JPH013063A - 超電導材料の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、超電導材料の製造方法に関する。より詳細に
は、高い超電導臨界温度を有する新規な超電導材料の製
造方法に関する。

従来の技術 超電導現象は、物体が特定の条件下で完全な反磁性を示
し、その内部で有限な定常電流が流れているにも関わら
ず電位差が現れなくなる現象である。このような状態に
ある物質を超電導体と呼び、電力損失の全くない伝送媒
体としての各種の応用が提案されている。

例えば、超電導技術を電力送電に応用すれば、現在送電
に伴って生じている約７％の送電損失を大幅に減少でき
る。また、電力貯蔵方法としても、超電導電力貯蔵は今
日知られている電力貯蔵方法として最も効率の高いもの
であると言われている。

また、高磁場発生用電磁石への応用は、最も早くから実
現され、また利用分野も極めて広い。発電技術の分野で
はＭＨＤ発電、電動機等と共に、開発に発電量以上の電
力を消費するともいわれる核融合反応の実現を有利に促
進する技術として期待されている。また輸送機器の分野
では磁気浮上列車、電磁気推進船舶等の動力として、更
に、計測・医療の分野でもＮＭＲ，π中間子治療、高エ
ネルギー物理実験装置などへの利用が期待されている。

また、複数の超電導体を弱く接合すると、量子効果の巨
視的な具現であるジョセフソン効果が観測される。この
効果を利用したトンネル接合型ジョセフソン素子は、超
電導体のエネルギーギャップが小さいことから、極めて
高速且つ低電力消費のスイッチング素子として期待され
ている。更に、電磁波や磁場に対するジョセフソン効果
が鋭敏な量子現象として現れることから、この素子を磁
場、マイクロ波、放射線等の超高感度センサとして利用
することも提案されている。

このようにあらゆる分野において電力効率を向上すると
いう社会的ニーズに答える技術として、超電導技術は核
融合の実用化と並ぶ重要な技術であると言われている。

ところで、従来の技術においては超電導現象は超低温下
においてのみ観測されていた。即ち、従来開発された超
電導材料としては、八−１５型の結晶構造を有する一群
の物質が比較的高いＴ。（超電導臨界温度）を示すこと
が確認されているが、Ｔｃが最も高いといわれるＮｂ３
ＧｅにおいてもＴ。は依然として２３．２　Ｋに止まっ
ている。

そこで、従来は、超電導現象を実施するために、沸点が
４．２にの液体ヘリウムを用いて超電導材料をＴｃ以下
ま七冷却している。尚、２３．２　ＫのＴｃに対しては
、沸点が２０にの液体水素の使用等も考えられるが、臨
界温度Ｔｃとは、一般に超電導現象の開始温度であり、
物質の相転移が終了して電気抵抗が零となる温度Ｔ。Ｆ
は臨界温度Ｔｃよりも更に低い。従って、液体水素を冷
却媒体として材料を２０Ｋまで冷却しても超電導体は得
られない。

ところが、液体ヘリウムを用いた場合、液化設備も含め
た冷却設備による技術的負担並びにコスト的負担は極め
て大きく、超電導技術による省エネルギ効果を虚しくし
てしまう。また、ヘリウムは元来存在量の少ない物質で
あり、１９９０年代後半には枯渇するとの試算もある。

特に、わが国では液体ヘリウムの生産は行われておらず
、現状では全量を輸入に頼っている。従って、ヘリウム
の使用からの脱却は、超電導技術の実用化における極め
て重要な課題のひとつである。

また、超電導現象は、超電導材料の置かれた空間の磁場
の影響を受けることが知られており、第１種超電導体は
かなり低い下部臨界磁場Ｈｃｌにおいて容易に超電導効
果を失う。また、第２種超電導体にあっても特定のＨｃ
２において超電導現象が消失する。従って、前述した高
磁場発生用電磁石への応用等を考えると、臨界磁場の高
い超電導材料が求められる。現状では経験則に過ぎない
が、高い臨界磁場を得るためには、その材料が高い臨界
温度を有することが好ましいことが知られており、この
点からも超電導材料のＴｃの向上が望まれている。

発明が解決しようとする課題 一方、長期間に亘る様々な努力にもかかわらず超電導材
料のＴｃはＮｂ３Ｇｅの２３Ｋを越えることができなか
ったが、近年に到って、［ａ族元素あるいは］ｌＪａ族
元素の酸化物を含む焼結体が高いＴ。

