JPH01302529A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分ｒ！Ｆ１ 本発明は磁気記録媒体およびその製造方法に関する。史
に詳細には、本発明は改良された保護潤滑層を有する磁
気記録媒体およびその製造方法に関する。

［従来の技術］ 磁気記録技術はＪ）き換え可能な記録法として、広い分
野でその応用が行われている。この方式の記録原理から
もわかるように、有効な記録再生を行うには磁気へ７Ｆ
−記録媒体間の距離を極力状める必要がある。

［発明が解決しようとする課題］ この結果、磁気ヘッド−記録媒体間で頻繁に衝突、摺動
が起こり、したがって磁気へラド−記録媒体間の摩擦摩
耗が極めて大きな問題となる。特に最近では、高密度記
録の需要増加に伴い、磁気ヘッド−記録媒体間の狭スペ
ーンング化及び一般的に摩擦庁耗に弱いとされる薄膜型
記録媒体の開発が必要となってきている。

このため、先の摩擦摩耗の問題をどれだけ解決できるか
が実用化へのキーポイントとなっている。

また、現在数に実用化されている塗布型磁気記録媒体に
ついても、・その耐久性は実用化）１支障はないにして
も、より高い耐久前での信頼性を得ることは、偶発的な
製品故障の発生率を低ドさせるα味からも極めて重要で
ある。

従って、本発明の「１的は耐久性および耐摺動性に優れ
た磁気記録媒体を提供することである。

［課題を解決するための手段］ 本発明者らが長年にわたり広範な実験と試作を続けた結
果、磁気記録層または磁気記録層上に形成される保護層
に対して付着性の強い潤滑剤と磁気ヘッドに対して付着
性の強い潤滑剤の少なくとも２種以Ｉ−の潤滑剤を組み
合わせて用いることにより、耐久性に優れた磁気記録媒
体が得られるこ己を見い出した。本発明は斯かる知見に
基づき完成された。以ドに本発明の説明を行う。

従来、磁気記録媒体の潤滑剤は、磁気記録媒体表面を濡
らしやすく、かつ強く吸首することを基学として選択さ
れてきた。本発明者らは潤滑剤について、各種検討した
結果、次の°１ｒ実を見い出した。磁気記録媒体との付
着性の強い潤滑剤を用いても、用いられる磁気ヘッドに
よっては必ずしも、耐久性は改ｙ？されない。本発明者
らはさらに研究を改ね、次の′１ｒ実を見いだした。

磁気ヘッド材料両者に対して共に付着性が良好な時、耐
摺動性は良好であるが、どちらか一方でも付着性が悪い
と耐摺動性も劣化する。この原因は未だ明白ではないが
、おそらく潤滑剤の付着していない部分に空気中の塵が
あたった時、そこから媒体もしくはヘッドの破壊が起こ
るためだと思われる。

しかし、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの組み合わせによ
っては両者に対して付着性の良好な潤滑剤を見い出すこ
とができなかった。

そこで本発明者らは、磁気記録媒体の構成材料に対して
付着性の強い潤滑剤と、磁気ヘッドの構成材料に対して
付着性の強い潤滑剤を組み合わせて用いれば、耐久性の
優れた磁気記録媒体が得られるごとを見い出した。

例えば、金属薄膜型の磁気記録層１−にホウ素、炭素ま
たは珪素を１：、成分とする硬質保護層を有し、該硬質
保護層上に史に潤滑剤を（ｒする磁気記録媒体とＦ　ｅ
ｘ　Ｎ　１　ｓ　ＣＯＮまたはこれらの合金類あるいは
、フェライトを１：、成分とする磁気へノドとの組み合
わせにおいては、磁気記録媒体の構成材料に対して付着
性の強い潤滑剤として環内に少なくとも１個の窒素原ｒ
と少なくとも１個の二重結合を含む５員、６員または７
Ｌ１のへテロ環式基を末端に有するパーフルオロカーボ
ン系潤滑剤を用い、−・方、磁気へノドの構成材料に対
して付着性の強い潤滑剤としては、−ＣＦ３．−ＯＨ，
−Ｃ００Ｈ，−ＣＯＯＲ（Ｒ：アルキル基もしくはフッ
素化アルキル基）、−ＮＣＯの肝より選ばれる基を末端
に有するパーフルオロカーボン系潤滑剤を用いることに
より、非常に良好な耐久性を得ることができる。

