JPH01299377A - 制御弁 - Google Patents
制御弁Info
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- JPH01299377A JPH01299377A JP12914288A JP12914288A JPH01299377A JP H01299377 A JPH01299377 A JP H01299377A JP 12914288 A JP12914288 A JP 12914288A JP 12914288 A JP12914288 A JP 12914288A JP H01299377 A JPH01299377 A JP H01299377A
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- Japan
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- opening
- disk
- rotating disk
- disc
- sealing device
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical group [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ガスや液体等の流れを遮断し、圧力調整ま
たは流量調整する制御弁に関するものである。
たは流量調整する制御弁に関するものである。
ボイラや各種空調機器、工業用炉のガス配管系等におい
て、ガス量をコントロールするシステムは、一般に温度
センサ、制御回路、アクチュエータ、およびバルブで構
成される。
て、ガス量をコントロールするシステムは、一般に温度
センサ、制御回路、アクチュエータ、およびバルブで構
成される。
前記のアクチュエータとしては、従来サーボモータや電
磁コイルが用いられているが、制御性。
磁コイルが用いられているが、制御性。
特に応答性の点で十分満足できるものではない。
一方、圧電素子を超音波領域の高周波電圧で駆動する圧
電モータ、すなわち超音波モータが実用化されており、
小型、軽量、高トルク、高応答性といった優れた特徴を
有している。これをバルブと組み合わせると、アクチュ
エータまでも配管内に納めること可能であり、コンパク
トで制御性に優れた制御弁を構成することができる。
電モータ、すなわち超音波モータが実用化されており、
小型、軽量、高トルク、高応答性といった優れた特徴を
有している。これをバルブと組み合わせると、アクチュ
エータまでも配管内に納めること可能であり、コンパク
トで制御性に優れた制御弁を構成することができる。
第4図は従来の超音波モータを用いた制御弁の一例を示
す(特願昭61−248069号)。
す(特願昭61−248069号)。
この制御弁は、内部が流路となる管状の弁本体33内の
流路を塞ぎ一部に開口35aを有する固定円板35と、
この固定円板35に片面が接触して回転可能に設けられ
回転角度の変化に伴い前記固定円板35の開口35aに
対する連通関口面積が変わる開口36aを有する回転円
板36と、弁本体33内に取付けられ回転円板36を回
転させる超音波モータ37とを備えたものである。超音
波モータ37は、リング状の弾性体38と、この弾性体
38の裏面に貼り付けたリング状の圧電素子39と、前
記回転円板36とからなる。40はシール材押え、41
〜43は0リング等のシール材、44は圧電素子39の
電極に接続したリード線である。
流路を塞ぎ一部に開口35aを有する固定円板35と、
この固定円板35に片面が接触して回転可能に設けられ
回転角度の変化に伴い前記固定円板35の開口35aに
対する連通関口面積が変わる開口36aを有する回転円
板36と、弁本体33内に取付けられ回転円板36を回
転させる超音波モータ37とを備えたものである。超音
波モータ37は、リング状の弾性体38と、この弾性体
38の裏面に貼り付けたリング状の圧電素子39と、前
記回転円板36とからなる。40はシール材押え、41
〜43は0リング等のシール材、44は圧電素子39の
電極に接続したリード線である。
この構成によると、超電波モータ37で回転円板36を
回転させて固定円板35の開口35aに対して回転円板
36の開口36aの位置を変えることにより、弁の開閉
や流量調整が行える。