をもつ超電導体となり得ることが報告され、非低温超電
導体実現の可能性が俄かに高まっている。

既に報告されている例では、（Ｌａ、　Ｂａｌ　２ｃｕ
０４または（Ｌａ、　Ｓｒ〕２ｃｕＯａ等のに２ＮｉＦ
、型酸化物が挙げられ、これらはペロブスカイト型超電
導酸化物と類似した結晶構造を有するものと考えられて
いる。これらの物質では、３０乃至５０にという従来に
比べて飛躍的に高いＴ。が観測され、更に、７０に以上
のＴｃが観測された例もあるが、前述のように、液体窒
素等の廉価で人手の容易な冷却媒体を用いるためには依
然として不充分であると言わざるを得ない。

そこで、本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決
し、冷却媒体として液体窒素が利用可能な高い臨界温度
Ｔ、を有し、安定した特性の新規な超電導材料の製造方
法を提供することにある。

さらに本発明の目的は、高いＴ。並びにＴＣＰを有する
と共に、その特性が長期間に亘って安定した新規な超電
導材料の製造方法を提供することにある。

さらに本発明の目的は、任意の形状、配置に容易に適用
できる新規な超電導材料の製造方法を提供することにあ
る。

さらに本発明の目的は、高能率且つ安定した品質の超電
導材料を製造する方法を提供することにある。

尚、本明細書において、超電導材料の超電導開始温度あ
るいは臨界温度をＴＣ１材料の電気抵抗が完全に零とな
る相転移終了温度をＴ。２、Ｔｃ　とＴｃｐとの差をΔ
Ｔと表す。

課題を解決するための手段 上記した従来技術の問題点を解決し、高いＴ。

およびＴ。、を有する超電導材料とその製造方法を提供
するため本発明者等は種々の実験、検討の結果、ペロブ
スカイト型または擬似ペロブスカイト型酸化物焼結体か
らなる超電導材料は、予備焼成と焼結時の酸素濃度と圧
力を制御することによって高く且つ安定した超電導臨界
温度を示すことを見出し、この知見に基づき本発明を完
成したものである。

即ち、本発明に従い、周期律表１ａ、ＩＩＩａ族元素か
ら選択された１種の元素Ｍ１と、周期律表ＩＩａ、Ｉ［
ａ族元素から選択された１種の元素Ｍ２と、周期律表Ｉ
ｂ、■ｂ、−■ｂ、■ａ族元素から選択された１種の元
素Ｍ３との各酸化物または炭酸塩の粉末混合物を予備焼
成した後粉砕し、更に成形して焼結し、ペロブスカイト
型または疑似ペロブスカイト型の酸化物超電導材料を製
造する方法において、前記予備焼成および／または前記
焼結工程を０．２〜５００気圧の分圧の酸素含有雰囲気
下で、７００〜１０００℃の温度範囲で行うことを特徴
とする酸化物超電導材料の製造方法が提供される。

本発明者の研究によると、得られる焼結体超電導材料は
下記の一般式で示され、 （ＭＬ−、Ｍ２．）Ｍ３ｙＯ□ （ただし、２は０〜５の実数である） ｘ、ｙがそれぞれ０．１〜０．９．０．４〜１．０とな
るように、）、１１、）、）２、Ｃｕの酸化物または炭
酸塩の粉末を混合することが好ましい。この混合粉末に
、さらに、ＶＳＮｂＳＴａ、　Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ、ＣｒＳ
Ｍｎ、　Ｇａ５Ｉｎ。

Ｃｄ、　５ｎＳＴｌ、ｐｂまたはＺｎの１種または２種
以上の酸化物、炭酸塩、硫酸塩または硝酸塩の粉末、好
ましくは酸化物あるいは炭酸塩の粉末を添加することも
できる。これらの金属元素の添加は、Ｖ、Ｎｂ、　Ｔａ
、　Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ、Ｃｒ、　Ｍｎ、　Ｇａ、　Ｉｎ５
Ｃｄ、　Ｓｎ。

Ｔ１、Ｐｂ又はＺｎの元素とＣｕとの原子比が０．０１
〜０．１５の範囲となるように行うのが好ましい。

これらの添加元素のうち、ＶＳＮｂ、　Ｔａ、　Ｍｏ、
ＷｌＴｉ、　Ｃｒ、　Ｍｎが超電導臨界温度を上昇する
のに好ましく、Ｖ、　Ｎｂ、　Ｔａ、がさらに好ましい
。また、これらの添加元素の金属または合金は単独添加
でも複合添加でもよい。