環内に少なくとも１個の窒素原丁と少なくとも１個の二
重結合を含む５Ｉ−ｔ、ｅＦｔまたは７員のへテロ環式
基を末端に有するパーフルオロカーボン系潤滑剤として
は、次の一般式（１）または（２）ＲＯ−（Ｃ３Ｒ６０
）ｍ−（ＣＦ’Ｘ０）ｎ−ＣＦＸ−Ｌ　　　（１）又は Ｒ”　ＣＦＸＯ−（Ｃ３Ｆｅ　Ｏ）ｘ　（ＣＦＸＯ）Ｙ
−（Ｃ２Ｒ４Ｏ）ｚ−ＣＦＸ−Ｌ　　　（２）（式中Ｒ
＝　　ＣＲ３、Ｃ２Ｒ５、Ｃ２Ｒ７；Ｘ　＝Ｆ　ｓ　−
ＣＦ　３　； Ｒ”　＝Ｆ１−ＣＦ３、−Ｃ２Ｆｓ　Ｎ　Ｌ；ｍ＝３な
いし１００の整数； ｎ＝有限整数又はＯで、ｍ＋ｎ＝３ないし１００である
。ｎが有限数の時には、 ｍ／ｎは５ないし２０でＲはＣＦ３で あることが好ましく、ｎが０の時には 、Ｒは−Ｃ２ｉ；”ｓ又は、　Ｃ３Ｆ？であることが好
ましい； Ｘ＝有限整数または、０； ｙ、ｚ＝イ■限整数で、Ｘ＋ｙ＋ｚは５ないし２００、
（ｘ＋ｚ）／’！は５な いし０−５、ｘ＝０の時、ｚ／ｙ はＩないし０．５、Ｙ十ｚは５な いし２００である； Ｌ＝基Ｙ−Ｚで、 Ｙ＝−ＣＨ２０＋、ＣＨ２０ＣＨ２。

ＣＦ２　　＊　ＣＦ２Ｏ： ［式中　Ｒ２は水素、塩素、見素又は式Ｅ−０−のアル
コキシ基（Ｅは炭素数１ないし３のアルキル残基）であ
るコ、 （式中、Ｂは酸素または硫黄原子であり、ＥおよびＲ２
は前記に定義したとおりのものである）、（式中、Ｒ１
は水素または炭素原子数１〜３のアルキル基であり、Ｒ
２は前記に定義したとおりのものである）、または、 （式中、Ｂ、Ｅ、Ｒ１は前記に定義したとおりのもので
ある）で示される構造の基である。）で示される化合物
からなる。

一方、−ＣＦ３．−ＯＨ，−ＣＯＯＨ，−Ｃ０ＯＲ（Ｒ
：アルキル基もしくはフッ素化アルキル基）、−ＮＣＯ
からなる群より選ばれる基を末端に有するパーフルオロ
カーボン系潤滑剤としては、次の一般式（３）、 Ｒａ　−ＣＦ２−　（Ｃ２Ｒ４Ｏ）ｓｎ−（ＣＦ２０）
ｎ−ＣＦ２−Ｒ３（３） ［式中、Ｒ３ニーＣＦ３、−ＣＯＯＨｌ−ＣＯＯであり
、ｍおよびｎは前記に定義したとおりのものである。コ
で示される化合物からなる。

このようなパーフルオロカーボン系潤滑剤は例えばＦｏ
ａ＋ｂｌ　Ｉｎ−Ｚ−ＤＩＡＣ（モンテジソン社製）と
いう商品名で一般に市販されて（（る。

前記二種類の潤滑剤は、互いに化学反応しなければ、混
合して使用することができる。別法として、硬質保護層
に対して付着性の強い潤滑剤を最初に塗布し、その後、
該潤滑層のＬに、磁気ヘッドに対して付着性の強い潤滑
剤を塗布し、複合潤滑層を形成させることもできる。

硬質保護膜はホウ素、炭素または珪素のうちの何れか一
つの成分を上体とするものである。硬質保ＪｆｌＡはペ
ーパーデポジション等の物理蒸着法またはプラズマＣＶ
　Ｄ等の化学Ｍｌｆ法により形成させることができる。

