JPH01296069A - 真空容器 - Google Patents
真空容器Info
- Publication number
- JPH01296069A JPH01296069A JP63127718A JP12771888A JPH01296069A JP H01296069 A JPH01296069 A JP H01296069A JP 63127718 A JP63127718 A JP 63127718A JP 12771888 A JP12771888 A JP 12771888A JP H01296069 A JPH01296069 A JP H01296069A
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- JP
- Japan
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- container
- vacuum
- lid
- vessel
- space
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は加熱、冷却、保温装置を備えた真空容器に関す
るものである。
るものである。
従来の技術
第４図は従来の真空容器の構成を示す。
１は容器、２は蓋、３は排気装置、４は排気管、６は容
器の内部空間、９はシール部材である。容器１の内部空
間６の気体は排気装置３により排気され、またシール部
材ｅによシ容器１の内部空間５と外部空間を隔離するこ
とにより容器１の内部空間５を真空状態に保つ。
器の内部空間、９はシール部材である。容器１の内部空
間６の気体は排気装置３により排気され、またシール部
材ｅによシ容器１の内部空間５と外部空間を隔離するこ
とにより容器１の内部空間５を真空状態に保つ。
発明が解決しようとする課題
しかし、第４図で示すような従来構成では容器１の内部
空間６を大気開放した際などに外部空間より気体が内部
空間６に侵入し、気体分子が容器１の内壁面に付着する
が再度容器１の内部空間６と外部空間とを隔離し排気装
置３で内部空間６内の気体を排気する際に容器１の内壁
面に付着した気体分子が容易に排気されず、容器１の内
部空間６内に間欠的に放出されるために、内部空間５内
が一定の真空度に達するために必要な時間が長くなる。
空間６を大気開放した際などに外部空間より気体が内部
空間６に侵入し、気体分子が容器１の内壁面に付着する
が再度容器１の内部空間６と外部空間とを隔離し排気装
置３で内部空間６内の気体を排気する際に容器１の内壁
面に付着した気体分子が容易に排気されず、容器１の内
部空間６内に間欠的に放出されるために、内部空間５内
が一定の真空度に達するために必要な時間が長くなる。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明の第１の発明は、真
空容器の壁面内に埋め込まれた加熱装置からなるもので
ある。また、本発明の第２の発明は真空容器の壁面内に
埋め込まれた冷却装置からなるものである。また、本発
明の第３の発明は真空容器の壁面内の加熱装置及び冷却
装置の外側に設けられた真空層からなるものである。
空容器の壁面内に埋め込まれた加熱装置からなるもので
ある。また、本発明の第２の発明は真空容器の壁面内に
埋め込まれた冷却装置からなるものである。また、本発
明の第３の発明は真空容器の壁面内の加熱装置及び冷却
装置の外側に設けられた真空層からなるものである。
作 用
本発明の第１の発明の作用は、真空容器の壁面内に埋め
込まれた加熱装置により真空容器を効率よく加熱し、容
器の内壁面に付着した気体分子を容器１の内部空間５内
に効率的に蒸発させることができる。また、本発明の第
２の発明の作用は真空容器の壁面内に埋め込まれた冷却
装置により例えば加熱された真空容器を短時間で冷却さ
せることができる。また、本発明の第３の発明の作用は
真空容器の壁面内の加熱装置及び冷却装置の外側に設け
られた真空層により、例えば真空容器を加熱装置で加熱
する際に熱の外部空間への放散を遮断することができる
。
込まれた加熱装置により真空容器を効率よく加熱し、容
器の内壁面に付着した気体分子を容器１の内部空間５内
に効率的に蒸発させることができる。また、本発明の第
２の発明の作用は真空容器の壁面内に埋め込まれた冷却
装置により例えば加熱された真空容器を短時間で冷却さ
せることができる。また、本発明の第３の発明の作用は
真空容器の壁面内の加熱装置及び冷却装置の外側に設け
られた真空層により、例えば真空容器を加熱装置で加熱
する際に熱の外部空間への放散を遮断することができる
。
実施例
以下本発明の第１の実施例について、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第１図ａは第１の実施例その１の真空容器の縦断面図、
第１図すは第１図ａのＡ矢視図、第１図Ｃは第１の実施
例その２の真空容器の縦断面図、第１図ｄは第１図Ｃの
Ａ矢視図である。
第１図すは第１図ａのＡ矢視図、第１図Ｃは第１の実施
例その２の真空容器の縦断面図、第１図ｄは第１図Ｃの
Ａ矢視図である。
第１図ａ、第１図す、第１図Ｃおよび第１図ｄにおいて
、１は容器、２は蓋、３は排気装置、４は排気管、６は
容器の内部空間、６は加熱装置、９はシール部材である
。
、１は容器、２は蓋、３は排気装置、４は排気管、６は
容器の内部空間、６は加熱装置、９はシール部材である
。
容器の内部空間５内の気体は排気装置３によシ排気され
