ程度の
径のカーボンファイバーをエポキシ系のバインダーによ
り湿式抄紙した厚さ０．０１＊ｍ、坪量２０ｇ／ｍ”、
嵩密度０．０４ｇ／ｅ＋Ｊのものを用いることができる
。
径のカーボンファイバーをエポキシ系のバインダーによ
り湿式抄紙した厚さ０．０１＊ｍ、坪量２０ｇ／ｍ”、
嵩密度０．０４ｇ／ｅ＋Ｊのものを用いることができる
。
しかしカーボンファイバー１００％のカーボンシートは
生産性が悪い欠点があるので、パルプを８０（重量）％
以下の割合で混入して抄紙したカーボンシートを用いる
こともできる。しかしパルプの比率がこれ以上になると
焼成時に熱収縮を生じ易くなるので好ましくない。
生産性が悪い欠点があるので、パルプを８０（重量）％
以下の割合で混入して抄紙したカーボンシートを用いる
こともできる。しかしパルプの比率がこれ以上になると
焼成時に熱収縮を生じ易くなるので好ましくない。
このようなカーボンシートはカーボンファイバーが粗で
あってその表面にはかなりの凹凸があるため、カーボン
シー） （１１の表面に直接敷粉（２）を接着させると
カーボンシート（１）の凹凸がそのまま敷粉（２）の凹
凸としてあられれることがある。そこで本発明において
は微細なカーボン粉末（４）がカーボンシート（１１の
表面に塗布され、カーボンシートｆｉｌを平滑化してい
る。
あってその表面にはかなりの凹凸があるため、カーボン
シー） （１１の表面に直接敷粉（２）を接着させると
カーボンシート（１）の凹凸がそのまま敷粉（２）の凹
凸としてあられれることがある。そこで本発明において
は微細なカーボン粉末（４）がカーボンシート（１１の
表面に塗布され、カーボンシートｆｉｌを平滑化してい
る。
また、カーボン粉末（４）の上面に接着される敷粉（２
）としては、ＡＩｔｏ、、Ｚｒ０ｔ、ＢＮＳＭｇＯ，Ｍ
ｇ０−Ａｌｚ（ｈなどの高融点セラミックスの粉体が用
いられる。
）としては、ＡＩｔｏ、、Ｚｒ０ｔ、ＢＮＳＭｇＯ，Ｍ
ｇ０−Ａｌｚ（ｈなどの高融点セラミックスの粉体が用
いられる。
その粒度は特に限定されるものではないが、例えば平均
粒径が４０μ−程度のものが適当である。なおバインダ
ー（３）としてはアクリル樹脂系バインダー、エポキシ
樹脂系バインダー等を用いることができる。
粒径が４０μ−程度のものが適当である。なおバインダ
ー（３）としてはアクリル樹脂系バインダー、エポキシ
樹脂系バインダー等を用いることができる。
第２図は本発明の第２の実施例を示すものであり、敷粉
（２３がバインダー（３）と混練された状態で予めカー
ボン粉末により平滑化されたカーボンシート（１）の片
面又は両面に塗布されている点が第１の実施例と相違す
るが、その他の点は第１の実施例と同様である。
（２３がバインダー（３）と混練された状態で予めカー
ボン粉末により平滑化されたカーボンシート（１）の片
面又は両面に塗布されている点が第１の実施例と相違す
るが、その他の点は第１の実施例と同様である。
（作用）
このように構成されたものは、アルミナ基板等のセラミ
ックス製品を焼成する際に基板とセラミックス製品との
間やセラミックス製品相互間に挟んで用いられるもので
あり、焼成時の高温によってカーボンシー） （１１及
びカーボン粉末（４）は焼失するが高融点の敷粉（２）
がそのまま残ってセラミックス製品の融着を防止するこ
とは従来のこの種のシートと同様である。しかし、本発
明のシートは従来のシートとは異なり基材としてカーボ
ンシートｉｌｌが用いられており、このカーボンシート
（１）は焼失する際にもカーボンファイバーが骨格とな
って全く収縮しない特性を持つものである。従って本発
明のシートはどの部分から切断して使用しても従来のよ
うに切断端面から収縮するおそれがなく、熱収縮による
セラミックス製品のうねりやセラミックス製品周縁部の
融着等が生ずるおそれはない。また本発明のシートはカ
ーボンシート（１）自体の表面の凹凸がカーボン粉末（
４）によって平滑化され、その表面に敷粉（２）の層を
形成したものであるから、シートの表面が極めて平滑な
ものであり、これを用いて焼成したセラミックス製品も
極めて平滑性に優れたものとなる。
ックス製品を焼成する際に基板とセラミックス製品との
間やセラミックス製品相互間に挟んで用いられるもので
あり、焼成時の高温によってカーボンシー） （１１及
びカーボン粉末（４）は焼失するが高融点の敷粉（２）
がそのまま残ってセラミックス製品の融着を防止するこ
とは従来のこの種のシートと同様である。しかし、本発
明のシートは従来のシートとは異なり基材としてカーボ
ンシートｉｌｌが用いられており、このカーボンシート
（１）は焼失する際にもカーボンファイバーが骨格とな
って全く収縮しない特性を持つものである。従って本発
明のシートはどの部分から切断して使用しても従来のよ
うに切断端面から収縮するおそれがなく、熱収縮による
セラミックス製品のうねりやセラミックス製品周縁部の
融着等が生ずるおそれはない。また本発明のシートはカ
ーボンシート（１）自体の表面の凹凸がカーボン粉末（
４）によって平滑化され、その表面に敷粉（２）の層を
形成したものであるから、シートの表面が極めて平滑な
ものであり、これを用いて焼成したセラミックス製品も
極めて平滑性に優れたものとなる。