中布する潤滑剤は液体であることが好ましい。

塗布方法は特に限定されない。どぶ漬け、はけ塗り、ロ
ールコート、バーコード、グラビア印刷等の常用１段で
塗布することができる。

潤滑剤の塗布方法としては、二種類の潤滑剤がお穣いに
反応を引き起こさない組み合わせの時は両者を混合した
後塗布してもよいが、反応を引き起こす場合は硬質保護
膜に対して付着性の良好なものを塗布した後、該層上に
ヘッドと付着性の良好な潤滑剤を塗布すると良い。この
時、潤滑剤第１層は硬質保護層りを１−分に被覆する程
度塗布すれば良く、あまり厚いと第２層と反応を起こす
。

このため第１層の塗布厚は１０００人程度以下であるこ
七が望ましい。また、複合潤滑剤層の全体厚みは５００
０人未膚であることが好ましい。硬質保護層と複合潤滑
層との厚さが厚すぎるとスペーシングロスが大きくなり
磁気記録媒体として不適切である。

本発明の磁気記録媒体の断面構造を第１図〜第４図に示
す。

第１図は、保護層用潤滑剤と磁気ヘッド用潤滑剤とが互
いに反応を引き起こさないので、両成分を混合して塗布
することにより形成されたｒドーの複合潤滑層１を有す
る磁気記録媒体１０の断面構造を示す！２５Ｅ図である
。図中、１２は非磁性基体、１４は磁性層、１６は硬質
保護層を示す。

第２図は、保護層用潤滑剤の第１層３と磁気ヘッド用潤
滑剤の第２層５との丁０層からなる複合潤滑層Ｉを有す
る磁気記録媒体１゛Ｏの断面構造を示すＲ’１図である
。図中、１２は非磁性基体、１４は磁性層、１６は硬質
保護層を示す。

第３図は、複合潤滑層１が磁性層１４に直接積層されて
いる、すなわち、硬質保護層を有しないタイプの磁気記
録媒体１０の断面構造を示すＷ１要図である。

第４図は第３図に示された磁気記録媒体と同様に、硬質
保護層を有しない磁気記録媒体であって、磁性ｆｌ１４
に磁性層用潤滑剤の第１層３と、磁気ヘッド用潤滑剤の
第２層５との二層からなる複合潤滑層１を打する磁気記
録媒体１０の断面構造を示す概認図である。

本発明の磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム
、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基体と
する磁気テープや磁気ディスク、合成樹脂フィルム、ア
ルミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラムを
基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッド
と摺接する構造を有するものならば良（、その磁性層は
特に限定されず、　・般に流布しているＣ　ｏ　＋　Ｆ
　ｅ　＋　Ｎ　ｉ＋Ｃｒおよびそれらの合金、酸化物、
窒化物を主成分とする塗布型磁気記録媒体、最近開発が
進められている金属薄膜型磁気記録媒体などを包含する
。

また、本発明の磁気記録媒体に記録再生を行う磁気ヘッ
ドとしては、特に限定されず、最も一般的に用いられて
いるフェライトヘッド、センダストヘッド、高密度記録
に用いられる複合へ１１磁気ヘツド、薄膜ヘッドなどを
包含する。

［実施例コ 実施例により本発明を史に詳細に説明する。

光丘計上 厚さ５０μｍのポリイミドフィルム基板［−に厚さ０．
２５μｍのＣｏ−１８ａｔ％Ｃｒ膜および厚さ０．０２
μｍの薄膜を真空蒸着法により順次形成した。膜形成時
の基板温度および真空度は、Ｃｏ−Ｃｒ膜、薄膜ともに
１４Ｏ℃＋　　１−２ｘ　１０−θＴｏｒｒであった。

次いで薄膜−ヒに、Ｃ００Ｈ−ＣＦ２−　（Ｃ２Ｆ４Ｏ
）ｍ　−（ＣＦ２０）ｎ−ＣＦ２−ＣＯＯＨ（式中、ｍ
＝ｎ＝１０：甲均分２０；甲均分子臓：３０００）（以
下「化合物Ｂ」という）を、同じ比率で混合した混合潤
滑剤を約３００人塗布し、５インチのフロッピーディス
クを作製した。

