JPH01307014A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH01307014A JPH01307014A JP13669688A JP13669688A JPH01307014A JP H01307014 A JPH01307014 A JP H01307014A JP 13669688 A JP13669688 A JP 13669688A JP 13669688 A JP13669688 A JP 13669688A JP H01307014 A JPH01307014 A JP H01307014A
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- Japan
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- magnetic
- magnetic head
- slider
- head slider
- magnetic disk
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多孔質な材料で成る磁気ヘントスライダの微
小な気孔にフッ素系液体閏滑剤を含浸させ耐久性を高く
した磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
小な気孔にフッ素系液体閏滑剤を含浸させ耐久性を高く
した磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
磁気テープ装置或いはフロッピーディスク装置等のよう
に、いわゆるＰＥＴ等の可撓性のある基板上に磁性膜を
形成した磁気記録装置では、信号の記録／再生時に磁気
ヘッドと磁気記録媒体とが接触走行している。
に、いわゆるＰＥＴ等の可撓性のある基板上に磁性膜を
形成した磁気記録装置では、信号の記録／再生時に磁気
ヘッドと磁気記録媒体とが接触走行している。
一方、アルミニウム合金やセラミックス等の剛性の高い
基板上に磁性膜を形成した磁気ディスク媒体を用いる磁
気ディスク装置においては、動圧気体軸受である磁気ヘ
ッドスライダを用いて、高速回転する磁気ディスク媒体
上に磁気ヘッドスライダを微小すきまで浮上させ、記録
／再生を行っている。そのため、塵埃の混入等の外乱、
ポジショナ等の機構部品や磁気ディスク媒体の振動等に
よって、磁気へラドスライダの浮上すきまが低下した場
合には、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体が高速
で間欠的に接触する。
基板上に磁性膜を形成した磁気ディスク媒体を用いる磁
気ディスク装置においては、動圧気体軸受である磁気ヘ
ッドスライダを用いて、高速回転する磁気ディスク媒体
上に磁気ヘッドスライダを微小すきまで浮上させ、記録
／再生を行っている。そのため、塵埃の混入等の外乱、
ポジショナ等の機構部品や磁気ディスク媒体の振動等に
よって、磁気へラドスライダの浮上すきまが低下した場
合には、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体が高速
で間欠的に接触する。
また、近年では磁気ヘッドスライダを磁気ディスク媒体
上に接触させた状態で、磁気ディスク媒体の回転／停止
を行うコンタクトスタートストフプ（Ｃ３Ｓ）方式の磁
気ディスク装置が主流になってきている。このようなＣ
８Ｓ方式を採用した磁気ディスク装置において、磁気デ
ィスク媒体の回転数が一定値以下の場合には、磁気へラ
ドスライダに充分な動圧が発生しないので、磁気へ７ド
スライダと磁気ディスク媒体とのすきまが所期の値に達
