JPH0741116Y2 - 電界装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、物体の荷電や除電のためのイオン源として
利用したり、あるいは、物体の電気力による付着や反発
などの電気力学的操作等に利用される電界装置に関する
ものである。

従来の技術 電界装置は、誘導電極を埋設した誘電体基板の表面に放
電電極を設け、この両電極に直流高電圧、或は、交流高
電圧を印加して気中放電や電気力学的現象など電界に固
有の現象を発生させるものである。（特開昭59−44782
号及び特開昭59−44797号参照） 考案が解決しようとする課題 従来の電界装置では、誘電体基板の裏面に設けた端子を
介して放電電極へ印加していたが、この端子と誘導電極
との最短間隔が、放電電極と誘導電極との最短間隔より
小さく形成されていたので、端子の表面に沿面放電が発
生する。

そのため、端子がオゾンにさらされて、その表面が酸化
されるので、リードを取り付けたときの信頼性に問題が
生じる。

又、端子と誘導電極との間における電界強度が強いた
め、絶縁破壊が生じることがある。

この考案は、上記事情に鑑み、端子にリードを取り付け
たときの信頼性を向上させると共に端子と誘導電極との
間における絶縁破壊を防止することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この考案は、誘導電極を埋設した誘電体基板の表面に放
電電極を設け、該基板の裏面に導体を介して前記放電電
極と接続する端子を設けた電界装置において、前記基板
の表面と導体との間に離間絶縁層を設けて前記導体を前
記誘導電極の先端より遠ざけると共に、該離間絶縁層の
表面に前記導体を配設し、かつ、前記端子の後端と前記
誘導電極の先端との最短距離を、前記放電電極及び導体
と誘導電極との最短距離より大きくすることにより、上
記課題を解決せんとするものである。

作用 誘導電極と放電電極に高周波交流高電圧を印加すると、
該放電電極の端縁から誘電体基板の表面に沿って、高周
波放電が発生するが、該放電電極の端子側、即ち、前記
基板の裏面には沿面放電が発生しないので、該端子は、
オゾンにさらされることがない。

実施例 この考案の実施例を添付図面により説明するが、同一図
面符号は、その名称も機能も同一である。

まず、第１図、第４図に示す電界装置について説明す
る。

アルミナ粉末にマグネシア２％（重量比、以下同じ）、
カルシア２％、シリカ４％を配合してボールミルで50〜
80時間湿式粉砕した後脱水乾燥する。

この粉末にメタクリル酸イソブチルエステル３％、ニト
ロセルロール１％、ジオクチルフタレート0.5％を加
え、更に溶剤としてトリクロールエチレン、ｈ−ブタノ
ールを加えてボールミルで混合し流動性のあるスラリー
とする。

このスラリーを減圧、脱泡後、平板状に流し出して除熱
し溶剤を発散させて厚さ0.5mmの上部アルミナグリーン
シート（以下、上部シートという）１及び下部アルミナ
グリーンシート（以下、下部シートという）２を夫々長
方形状に形成する。

下部シート２の上面に、長手方向にスクリーン印刷の手
法を用いて長方形の面状の誘導電極３を形成すると共に
この誘導電極３を貫通導体４を介して下面の接触用導体
部５に接続する。

次に、下部シート２の上面に上部シート１を載置して誘
電体基板６を形成し、その表面6aに前記スクリーン印刷
の手法を用いて誘導電極３と対向する線状の放電電極７
を形成すると共に前記表面6aの端部に誘導電極３の先端
3aの真上まで伸びるアルミナグリーンシートを重ねて凸
状絶縁層８を形成する。

この絶縁層８は、放電電極７に接続する導体９と誘電電
極３の先端3aとの間隔ｔを大きくすることにより、その
間の電界強度を弱め、絶縁破壊が生じないようにするも
ので、誘導電極３から絶縁層８の表面までの間隔ｔは、
例えば、誘導電極３と放電電極７との間隔Ｔの1.2倍に
なるように形成される。

誘導体基板６の裏面6bに、メタライズにより端子10を印
刷するが、この端子10の後端10aと誘導電極３の先端3a
との最短間隔は該先端3aと放電電極７及び導体９との最
短間隔より大きくなるように形成され、例えば、該先端
部3aと端子10の後端10aとの水平間隔Ｗを前記間隔Ｔの
２倍に形成する。

次に、凸部絶縁層８の表面上及び誘電体基板６の側面上
にメタライズ等により導体９を引き回し、前記放電電極
７と端子10とを接続するがこの導体９は酸化等による劣
化を防止するためアミシナ等の誘電体で塗装（コート）
する。

