JPH01302307A - 屈折率差のあるパターン作成方法及びそれに供するパターン転写体と像形成体 - Google Patents

屈折率差のあるパターン作成方法及びそれに供するパターン転写体と像形成体

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JPH01302307A
JPH01302307A JP63133272A JP13327288A JPH01302307A JP H01302307 A JPH01302307 A JP H01302307A JP 63133272 A JP63133272 A JP 63133272A JP 13327288 A JP13327288 A JP 13327288A JP H01302307 A JPH01302307 A JP H01302307A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は屈折率差のあるパターン作成方法及びそれに供
するパターン転写体及び像形成体に関するものである。
従来の技術 従来、屈折率差のあるパターンからなる先導波路の第1
の作成方法として、次のような方法が知られている。
1、基材の上に屈折率が低い層を設ける。
2、この上に一旦フオドレジスト、電子線レジストなど
の放射線に対して感応性がある物質を構成する。
3、導波路を構成したい場所だけを(または導波路以外
の場所を)マスク等を用いて放射線により感応させる。
4、この場所だけの(またはこの場所以外の)レジスト
を除去する。
5、エツチングにより、導波路を構成したい場所の低屈
折率層を除去する。
6、高屈折率物質の層を構成する。
7、残留レジストを除去する。
また第2の方法として、屈折率差を用いた(位相変調に
よる)ホログラフィック光学素子或はホログラムとして
は、重クロムゼラチンのようなホログラム記録材料に露
光したあと、ウェットプロセスで処理するという方法が
ある。
また屈折率差を有するパターン作成方法の新しい流れと
して、特開昭60−166946号公報に記載のように
、予め、光によって反応することで屈折率が変化する2
種類の物質によりフィルムなどを構成し、これにパター
ンの露光を行って反応させた後未反応の物質の一方を除
去するといった方法がある。また、2つの異なる波長の
光を照射したときだけ反応が起こり屈折率が変化すると
いうような材料を用いることにより、露光プロセスだけ
でパターンを作製するという方法もある。
発明が解決しようとする課題点 前記の種種の屈折率差を有するパターンの作成方法のう
ち、1番目の方法はパターンの形成された光学素子や記
録像を得るまでの処理が複雑であり、また容易ではない
。2番目の方法は複雑ではないが、ウェットプロセスで
の処理がやや容易ではなく、また、未記録状態での像形
成体が単独で感光性を有するため、未記録材料の保存安
定性の点で不利である。3番目の方法は更に簡便な方法
ではあるが、一方の未反応物質を十分に除去しないと十
分な屈折率差が得られないという問題点がある。4番目
の方法は、2つの波長の光を与えて初めて屈折率変化を
伴う反応が起こるというゲートを設けた設計であり、未
記録状態或は記録後の状態の材料の保存安定性の点でも
有利である。しかしながら、実用に十分な記録感度が得
られていないのが実状である。
本発明者は、屈折率差を有するパターンの簡便な作成方
法を発明するに当たり、前記の従来の技術の3番目の方
法、即ち2種類の物質を光により反応させることにより
屈折率が低い方の物質の屈折率を高くするという方法に
注目した。さらに屈折率変化を伴う反応のために必要な
エネルギーとパターン記録のための信号エネルギーを分
離することにより、より多くの記録手段によってパター
ン信号(情報)の記録が行うことが出来ると考え、本発
明に至った。
本発明は、作成方法が簡便で、未記録状態の像形成体に
感熱・感光性がなく保存安定性に優れ、熱、電流、光な
どの放射線を記録エネルギーとして用いることにより、