せず、磁気ディスク媒体が磁気ヘッドスライダと接触し
て走行する。
上に接触させた状態で、磁気ディスク媒体の回転／停止
を行うコンタクトスタートストフプ（Ｃ３Ｓ）方式の磁
気ディスク装置が主流になってきている。このようなＣ
８Ｓ方式を採用した磁気ディスク装置において、磁気デ
ィスク媒体の回転数が一定値以下の場合には、磁気へラ
ドスライダに充分な動圧が発生しないので、磁気へ７ド
スライダと磁気ディスク媒体とのすきまが所期の値に達
せず、磁気ディスク媒体が磁気ヘッドスライダと接触し
て走行する。
以上の場合、磁気ヘッドスライダ或いは磁気ディスク媒
体の磁性膜自体は潤滑性を有さす、或いは有していても
極めて低い潤滑性しか示さないので、長時間の接触走行
が起こると、磁気ヘッドスライダ或いは磁気ディスク媒
体が摩耗し、いわゆるヘッドクラッシュが生じる。
体の磁性膜自体は潤滑性を有さす、或いは有していても
極めて低い潤滑性しか示さないので、長時間の接触走行
が起こると、磁気ヘッドスライダ或いは磁気ディスク媒
体が摩耗し、いわゆるヘッドクラッシュが生じる。
そこで一般に、磁気ディスク媒体表面に潤滑剤をオーバ
ーコートして、その潤滑性を高めることが行われている
。
ーコートして、その潤滑性を高めることが行われている
。
ところが、潤滑剤を磁気ディスク媒体表面にオーバーコ
ートして潤滑膜を形成しても、長期間の接触走行に伴う
磁気ディスク媒体表面の潤滑膜の剥離等によって、磁気
へラドスライダ或いは磁気ディスク媒体が摩耗する場合
があった。
ートして潤滑膜を形成しても、長期間の接触走行に伴う
磁気ディスク媒体表面の潤滑膜の剥離等によって、磁気
へラドスライダ或いは磁気ディスク媒体が摩耗する場合
があった。
従って、磁気へラドスライダと磁気ディスク媒体の潤滑
性を向上させ、磁気ヘッドスライダと磁気ヘッド媒体の
摩耗をできるだけ抑圧することが重要となっている。
性を向上させ、磁気ヘッドスライダと磁気ヘッド媒体の
摩耗をできるだけ抑圧することが重要となっている。
そこで、従来の磁気ヘントスライダでは、＾１ｚＯｓ−
ＴｉＣやＭｎ−Ｚｎフェライト等の比較的硬質で緻密な
材料を磁気ヘッドスライダ材料として適用することによ
って、磁気ヘッドスライダの耐摩耗性を向上させること
が行われていたが、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣやＭｎ−Ｚｎフ
ェライト等の比較的硬質で潤滑性が低い材料を磁気ヘン
トスライダに適用した場合には、相手側の磁気ディスク
媒体が摩耗し易くなるという問題があった。
ＴｉＣやＭｎ−Ｚｎフェライト等の比較的硬質で緻密な
材料を磁気ヘッドスライダ材料として適用することによ
って、磁気ヘッドスライダの耐摩耗性を向上させること
が行われていたが、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣやＭｎ−Ｚｎフ
ェライト等の比較的硬質で潤滑性が低い材料を磁気ヘン
トスライダに適用した場合には、相手側の磁気ディスク
媒体が摩耗し易くなるという問題があった。
本発明は以上のような点に鑑みてなされたもので、その
目的は、磁気ヘッドスライダの潤滑性を高めて、磁気ヘ
ントスライダ自体はもとより、磁気ディスク媒体の摩耗
をも抑圧できるようにすることである。
目的は、磁気ヘッドスライダの潤滑性を高めて、磁気ヘ
ントスライダ自体はもとより、磁気ディスク媒体の摩耗
をも抑圧できるようにすることである。
このために本発明の磁気ヘッドは、磁気へラドスライダ
として使用した多孔質材料の表面及び内部に存在する微
小な気孔にフッ素系液体潤滑剤を含浸させて構成した。
として使用した多孔質材料の表面及び内部に存在する微
小な気孔にフッ素系液体潤滑剤を含浸させて構成した。