本発明の好ましい態様によれば、Ｍ３はＣｕてあり、Ｍ
ｌ　はＢａ又はＳｒであり、更に、Ｍ２は、ＹｌＳｃ、
　Ｌａ、　Ｃｅ、　Ｇｄ５Ｈｏ、計、Ｌｕの内、少なく
とも１つである。

更に、好ましくは、前記予備焼成および／または前記焼
結工程を酸素濃度２５％以下の酸素含有雰囲気、例えば
、酸素−アルゴン混合ガス雰囲気下で行う。本発明の１
つの態様によれば、前記予備焼成および／または前記焼
結工程を酸素濃度５％〜２５％の酸素−アルゴン混合ガ
ス雲囲気下で１００〜５００気圧でＨＩＰ処理して行う
。本発明の別つの態様によれば、前記予備焼成および／
または前記焼結工程を酸素濃度５％〜９５％の酸素−ア
ルゴン混合ガス雰囲気下で１０〜１００気圧の高圧ガス
炉で行う。更に異なる態様によれば、前記予備焼成およ
び／または前記焼結工程を酸素濃度５％〜９９％の酸素
−アルゴン混合ガス雰囲気下で０．２〜１０気圧の低圧
ガス炉で行う。

更に本発明者の研究によると、粉砕した焼成体を６０〜
８０％の相対密度で成形し、焼結することが好ましい。

さらに本発明者等の実験結果によると、予備焼成後の焼
成体を平均粒径５μｍ以下に粉砕後、成形するのが好ま
しい。

さらに本発明の好ましい態様に従うと、予備焼成を７０
０〜９５０℃の範囲の温度で、焼結を８００〜１０００
℃の範囲で実施する。焼結後、さらに４００〜８００℃
の範囲の温度に加熱することによって熱処理してペロブ
スカイト型または擬似ペロブスカイト型酸化物を安定化
してもよい。

さらに本発明の１態様に従うと、焼結後直ちに、または
焼結体を５００〜８００℃の範囲に再加熱し、急冷処理
を含む熱処理を実施してもよい。

さらに本発明の好ましい態様に従うと、予備焼成、粉砕
および成形を含む一連の工程を３回以上繰り返してＭｌ
−Ｍ２−Ｍ３−０の固相反応を完全に進行せしめ、且つ
微細な粒度の焼成粉末を得る。特に、焼結前の予備焼成
後の焼成体を平均粒径２〜３μｍに粉砕することが好ま
しく、Ａ１□０３０ボールを用いるボールミルによって
、または空気、アルゴンガスまたは窒素ガスを媒体とし
、Ａｌ２Ｏ３のターゲットにジェット流を衝突させるジ
ェットミルによって行うのが望ましい。

さらに本発明者等は原料粉末の粒径が成品焼結体の超電
導特性に関係することを見出し、この知見に基づき、Ｍ
ｌ　、Ｍ２およびＭ３の各酸化物または炭酸塩の粉末の
平均粒径を２０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下、さ
らに好ましくは５μｍ以下とする。

作用 上述のような本発明による酸化物超電導ざいりょの製造
方法においては、０２．〜５００気圧の０分圧下で予備
焼成および／または焼結を実施している。

５００気圧までの高圧酸素を用いることにより、超電導
性セラミックスからの脱酸素過剰による超電導相の生成
率の低下を防止し、校内まで均一な超電導相を形成し易
い。尚、５００気圧以上の酸素分圧は、顕著な効果は認
められず、設備の耐久性、経済性の点でも問題が多い。

一方、酸素濃度５％以下では脱酸素防止効果が小さい。

特に高い酸素分圧雰囲気で焼結を行うことにより、超電
導セラミックスの緻密化が進行し易いため、焼結温度を
低酸素分圧雰囲気の場合に比較して低めに設定できるた
め、微細な結晶粒径の焼結体が得られる。

それにより、超電導相の多い結晶粒界層の割合が多くな
り、高いＴｏが得られる。

また、酸素への混合ガスとして不活性ガスであるアルゴ
ンを用いているので、高温高圧下においてもＨＩＰ装置
等の高圧チャンバーの耐久性が向上する。比較例として
Ｎ２を用いた場合は長期間の使用により高圧チャンバー
内面の窒化により脆化し、高圧装置として適さない。一
方、Ｈｅは高価であり、工業的には実用的でない。