回転させて固定円板35の開口35aに対して回転円板
36の開口36aの位置を変えることにより、弁の開閉
や流量調整が行える。
第4図の従来例では、第5図に示すように、固定円板3
5と回転円板36との間にごくわずかな隙間45がある
と、全閉状態、すなわち回転円板36の開口36aが固
定円板35の開口35aと連通しない位置にある状態に
おいて、流体がこれら円板35.36の隙間45を通っ
て流れてしまい、流体の流れを完全に遮断するのが困難
てあった。漏れを防ぐために回転円板36を固定円板3
5に強く圧接させると、摩擦力が大きくなり、超音波モ
ータ37のトルクが不足する。
5と回転円板36との間にごくわずかな隙間45がある
と、全閉状態、すなわち回転円板36の開口36aが固
定円板35の開口35aと連通しない位置にある状態に
おいて、流体がこれら円板35.36の隙間45を通っ
て流れてしまい、流体の流れを完全に遮断するのが困難
てあった。漏れを防ぐために回転円板36を固定円板3
5に強く圧接させると、摩擦力が大きくなり、超音波モ
ータ37のトルクが不足する。
この発明の目的は、全閉状態において、漏れを生じるこ
となく完全に遮断でき、かつコンパクトに構成できる制
御弁を提供することである。
となく完全に遮断でき、かつコンパクトに構成できる制
御弁を提供することである。
この発明の制御弁は、固定円板に重ねた回転円板を圧電
モーフ固定子で回転させ、前記両円板の開口が所定回転
角度で連通ずるようにした制御弁において、磁性流体を
用いたシール装置を両円板間に設けたものである。
モーフ固定子で回転させ、前記両円板の開口が所定回転
角度で連通ずるようにした制御弁において、磁性流体を
用いたシール装置を両円板間に設けたものである。
このシール装置は、両円板間に内外2重に介在させた一
対の環状のパッキングと、両パッキング間に充填した磁
性流体と、両パッキング間に設けられて磁性流体を吸着
する磁石とを有するものである。このシール装置は、両
開口が非連通状態となる回転円板の回転角度において、
前記固定円板の開口または回転円板の開口を囲む位置に
設ける。
対の環状のパッキングと、両パッキング間に充填した磁
性流体と、両パッキング間に設けられて磁性流体を吸着
する磁石とを有するものである。このシール装置は、両
開口が非連通状態となる回転円板の回転角度において、
前記固定円板の開口または回転円板の開口を囲む位置に
設ける。
前記固定円板と回転円板との間の外周縁に、前記シール
装置と同様な構成の第2のシール装置を設けてもよい。
装置と同様な構成の第2のシール装置を設けてもよい。
この発明の構成によると、固定円板と回転円板の開口が
非連通状態となった全開時において、両円板間に若干の
隙間が生じていても、この隙間は磁性流体で閉ざされる
。そのため、流体の漏れがなくなり、完全に遮断できる
。磁性流体は、一対のパッキング間に充填されて磁石に
吸着されることにより、所定位置に保持される。
非連通状態となった全開時において、両円板間に若干の
隙間が生じていても、この隙間は磁性流体で閉ざされる
。そのため、流体の漏れがなくなり、完全に遮断できる
。磁性流体は、一対のパッキング間に充填されて磁石に
吸着されることにより、所定位置に保持される。
第2のシール装置を設けた場合は、固定円板の中心から
偏心した位置にあるシール装置によって固定円板と回転
円板との間の押付力が周方向各部で不均一になることを
防止できる。
偏心した位置にあるシール装置によって固定円板と回転
円板との間の押付力が周方向各部で不均一になることを
防止できる。
この発明の一実膝例を第1図ないし第3図に基づいて発
明する。弁本体1は、内部が流路となる円管状のもので
あり、内部に固定円板5を固定し、固定円板5と環状フ
ランジ3との間に回転円板6と、圧電モータ固定子7と
が設けである。回転円板6は固定円板5に重ねて回転可
能に設けてあり、これら固定円板5および回転円板6に
、所定回転角度で互いに連通する開口5a、5aを各々
形成しである。圧電モータ固定子7はリング状の弾性体
8とこの弾性体8の裏面に貼付けたリング状の圧電素子
9とからなる0弾性体8は回転円板6の外周部に接して
いる0回転円板6は圧電モータの回転子となるものであ
る。10は圧電素子9に接続したリード線である。
明する。弁本体1は、内部が流路となる円管状のもので
あり、内部に固定円板5を固定し、固定円板5と環状フ
