JPH01313196A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH01313196A JPH01313196A JP63144956A JP14495688A JPH01313196A JP H01313196 A JPH01313196 A JP H01313196A JP 63144956 A JP63144956 A JP 63144956A JP 14495688 A JP14495688 A JP 14495688A JP H01313196 A JPH01313196 A JP H01313196A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- workpiece
- mirror
- folding mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing
- B23K26/0676—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing into dependently operating sub-beams, e.g. an array of spots with fixed spatial relationship or for performing simultaneously identical operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、複数の加工点に同時にレーザ光を照射して
加工を行なう場合に使珀して好適なレーザ加工装置に関
する。
加工を行なう場合に使珀して好適なレーザ加工装置に関
する。
（従来の技術）
従来、１つのレーザ発振器から出射されたレーザ光によ
り同時に２点にレーザ光を照射して加工を行なう場合、
第３図に示すようなレーザ加工装置が用いられている。
り同時に２点にレーザ光を照射して加工を行なう場合、
第３図に示すようなレーザ加工装置が用いられている。
即ち、レーザ発振器１から出射されたレーザ光２はハー
フミラ−３により反射光５及び透過光６に分岐される。
フミラ−３により反射光５及び透過光６に分岐される。
反射光５は集光レンズ７により集光され、被加工物１１
へ照射される。又、透過光６は全反射ミラー４により折
曲げられ、更に集光レンズ８により集光され、被加工物
１１へ照射される。
へ照射される。又、透過光６は全反射ミラー４により折
曲げられ、更に集光レンズ８により集光され、被加工物
１１へ照射される。
尚、光路上に配置されている減光フィルタ９及び１０は
、ハーフミラ−３によるパワーバランス補正用の減光フ
ィルタである。
、ハーフミラ−３によるパワーバランス補正用の減光フ
ィルタである。
（発明が解決しようとする課題）
上記のような従来のレーザ加工装置では、レーザ光２は
ハーフミラ−３及び全反射ミラー４の２枚の折返しミラ
ーを用いて２つに分岐されているので、反射光５及び透
過光６の被加工物１１に対する光軸の間隔が大きくなる
。従って、レーザ照射光のスポットの間隔がレーザビー
ム径程度の長さが要求される被加工物に対しては、この
ような光学系は使用出来ない。
ハーフミラ−３及び全反射ミラー４の２枚の折返しミラ
ーを用いて２つに分岐されているので、反射光５及び透
過光６の被加工物１１に対する光軸の間隔が大きくなる
。従って、レーザ照射光のスポットの間隔がレーザビー
ム径程度の長さが要求される被加工物に対しては、この
ような光学系は使用出来ない。
又、ハーフミラ−３は一般に数％の誤差が生じるので、
パワーバランスの補正を行なうために、減光フィルタ９
及び１０が必要となる。通常、パワーの高い光路側に減
光フィルタを挿入し、パワーの低い光路側に合わせるが
、減光フィルタで減光されるエネルギ分だけのエネルギ
損失が生じることとなる。
パワーバランスの補正を行なうために、減光フィルタ９
及び１０が必要となる。通常、パワーの高い光路側に減
光フィルタを挿入し、パワーの低い光路側に合わせるが
、減光フィルタで減光されるエネルギ分だけのエネルギ
損失が生じることとなる。
この発明は、エネルギ損失がなく、且つスポット間隔が
レーザビーム径程度の短い被加工物の同時２点加工に適
したレーザ加工装置を提供することを目的とする。
レーザビーム径程度の短い被加工物の同時２点加工に適
したレーザ加工装置を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明は、レーザ発振器から出射されたレーザ光を折
返しミラーにより折曲げ、その折曲げられたレーザ光を
集光して被加工物に照射して加工を行なうレーザ加工装
置において、上記折返しミラーのレーザ光に対する反射
面を階段状に形成したレーザ加工装置である。
返しミラーにより折曲げ、その折曲げられたレーザ光を
集光して被加工物に照射して加工を行なうレーザ加工装
置において、上記折返しミラーのレーザ光に対する反射
面を階段状に形成したレーザ加工装置である。
（作用）
この発明によれば、レーザ光を折返しミラーの階段状の
反射面で複数に分岐しているので、各分岐系路の光軸の
間隔をレーザビーム径程度に短くすることが可能である
。又、ハーフミラ−を使用していないので、パワーバラ
ンス補正用の減光フィルタは不要となり、エネルギ損失
もなくなる。
反射面で複数に分岐しているので、各分岐系路の光軸の
間隔をレーザビーム径程度に短くすることが可能である
。又、ハーフミラ−を使用していないので、パワーバラ
ンス補正用の減光フィルタは不要となり、エネルギ損失
もなくなる。
（実施例）
以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。