多くの記録手段で記録が行える屈折率差を有するパター
ンの形成方法及びこれに供する転写体と像形成体を提供
することを目的とする。
課題を解決するための手段 反応性官能基を有する化合物Aを含む層または基材から
なる像形成体に対して、化合物Aと反応することにより
化合物Aの屈折率を変化させる化合物Bを含む転写体を
密着させ、光等の電磁波や熱のエネルギーにより転写体
から化合物Bを像形成体へ昇華または拡散により転写し
、化合物Aと反応させることによって屈折率変化を生じ
させる。
作用 反応性官能基ををする化合物Aを含む層が構成された像
形成体または反応性官能基を有する化合物Aを含む基材
自体が像形成体であるような像形成体の反応性官能基を
有する化合物Aを含む層または基材の部分に対して、化
合物Aと反応することにより化合物Aの屈折率を変化さ
せる化合物Bを含む転写体の、化合物Bを含む部分を密
着させ、転写体の像形成体に密着させた側の反対方法か
ら光等の電磁波や熱のエネルギーを加えると、昇華転写
型感熱記録方法と同様に転写体から化合物Bは像形成体
へ昇華または拡散により転写し、さらに転写記録時の熱
エネルギーや新たに像形成体に加える熱、光など放射線
のエネルギーにより化合物Aと反応させることによって
屈折率変化を生じさせることが出来る。
実施例 本発明のパターン作成方法において、反応性官能基を有
する化合物Aと、化合物Aと反応することにより化合物
Aの屈折率を変化させる化合物Bとの反応は特に限定さ
れるものではない。屈折率が異なる化合物Aと化合物B
の反応を効率よく起こすことができるもので有ればよい
。化合物Aは、像形成体を構成するので、未反応の反応
性官能基がある状態でも安定であるものが好ましい。さ
らに層やフィルムを構成する上で都合がよい高分子化合
物が好ましい。また化合物Bとしては、化合物Aの反応
性官能基と反応するもので、かつ転写体内及び像形成体
内を拡散し易いものであればよい。具体的に説明するた
めに、化合物Aと化合物Bの反応に利用しうる例を挙げ
、更にその反応を利用する場合の化合物Aと化合物Bの
例を挙げる。
(1)オキセタン生成反応 芳香族カルボニル化合物とオレフィンによる光反応で、
下記のようなオキセタン環を存する化合物を生成する(
徳丸 克己著「有機光化学反応論」東京化学同人発行)
。
前述の特開昭60−186948号公報の感光性樹脂組
成物の反応もこれに含まれるが、反応の量子収率が比較
的高いので宵月である。
化合物Aの例としては、透明性の高い物質が好ましく、
化合物Aが炭素−炭素2重結合を有する化合物になる場
合には特開昭60−186948号公報の特許請求の範
囲に記載されているような、(メタ)アクリル酸3,3
−ジメチルアリルエステルの単独または共重合体のほか
(メタ)アクリル酸の3−メチル−3−ブテニルエステ
ル、3−メチルアリルエステル、アリルエステル、2−
メチルアリルエステル、3−へブテニルエステル、3.
3−ジエチルアリルエステル、ジシクロペンテニルエス
テル、2−フルフリルエステルあるいはジビニルベンゼ
ンなどの単独重合体や他のビニルモノマーとの共重合体
がある。化合物Bとしては、置換もしくは非置換のベン
ズアルデヒド、アセトフェノン、ベンゾフェノン、1−
1または2−ナフトアルデヒド、1または2−ナフチル
メチルケトンまたは2−ナフチルフェニルケトンがある
。オキセタン生成反応の量子収率の点で好ましいのは置
換もしくは非置換のベンズアルデヒドまたはベンゾフェ
ノンである。さらに置換もしくは非置換のベンズアルデ
ヒド類として4−フルオロベンズアルデヒド、2−.3
−または4−クロロベンズアルデヒド、2−.3−また
は4−ブロモベンズアルデヒド、2. 4−、 3. 
4−または3゜5−ジクロロベンズアルデヒド、2. 
4−、 3゜4−または3.5−ジブロモベンズアルデ
ヒド、4−メチルベンズアルデヒド ピルベンズアルデヒド、4−シクロへキシルベンズアル
デヒド、2−.3−または4−メトキシベンズアルデヒ
ド、3,4−ジメトキシベンズアルデヒド3. 4. 
