JPH01298161A - 光ディスク用スパッタ治具 - Google Patents
光ディスク用スパッタ治具Info
- Publication number
- JPH01298161A JPH01298161A JP12981288A JP12981288A JPH01298161A JP H01298161 A JPH01298161 A JP H01298161A JP 12981288 A JP12981288 A JP 12981288A JP 12981288 A JP12981288 A JP 12981288A JP H01298161 A JPH01298161 A JP H01298161A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical disk
- substrate
- spacer
- disk substrate
- substrate holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスク用スパッタ治具、特に、コンピュ
ータの大容量記憶媒体として用いられている光ディスク
媒体の製造に使用し記録膜の成膜におけるスパッタ用に
使用する光ディスク用スパッタ治具に関する。
ータの大容量記憶媒体として用いられている光ディスク
媒体の製造に使用し記録膜の成膜におけるスパッタ用に
使用する光ディスク用スパッタ治具に関する。
従来の光ディスク用スパッタ治具は、基板ホルダーと、
内周支持具と、外周支持具とを含んで構成されていた。
内周支持具と、外周支持具とを含んで構成されていた。
第２図は従来の一例を示す縦断面図である。
第２図に示す光ディスク用スパッタ治具において、光デ
ィスク基板１は基板設置の容易さと端部の電界の乱れを
減らすために、基板ホルダー２′に設けた基板設定穴３
′に設定している。
ィスク基板１は基板設置の容易さと端部の電界の乱れを
減らすために、基板ホルダー２′に設けた基板設定穴３
′に設定している。
さらに、光ディスク基板ｌは内周支持具４′ と外周支
持５およびネジ６′、７により基板ホルダー２′に支持
固定されている。
持５およびネジ６′、７により基板ホルダー２′に支持
固定されている。
光ディスク媒体の製造過程において、ゴミは重要な問題
である。
である。
そのため光ディスク媒体の製造は、通常ＩＣやＬＳＩと
同程度のクリーンルーム内で行なわれている。
同程度のクリーンルーム内で行なわれている。
しかしながら、人を介して持ち込まれるゴミや成膜装置
等で装置内に付着した膜の剥離によるゴミの発生は避け
られない。
等で装置内に付着した膜の剥離によるゴミの発生は避け
られない。
例えば成膜時に記録面にゴミがあった場合、その部分に
記録膜が成膜されず致命的な欠陥となる。
記録膜が成膜されず致命的な欠陥となる。
こＱ７ためスパッタ治具に装着後再度Ｎ２ブローを行な
う等の配慮がなされている。なお光ディスク媒体では通
常記録膜面の反対側の面（以下裏面という）から書き込
み、読み出しが行なわれるため最終的には裏面にゴミが
付着してはならない。
う等の配慮がなされている。なお光ディスク媒体では通
常記録膜面の反対側の面（以下裏面という）から書き込
み、読み出しが行なわれるため最終的には裏面にゴミが
付着してはならない。
しかしながら、このような従来の光ディスク用スパッタ
治具は、光ディスク基板の裏面が基板ホルダーに押し付
けられるため、基板装着時に光ディスク基板の裏面に載
った比較的硬いゴミの場合、コミが光ディスク基板の裏
面に押し込まれる結果となり、その後のＮ２ブロー等で
は取れない強固なゴミの付着が起こり、製造上の歩留り
を低下させるという欠点があった。
治具は、光ディスク基板の裏面が基板ホルダーに押し付
けられるため、基板装着時に光ディスク基板の裏面に載
った比較的硬いゴミの場合、コミが光ディスク基板の裏
面に押し込まれる結果となり、その後のＮ２ブロー等で
は取れない強固なゴミの付着が起こり、製造上の歩留り
を低下させるという欠点があった。
本発明の光ディスク用スパッタ治具は、光ディスク基板
を設定するための基板ホルダーと、光ディスク基板の内
周を支持する内周支持具と、光ディスク基板の外周を支
持する外周支持具と、前記基板ホルダーと内周支持具と
の間に外径がグループの最内周の径よりも小さいスペー
サとを含んで構成される。
を設定するための基板ホルダーと、光ディスク基板の内
周を支持する内周支持具と、光ディスク基板の外周を支
持する外周支持具と、前記基板ホルダーと内周支持具と
の間に外径がグループの最内周の径よりも小さいスペー
サとを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
第１図に示す光ディスク用スパッタ治具において、光デ
ィスク基板１は内周側においてスペーサ８を挟んで内周
支持具４およびネジ６により基板ホルダー２に支持固定
されている。
ィスク基板１は内周側においてスペーサ８を挟んで内周
支持具４およびネジ６により基板ホルダー２に支持固定
されている。
スペーサ８の内径は光ディスク基板１の内径にほぼ等し
