JPH01315978A - 電界装置の放電電極 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、物体の荷電や除電のためのイオン源やオソ
ン発生装置として利用したり、あるいは、物体の電気力
による付着や反発なとの電気力学的操作などに利用され
る電界装置に関するものであり、更に述べると、タング
ステンの飛散が少なくて使用が命の長い電界装置の放電
電極に関するものである。

従来の・技術 電界装置は、放電電極と誘導電極とを誘電体基板を介し
て対向せしめ、この両電極間に直流高電圧、又は、交流
高電圧を印加して、気中放電や電気力学的現象なと電界
に固有の現象を発生せしめるものである。（特開昭５９
−４４７８２号及び特開昭５９−４．４７９７号参照）
従来の電界装置の放電電極は、タングステン粉末を用い
たメタライスにより、形成されている。

発明が解決しようとする課題 従来例の電界装置の放電電極では、放電のスパッタによ
りタングステンが飛散するが、このタングステンの飛散
現象は、放電電極の表面層のみならずその内部に咳でわ
たって発生する。

そのため、放電電極は、比較的短い時間で劣化するのて
、使用か命が短くなる。

又、前記電界装置を、例えは、オンナイーリ°として使
用すると、オゾン発生量か減少して性能が低下すると共
に、飛散したタングステンかオランガス中に混入して、
該カスを汚染してしまう。

この発明は、上記事情に鑑み、放電電極の使用寿命の向
上を図ることを目的とする。

課題を解決するための手段 この発明は、放電電極と誘導電極とを誘電体基板を介し
て対向せしめた電界装置において、該放電電極を、タン
グステンとアルミナとの混合体で形成することにより、
上記課題の解決を図るものである。

作用 放電電極と誘導電極間に直流高圧電流ないし交流高圧電
流を印加して放電させると、放電電極の表面層のタング
ステンは、飛散するか、アルミナは、飛散せずにそのま
まの状態をｔ：ｌｔ持する。

そのため、放電電極の内部のタングステンは、アルミナ
により、その飛散を阻止されるのて、放電電極の劣化は
、極めてわずかなものとなる。

実施例 この発明の実施例を添付図面により説明するアルミナ粉
末に、マクネシア２％（重量比、以下間し）、カルシア
２％、シリカ４％を配合してボールミルで５０〜８０時
間、湿式粉・砕した後、脱水乾燥する。

この粉末に、メタクリル酸イソブチルエステル３％、二
ｌ−ロセルロース１％、ジオクチルフタレー１〜０５％
を加え、更に溶剤として、１〜リクロールエヂレン、ｈ
−ブタノールを加えてボールミルで混合し、流動性のあ
るスリシーとする。

これを減圧、脱泡後、平板状に流し出して、除熱し、溶
剤を発散させて、厚さ０．５ｍｍの誘電体基板、即ち、
上部アルミナグリーンシー１へ１、及び下部アルミナシ
ート２を夫々長方形状に形成する。

次に、タングステン粉末にアルミナ３０％を加えて、ボ
ールミルで５０〜８０時間、湿式粉砕した後、脱水乾燥
する。

この粉末を前述のアルミナと同様の方法によりスリラー
状としてメタライスインクとする。

次に、前記アルミナグリーンシート２の上面に通常のス
クリーン印刷法にて、板状の誘導電極３をタングステン
メタライズインクにより印刷し、その−ヒに前記アルミ
ナクリーンシート１を載置し、更に、その上面６ａに線
状の放電電極７を、さきはとのアルミナを３０％含むメ
タライスインクにより印刷して圧着した後、これを１４
００〜１６００°Ｃの非酸化雰囲気で焼成してセラミッ
ク放電体６を形成する。

アルミナ粉末の添加量は、重量比で５〜６０％と、広範
囲に渡り、放電電極のスバ・メタを減少さぜる効果があ
る。

又、アルミナ添加比率は、本電界装置の使用目的に応し
て決めるものとするが、該添加比か５％以−１であると
、放電電極のスパッタを減少させる効果がなくなり、又
、６０％以上であると、メタライスが不導体となる為、
放電阻害が起こる。

ここて、タングステンメタライズへのアルミナ添加量と
、スパッタ量、及び放電の強さとの関係を述べると、ア
ルミナ添加量が少ない場合は、スパッタ量は多いが、放
電は、強い傾向にあり、また、逆にアルミナ添加量が多
い場合は、スパッタ量は少ないが、放電は、弱くなる傾
向にある。

この為、本電界装置を良好なる条件、例えば、乾燥空気
中での使用の場合は、アルミナ添加量を少なくし、他方
、高湿度雰囲気等の悪条件の場合は、放電電極の劣化が
激しくなる為、アルミナの添加比を増すこととする。

次に、この実施例の作動につき説明すると、導体４．９
に接続する端子１０を介して、高周波高温高圧電源１２
より放電電極７と誘導電極３との間に高周波高温高圧を
印加すると、放電電極７の端縁から高周波放電が誘電体
基板１の上面１ａに沿って発生し豊富な正負イオンを含
むプラスマを形成する。

従って、これを帯電物体の近傍に近ずりると、その電荷
と逆極性のイオンがこのプラスマから該帯電物体に向か
って供給され、これを迅速に除電する。

このとき、放電のスパッタにより放電電極７の表面ＪＷ
　７　ａのタングステンＷは飛散するが、アルミナＡは
飛散せずそのままの状態を維持する。　そのため、放電
電極７の内部７１）のタングステンは、アルミナＡに邪
魔されて飛散することかてきない。

従って、放電電極７の表面層７ａのタングステンな＋１
が飛散し、該表面層７ａだけが、第１図に示すように、
凸凹状となるにすぎないので、放電電極７の劣化は極め
てわずかなものとなる。

発明の効果 この発明に係る電界装置の放電電極は、タングステンと
アルミナとの混合体により形成されているのて、放電時
のスパッタによるタングステンの飛散現象は放電電極の
表面層のみに発生し、その内部においては発生しない。

従って、放電電極の劣化は極めてわずかなものとなるの
で、従来例の放電電極に比べ使用寿命が長くなり長期間
安定した放電が得られる。

又、この放電電極を使用して、オゾナイザを形成すると
、タングステンの飛散が少ないので、発生ずるオソンカ
スは極めてクリーンなものとなる。

更に、重量比で５〜６０％のアルミナをタングステンメ
タライズに添加すると、電界装置の使用条件に対応する
最適な放電電極を得ることができる。

そのなめ、乾煙空気中や高温雰囲気中等の悪条件下で電
界装置を用いても、放電電極のスパッタを減少させる効
果を十分骨ることができると共に、放電阻害も発生ずる
ことはない。

【図面の簡単な説明】

第１Ｉ２Ｉは、本発明の実施例を示す断面で、第２図の
要部拡大断面図、第２図は、本発明の使用状態を示す縦
断面図である。 ｌ、２　・　・　誘電体基板 ３　　　・・・・　誘導電極 ７　　　・・・・・　放電電極 Ａ　　　・・・・　アルミナ Ｗ　　　・・・・　タングステン

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）放電電極と誘導電極とを誘電体基板を介して対向
   せしめた電界装置において、該放電電極が、タングステ
   ンとアルミナとの混合体で形成されていることを特長と
   する電界装置の放電電極。
2. （２）放電電極と誘導電極とを誘電体基板を介して対向
   せしめた電界装置において、該放電電極が、重量比で５
   〜６０％のアルミナを添加したタングステンメタライズ
   により形成されていることを特徴とする電界装置の放電
   電極。