ランジ3との間に回転円板6と、圧電モータ固定子7と
が設けである。回転円板6は固定円板5に重ねて回転可
能に設けてあり、これら固定円板5および回転円板6に
、所定回転角度で互いに連通する開口5a、5aを各々
形成しである。圧電モータ固定子7はリング状の弾性体
8とこの弾性体8の裏面に貼付けたリング状の圧電素子
9とからなる0弾性体8は回転円板6の外周部に接して
いる0回転円板6は圧電モータの回転子となるものであ
る。10は圧電素子9に接続したリード線である。
固定円板5と回転円板6との間には、開口5aを囲む円
環状の第1のシール装置11と、固定円板5の外周に沿
う第2のシ、−小装置12とが設けである。
環状の第1のシール装置11と、固定円板5の外周に沿
う第2のシ、−小装置12とが設けである。
第1のシール装置11は、第3図に示すように、内外2
重に設けた環状の一対のパッキング13゜14と、これ
らパッキング13.14の間に充填した磁性流体15と
、磁石16と、ヨーク17とでなる。パッキング13.
14は、固定円板5に設けた環状溝18.19に一部を
埋込んである0M1石16およびヨーク17は、固定円
板5の環状溝20に埋込み、ヨーク17の一部を環状溝
20から突出させである。
重に設けた環状の一対のパッキング13゜14と、これ
らパッキング13.14の間に充填した磁性流体15と
、磁石16と、ヨーク17とでなる。パッキング13.
14は、固定円板5に設けた環状溝18.19に一部を
埋込んである0M1石16およびヨーク17は、固定円
板5の環状溝20に埋込み、ヨーク17の一部を環状溝
20から突出させである。
第2のシール装置12は、第1のシール装置と同様な構
成であり、一対のパッキング13’、14’と、磁性流
体15’と、磁石(図示せず)とヨーク17′とを有す
る。
成であり、一対のパッキング13’、14’と、磁性流
体15’と、磁石(図示せず)とヨーク17′とを有す
る。
圧電モータの動作原理を簡単に説明する0弾性体8は、
例えば鉄等の金属材料のものを用いており、回転円板6
例の部分を、歯列状に並んだ多数の突部(図示せず)で
形成しである。圧電素子9は、圧電セラミック材料を薄
板状に加工し、厚み方向に均一に分権処理したものであ
る。圧電素子9には撓み振動の半波長のピッチで複数個
の電極(図示せず)を周方向に配列し、その電極群に共
振周波数の高周波電圧を印加する。また、前記各電極の
間に他の電極を設け、その電極群に前記とπ/2の位相
差のある高周波電圧を印加する。これにより、弾性体8
に進行波が形成され、弾性体5に圧接した回転円板6が
回転する。遅れ位相とするか進み位相とするかにより、
回転円板6の回転方向が変わる。前記高周波電圧は、通
常40kIlz程度の超音波領域の周波数とされる。
例えば鉄等の金属材料のものを用いており、回転円板6
例の部分を、歯列状に並んだ多数の突部(図示せず)で
形成しである。圧電素子9は、圧電セラミック材料を薄
板状に加工し、厚み方向に均一に分権処理したものであ
る。圧電素子9には撓み振動の半波長のピッチで複数個
の電極(図示せず)を周方向に配列し、その電極群に共
振周波数の高周波電圧を印加する。また、前記各電極の
間に他の電極を設け、その電極群に前記とπ/2の位相
差のある高周波電圧を印加する。これにより、弾性体8
に進行波が形成され、弾性体5に圧接した回転円板6が
回転する。遅れ位相とするか進み位相とするかにより、
回転円板6の回転方向が変わる。前記高周波電圧は、通
常40kIlz程度の超音波領域の周波数とされる。
この構成によると、圧電モータ固定子7の駆動によって
回転円板6を固定円板5に対して回転させることにより
、固定円板5の開口5aと回転円板6の開口6aとの連
通開口面積が変化し、弁本体1内を流れる流体の流量制
御または圧力制御が行える。この流体は液体であっても
、気体であってもよい。
回転円板6を固定円板5に対して回転させることにより
、固定円板5の開口5aと回転円板6の開口6aとの連
通開口面積が変化し、弁本体1内を流れる流体の流量制
御または圧力制御が行える。この流体は液体であっても
、気体であってもよい。
第1図および第2図に示すように、固定円板5と回転円
板6の開口5a、$aが完全に非連通状態となると、全
閉となる。このとき、固定円板5の開口5aの周囲に磁
性流体15があるため、固定円板5と回転円板6との間