5−)ジメトキシベンズアルデヒド、3−フェノキシベ
ンズアルデヒド、3−ヒドロキシベンズアルデヒド、フ
タルアルデヒドあるいは4−シアノベンズアルデヒドな
どなどがある。
また置換もしくは非置換のベンゾフェノンとして、ベン
ゾフェノン、2−.3−*たは4−クロロベンゾフェノ
ン、4.4’−ジクロロベンゾフェノン、2−.3−ま
たは4−ブロモベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェ
ノン、4−プロピルベンゾフェノン、4−メトキシベン
ゾフェノンあるいは4−ベンゾイルベンゾフェノンなど
がある。
(2)シクロブタン生成反応 3重項増感剤存在下でのオレフィン同士あるいは共役エ
ノンとオレフィンによる光反応で、下記のようなシクロ
ブタン環を有する化合物を生成する。また工重項からで
も励起錯体を経由してシクロブタン環を生成する化合物
もある(微光 克己著「有機光化学反応論」東京化学同
人発行)。
前述のオキセタン生成反応と同様に、m子板率が高い反
応もあり有用である。
例えば励起錯体を経由する反応としては、芳香族ビニル
化合物同士のシクロブタン環生成反応があり、スチレン
、ビニルナフタレン、ビニルピレンやこれらの誘導体は
イオン化ポテンシャル、酸化還元電位などが適当な関係
にあればこのような反応をする。しかしながら、化合物
Aを含む記録像形成層は屈折率が低いことが望ましく、
化合物Aとしてはビニル基の残存したジビニルベンゼン
誘導体と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体などが
好ましい。化合物Bとしてはジアルキルアミノ基やシア
ン基を有するビニルナフタレン、ビニルピレンなどがあ
る。
(3)ディールスφアルダー反応 炭素−炭素1重結合を介して炭素−炭素2重結合を有す
る共役ジエンとオレフィンは熱または光によってシクロ
ヘキセン環を生成するディールス・アルダ−反応を起こ
す。
記録時に発生する熱により、化合物Bの転移の他、化合
物Aと化合物Bの反応も起こり、有用である。
化合物Aとしては置換または非置換のポリアセチレンな
どがあり、化合物Bとしてはビニル基を有する芳香族化
合物がある。ポリアセチレン類は安定性が良くなく、残
存2重結合は少ない方が好ましい。またポリアセチレン
類は共役2重結合鎖を有して可視域に吸収を有するので
、用途上不適当な場合にはブタジェン構造を有する置換
基を持つ化合物の方が好ましい。
上記のような化合物Aを含む層または基材からなる像形
成体としては種々の形態が考えられるが、主に、 1)化合物Aを含む基材1だけの構成(第1図)2)化
合物Aを含まない基材3上に化合物Aを含む記録像形成
層2を少なくとも有する構成(第2図) 3)化合物Aを含む基材1上に化合物Aを含む記録像形
成層2を少なくとも有する構成(第3図) が考えられる。像形成体が、光を透過させることにより
、光学素子等として機能する場合には少なくとも必要な
波長については透明でなければならない。そのため、化
合物Aを含むところの像形成体を構成する層または基材
は、必要な波長については透明でなければならないが、
化合物A以外の物質は特に限定されたものではない。化
合物Bの拡散を容易にするためにはガラス転移温度或は
熱変形温度が余り高くない方が好ましく、40〜150
℃程度の高分子組成物がよい。さらに化合物Aと化合物
Bの反応時に架橋硬化させることを考えて、1.3−ジ
オキソラン環などの反応性官能基を有する化合物(化合
物Aであってもよい)が存在する場合には、この限りで
はない。また化合物Aを含まない基材の場合には、像形
成体に耐熱性を付与するために、高分子組成物ばがりで
なくガラス等を用いてもよい。基材の上に像形成層を設
ける場合には像形成層を設けるための塗液が必要である
が、用いる溶剤としては化合物A及び化合物B以外の高
分子組成物を溶解するものであれば良いが、例えばこれ
らの物質がアクリル系である場合にはベンゼン、トルエ
ン、メチルエチルケトン、モノクロルベンゼン、ジクロ
ロメタンなどを用いることができる。像形成層の厚みは
均一であることが望ましいが、スピンコーティング法に
より良好に形成できる。
転写体は基材4の片面に転写材層5を有する構成が好ま
しい(第4図)。基材は転写材層を支持するものであり
、ポリエステル、ポリイミド、アラミド、セロハンなど