またこれを製造するために、多孔質材料で成る磁気ヘッ
ドスライダをフッ素系液体潤滑剤中で８０〜２５０℃の
温度で、少なくとも１０−１Ｔｏｒｒ．以下の真空雰囲
気中で加熱して、上記多孔質材料の表面及び内部に存在
する微小な気孔にフッ素系液体潤滑剤を含浸させる方法
を用いた。
ドスライダをフッ素系液体潤滑剤中で８０〜２５０℃の
温度で、少なくとも１０−１Ｔｏｒｒ．以下の真空雰囲
気中で加熱して、上記多孔質材料の表面及び内部に存在
する微小な気孔にフッ素系液体潤滑剤を含浸させる方法
を用いた。
多孔質な磁気ヘッドスライダにフッ素系液体潤滑剤が含
浸されていることにより、磁気ヘッドスライダと磁気デ
ィスク媒体の潤滑性を高めることができ、磁気へラドス
ライダと磁気ディスク媒体の耐久性を高めることができ
る。従って、本発明の磁気へラドスライダは、Ｃ８Ｓ方
式等を採用した磁気ディスク装置等に適用して極めて有
効である。
浸されていることにより、磁気ヘッドスライダと磁気デ
ィスク媒体の潤滑性を高めることができ、磁気へラドス
ライダと磁気ディスク媒体の耐久性を高めることができ
る。従って、本発明の磁気へラドスライダは、Ｃ８Ｓ方
式等を採用した磁気ディスク装置等に適用して極めて有
効である。
以下、本発明の磁気ヘッドスライダの実施例について説
明する。第１図は本発明の磁気ヘッドスライダＡを示す
図であり、第２図に示す緻密な材料（ＡｈＯｉ−ＴｉＣ
やＭｎ−Ｚｎフェライト等の比較的硬質で緻密な材料）
で形成された従来の磁気ヘッドスライダＢと比較して、
その材質が多孔質の材料でなり、その表面及び／又は内
部に存在する微小な気孔にフッ素系液体潤滑剤１０を含
浸させている。
明する。第１図は本発明の磁気ヘッドスライダＡを示す
図であり、第２図に示す緻密な材料（ＡｈＯｉ−ＴｉＣ
やＭｎ−Ｚｎフェライト等の比較的硬質で緻密な材料）
で形成された従来の磁気ヘッドスライダＢと比較して、
その材質が多孔質の材料でなり、その表面及び／又は内
部に存在する微小な気孔にフッ素系液体潤滑剤１０を含
浸させている。
第３図に上記した磁気ヘントスライダＡを製造するため
の装置Ｃの例を示す。内部に密閉可能な真空室１を備え
た加熱用密閉容器２は、その真空容器ｌ内に載置された
物質を輻射加熱する１組のヒータ３と共に、真空室１と
排気用ポンプ４とを連通ずる吸気管５を具備している。
の装置Ｃの例を示す。内部に密閉可能な真空室１を備え
た加熱用密閉容器２は、その真空容器ｌ内に載置された
物質を輻射加熱する１組のヒータ３と共に、真空室１と
排気用ポンプ４とを連通ずる吸気管５を具備している。
また、これらの手段により設定された真空室１内の状態
を外部から監視するために、真空室１内に突出配置した
温度センサ６によって計測された加熱温度を表示する温
度表示部７及び真空室ｌ内界囲気の真空度を検出して表
示する圧力表示部８を備えている。
を外部から監視するために、真空室１内に突出配置した
温度センサ６によって計測された加熱温度を表示する温
度表示部７及び真空室ｌ内界囲気の真空度を検出して表
示する圧力表示部８を備えている。
また、上記排気手段並びに加熱手段の動作時間を計測し
て、所定の時間が経過すると自動的にこれらの動作を停
止するタイマ９も備えている。更に、密閉容器２内には
多孔質の磁気ヘッドスライダ八が、フッ素系液体潤滑剤
１０で満たした収納容器１１内に配置されるようになっ
ている。
て、所定の時間が経過すると自動的にこれらの動作を停
止するタイマ９も備えている。更に、密閉容器２内には
多孔質の磁気ヘッドスライダ八が、フッ素系液体潤滑剤
１０で満たした収納容器１１内に配置されるようになっ
ている。
この装置Ｃでは、まずヒータ３のスイッチ（図示せず）
を投入し、加熱用密閉容器２の内部を１００℃に保存し