例えば１３０ｔｍ Ｘ １３０＋ｎ Ｘｏ、７５ｇｍ厚
さのグリーンシートを８枚積層して焼成する際に、従来
の焼成シートを用いて焼成されたグリーンシートのうね
りは１０ｍスパンで最大７．４ ｐ ｍ 、平均４．３
μｍ、１小２．０μｍであったが、本発明のシートを用
いた場合には最大２．５μｍ、平均１．４μｍ、最小０
．５μｍと大幅に平滑化された。なおり−ボン粉末（４
）を省いたシートを用いた場合のうねりは、最大４．１
／７ｍ、平均２．０μｍ、最小１．２μｍであった。
さのグリーンシートを８枚積層して焼成する際に、従来
の焼成シートを用いて焼成されたグリーンシートのうね
りは１０ｍスパンで最大７．４ ｐ ｍ 、平均４．３
μｍ、１小２．０μｍであったが、本発明のシートを用
いた場合には最大２．５μｍ、平均１．４μｍ、最小０
．５μｍと大幅に平滑化された。なおり−ボン粉末（４
）を省いたシートを用いた場合のうねりは、最大４．１
／７ｍ、平均２．０μｍ、最小１．２μｍであった。
（発明の効果）
本発明は以上の説明からも明らかなように、切断して使
用した場合にも切断面から熱収縮を生ずることがなく、
アルミナ基板のようなセラミックス製品をうねりや融着
を生ずることなく極めて優れた平滑度で焼成することが
できるものであるから、従来の問題点を一掃したセラミ
ックス製品焼成用シートとして、産業の発展に寄与する
ところは極めて大である。
用した場合にも切断面から熱収縮を生ずることがなく、
アルミナ基板のようなセラミックス製品をうねりや融着
を生ずることなく極めて優れた平滑度で焼成することが
できるものであるから、従来の問題点を一掃したセラミ
ックス製品焼成用シートとして、産業の発展に寄与する
ところは極めて大である。
第１図は本発明の第１の実施例を示す断面図、第２図は
第２の実施例を示す断面図である。 （１）：カーボンシート、（２）：敷粉、（４）：カー
ボン粉末。
第２の実施例を示す断面図である。 （１）：カーボンシート、（２）：敷粉、（４）：カー
ボン粉末。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、カーボンファイバーを骨格とするカーボンシート（
１）の凹凸をカーボン粉末（４）により平滑化したうえ
、更にその表面に高融点セラミックスからなる敷粉（２
）の層を形成したことを特徴とするセラミックス製品焼
成用シート。 ２、カーボンシート（１）が８０（重量）％以下のパル
プを含有するものである特許請求の範囲第１項記載のセ
ラミックス製品焼成用シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63122397A JPH01290564A (ja) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | セラミックス製品焼成用シート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63122397A JPH01290564A (ja) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | セラミックス製品焼成用シート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01290564A true JPH01290564A (ja) | 1989-11-22 |
| JPH0474305B2 JPH0474305B2 (ja) | 1992-11-25 |
Family
ID=14834782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63122397A Granted JPH01290564A (ja) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | セラミックス製品焼成用シート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01290564A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03242381A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-29 | Ishizuka Glass Co Ltd | 焼成用シート |
-
1988
- 1988-05-19 JP JP63122397A patent/JPH01290564A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03242381A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-29 | Ishizuka Glass Co Ltd | 焼成用シート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0474305B2 (ja) | 1992-11-25 |
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