実ｍと 硬質保護膜としてＢ膜のかわりにＣスパッタ膜を設けた
他は実施例１と同様にして５インチフロッピーディスク
を作製した。

実論立Ｊユ 混合潤滑剤のかわりに、化合物Ｂを約３００人の厚さで
Ｂ膜上に塗！１１シた他は実施例１と同様にして５イン
チフロッピーディスクを作製した。

比上玉１− 化合物Ａを３００人の厚さでＢ膜ｌ−に塗布した他は実
施例１と同様にして５インチフロッピーディスクを作製
した。

実玉立」工 化合物Ｂを約３００人の厚さでＣＭＩＸ、Ｌｌに塗布し
た他は実施例２と同様にして５インチフロッピーディス
クを作製した。

比佼匠１ 化合物Ａを約３００人の厚さでＣ膜−１−に塗布した他
は実施例２と同様にして５インチフロッピーディスクを
作製した。

１逓Ｍ 実施例１において硬質保ｍＢ膜を形成しない他は、実施
例１と同様にして第３図に示すような５インチフロッピ
ーディスクを作製した。

比玉圀」工 実施例１において硬質保護Ｂ膜および化合物Ａと化合物
Ｂの混合潤滑膜を形成しない他は、実施例１と同様にし
て５インチフロッピーディスクを作製した。

化上Ｊｌ 比較例１において硬質保ＭＪＢ膜を形成せず、更に、磁
性層を人気中で３００℃で３０秒間曝して磁性層を酸化
処理する他は、比較例１と同様にして５インチフロッピ
ーデイスゲを作製した。

災胤阻辻 実施例１において潤滑Ｊ！Ｗ、ｌ！：して化合物Ａと化
合物Ｂの混合潤滑膜を使用する代わりに、硬質ホウ素保
護膜１６１−に約１５０人の膜厚で化合物Ｂの潤滑層３
を形成後、更にこの潤滑膜３上に化合物Ａの潤滑層５の
一層の潤滑層を形成すること以外は実施例１と同様にし
て第２図に示されるような断面構造を有する５インチフ
ロッピーディスクを作製した。

１遁［ 実施例６において硬質ホウ素保護膜を形成せずに、大気
中で３００℃で３０秒間曝して酸化処理を施した磁性層
」−に化合物Ｂの潤滑層３を直接形成した他は実施例６
と同様にして５インチフロッピーディスクを作製した。

上記のようにして作製された試料の耐食性は、試料を５
ＯｚｌＯｐｐ園の雰囲気（４５℃、７０％ＲＨ）中に２
４Ｏ時間放置し、試験前後の飽和磁化劣化率を比較する
ことにより評価した。また耐久性については市販の５イ
ンチフロッピーディスクドライブ装置（ヘッド材料：Ｃ
ｏＮｂＺｒ）により記録再生し、再生出力が、初期出力
の７０％に低下するまでの磁気へラド摺動回数により評
価した。媒体および磁気ヘッドに対する潤滑剤の付着性
は媒体および磁気ヘッドにそれぞれ潤滑剤を塗布した後
、ビーム径０．３μｍのオージェ電子分光法により潤滑
剤塗布面を走査し、Ｆの分布を１００μｍ２ごとに調べ
、Ｆの最も多い部分、少ない部分のピーク強度の比率（
Ｆの少ない部分のピーク値／Ｆの多い部分のピーク値）
を規格化して目安とした。測定結果を下記の表１に要約
して示す。

（以ド余白） 表１に示された結果から明らかなように、ホウ素または
炭素からなる硬質保護層を自する磁気記録媒体は耐食性
の点では大差がないが、この硬質保護層の上に、磁気ヘ
ッドおよび砂質保護層共に付青件の高い潤滑剤を使用す
ると、磁気記録媒体の耐摺動性が飛跡的に向１−される
。

本発明の別の［１的は、磁気記録層の表面１；に、ホウ
素元素、ホウ素化合物および炭素元素から選ばれる少な
くとも一種類の成分から成る保護層を設け、該保護層１
・、に、環内に１測置ｌ−の窒素原ｒ、Ｊ：１側辺−［
−の二重結合を有する５員、６員または７員の複素環式
官能基あるいは水酸基を末端に自するフルオロカーボン
系潤滑剤を塗布することにより耐久Ｐ１及び耐食性に優
れた一気記録媒体を提供することである。