この状態で、誘電体基板６を1400℃〜1600℃の非酸化雰
囲気で焼成すると、誘導電極３が埋設され、且、上部シ
ート１と下部シート２が一体となった電界装置が形成さ
れる。

次に、この実施例の作動につき説明すると、接触用導体
部５及び端子10を介して、高周波交流電圧電源12より、
放電電極７と誘導電極３との間に高周波交流高電圧を誘
電体基板６を介して印加すると、放電電極７の端縁から
高周波放電が誘電体基板６の表面に沿って発生し、豊富
な正負イオンを含むプラズマを形成する。

従って、これを帯電物体の近傍に近ずけるとその電荷と
逆極性のイオンがこのプラズマから該帯電物体に向かっ
て供給され、これを迅速に除電する。

この時、端子10と誘導電極３との最短間隔が、誘導電極
３と放電電極７及び導体９との最短間隔より大きく形成
されているので、端子10の端縁から高周波放電が誘電体
基板６の裏面に沿って発生することがない。

従って、端子10は、オゾンにさらされることがないの
で、酸化などによる劣化を防止できる。この電界装置
は、前記実施例の様に除電装置として利用されるばかり
ではなく、オゾン発生装置、帯電装置、或は、静電的輸
送装置などにも広く利用することが出来る。

また、この電界装置の幾何学形状は、平板状のみならず
任意の曲面状、例えば、球面状、半筒状、多角形状、段
階状等に形成でき、これを行うに当たっては、柔軟性に
富む電極付アルミナグリーンシートの段階でこれを所望
の形状に成形の上焼成すれば良い。

この考案の実施例は、上記に限定されるものではなく、
例えば、導体９を誘電体基板６の側面を引き回す代わり
に、第２図に示すように、誘電体基板６の端部に貫通穴
（スルーホール）20を形成し、該穴20に導体９を通して
も良い。

また、誘導電極３の先端3aと端子10の後端10aとの水平
間隔Ｗを誘導電極３と放電電極７との間隔Ｔより大きく
する代わりに、第３図に示すように、誘電体基板６の裏
面6bに誘導電極３の先端3aの真下まで伸びるアルミナグ
リーンシートを重ねて凸状の離間絶縁層30を形成し、該
絶縁層30の下面に端子10を配設することにより誘導電極
３と端子10との最短間隔を大きくしても良い。

考案の効果 この考案は、端子と誘導電極との最短間隔を放電電極及
び導線と誘導電極との最短間隔より大きくしたので、誘
電体基板の裏面には沿面放電が発生しない。

したがって、端子がオゾンにさらされることが無いた
め、酸化などによる劣化を防止できるので、リードを取
り付けたときの信頼性を向上させることが出来る。

また、端子と誘導電極との間の電界強度は、弱くなるの
で絶縁破壊が生じることが無い。

また、導体を誘電体で塗装すると、酸化などによる劣化
を防止できる。誘電体基板の表面と導体との間に離間絶
縁層を設けたので、導体と誘導電極の先端との間隔が大
きくなるので、その間の電界強度が弱まる。そのため、
絶縁破壊の発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は、夫々、本考案の実施例を示す縦断面
図で、第１図は、第４図の要部拡大図、第２図、第３図
は、夫々他の実施例を示す拡大図で第１図に相当する
図、第４図は、使用状態を示す縦断面図である。 ３……誘導電極 ６……誘電体基板 ７……放電電極 10……端子 11……塗装 30……離間絶縁層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｇ 4/008 Ｈ０５Ｆ 3/04 Ｃ 9470−5Ｇ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】誘導電極を埋設した誘電体基板の表面に放
   電電極を設け、該基板の裏面に導体を介して前記放電電
   極と接続する端子を設けた電界装置において、前記基板
   の表面と導体との間に離間絶縁層を設けて前記導体を前
   記誘導電極の先端より遠ざけると共に、該離間絶縁層の
   表面に前記導体を配設し、かつ、前記端子の後端と前記
   誘導電極の先端との最短距離を、前記放電電極及び導体
   と誘導電極との最短距離より大きくしたことを特徴とす
   る電界装置。
2. 【請求項２】導体が、誘電体により塗装されていること
   を特徴とする請求項第１記載の電界装置。
3. 【請求項３】端子が、離間絶縁層を介して誘電体基板に
   設けられていることを特徴とする請求項第１記載の電界
   装置。