ておく。この際、温度は温度センサ６により検知され、
温度表示部７においてそれを読み取ることができる。次
に多孔質でなる磁気ヘッドスライダＡを配置すると共に
フッ素系液体潤滑剤１０を満たした収納容器１１を、加
熱用密閉容器２の内部に装填する。
を投入し、加熱用密閉容器２の内部を１００℃に保存し
ておく。この際、温度は温度センサ６により検知され、
温度表示部７においてそれを読み取ることができる。次
に多孔質でなる磁気ヘッドスライダＡを配置すると共に
フッ素系液体潤滑剤１０を満たした収納容器１１を、加
熱用密閉容器２の内部に装填する。
この後、排気用ポンプ４で吸気管５を介して密閉容器内
部を排気して、圧力表示部８で内部圧力を確認しながら
１０−ＩＴｏｒｒ、まで減圧し、真空室１を真空雰囲気
とした後に、１時間加熱を行う。
部を排気して、圧力表示部８で内部圧力を確認しながら
１０−ＩＴｏｒｒ、まで減圧し、真空室１を真空雰囲気
とした後に、１時間加熱を行う。
この際、多孔質な磁気ヘントスライダへの内部に存在す
る空気はスライダ外部に排出される。この加熱を行った
後に、密閉容器２の内部を大気圧に戻し、磁気ヘッドス
ライダＡの内部にフッ素系液体潤滑剤１０を含浸させる
。なお、表面に残存した潤滑剤は、事後にトリクロロト
リフロロエチレン等の溶剤を含む清浄な織布でワイプを
行う等をして、除去する。
る空気はスライダ外部に排出される。この加熱を行った
後に、密閉容器２の内部を大気圧に戻し、磁気ヘッドス
ライダＡの内部にフッ素系液体潤滑剤１０を含浸させる
。なお、表面に残存した潤滑剤は、事後にトリクロロト
リフロロエチレン等の溶剤を含む清浄な織布でワイプを
行う等をして、除去する。
以上の条件で得られた本発明の磁気ヘッドスライダと磁
気デイクス媒体との摺動試験を行ない、潤滑性について
調べた結果を第４図を用いて説明する。第４図には、気
孔率が１５％の多孔質なＳｉＣの磁気ヘッドスライダに
、エステル基を有するフッ素系液体潤滑剤を含浸させ、
無潤滑のγ−ｐＢｚ０３薄膜磁気ディスク媒体との摺動
試験を行った後の磁気へラドスライダ押付荷重に対する
磁気へラドスライダ摩耗量の関係を示した。なお、比較
のため、第４図には従来のＡｌ２Ｏ２−Ｔｉｃの磁気へ
ラドスライダについて調べた結果も併せて示している。
気デイクス媒体との摺動試験を行ない、潤滑性について
調べた結果を第４図を用いて説明する。第４図には、気
孔率が１５％の多孔質なＳｉＣの磁気ヘッドスライダに
、エステル基を有するフッ素系液体潤滑剤を含浸させ、
無潤滑のγ−ｐＢｚ０３薄膜磁気ディスク媒体との摺動
試験を行った後の磁気へラドスライダ押付荷重に対する
磁気へラドスライダ摩耗量の関係を示した。なお、比較
のため、第４図には従来のＡｌ２Ｏ２−Ｔｉｃの磁気へ
ラドスライダについて調べた結果も併せて示している。
この第４図からも明らかなように、本発明の磁気ヘッド
では、１０ｇｆの高い押付荷重での摩耗量は従来の磁気
ヘッドスライダに比べて大幅に低下し、磁気ヘッドスラ
イダの耐摩耗性が高くなっていることがわかる。
では、１０ｇｆの高い押付荷重での摩耗量は従来の磁気
ヘッドスライダに比べて大幅に低下し、磁気ヘッドスラ
イダの耐摩耗性が高くなっていることがわかる。
第５図には、第４図で示した実験に用いたγ−Ｆｅｚ０
３薄膜磁気ディスク媒体の摩耗量と磁気ヘッドスライダ
押付荷重との関係を示した。この第５図から明らかなよ
うに、本発明の磁気へ７ドスライダを用いることにより
、磁気ディスク媒体の摩耗も大幅に抑圧することができ
る。
３薄膜磁気ディスク媒体の摩耗量と磁気ヘッドスライダ
押付荷重との関係を示した。この第５図から明らかなよ
うに、本発明の磁気へ７ドスライダを用いることにより
、磁気ディスク媒体の摩耗も大幅に抑圧することができ