前記の本発明の別の磁気記録媒体の概念的な拡大部分断
面構造を第５図に示す。

図示されているように、非磁性基体１２の１・に磁気記
録層１４が形成されており、この磁気記録層１４の１−
に保護層２０が積層されている。この保護層２０の表面
に潤滑剤の塗膜２２が被覆されている。

＋Ｅ確なメカニズムは未だ解明されていないので推／ｌ
１１１の域を出ないが、本発明の別の磁気記録媒体が耐
食性および耐久性の点で同時に優れるのは次のような理
由によるものと思われる。

先づ、保護層となるホウ素元素、ホウ素化合物または炭
素元素を、１°〔空蒸着、スパッタリングなト通常のペ
ーパーデポジション法により薄膜形成すると、極めて薄
い状態でも、緻密かつ連続性の良い薄膜となり、他の材
料の場合に見られる島状構造のようなものは全く観察さ
れない。従って、このような緻密かつ連続性の良い保護
膜が記録磁性層表面に形成されることにより、周囲雰囲
気ガスの記録磁性層への侵入を防１Ｆ、でき、記録媒体
の耐食性が著しく高められる。

このようにホウ素元素、ホウ素化合物または炭素元素は
緻密かつ連続性の良い薄膜を形成しやすいという性質の
ために、優れた防食用保護膜になりうる。また、］―記
材料の薄膜には、防食効果のほかに、高硬度であるがゆ
えに外力に対し極めて傷つきにくいという性質がある。

しかし、この性質は磁性層の保護に於いて極めて重殻な
役割を果たすが、高硬度ゆえに逆に摺動材である磁気ヘ
ッドを傷つけ易いという欠点を有している。

この欠点は、保護層の表面に、環内に１側辺１＝の窒素
原子と１個以上の二重結合を有する５員。

６員または７員の複素環式官能基あるいは水酸基を末端
に有するフルオロカーボン系潤滑剤を塗布することによ
り解決される。本発明者らの研究によれば、ホウ素元素
、ホウ素化合物または炭素元素からなる保護層に対して
は前記のような特定の潤滑剤を使用した場合に磁気へし
ドの受ける損傷が最も小さくなることが見出された。

この事実は、潤滑剤の末端基である水酸基または複素環
式官能基が、ホウ素元素、ホウ素化合物または炭素元素
からなる保護層表面に強く吸着し、長時間安定に媒体表
面を潤滑するためと考えられる。

ホウ素元素、ホウ素化合物または炭素元素から成る保護
層上に前記フルオロカーボン系潤滑剤を噴霧、バーコー
ド、ハケ塗り、グラビア印刷等の慣用手段により単に塗
布するだけでも本発明の磁気記録媒体を作製することも
できる。

しかし、このように潤滑剤を保護層表面に弔に塗布した
だけの磁気記録媒体は時折磁気ヘッド摺動中にクラッシ
ュが起きるという°ｙ故が発生していた。本発明者等は
この事故原因を深く究明し、その原因が潤滑剤の保護層
表面に対する吸着強度の低さにあることをつきとめた。

そして、このような事実に基づき、保護層表面に吸着し
たガス、たとえば水分、窒素、炭化水素などをスパッタ
エツチングにより取り除いた後、上記潤滑層を塗布する
ことにより、その耐久性が著しく向上することを発見し
た。

従って、優れた耐食性と優れた耐久性を同時に有する本
発明の磁気記録媒体は、磁気記録層の表面上に、ホウ素
元素、ホウ素化合物または炭素元素から成る保護層を設
け、該保護層表面を不活性ガスあるいは酸素ガスにより
スパッタエツチング処理した後、該保護層表面に、環内
に１個以上の窒素原子と１個・以」−の二重結合を何す
る５員、６員または７ｆｉの複、素環式官能基あるいは
水酸基を末端に有するフルオロカーボン系潤滑剤を塗布
することにより一層効果的に作製することができる。

この磁気記録媒体における保護層はホウ素元素１１１、
体あるいは、ホウ素化合物もしくは炭素元素により構成
されている。ホウ素化合物の場合、ホウ素の含有率が５
０ａｔ％以１−のＢ−Ｃ，Ｂ−Ｎ、Ｂ−８ｉ系化合物類
などを使用できる。