のフィルムやポリスチレン、PMMA、  ポリカーボ
ネート、ガラスなどの板状の材料を用いることができる
。サーマルヘッドで記録するために耐熱滑性層が設けて
あったり、通電記録ヘッドあるいは誘導加熱ヘッドでき
ろくするために導電層または抵抗層などが設けてあって
もよい。さらに光記録を行うために基材4の転写材層5
側に光エネルギーを熱に替えるための光吸収層6があっ
てもよい(第5図)。転写材層は少なくとも転写材(す
なわち化合物B)と結着材から構成される。転写材は上
述の通りであり、結着材には昇華転写型感熱記録体に用
いられるような結着材を用いることができる。すなわち
セルロース系、アクリル酸系、デンプン系などの水溶性
樹脂、アクリル樹脂、ポリフェニレンオキサイド、ポリ
サルホン、ポリエーテルサルホン ルロース、アセチルセルロースなどの有機溶剤するいは
水に可溶性の樹脂などを挙げることができるが記録感度
及び転写体の保存安定性の点で、熱変形温度(ASTM
  D848)が70〜150℃のものが優れている。
よって、ポリスチレン、ポリビニルブチラール、ポリカ
ーボネート、メタクリル樹脂、アクリロニトリル・スチ
レン共重合体、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、塩素
化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレンなどが好ましい
。また転写材層には、可塑剤、記録後の像形成体との剥
離をよくする等の目的の滑剤や界面活性剤等を含んでい
てもよい。そして前記の転写材・結着材などを含んだ転
写材層を構成するための塗液を調製するに当り、5使用
する溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパツ
ール、ブタノールナトのアルコール類、メチルセロソル
ブ、エチルセロソルブなどのセロソルブ類、ベンゼン、
トルエン、キシレンなどの芳香族類、酢酸ブチルなどの
エステル類、アセトン、2−ブタノン、シクロヘキサノ
ンなどのケトン類、N.  N−ジメチルホルムアミド
などの窒素化合物類、ジクロルメタン、クロルベンゼン
、クロロホルムなどのハロゲン化炭化水素などが使■で
きるが、水溶性または水分散性の水性樹脂を結着材とし
て用いる場合には、水または水と上記の溶剤を混合して
使用することもできる。更に、塗液をフィルム状の基材
上に塗布する方法としては、リバースロールコータ−、
グラビアコーター、ロッドコーター、フレキンコーター
、エアドクタコーターなどを使用して実施することがで
き、また板状の基材上に塗布する方法としてはスピンコ
ーティングが代表的テある。
次に更に詳細な例を挙げて説明する。
実施例1 まず3−メチル−2−ブテノ−ルー1 11gとトリエ
チルアミン 15g及びジオキサン 200gを500
mlの3つロフラスコにいれ、撹拌しながら塩化メタク
ロイル 16gとジオキサン50gの混合液を30分か
けて滴下した。さらに30分撹拌放置した後、これに1
00gの水をいれて撹拌し、これらの反応液を濾過した
。さらに有機層を抽出した後、炭酸水素ナトリウム水溶
液、ついで水で洗浄した。これをエバポレーターにてジ
オキサンを除去した後、減圧蒸留を2回繰り返して 2
0gのメタクリル酸3.3−ジメチルアリルエステルを
得た。これによって得た5gのメタクリル酸3,3−ジ
メチルアリルエステルと15gのメタクリル酸メチル、
そして0.1gのAIBNを200gのベンゼンに溶解
し、窒素雰囲気下でラジカル重合させて15gのメタク
リル酸3,3−ジメチルアリルエステルとメタクリル酸
メチルとの共重合体を得た。この共重合体をジクロロメ
タンに溶解させて、塗液とした。この塗液を用いてガラ
ス基板上にスピンコードし、基材上に像形成層を設けた
像形成体IAとした。
次にベンゾフェノン1gとブチラール樹脂(漬水化学 
エスレックB  BX−1)2gをトルエン21g1 
メチルエチルケトン9gに溶解して塗液IBとした。ま
たこれを 倍に希釈した塗液を塗液IB’ とした。記
録及びその結果については、他の実施例と併せて後述す
る。
実施例2 塩化メタクロイルとフルフリル アルコールを原料とし
て実施例1と同様の操作でメタクリル酸フルフリルエス
テルを得た。メタクリル酸フルフリルエステル5g1 
メタクリル酸[2−メチル−2−(2−オキソプロピル