更に、酸素濃度を２５％以下におさえであるので、高温
、高圧下における予備焼成、焼結工程において、ＨＩＰ
装置等の高圧チャンバー等の酸化による劣化を防止でき
、設備の耐久性が格段に向上する。

さらに本発明の好ましい態様に従うと、前記予備焼成お
よび／または前記焼結工程を、酸素濃度５％〜２５％の
酸素含有雰囲気、例えば酸素−アルゴン混合ガス雰囲気
下で１００〜５００気圧でＨＩＰ処理して行い、または
、酸素濃度５％〜９５％の酸素含有雰囲気、例えば酸素
−アルゴン混合ガス雲囲気下で１０〜１００気圧の高圧
ガス炉で行い、更にまたは、酸素濃度５％〜９９％の酸
素−アルゴン混合ガス雰囲気下で０．２〜１０気圧の低
圧ガス炉で行う。このように酸素濃度と圧力の組合せを
調整することにより、焼結体内の酸素濃度を調整するこ
とが容易になり、超電導臨界温度を大幅に向上すること
ができる。

本発明の方法により得られる焼結体超電導材料が下記の
一般式で示され、 （Ｍｌｌ−、、Ｍ２．　）Ｍ３．　Ｏ□（ただし、２は
０〜５の実数である） Ｘ１ｙがそれぞれ０．１〜０．９．０．４〜１．０とな
るように、Ｍｌ　、Ｍ２　、Ｍ３の酸化物または炭酸塩
の粉末を混合する。

上記組成が望ましい理由は、Ｘ＝＝０．１〜０．９、ｙ
＝０．４〜１．０の範囲外では７７に以上のＴ。、を達
成し難いためである。最も高いＴＣＰは、Ｘ　＝０．４
付近で得られる傾向が認められる。

特に、Ｍ３をＣｕとし、ＭｌをＢａ又はＳｒとし、更に
、Ｍ２は、ＹｌＳｃ−、Ｌａ５Ｃｅ、　ｃｄ、　Ｈｅ５
ＥｒＳＬｕの内、少なくとも１つとした場合、高いＴ。

Ｆが得られる。

また、予備焼成は１回に限定されるものではなく、−旦
予備焼成した材料を粉砕し、再び予備焼成することによ
って材料の一層の均質化が達成できることが［ｎされて
いる。すなわち、本発明の方法では粉末材料を焼成した
後得られた焼成体を粉砕する予備焼成工程と、該予備焼
成後に得られた粉末を成形、焼結する焼結工程の少な（
とも２段階で実施するが、この予備焼成工程を繰り返す
ことをが好ましい。

予備焼成は７００〜９５０℃の範囲が好ましく、焼結は
８００〜１０００℃の範囲で実施するのが好ましい。

焼結温度８００℃未満では取扱いに十分な強度に焼結せ
ず、１０００℃を越えると、溶解あるいは分解してしま
う。特に焼結は、（上記焼成体粉末の融点）〜（上記焼
成体粉末の融点−１００℃）の範囲の温度で行い、結晶
成長を抑制し、超電導効果のあるペロブスカイト型また
は擬似ペロブスカイト型酸化物の微細な結晶とするのが
好ましい。

本発明の好ましい態様に従うと、焼結前の焼成体の成形
に際し、成形体の相対密度を６０乃至８０％とすること
が好ましい。本発明者等の知見によれば、ペロブスカイ
ト型または擬似ペロブスカイト型酸化物による超電導体
は、特に焼結体の表面近傍において優れた特性を発揮す
る。これは、表面近傍において焼結時または熱処理時に
雰囲気との反応が超電導特性に好ましく進行し、また、
焼結体の表面に近い相が歪み効果を受けるために優れた
超電導特性が現出した。ものと考えられる。従って、本
発明の方法においては、成形体の相対密度を６０乃至８
０％と比較的低い状態として、焼結時に表面近傍と同じ
効果をより深い領域まで浸透するように操作する。この
ような相対密度の調整は、成形圧力を調整することによ
っても可能であるが、成形時にバインダ、可塑剤および
溶剤の配分を調整することによって容易に制御できる。

さらに本発明に従うと、超電導特性を改善するには２通
りの方法がある。１つは添加物を使用する方法であり、
他方は原料粉末および粉砕した焼成体粉末の粒径を管理
することである。