る。
従って、本発明の磁気ヘッドスライダによれば、磁気ヘ
ッドスライダと磁気ディスク媒体の潤滑性を高めること
ができ、磁気ヘントスライダはもとより、磁気ディスク
媒体の耐久性をも向上させることができる。
ッドスライダと磁気ディスク媒体の潤滑性を高めること
ができ、磁気ヘントスライダはもとより、磁気ディスク
媒体の耐久性をも向上させることができる。
なお、上記実施例では、気孔率が１５％の多孔質なＳｉ
Ｃを磁気ヘントスライダの材料に適用し、エステル基を
有するフッ素系液体潤滑剤中において１００℃、１（Ｉ
’Ｔｏｒｒの真空雰囲気でそのフッ素系液体潤滑剤を含
浸させたが、気孔率は１５％以上でも良い。またスライ
ダ材料としてはＳｉＪ。
Ｃを磁気ヘントスライダの材料に適用し、エステル基を
有するフッ素系液体潤滑剤中において１００℃、１（Ｉ
’Ｔｏｒｒの真空雰囲気でそのフッ素系液体潤滑剤を含
浸させたが、気孔率は１５％以上でも良い。またスライ
ダ材料としてはＳｉＪ。
やＡ１□０５等の材料であっても、多孔質で気孔が存在
すれば良い。更にスライダ材料は真空に排気した後に液
体潤滑材中に投入しても良い。更に多孔質な材料に含浸
させる潤滑剤としては、カルボキシル基や水酸基等の官
能基を有する橿性液体潤滑剤でも良く、或いは気孔に比
べて微小な潤滑性を有するＭ ＣＡ （Ｍｅｌａｎ＋ｉ
ｎｅ Ｃｙａｎｕｒａｔｅ Ａｄｄｕｃｔ）等の固体微
粒子と液体潤滑剤とで構成された潤滑剤であっても良い
、潤滑剤を多孔質な材料に含浸させる雰囲気の温度は、
８０〜２５０℃の範囲であれば良く、雰囲気の温度は１
０−１Ｔｏｒｒ．以下であれば良い。
すれば良い。更にスライダ材料は真空に排気した後に液
体潤滑材中に投入しても良い。更に多孔質な材料に含浸
させる潤滑剤としては、カルボキシル基や水酸基等の官
能基を有する橿性液体潤滑剤でも良く、或いは気孔に比
べて微小な潤滑性を有するＭ ＣＡ （Ｍｅｌａｎ＋ｉ
ｎｅ Ｃｙａｎｕｒａｔｅ Ａｄｄｕｃｔ）等の固体微
粒子と液体潤滑剤とで構成された潤滑剤であっても良い
、潤滑剤を多孔質な材料に含浸させる雰囲気の温度は、
８０〜２５０℃の範囲であれば良く、雰囲気の温度は１
０−１Ｔｏｒｒ．以下であれば良い。
以上のように、本発明の磁気へラドスライダ及びその製
法によれば、磁気へラドスライダと磁気ディスク媒体の
潤滑性を高めることができ、高記録密度化、耐久性の向
上環に顕著な効果が発揮される。このため、Ｃ８Ｓ方式
を適用した磁気ディスク装置等に適用して極めて有効な
ものである。
法によれば、磁気へラドスライダと磁気ディスク媒体の
潤滑性を高めることができ、高記録密度化、耐久性の向
上環に顕著な効果が発揮される。このため、Ｃ８Ｓ方式
を適用した磁気ディスク装置等に適用して極めて有効な
ものである。
第１図は本発明の一実施例の磁気ヘントスライダの説明
図、第２図は従来の磁気へラドスライダの説明図、第３
図は本発明の磁気ヘントスライダの製造に使用する装置
の説明図、第４図は本発明の磁気ヘッドスライダと従来
の磁気ヘッドスライダについて、γ−Ｆｅ、０．薄膜磁
気ディスク媒体との摺動試験の結果の摩耗量の測定結果
を示す図、第５図は第４図で行った試験に用いたγ−Ｆ
ｅｚＯｚ薄膜磁気ディスク媒体の試験後の摩耗量の測定
結果を示す図である。 Ａ・・・本発明の一実施例の磁気ヘントスライダ、Ｂ・
・・従来の磁気ヘッドスライダ、Ｃ・・・本発明の磁気
ヘントスライダの製造に使用する装置。 ■・・・真空室、２・・・加熱用密閉容器、３・・・ヒ
ータ、４・・・排気用ポンプ、５・・・吸気管、６・・
・温度センサ、７・・・温度表示部、８・・・圧力表示
部、９・・・タイマ、１０・・・フッ素系液体潤滑剤、
１１・・・収納容器。 代理人 弁理士 長 尾 常 明 第１図 γ− 第２図 一 第４図 ２ｆ４１藺曳（９ｆ） 第５図 ；ヂ、１１側土（９ｆ）