また保護層表面をエツチングする際のガス種は、Ｈｅ　
ｓ　Ａ　ｒなどの不活性ガスあるいは酸素ガスなどが好
ましい。特に重要なそめ他のスパッタエツチング処理条
件はエツチングＭを左右するエツチング時間および電力
であり、いずれもエツチング量が、大きくとも約１００
以下度の範囲におさまるようにコントロールされる必要
がある。

この磁気記録媒体における保護膜の膜厚は一般的に３０
人〜１０００人の範囲内である。３０人未満では保護膜
の力学的強度が不１−分となる。−方、１０００人を超
えるとスペーシング損失が大きくなり、記録再生特性が
著しく劣化する。

また、潤滑剤塗膜の膜厚は一般的に３０人〜ｌ０００人
の範囲内である。３０人未滴では均一な膜厚の塗膜を形
成することが困難であるばかりか、１分な潤滑効果が発
揮されない恐れがある。一方、１０００人超では、磁気
ヘッド粘着が生じ、走行性が劣化してくる。

前記の本発明の別の磁気記録媒体について実施例を挙げ
て更に詳細に説明する。

９−Ｎ−ノーＩ 厚さ５０μｍのポリイミドフィルム基板上に、Ｃｒ含何
率１８ａｔ％のＣｏ−Ｃｒ磁性膜、及びホウ素（Ｂ）保
ｊ！膜を真空蒸着法により順次積層した。膜形成時の基
板温度は１４Ｏ℃とし、Ｃｏ−Ｃｒ膜厚及びＢ膜厚は各
々２５００人、２００人とした。また、Ｂ膜のかわりに
、同じ膜厚の、Ｃスパッタ膜ｅ　　Ｓ　ｉ０２スパッタ
膜を保護膜として形成した。次いで、これらの保護膜の
上に末端基の異なる数種のフルオロカーボン系潤滑剤を
３００人塗布した。

このようにして作製した磁気記録媒体を５Ｏ２１口度が
ｌｏｐｐｍで温度４５°Ｃ９湿度７０％ＲＨの雰囲気中
に２４Ｏ時間放置し、試験前後の飽和磁化頃（Ｍｓ）劣
化率（％）を測定することにより耐食性を評価した。ま
た、耐久性については、５゜２５インチフロッピーディ
スクドライブ装置により記録再生し、初期出力の７０％
に低下するまでの磁気ヘッド摺動回数により評価した。

なお、この耐久性評価に使用した磁気へラドは、ギャッ
プ長０．３μｍのフェライトヘッドである。これらの測
定結果を下記の表２に示す。

（以下余白）゛ 表２に示された結果から明らかなように、Ｂ保護膜上に
、水酸基または特定の複素環式基を末端に有するフルオ
ロカーボン系の潤滑剤を塗布した本発明の磁気記録媒体
は、他の磁気記録媒体に比べて、耐久性および耐食性の
両方とも著しく優れている。

災五匠１１ 厚さ５０μｍのポリイミドフィルム基板１ユに、Ｃｒ含
有率１８ａｔ％のＣｏ−Ｃｒ磁性膜及びＢ保Ｗ１膜を真
空蒸着法により順次積層した。膜形成時の基板温度は１
８０°Ｃとし、Ｃｏ−Ｃｒｍ性膜及ヒＢｃＡ！ｒ１膜の
膜厚は各々３６００人、１００人とした。

次いで１−記のようにして形成した媒体を真空槽から取
り出し、’ｌ”ＩＩ室内に放置した後、Ａ　ｒガスを使
用するスパッタ装置を用いて保護膜の表面をエツチング
処理した。その後、この保護膜表面に、ピリジル末端基
を何するパーフルオロポリエーテル潤滑剤を３００人塗
布し、試料Ａを１ツた。

比較のために、半ト１室内に放置しただけで、スパッタ
エツチング処理を施さない保２ｆ膜表面にピリジル末端
基を有するパーフルオロポリエーテル潤滑剤を塗布した
試料Ｂおよびｌ′：ＦＩ６０°Ｃ９９０％ＲＨの高温高
湿下に放置したがスパッタエツチング処理を施さない保
護膜表面にピリジル末端基を有するパーフルオロポリエ
ーテル潤滑剤を塗布した試料Ｃをそれぞれ作製した。