に多少の隙間があっても、その隙間は磁性流体15で閉
じられる。そのため、流体漏れがなく、完全に遮断する
ことができる。
板6の開口5a、$aが完全に非連通状態となると、全
閉となる。このとき、固定円板5の開口5aの周囲に磁
性流体15があるため、固定円板5と回転円板6との間
に多少の隙間があっても、その隙間は磁性流体15で閉
じられる。そのため、流体漏れがなく、完全に遮断する
ことができる。
磁性流体15で遮断するため、固定円板5と回転円板6
とを強く圧接させる必要がな(、回転円板6の駆動トル
クが小さくてすむ、磁性流体15は、一対のパッキング
13.14間に充填され、かつ磁石16により吸着され
るため、回転円板6の回転によってもバンキング13.
14内に確実に保持される。
とを強く圧接させる必要がな(、回転円板6の駆動トル
クが小さくてすむ、磁性流体15は、一対のパッキング
13.14間に充填され、かつ磁石16により吸着され
るため、回転円板6の回転によってもバンキング13.
14内に確実に保持される。
開口5aが固定円板5の中心から偏よっているため、磁
性流体15を介在させることにより固定円板5と回転円
板6との間の圧接力は周方向の各部で若干不均一となる
が、外周縁の全周に第2のシール装置12があるため、
バランスが良くなる。
性流体15を介在させることにより固定円板5と回転円
板6との間の圧接力は周方向の各部で若干不均一となる
が、外周縁の全周に第2のシール装置12があるため、
バランスが良くなる。
そのため、回転円板6の回転が円滑に行なわれる。
この制御弁は、第4図の例と同様に、駆動源となる圧電
モータを管状の弁本体1内に収納しているため、コンパ
クトに構成できる。また、圧電モータを用いているため
、従来のサーボモータ等を用いるものに比べて応答性が
良い。
モータを管状の弁本体1内に収納しているため、コンパ
クトに構成できる。また、圧電モータを用いているため
、従来のサーボモータ等を用いるものに比べて応答性が
良い。
なお、前記実施例では、第1のシール装置11を固定円
板5の開口5aの周囲に設けたが、固定円板5に開口5
aから離れて第1のシール装置11を設け、全閉状態と
なる回転角度で回転円板6の開口が第1のシール装置1
1に整合するようにしても良い、また、第1のシール装
置11は、回転円Fi6側に固定してもよい。
板5の開口5aの周囲に設けたが、固定円板5に開口5
aから離れて第1のシール装置11を設け、全閉状態と
なる回転角度で回転円板6の開口が第1のシール装置1
1に整合するようにしても良い、また、第1のシール装
置11は、回転円Fi6側に固定してもよい。
この発明の制御弁は、固定円板と回転円板との間に磁性
流体を介在させ、この磁性流体を一対のバンキングと磁
石とで所定位置に保持するようにしたので、百円板の重
なり面に若干の隙間があっても、磁性流体で閉じること
ができる。そのため、真円板の開口が非連通となった全
閉状態において、流体の流れを完全に遮断することがで
きる。このため、真円板を強く圧接させる必要がなく、
回転円板のトルクが小さくてすむ、また、圧電素子で弾
性体を励振し、回転円板を駆動する圧電モータを用いた
ので、圧電モータを弁本体内に納めることができて全体
がコンパクトになるという効果がある。
流体を介在させ、この磁性流体を一対のバンキングと磁
石とで所定位置に保持するようにしたので、百円板の重
なり面に若干の隙間があっても、磁性流体で閉じること
ができる。そのため、真円板の開口が非連通となった全
閉状態において、流体の流れを完全に遮断することがで
きる。このため、真円板を強く圧接させる必要がなく、
回転円板のトルクが小さくてすむ、また、圧電素子で弾
性体を励振し、回転円板を駆動する圧電モータを用いた
ので、圧電モータを弁本体内に納めることができて全体
がコンパクトになるという効果がある。
請求項(2)の発明によると、全周にある第2のシール
装置のため、固定円板と回転円板との間に作用する押付
力のバランスが良(なり、回転円板の円滑な回転が確保
できるという効果がある。
装置のため、固定円板と回転円板との間に作用する押付
力のバランスが良(なり、回転円板の円滑な回転が確保
できるという効果がある。
第1図はこの発明の一実施例の断面図、第2図はその■
−■線における固定円板部分の側面図、第3図は第1図
の1部分の拡大図、第4図は従来例の断面図、第5図は