)−1,3−ジオキソラン−4−イル]エステル2g1
 メタクリル酸メチル10gとアクリル酸エチル3gを
同様にラジカル重合して15gの4元共重合体を得た。
これを熱プレス成形して11厚みの板を得た。これを像
形成体2Aとした。
次に実施例1と同様にして4−ブロムベンズアルデヒド
を化合物Bとする塗液2B12B′を得た。
実施例3 p−ジビニルベンゼン4gとメタクリル酸メチル16g
を実施例1と同様にラジカル重合してジビニルベンゼン
の未反応ビニル基の残る共重合体13gを得た。これを
トルエンに溶解し、211m厚のPMMAキャスト板(
協和ガス化学工業(株)バラクラス)上にスピンコーテ
ィングして像形成体3Aとした。
次に2−ビニルナフタレン1gとAS樹脂(電気化学工
業(株)デンカスチロール A S −S U)2gを
トルエン21g、メチルエチルケトン9gに溶解し、2
−ビニルナフタレンを化合物Bとする塗液3Bとした。
さらにこれを 倍に希釈したものを塗液3B’ とした
。
実施例4 ポリフェニルアセチレン 10重量部とPMMA90重
量部をトルエンに溶解し、ガラス上にスピンコーティン
グして像形成体4Aとした。
次に実施例3と同様に2−ビニルナフタレンを化合物B
とする塗液4B並びに塗液4B”を作成した。
実施例1〜4の記録及び結果 (記録方法1) 光硬化性樹脂及びシリカ微粒子からなる耐熱滑性層を設
けた4μmのPETフィルムの耐熱滑性層を設けていな
い面に実施例1〜4の塗液1〜4Bをワイヤーバーで塗
布し、約1μmの転写材層を構成して転写体1〜4Cと
した。これら転写体の転写材層と像形成体の像形成層が
接するように重ね合わせ(像形成層を有しない像形成体
2Aの場合にはどちら側でも良い)、転写体の耐熱滑性
層の側からサーマルヘッドによって、下記の条件にて記
録を行った。
サーマルヘッド記録条件 主走査の線密度  : 4ドツト/■■副走査の線密度
  二 8ドツト/關 記録電力     :  0.7W/dotヘツドの加
熱時間 :8ms/dot 副走査方向に1ラインだけ記録 記録後の像形成体1〜4Aの各々について、300W高
圧水銀灯を30秒間照射したあと、記録ライン上にプリ
ズムを2個距離を離して置き、一方のプリズムからヘリ
ウム・ネオンレーザ−光を入射させると、どの像形成体
についても他方のプリズムから記録ラインの先導波路を
導波してきた光が出射するのを観測できた。また、像形
成層に混入した異物による乱反射から、光が記録ライン
部分だけを導波していることも確認できた。
(記録方法2) カーボン含有のアラミドフィルム(厚み8μm1シ一ト
抵抗約IKΩ/口)に実施例1〜4の塗液1〜4Bをワ
イヤーバーで塗布し、約1μmの転写材層を構成して、
転写体1〜4Dとした。記録方法1と同様にして転写体
と像形成体を重ね合わせ、転写体のフィルム側からライ
ン型通電ヘッドを用いて、下記の条件で記録した。
通電ヘッド記録条件 主走査の線密度  : 1oドツト/ am副走査の線
密度  : 2oドツト/龍印加電圧     : 5
0V 印加パルス幅   = 80μs 副走査方向に1ラインだけ記録 記録方法1の場合と同様の処理をした後、同様の先導波
の実験を行ったところ、どの像形成体でも先導波路とし
て機能していることが確認できた。
(記録方法3) 厚さ1,1■、外径130−w、内径15m−のガラス
基板にカーボンブラックを分散させたエチルセルロース
溶液をスピンコードし、2μmの光吸収層を設けた。さ
らに実施例1〜4の塗液1〜4B’をスピンコードして
1μmの転写材層を設けて転写体1〜4Eとした。予め
外径130−m、内径15■に加工した像形成体を記録
像形成層と転写体の転写材層が重なるように転写体に密
着させた。これを光デイスク用光記録デツキにて、線速
度10m/s16mL 径方向送りピッチ2μm1無変
調で記録した。記録後転写体と像形成体を剥離させ、像
形成体に300W高圧水銀灯で30秒間光照射した。
これらの像形成体に0.5mWのヘリウム・ネオンレー
ザ−を垂直入射させたところ、回折光が観測でき、回折
格子などの光学素子の作成が可能なことが判った。
発明の効果 本発明に基づく屈折率差を有するパターンの作成方法は
、反応性官能基を佇する化合物Aを含む層または基材か
らなる像形成体に対して、化合物Aと反応することによ
り化合物Aの屈折率を変化させる化合物Bを含む転写体
を密着させ、光等の電磁波や熱のエネルギーにより転写