次いで、このようにして作製した試料を３．５インチフ
ロッピーディスクドライブにより記録再生し、初期出力
の７０％に低下するまでの磁気ヘッド摺動回数により耐
久性を評価した。なお、この耐久性評価に使用した磁気
ヘッドはギャップ長０．３μｍのアモルファス−フェラ
イト複合型ヘッドである。測定結果を下記の表３に示す
。

表３に示された結果から明らかなように、Ｂ保護膜の表
面をスパッタエツチング処理してから潤滑剤を塗布した
試料Ａは、スパッタエツチング処理しない試料Ｂに比べ
て耐久性が約２倍になる。

試料Ｂは実施例８で得られた本発明の磁気記録媒体と基
本的に同じものである。この試料Ｂの耐久性は試料Ｃの
約４倍も高い。

［発明の効果コ 以−１−説明したように、何らかの形で潤滑剤を有する
磁気記録媒体において、前記潤滑剤を磁気記録媒体の構
成材料に対して付着性の強い潤滑剤と磁気ヘッドの構成
材料に対して付着性の強い潤滑剤との少なくとも２種類
以りの複合体から構成することにより耐久性に優れた磁
気記録媒体が得られる。

また、磁気記録層の表面十、に、ホウ素元素、ホウ素化
合物または炭素元素から成る保護層を設け、この保護層
をスパッタエツチング処理してから該保護居士、に、環
内に１側辺」−の窒素原子と１個以上の゛−重結合を自
する５員、６員または７員の複素環式官能基あるいは水
酸基を末端に有するフルオロカーボン系潤滑剤を塗布す
ることにより耐久性及び耐食性に優れた磁気記録媒体が
得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録媒体の一例の断面構造を示す
概要図、第２図は別の例の断面構造を示す概要図、第３
図は他の例の断面構造を示す概要図、第４図は更に別の
例の断面構造を示す概要図、第５図は本発明の別の磁気
記録媒体の概念的な断面構造を示す部分拡大断面図であ
る。 １・・・複合潤滑層、　３・・・第１潤滑剤。 ５・・・第２潤滑剤、１０・・・磁気記録媒体。 １２・・・非磁性基体、１４・・・磁性層。 １６・・・硬質保護層、２０・・・保護層。 ２２・・・潤滑剤塗膜