る。同時に加熱装置６で容器１および蓋２を加熱し、容
器１および蓋２の内壁面に付着した気体分子を容器の内
部空間６内に放出させ、排気装置３で排気することによ
り容器の内部空間６を短時間で一定の真空度にするとと
もに到達真空度を高くすることが可能となる。
る。同時に加熱装置６で容器１および蓋２を加熱し、容
器１および蓋２の内壁面に付着した気体分子を容器の内
部空間６内に放出させ、排気装置３で排気することによ
り容器の内部空間６を短時間で一定の真空度にするとと
もに到達真空度を高くすることが可能となる。
以下本発明の第２の実施例について、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第２図とは第２の実施例その１の真空容器の縦断面図、
第２図すは第２図ａのＡ矢視図、第２図Ｃは第２の実施
例その２の真空容器の縦断面図、第２図ｄは第２図Ｃの
Ａ矢視図である。
第２図すは第２図ａのＡ矢視図、第２図Ｃは第２の実施
例その２の真空容器の縦断面図、第２図ｄは第２図Ｃの
Ａ矢視図である。
第２図ａ、第２図す、第２図ａおよび第２図ｄにおいて
、７は冷却装置である。
、７は冷却装置である。
加熱装置６で容器１および蓋２を加熱し容器１および蓋
２の内壁面に付着した気体分子を容器の内部空間５に放
出させ排気装置３で排気した後、容器１および蓋２を冷
却装置７で短時間で冷却しながら排気装置３で排気する
ことによシ、温度の関数である容器の内部空間６の圧力
を更に下げる（真空度を高くする。）ことが可能となる
。
２の内壁面に付着した気体分子を容器の内部空間５に放
出させ排気装置３で排気した後、容器１および蓋２を冷
却装置７で短時間で冷却しながら排気装置３で排気する
ことによシ、温度の関数である容器の内部空間６の圧力
を更に下げる（真空度を高くする。）ことが可能となる
。
以下本発明の第３の実施例について、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第３図ａは第３の実施例その１の真空容器の縦断面図、
第３図すは第３図ａのＡ矢視図、第３図Ｃは第３の実施
例その２の真空容器の縦断面図、第３図ｄは第３図Ｃの
Ａ矢視図である。
第３図すは第３図ａのＡ矢視図、第３図Ｃは第３の実施
例その２の真空容器の縦断面図、第３図ｄは第３図Ｃの
Ａ矢視図である。
第３図ａ、第３図す、第３図Ｃおよび第３図ｄにおいて
、８は真空層、１０の矢印は真空層８内を真空に保つた
めの排気方向を示す。
、８は真空層、１０の矢印は真空層８内を真空に保つた
めの排気方向を示す。
真空層８を加熱装置６および冷却装置７の外側に備える
ことによシ、加熱装置６で容器１および蓋２を加熱する
際に外部空間への熱の放散を遮断することができる。ま
た、冷却装置７で容器１および蓋２を冷却する際に外部
空間からの熱伝達を遮断するととができる。
ことによシ、加熱装置６で容器１および蓋２を加熱する
際に外部空間への熱の放散を遮断することができる。ま
た、冷却装置７で容器１および蓋２を冷却する際に外部
空間からの熱伝達を遮断するととができる。
発明の効果
以上述べたように、本発明の第１の発明によれば、真空
容器の壁面内に埋め込まれた加熱装置により真空容器を
効率よく加熱し、真空容器の内壁面に付着した気体分子
を真空容器の内部空間に放出させ、排気装置で排気させ
ることにより真空容器の内部空間の真空度を効率よく高
めるとともに到達真空度をも高めることができる。
容器の壁面内に埋め込まれた加熱装置により真空容器を
効率よく加熱し、真空容器の内壁面に付着した気体分子
を真空容器の内部空間に放出させ、排気装置で排気させ
ることにより真空容器の内部空間の真空度を効率よく高
めるとともに到達真空度をも高めることができる。
また、本発明の第２の発明によれば、真空容器の壁面内
に埋め込まれた冷却装置により、例えば加熱された真空
容器を短時間で効率的に冷却し温度の関数である圧力を
下げる（真空度を高める。）ことができる。
に埋め込まれた冷却装置により、例えば加熱された真空
容器を短時間で効率的に冷却し温度の関数である圧力を
下げる（真空度を高める。）ことができる。
また、本発明の第３の発明によれば、真空層を加熱装置
および冷却装置の外側に備えることによシ、加熱装置で
真空容器を加熱する際に外部空間への熱の放散を遮断し
効率的な加熱ができる。また、冷却装置で真空容器を冷
却する際に外部空間からの熱伝達を遮断し効率的な冷却
ができる。
および冷却装置の外側に備えることによシ、加熱装置で
真空容器を加熱する際に外部空間への熱の放散を遮断し
効率的な加熱ができる。また、冷却装置で真空容器を冷
却する際に外部空間からの熱伝達を遮断し効率的な冷却
ができる。
第１図＆は本発明の第１の実施例その１真空容器の縦断
面図、第１図すは第１図ａのＡ矢視図、第１図Ｃは本発
明の第１の実施例その２の真空容器の縦断面図、第１図
ｄは第１図ＣのＡ矢視図、第２図ｄは本発明の第２の実
施例その１の真空容器の縦断面図、第２図すは第２図ａ
のＡ矢視図、第２図Ｃは本発明の第２の実施例そ６の２
の真空容器の縦断面図、第２図ｄは第２図ＣのＡ矢視図
、第３図ａは本発明の第３の実施例その１の真空容器の
縦断面図、第３図すは第３図ａのＡ矢視図、第３図Ｃは
本発明の第３の実施例その２の真空容器の縦断面図、第
３図ｄは第３図ＣのＡ矢視図、第４図は従来の真空容器
の縦断面図である。 １・・・・・・容器、２・・・・・・蓋、３・・・・・
・排気装置、４・・・・・・排気管、６・・・・・・加
熱装置、７・・・・・・冷却装置、８・・・・・・真空