体がら化合物Bを像形成体へ昇華または拡散により転写
し、化合物Aと反応させることによって屈折率変化を生
じさせるため、作成方法が簡便で、未記録状態の像形成
体に感熱・感光性がなく保存安定性に優れ、熱、電流、
光などの放射線を記録エネルギーとして用いることによ
り、多くの記録手段で記録が行える。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第3図は、本発明の実施例における像形成体の
断面模式図、第4および第5図は本発明の実施例におけ
るパターン転写体の断面模式図である。 1・・・・・・化合物Aを含む基材、2・・・・・・化
合物Aを含む記録像形成層、3・旧・・化合物Aを含ま
ない基材、4・・・・・・基材、5・旧・・転写材層、
6・旧・・光吸収層。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はが1名第1図 第2図 第3図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)反応性官能基を有する化合物Aを含む層または基
    材からなる像形成体に対して、化合物Aと反応すること
    により化合物Aの屈折率を変化させる化合物Bを含む転
    写体を密着させ、光等の電磁波や熱のエネルギーにより
    転写体から化合物Bを像形成体へ昇華または拡散により
    転写し、化合物Aと反応させることによって屈折率変化
    を生じさせることを特徴とする屈折率差を有するパター
    ンの作成方法。
  2. (2)化合物A、化合物Bが下記の化合物である請求項
    1に記載の屈折率差を有するパターンの作成方法。 (イ)化合物Aは、置換または非置換のアリル基と(メ
    タ)アクリル酸とのエステルの単独重合体あるいは、置
    換または非置換のアリル基と(メタ)アクリル酸とのエ
    ステルを5重量%以上含む他のビニルモノマーとの共重
    合体であって、 かつ重合体中に置換または非置換のアリル基の二重結合
    が残存している(共)重合体 (ロ)化合物Bは、非置換または置換基を有するベンズ
    アルデヒド、ベンゾフェノンまたはナフチルフェニルケ
    トン
  3. (3)化合物A、化合物Bが下記の化合物である請求項
    1に記載の屈折率差を有するパターンの作成方法。 (イ)化合物Aは、(メタ)アクリル酸の3,3−ジメ
    チルアリルエステルの単独重合体または(メタ)アクリ
    ル酸の3,3−ジメチルアリルエステルを5重量%以上
    含む他のビニルモノマーとの共重合体であって、かつ重
    合体中に3,3−ジメチルアリル基の二重結合が残存し
    ている(共)重合体 (ロ)化合物Bは、非置換または置換基を有するベンズ
    アルデヒド、ベンゾフェノンまたはナフチルフェニルケ
    トン
  4. (4)請求項1に記載の屈折率差を有するパターンの作
    成方法に供される、反応性官能基を有する化合物Aを含
    む層または基材からなる像形成体。
  5. (5)請求項1に記載の屈折率差を有するパターンの作
    成方法に供される、化合物Aと反応することにより化合
    物Aの屈折率を変化させる化合物Bを含む転写記録体。
JP63133272A 1988-05-31 1988-05-31 屈折率差のあるパターンを具備した光学素子の作成方法及びそれに供するパターン転写体と像形成体 Expired - Fee Related JPH081487B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5969706A (ja) * 1982-10-14 1984-04-20 Nippon Sheet Glass Co Ltd 合成樹脂光回路の製造方法
JPS59204803A (ja) * 1983-05-09 1984-11-20 Nippon Sheet Glass Co Ltd 合成樹脂光回路の製造方法
JPS60166946A (ja) * 1983-10-14 1985-08-30 Kyowa Gas Chem Ind Co Ltd 感光性樹脂組成物およびそれを用いる屈折率差を有するパタ−ンの作成方法

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