即ち、本発明の好ましい方法では、混合粉末にＶ、　Ｎ
ｂ、　Ｔａ、　Ｍｏ５ＷＳＴｉ、ＣｒＳＭｎ、　Ｇａ、
　Ｉｎ、　Ｃｄ。

Ｓｎ、　ＴＩ、ＰｂまたはＺｎの１種または２種以上の
元素の酸化物、炭酸塩、硫酸塩または硝酸塩の粉末、好
ましくは酸化物または炭酸塩の粉末を懸架することが有
利である。これらの添加元素とＣｕとの原子比が０．０
１〜０．１５よりも低い場合には添加効果が得られず、
一方、該範囲より高いときには添加効果が飽和し、或い
は所望のペロブスカイト型または擬似ペロブスカイト型
酸化物が得られない。これらのＶＳＮｂＳＴａＳＭｏ、
　ＷＳＴｉ、Ｃｒ、　Ｍｎ５ＧａＳＩｎ。

Ｃｄ、　Ｓｎ、　ＴＩ、ｐｂまたはＺｎの１種または２
種以上の元素を添加することにより焼結体超電導材料の
電流値が大きくなる効果を示す。これは添加によりエレ
クトロンおよび／またはホールが形成されたためと考え
る。さらにこれらの添加元素は焼結体内で歪効果を与え
たり、結晶粒を微細にする効果ををすると考えられる。

これらの添加元素のうち、Ｖ、　ＮｂＳＴａＳＭｏ、　
Ｗ、　Ｔｉ、ＣｒＳＭｎが好ましく、さらにＶ、　Ｎｂ
、　Ｔａが特に好ましい。

さらに、微細組織のペロブスカイト型または擬似ペロブ
スカイト型酸化物焼結体を得るには、予備焼成前の原料
粉末の粒径および予備焼成並びに粉砕後の粉末の粒径に
ついて厳重な管理が必要である。

即ち、予備焼成前の原料粉末の平均粒径が、２０μｍを
越えると、焼結後の粉砕工程を経た後も、十分な結晶粒
径の微細化ができず、具体的には６μｍ以上となってし
まう。従って、結晶粒径の微細化を図るためには、原料
粉末の粒径を２０μｍ１好ましくは１０μｍ、さらに好
ましくは５μｍ以下、超電導特性のさらなる改善には１
μｍ以下とするのが好ましい。このような１μｍ以下の
超微粒子はゾル−ゲル法、あるいは共沈法、塩化物の気
相反応法等により形成することができる。

また、予備焼成後の粉砕工程は、後の焼結後の結晶粒径
に直接的な影響があり、５μｍを越えると、焼結後の焼
結体の結晶粒径が大きくなり結晶粒界量が減少する。前
述のように、結晶粒界の減少は、高いＴｃの達成に好ま
しくない。

こうした〔予備焼成→粉砕→成形〕の工程を複数回繰り
返すことによって、原料粉末あるいは焼成体の固溶反応
を促進し、また、焼結に供する粉末の結晶粒径を微細化
しておくことが好ましい。

これらの観点から、上記Ｃ予備焼成→切砕→成形〕の一
連の工程は、少なくとも３回以上繰り返すことが好まし
い。

さらに本発明の好ましい態様に従うと、得られた焼結体
をさらに熱処理して実質的に均一な擬似ペロブスカイト
型酸化物とする。この熱処理により電気抵抗が完全に零
となる超電導臨界温度が著しく上昇する。この熱処理は
、４００〜８００℃の範囲の温度で実施することが好ま
しい。すなわち、この熱処理により適正な酸素欠陥が発
生し、これにより生ずるキャリヤによって電子のクーパ
一対ができる確率が高くなり、抵抗が完全に零となる超
電導臨界温度が著しく上昇するものと推定される。

尚、加熱温度が４００℃未満の場合は、焼結体が所望の
超電導臨界温度が得られないか、あるいは長時間の熱処
理が必要となる。一方、８００℃を超える処理温度では
臨界温度は著しく低下する。

焼結体の熱処理により、ΔＴは更に３〜５℃向上する結
果、より高いＴ。、が得られる。熱処理の条件は：酸素
含有雪囲気下で４００〜８００℃の範囲が良い。この理
由は、４００℃未満あるいは８００℃を越える温度では
酸素欠陥の形成が過小又は過大となり、７７に以上のＴ
。ｐが得難いためである。