図、第２図は従来の磁気へラドスライダの説明図、第３
図は本発明の磁気ヘントスライダの製造に使用する装置
の説明図、第４図は本発明の磁気ヘッドスライダと従来
の磁気ヘッドスライダについて、γ−Ｆｅ、０．薄膜磁
気ディスク媒体との摺動試験の結果の摩耗量の測定結果
を示す図、第５図は第４図で行った試験に用いたγ−Ｆ
ｅｚＯｚ薄膜磁気ディスク媒体の試験後の摩耗量の測定
結果を示す図である。 Ａ・・・本発明の一実施例の磁気ヘントスライダ、Ｂ・
・・従来の磁気ヘッドスライダ、Ｃ・・・本発明の磁気
ヘントスライダの製造に使用する装置。 ■・・・真空室、２・・・加熱用密閉容器、３・・・ヒ
ータ、４・・・排気用ポンプ、５・・・吸気管、６・・
・温度センサ、７・・・温度表示部、８・・・圧力表示
部、９・・・タイマ、１０・・・フッ素系液体潤滑剤、
１１・・・収納容器。 代理人 弁理士 長 尾 常 明 第１図 γ− 第２図 一 第４図 ２ｆ４１藺曳（９ｆ） 第５図 ；ヂ、１１側土（９ｆ）
Claims (2)
- （１）、スライダ材料に多孔質材料が使用されて成る磁
気ヘッドであって、上記多孔質材料の表面及び内部に存
在する微小な気孔にフッ素系液体潤滑剤を含浸させたこ
とを特徴とする磁気ヘッド。 - （２）、多孔質材料で成る磁気ヘッドスライダをフッ素
系液体潤滑剤中で８０〜２５０℃の温度で、少なくとも
１０＾−＾１Ｔｏｒｒ．以下の真空雰囲気中で加熱して
、上記多孔質材料の表面及び内部に存在する微小な気孔
に上記フッ素系液体潤滑剤を含浸させることを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13669688A JPH01307014A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13669688A JPH01307014A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01307014A true JPH01307014A (ja) | 1989-12-12 |
Family
ID=15181337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13669688A Pending JPH01307014A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01307014A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2366657A (en) * | 1997-06-27 | 2002-03-13 | Seagate Technology Llc | Slider for disc storage system |
-
1988
- 1988-06-03 JP JP13669688A patent/JPH01307014A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2366657A (en) * | 1997-06-27 | 2002-03-13 | Seagate Technology Llc | Slider for disc storage system |
| GB2366657B (en) * | 1997-06-27 | 2002-04-24 | Seagate Technology Llc | Slider for disc storage system |
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