明する。
この発明によるレーザ加工装置は、第１図に示すように
構成され、レーザ発振器１２から出射されるレーザ光１
３の光路上には、折返しミラー１４が配設されている。
構成され、レーザ発振器１２から出射されるレーザ光１
３の光路上には、折返しミラー１４が配設されている。
この折返しミラー１４は従来とは異なり、反射面が階段
状に形成されている。この階段状の反射面１４ａ、１４
ｂに対応して、レーザ光１５．１６の光路上には、それ
ぞれ集光レンズ１７．１８が配設されている。この集光
レンズ１７．１８は、折返しミラー１４によって折曲げ
られたレーザ光１５．１６を集光して、被加工物１つへ
照射するためのものである。
状に形成されている。この階段状の反射面１４ａ、１４
ｂに対応して、レーザ光１５．１６の光路上には、それ
ぞれ集光レンズ１７．１８が配設されている。この集光
レンズ１７．１８は、折返しミラー１４によって折曲げ
られたレーザ光１５．１６を集光して、被加工物１つへ
照射するためのものである。
さて動作時には、レーザ発振器１２から出射されたレー
ザ光１３は折返しミラー１４によって折曲げられるが、
折返しミラー１４の反射面１４ａ１１４ｂが階段状に形
成されているため、２つのレーザ光１５．１６に分岐さ
れる。分岐されたレーザ光１５．１６はそれぞれ集光レ
ンズ１７．１８により集光され、被加工物１９へ照射さ
れる。
ザ光１３は折返しミラー１４によって折曲げられるが、
折返しミラー１４の反射面１４ａ１１４ｂが階段状に形
成されているため、２つのレーザ光１５．１６に分岐さ
れる。分岐されたレーザ光１５．１６はそれぞれ集光レ
ンズ１７．１８により集光され、被加工物１９へ照射さ
れる。
尚、被加工物１つへ照射されたレーザ光のスポット間隔
は折返しミラー１４の形状、即ち、上段の反射面１４ａ
と下段の反射面１４ｂの高さにより決められるため、レ
ーザ光１５．１６のビーム径程度のスポット間隔で同時
照射が可能となる。
は折返しミラー１４の形状、即ち、上段の反射面１４ａ
と下段の反射面１４ｂの高さにより決められるため、レ
ーザ光１５．１６のビーム径程度のスポット間隔で同時
照射が可能となる。
以上述べたように、この実施例では折返しミラー１４の
反射面１４ａ、１４ｂでレーザ光１３を分岐させている
ため、レーザ光１５．１６のビーム径程度のスポット間
隔で同時２点の照射が可能となる。又、ハーフミラ−を
使用していないので、効率の良い且つコンパクトな同時
多点加工光学系が構成出来る。
反射面１４ａ、１４ｂでレーザ光１３を分岐させている
ため、レーザ光１５．１６のビーム径程度のスポット間
隔で同時２点の照射が可能となる。又、ハーフミラ−を
使用していないので、効率の良い且つコンパクトな同時
多点加工光学系が構成出来る。
（変形例）
第２図はこの発明の変形例を示したもので、上記実施例
と同様効果が得られる。即ち、この変形例では、上記実
施例の集光レンズ１７及び１８で集光した光を光ファイ
バー２０及び２１へ入射させている。この光ファイバー
２０及び２１から出たレーザ光はそれぞれ集光レンズ２
２及び２３により集光され、被加工物１９に照射される
。 尚、上記実施例及び変形例では、折返しミラー１４
に２つの反射面１４ａ、１４ｂが形成されていたが、反
射面は２つに限らず、必要に応じ階段を増やして多（の
反射面を形成することも出来る。
と同様効果が得られる。即ち、この変形例では、上記実
施例の集光レンズ１７及び１８で集光した光を光ファイ
バー２０及び２１へ入射させている。この光ファイバー
２０及び２１から出たレーザ光はそれぞれ集光レンズ２
２及び２３により集光され、被加工物１９に照射される
。 尚、上記実施例及び変形例では、折返しミラー１４
に２つの反射面１４ａ、１４ｂが形成されていたが、反
射面は２つに限らず、必要に応じ階段を増やして多（の
反射面を形成することも出来る。
［発明の効果コ
この発明によれば、レーザ光のビーム径程度のスポット
間隔で同時多点加工が可能となる。この結果、よりコン
パクトで且つ小形の被加工物に適した同時多点光学系を
構成することが出来る。
間隔で同時多点加工が可能となる。この結果、よりコン
パクトで且つ小形の被加工物に適した同時多点光学系を
構成することが出来る。
更に、この発明によれば、折返しミラーの全反射面のみ
でレーザ光を分岐させているので、エネルギ損失のない
効率の良い同時多点光学系を構成することが出来る。
でレーザ光を分岐させているので、エネルギ損失のない
効率の良い同時多点光学系を構成することが出来る。
第１図はこの発明の一実施例に係るレーザ加工装置を示
す概略構成図、第２図はこの発明の変形例を示す概略構
成図、第３図は従来のレーザ加工装置を示す概略構成図
である。 １２・・・レーザ発振器、１３・・・レーザ光、１４・
・・折返しミラー、１４ａ、１４ｂ・”反射面、１７．
１８・・・集光レンズ、１９・・・被加工物。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 １４０反射面 第１図
す概略構成図、第２図はこの発明の変形例を示す概略構
成図、第３図は従来のレーザ加工装置を示す概略構成図
である。 １２・・・レーザ発振器、１３・・・レーザ光、１４・
・・折返しミラー、１４ａ、１４ｂ・”反射面、１７．
１８・・・集光レンズ、１９・・・被加工物。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 １４０反射面 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ発振器から出射されたレーザ光を折返しミラーに
より折曲げ、その折曲げられたレーザ光を集光して被加