く、スペーサ８の外径はグループの最内周の径よりも小
さく設定されている。従って、光ディスク基板１の裏面
にゴミが載った場合でもゴミが押し込まれる部分はスペ
ーサ８と接触する部分のみとなり記録再生特性に全く影
りがない。
く、スペーサ８の外径はグループの最内周の径よりも小
さく設定されている。従って、光ディスク基板１の裏面
にゴミが載った場合でもゴミが押し込まれる部分はスペ
ーサ８と接触する部分のみとなり記録再生特性に全く影
りがない。
基板設定穴３はスペーサ８の厚さを考慮して光ディスク
基板１の記録膜面が基板ホルダー２の面と同程度になる
ようにしている。
基板１の記録膜面が基板ホルダー２の面と同程度になる
ようにしている。
さらに、光ディスク基板１の外周は、外周支持具５およ
びネジ７により支持固定されている。
びネジ７により支持固定されている。
なお、このような光ディスク用スパッタ治具による光テ
ィスフ基板ｌの設定手順は、前記内周支持具４に光ディ
スク基板１、スペーサ８の順に落とし込み、そのまま基
板ホルダー２にネジ込みその後外周支持具５を取り付け
る。
ィスフ基板ｌの設定手順は、前記内周支持具４に光ディ
スク基板１、スペーサ８の順に落とし込み、そのまま基
板ホルダー２にネジ込みその後外周支持具５を取り付け
る。
本発明の光ディスク用スパッタ治具は、基板ホルダーと
光ディスク基板の間にスペーサを設けることにより、光
ディスク基板の裏面への強固なゴミの付着をなくするた
め、歩留りを向上できるという効果がある。
光ディスク基板の間にスペーサを設けることにより、光
ディスク基板の裏面への強固なゴミの付着をなくするた
め、歩留りを向上できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は従
来の一例を示す縦断面図である。 １．１′・・・・・・光ディスク基板、２，２′・・川
・基板ホルダー、３，３′・・・・・・基板設定穴、４
，４′・・・・・・内周支持具、５・・・・・・外周支
持具、６．６’ 、 ７・・川・ネジ、訃・・・・・ス
ペーサ。 代理人 弁理士 内 原 晋
来の一例を示す縦断面図である。 １．１′・・・・・・光ディスク基板、２，２′・・川
・基板ホルダー、３，３′・・・・・・基板設定穴、４
，４′・・・・・・内周支持具、５・・・・・・外周支
持具、６．６’ 、 ７・・川・ネジ、訃・・・・・ス
ペーサ。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 光ディスク基板を設定するための基板設定穴を有する基
板ホルダーと、前記光ディスク基板の内周を支持する内
周支持具と、前記光ディスク基板の外周を支持する外周
支持具と、前記基板ホルダーと前記内周支持具との間に
設けられたスペーサとを含むことを特徴とする光ディス
ク用スパッタ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12981288A JPH01298161A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 光ディスク用スパッタ治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12981288A JPH01298161A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 光ディスク用スパッタ治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01298161A true JPH01298161A (ja) | 1989-12-01 |
Family
ID=15018832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12981288A Pending JPH01298161A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 光ディスク用スパッタ治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01298161A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6022462A (en) * | 1996-07-02 | 2000-02-08 | Sony Corporation | DC sputtering system |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP12981288A patent/JPH01298161A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6022462A (en) * | 1996-07-02 | 2000-02-08 | Sony Corporation | DC sputtering system |
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