層。
面図、第１図すは第１図ａのＡ矢視図、第１図Ｃは本発
明の第１の実施例その２の真空容器の縦断面図、第１図
ｄは第１図ＣのＡ矢視図、第２図ｄは本発明の第２の実
施例その１の真空容器の縦断面図、第２図すは第２図ａ
のＡ矢視図、第２図Ｃは本発明の第２の実施例そ６の２
の真空容器の縦断面図、第２図ｄは第２図ＣのＡ矢視図
、第３図ａは本発明の第３の実施例その１の真空容器の
縦断面図、第３図すは第３図ａのＡ矢視図、第３図Ｃは
本発明の第３の実施例その２の真空容器の縦断面図、第
３図ｄは第３図ＣのＡ矢視図、第４図は従来の真空容器
の縦断面図である。 １・・・・・・容器、２・・・・・・蓋、３・・・・・
・排気装置、４・・・・・・排気管、６・・・・・・加
熱装置、７・・・・・・冷却装置、８・・・・・・真空
層。
Claims (2)
- （１）内部に空間を有する容器と、前記容器の内部空間
と外部空間とを隔離する蓋と、前記容器の内部空間を真
空状態に保つための排気装置と、前記排気装置と前記容
器の内部空間とを連通させる排気管と、前記容器及び前
記蓋の壁面内に埋め込まれた加熱装置とからなる真空容
器。 - （２）内部に空間を有する容器と、前記容器の内部空間
と外部空間とを隔離する蓋と、前記容器の内部空間を真
空状態に保つための排気装置と、前記排気装置と前記容
器の内部空間とを連通させる排気管と、前記容器及び前
記蓋の壁面内に埋め込まれた加熱装置とからなり、前記
容器及び前記蓋の壁面内に埋め込まれた冷却装置を備え
ていることを特徴とする真空容器。 （２）内部に空間を有する容器の内部空間と外部空間と
を隔離する蓋と、前記容器の内部空間を真空状態に保つ
ための排気装置と、前記排気装置と前記容器の内部空間
とを連通させる排気管と、前記容器及び前記蓋の壁面内
に埋め込まれた加熱装置と、前記容器及び前記蓋の壁面
内に埋め込まれた冷却装置とからなり、前記容器及び前
記蓋の壁面内の前記加熱装置及び前記冷却装置の外側に
真空層を備えていることを特徴とする真空容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63127718A JP2757374B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 真空容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63127718A JP2757374B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 真空容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01296069A true JPH01296069A (ja) | 1989-11-29 |
| JP2757374B2 JP2757374B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=14966990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63127718A Expired - Lifetime JP2757374B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 真空容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2757374B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5826799A (ja) * | 1981-08-08 | 1983-02-17 | 日本ケ−ブル・システム株式会社 | ワイヤの伸び自動吸収機構 |
| JPS61165096A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-07-25 | Hitachi Ltd | 真空容器 |
| JPS61202423A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非晶質半導体製造装置 |
| JPS6248451U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-25 |
-
1988
- 1988-05-25 JP JP63127718A patent/JP2757374B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5826799A (ja) * | 1981-08-08 | 1983-02-17 | 日本ケ−ブル・システム株式会社 | ワイヤの伸び自動吸収機構 |
| JPS61165096A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-07-25 | Hitachi Ltd | 真空容器 |
| JPS61202423A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非晶質半導体製造装置 |
| JPS6248451U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2757374B2 (ja) | 1998-05-25 |
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