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）磁気記録層上または磁気記録層上に形成された保
   護膜上に、潤滑剤層を有する磁気記録媒体において、前
   記潤滑剤層が磁気記録層またはその上の保護層に対して
   付着性の強い潤滑剤と磁気ヘッドの構成材料に対して付
   着性の強い潤滑剤との少なくとも２種以上の複合体から
   構成されていることを特徴とする磁気記録媒体。 （２）磁気記録層上に硬質保護層を有し、該硬質保護層
   上に潤滑層を有することを特徴とする請求項１記載の磁
   気記録媒体。 （３）硬質保護層がホウ素、炭素または珪素を主成分と
   し、該保護層と付着性の強い潤滑剤は、環内に少なくと
   も１個の窒素原子と少なくとも１個の二重結合を含む５
   員、６員または７員のヘテロ環式基を末端に有するパー
   フルオロカーボン系潤滑剤であり、磁気ヘッドに対して
   付着性の強い潤滑剤は、−ＣＦ＿３、−ＯＨ、−ＣＯＯ
   Ｈ、−ＣＯＯＲ（Ｒ：アルキル基もしくはフッ素化アル
   キル基）、−ＮＣＯの群より選ばれる基を末端に有する
   パーフルオロカーボン系潤滑剤であることを特徴とする
   請求項２記載の磁気記録媒体。 （４）保護層と付着性の強いパーフルオロカーボン系潤
   滑剤は下記の一般式で示される化合物であることを特徴
   とする請求項３記載の磁気記録媒体。 ＲＯ−（Ｃ＿３Ｆ＿６Ｏ）ｍ−（ＣＦＸＯ）ｎ−ＣＦＸ
   −Ｌ（１）または、 Ｒ″ＣＦＸＯ−（Ｃ＿３Ｆ＿６Ｏ）ｘ（ＣＦＸＯ）ｙ−
   （Ｃ＿２Ｆ＿４Ｏ）ｚ−ＣＦＸ−Ｌ（２）［式中Ｒ＝−
   ＣＦ＿３、−Ｃ＿２Ｆ＿５、−Ｃ＿２Ｆ＿７；Ｘ＝Ｆ、
   −ＣＦ＿３； Ｒ″＝Ｆ、−ＣＦ＿３、−Ｃ＿２Ｆ＿５、Ｌ；ｍ＝３な
   いし１００の整数； ｎ＝有限整数又は０で、ｍ＋ｎ＝３ないし１００である
   。 ｎが有限数の時には、ｍ／ｎは５ないし２０でＲはＣＦ
   ＿３であることが好ましく、ｎが０の時には、Ｒは−Ｃ
   ＿２Ｆ＿５又は、 −Ｃ＿３Ｆ＿７である； ｘ＝有限整数または、０； ｙ、ｚ＝有限整数で、ｘ＋ｙ＋ｚは５ないし２００、 （ｘ＋ｚ）／ｙは５ないし０．５、 ｘ＝０の時、ｚ／ｙは１ないし０．５、ｙ＋ｚは５ない
   し２００である； Ｌ＝基Ｙ−Ｚで、 Ｙ＝−ＣＨ＿２Ｏ−、ＣＨ＿２ＯＣＨ＿２−、−ＣＦ＿
   ２−、ＣＦ＿２Ｏ−； Ｚ＝▲数式、化学式、表等があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼ ［式中、Ｒ＿２は水素、塩素、臭素又は式Ｅ−Ｏ−のア
   ルコキシ基（Ｅは炭素数１ないし３のアルキル残基）で
   ある］、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中、Ｂは酸素または硫黄原子であり、ＥおよびＲ＿
   ２は前記に定義したとおりのものである）、▲数式、化
   学式、表等があります▼または▲数式、化学式、表等が
   あります▼（式中、Ｒ＿１は水素または炭素原子数１〜
   ３のアルキル基であり、Ｒ＿２は前記に定義したとおり
   のものである）、または、 ▲数式、化学式、表等があります▼または▲数式、化学
   式、表等があります▼ （式中、Ｂ、Ｅ、Ｒ＿１は前記に定義したとおりのもの
   である）で示される構造の基である。）（５）磁気記録
   層はＣｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒおよびそれらの合金類から
   選択される少なくとも一種類の成分を含む金属薄膜から
   なることを特徴とする請求項１または２記載の磁気記録
   媒体。 （６）磁気記録層の表面上に、ホウ素元素、ホウ素化合
   物または炭素元素から選択される少なくとも一種類の成
   分から成る保護層を設け、該保護層上に、環内に１個以
   上の窒素原子と１個以上の二重結合を有する５員、６員
   または７員の複素環式官能基あるいは水酸基を末端に有
   するフルオロカーボン系潤滑剤を塗布したことを特徴と
   する磁気記録媒体。 （７）水酸基を末端に有するフルオロカーボン系潤滑剤
   を塗布したことを特徴とする請求項６記載の磁気記録媒
   体。 （８）環内に１個以上の窒素原子と１個以上の二重結合
   を有する５員、６員または７員の複素環式官能基を末端
   に有するフルオロカーボン系潤滑剤を塗布したことを特
   徴とする請求項６記載の磁気記録媒体。 （９）磁気記録層の表面上に、ホウ素元素、ホウ素化合
   物または炭素元素から選択される少なくとも一種類の成
   分から成る保護層を設け、該保護層表面を不活性ガスあ
   るいは酸素ガスによりスパッタエッチング処理した後、
   該保護層表面に、環内に１個以上の窒素原子と１個以上
   の二重結合を有する５員、６員または７員の複素環式官
   能基あるいは水酸基を末端に有するフルオロカーボン系
   潤滑剤を塗布することを特徴とする磁気記録媒体の製造
   方法。 （１０）水酸基を末端に有するフルオロカーボン系潤滑
   剤を塗布することを特徴とする請求項９記載の磁気記録
   媒体の製造方法。 （１１）環内に１個以上の窒素原子と１個以上の二重結
   合を有する５員、６員または７員の複素環式官能基を末
   端に有するフルオロカーボン系潤滑剤を塗布することを
   特徴とする請求項９記載の磁気記録媒体の製造方法。