工物に照射して加工を行なうレーザ加工装置において、 上記折返しミラーのレーザ光に対する反射面を階段状に
形成したことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63144956A JPH01313196A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63144956A JPH01313196A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01313196A true JPH01313196A (ja) | 1989-12-18 |
Family
ID=15374104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63144956A Pending JPH01313196A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01313196A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5263250A (en) * | 1990-04-27 | 1993-11-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing nozzle plate for ink jet printer |
| EP0706072A3 (en) * | 1994-10-07 | 1996-12-11 | Sumitomo Electric Industries | Optical device for laser machining |
| US5841101A (en) * | 1994-12-27 | 1998-11-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method used in manufacturing a workpiece using a plurality of spaced apart mask patterns |
| US5946024A (en) * | 1994-12-27 | 1999-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Illuminating apparatus and device manufacturing method |
| US6228311B1 (en) | 1996-01-18 | 2001-05-08 | Xaar Technology Limited | Method of and apparatus for forming nozzles |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP63144956A patent/JPH01313196A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5263250A (en) * | 1990-04-27 | 1993-11-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing nozzle plate for ink jet printer |
| US5517000A (en) * | 1990-04-27 | 1996-05-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for forming a workpiece using plural light beams |
| EP0706072A3 (en) * | 1994-10-07 | 1996-12-11 | Sumitomo Electric Industries | Optical device for laser machining |
| US5690845A (en) * | 1994-10-07 | 1997-11-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical device for laser machining |
| US5841101A (en) * | 1994-12-27 | 1998-11-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method used in manufacturing a workpiece using a plurality of spaced apart mask patterns |
| US5946024A (en) * | 1994-12-27 | 1999-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Illuminating apparatus and device manufacturing method |
| US6228311B1 (en) | 1996-01-18 | 2001-05-08 | Xaar Technology Limited | Method of and apparatus for forming nozzles |
| US7473387B2 (en) | 1996-01-18 | 2009-01-06 | Xaar Technology Limited | Method of and apparatus for forming nozzles |
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