更に本発明の好ましい態様に従うと、上記焼結後、直ち
に、または焼結後、５００〜８００℃の範囲に再加熱し
、急冷処理を含む冷却工程のある熱処理を実施すること
によって、さらに超電導臨界温度を上昇させることがで
きる。この急冷処理により本発明の方法により製造され
る焼結体は、より優れた超電導特性を有する擬似ペロブ
スカイト構造となる。

また、これらの本発明の好ましい態様に従うことによっ
て、超電導材料の組成が均一化されると共に安定し、具
体的に後述するように、特性の経時劣化が少ないことも
認められた。

実施例 以下に本発明を実施例により具体的に説明するが、以下
の実施例は本発明の単なる例示であり、これらの開示に
よって本発明の技術的範囲は何隻制限されるものではな
い。

実施例 純度３Ｎ以上、平均粒径５μｍ以下のＢａＣＯ３、Ｙ２
Ｏ３、ＣｕＯの各々の粉末を、焼成後の組成が、Ｂａｔ
−ｘＹ、ｃｕ、Ｏｚ　としたときに、Ｘ＝０．２．０．
４．０．６、ｙ＝１となるように混合した３種類の材料
を用意した。

各々の混合粉末を１気圧の酸素中で９２０℃で２４時間
焼成し、ケーキ状に固化した粉末を乳鉢で粗粉砕した後
、高純度アルミナ製ボールミルにて８時間粉砕し、平均
粒径を３μｍとした。以下、この工程を２回くり返して
、Ｂａｔ−、ＹｘＣｕ○３−ｕ組成の粉末を得た。

この粉末を１．０ｔｏｎ　／　ｃｒｄの圧力にて、３Ｘ
２Ｘ１５ｍｍに成形し、酸素濃度２０％の酸素−アルゴ
ン混合ガス雰囲気中で酸素分圧４００気圧（総圧２００
０気圧）にて、９００℃で５時間焼結した。

尚、臨界温度Ｔ。並びにＴ。Ｆの測定は、定法に従って
試料の両端にＡｇ導電ペーストにて電極を付け、タラビ
オスタット中で直流４点プローブ法で行った。温度はキ
＋’）ブレーション済みのＡｕ（Ｐｅ）−Ａｇ熱電対を
用いて行った。温度を少しづつ上昇させながら抵抗の変
化を観察した。

この結果を第１表に試料Ｎｏ、　１〜３として示す。

更に、他の［ａ〜■族元素の組み合せについても上記と
同様の方法で試作及び測定を行った。尚、第１表ては、
酸素濃度は％て表示し、酸素分圧は気圧で表示している
。但し、焼結温度条件については、８００〜１０００℃
の範囲で試料が測定可能な特性を得る条件を見い出して
決定した。また、３週間後ｊこ同一材料を同一条件で測
定したところ、本発明に従う焼結体のＴｃの変化は±Ｉ
Ｋの範囲であり、有意な変化は認められなかった。

第１表 発明の詳細 な説明したように、本発明により提供される複合酸化物
系超電導材料は、従来の超電導材料に比べて高い超電導
臨界温度Ｔ。が得られ、しかも経時変化が小さい安定し
た超電導材料である。

この超電導焼結体は、薄板材、細線材あるいは小部品と
して、また、この線材をスパッタリング等により薄膜化
し、ジョセフソン素子、５ＱＵＩＤ（Ｊａ束計）、超電
導マグネット、赤外センサ素子、モーター等への広範な
応用分野に適用できる。

特許出願人　　住友電気工業株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）周期律表IIａ、IIIａ族元素から選択された１種
   の元素Ｍ１と、周期律表IIａ、IIIａ族元素から選択さ
   れた１種の元素Ｍ２と、周期律表 I ｂ、IIｂ、IIIｂ、
   VIIIａ族元素から選択された１種の元素Ｍ３との各酸化
   物または炭酸塩の粉末混合物を予備焼成した後粉砕し、
   更に成形して焼結し、ペロブスカイト型または疑似ペロ
   ブスカイト型の酸化物超電導材料を製造する方法におい
   て、 前記予備焼成および／または前記焼結工程を０．２〜５
   ００気圧の分圧の酸素含有雰囲気下で、７００〜１００
   ０℃の温度範囲で行うことを特徴とする酸化物超電導材
   料の製造方法。
2. （２）前記予備焼成および／または前記焼結工程時の雰
   囲気が、実質的に酸素−アルゴンの混合ガスであること
   を特徴とする第１請求項に記載の酸化物超電導材料の製
   造方法。