その作用説明図である。 l・・・弁本体、5・・・固定円板、5a・・・開口、
6・・・回転円板、6a・・・開口、7・・・圧電モー
タ固定子、8・・・弾性体、9・・・圧電素子、11・
・・第1のシール装置、12・・・第2のシール装置、
13.13’。 14.14’・・・パッキング、15.15’・・・磁
性流体、16・・・磁石、17.17’・・・ヨーク1
1t1 図 第3図 jl 第4図 第5図
−■線における固定円板部分の側面図、第3図は第1図
の1部分の拡大図、第4図は従来例の断面図、第5図は
その作用説明図である。 l・・・弁本体、5・・・固定円板、5a・・・開口、
6・・・回転円板、6a・・・開口、7・・・圧電モー
タ固定子、8・・・弾性体、9・・・圧電素子、11・
・・第1のシール装置、12・・・第2のシール装置、
13.13’。 14.14’・・・パッキング、15.15’・・・磁
性流体、16・・・磁石、17.17’・・・ヨーク1
1t1 図 第3図 jl 第4図 第5図
Claims (2)
- (1)内部が流路となる弁本体と、前記流路に設けられ
て一部に開口を有する固定円板と、前記固定円板に重ね
て回転可能に設けられて所定回転角度で前記固定円板の
開口に連通する開口を有する回転円板と、前記弁本体内
に固定されて前記回転円板の外周部に接する弾性体およ
びこの弾性体を励振する圧電素子を有し前記回転円板を
前記弾性体の振動で回転させる圧電モータ固定子と、前
記固定円板と回転円板との間に設けられて前記両円板の
開口が非連通状態となる前記回転円板の回転角度で前記
いずれかの開口を囲むシール装置とを備え、このシール
装置は、前記両円板間に内外2重に設けた一対の環状の
パッキングと、これらパッキングの間に充填した磁性流
体と、前記両パッキングの間に設けられて前記磁性流体
を吸着する磁石とでなる制御弁。 - (2)前記固定円板の外周縁に沿って前記固定円板と回
転円板との間に第2のシール装置を設け、第2のシール
装置を前記シール装置と同様に一対のパッキングと磁性
流体と磁石とでなるものとした請求項(1)の制御弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12914288A JPH01299377A (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12914288A JPH01299377A (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 制御弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01299377A true JPH01299377A (ja) | 1989-12-04 |
Family
ID=15002161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12914288A Pending JPH01299377A (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 制御弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01299377A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012505999A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-08 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 容積流を制御する弁 |
-
1988
- 1988-05-25 JP JP12914288A patent/JPH01299377A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012505999A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-08 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 容積流を制御する弁 |
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