JPH0732056B2 - 電界装置の放電電極 - Google Patents
電界装置の放電電極Info
- Publication number
- JPH0732056B2 JPH0732056B2 JP63147317A JP14731788A JPH0732056B2 JP H0732056 B2 JPH0732056 B2 JP H0732056B2 JP 63147317 A JP63147317 A JP 63147317A JP 14731788 A JP14731788 A JP 14731788A JP H0732056 B2 JPH0732056 B2 JP H0732056B2
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- JP
- Japan
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- discharge electrode
- electric field
- alumina
- field device
- discharge
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、物体の荷電や除電のためのイオン源やオゾ
ン発生装置として利用したり、あるいは、物体の電気力
による付着や反発などの電気力学的操作などに利用され
る電界装置に関するものであり、更に述べると、タング
ステンの飛散が少なくて使用寿命の長い電界装置の放電
電極に関するものである。
ン発生装置として利用したり、あるいは、物体の電気力
による付着や反発などの電気力学的操作などに利用され
る電界装置に関するものであり、更に述べると、タング
ステンの飛散が少なくて使用寿命の長い電界装置の放電
電極に関するものである。
従来の技術 電界装置は、放電電極と誘導電極とを誘電体基板を介し
て対向せしめ、この両電極間に直流高電圧、又は、交流
高電圧を印加して、気中放電や電気力学的現象など電界
に固有の現象を発生せしめるものである。（特開昭59−
44782号及び特開昭59−44797号参照） 従来の電界装置の放電電極は、タングステン粉末を用い
たメタライズにより、形成されている。
て対向せしめ、この両電極間に直流高電圧、又は、交流
高電圧を印加して、気中放電や電気力学的現象など電界
に固有の現象を発生せしめるものである。（特開昭59−
44782号及び特開昭59−44797号参照） 従来の電界装置の放電電極は、タングステン粉末を用い
たメタライズにより、形成されている。
発明が解決しようとする課題 従来例の電界装置の放電電極では、放電のスパッタによ
りタングステンが飛散するが、このタングステンの飛散
現象は、放電電極の表面層のみならずその内部にまでわ
たって発生する。そのため、放電電極は、比較的短い時
間で劣化するので、使用寿命が短くなる。
りタングステンが飛散するが、このタングステンの飛散
現象は、放電電極の表面層のみならずその内部にまでわ
たって発生する。そのため、放電電極は、比較的短い時
間で劣化するので、使用寿命が短くなる。
又、前記電界装置を、例えば、オゾナイザとして使用す
ると、オゾン発生量が減少して性能が低下すると共に、
飛散したタングステンがオゾンガス中に混入して、該ガ
スを汚染してしまう。
ると、オゾン発生量が減少して性能が低下すると共に、
飛散したタングステンがオゾンガス中に混入して、該ガ
スを汚染してしまう。
この発明は、上記事情に鑑み、放電電極の使用寿命の向
上を図ることを目的とする。
上を図ることを目的とする。
課題を解決するための手段 この発明は、放電電極と誘導電極とを誘電体基板を介し
て対向せしめた電界装置において；該放電電極が、重量
比で５〜60％のアルミナを添加したタングステンメタラ
イズにより形成されていることを特徴とする電界装置の
放電電極により、上記課題の解決を図るものである。
て対向せしめた電界装置において；該放電電極が、重量
比で５〜60％のアルミナを添加したタングステンメタラ
イズにより形成されていることを特徴とする電界装置の
放電電極により、上記課題の解決を図るものである。
作用 放電電極と誘導電極間に直流高圧電流ないし交流高圧電
流を印加して放電させると、放電電極の表面層のタング
ステンは、飛散するが、アルミナは、飛散せずにそのま
まの状態を維持する。
流を印加して放電させると、放電電極の表面層のタング
ステンは、飛散するが、アルミナは、飛散せずにそのま
まの状態を維持する。
そのため、放電電極の内部のタングステンは、アルミナ
により、その飛散を阻止されるので、放電電極の劣化
は、極めてわずかなものとなる。
により、その飛散を阻止されるので、放電電極の劣化
は、極めてわずかなものとなる。
実施例 この発明の実施例を添付図面により説明するアルミナ粉
末に、マグネシア２％（重量比、以下同じ）、カルシア
２％、シリカ４％を配合してボールミルで50〜80時間、
湿式粉砕した後、脱水乾燥する。
末に、マグネシア２％（重量比、以下同じ）、カルシア
２％、シリカ４％を配合してボールミルで50〜80時間、
湿式粉砕した後、脱水乾燥する。
この粉末に、メタクリル酸イソブチルエステル３％、ニ
トロセルロース１％、ジオクチルフタレート0.5％を加
え、更に溶剤として、トリクロールエチレン、ｈ−ブタ
ノールを加えてボールミルで混合し、流動性のあるスリ
ラーとする。
トロセルロース１％、ジオクチルフタレート0.5％を加
え、更に溶剤として、トリクロールエチレン、ｈ−ブタ
ノールを加えてボールミルで混合し、流動性のあるスリ
ラーとする。
これを減圧、脱泡後、平板状に流し出して、徐熱し、溶
剤を発散させて、厚さ0.5mmの誘電体基板、即ち、上部
アルミナグリーンシート１、及び下部アルミナシート２
を夫々長方形状に形成する。
剤を発散させて、厚さ0.5mmの誘電体基板、即ち、上部
アルミナグリーンシート１、及び下部アルミナシート２
を夫々長方形状に形成する。
次に、タングステン粉末にアルミナ30％を加えて、ボー
ルミルで50〜80時間、湿式粉砕した後、脱水乾燥する。
ルミルで50〜80時間、湿式粉砕した後、脱水乾燥する。
この粉末を前述のアルミナと同様の方法によりスリラー
状としてメタライズインクとする。
状としてメタライズインクとする。
次に、前記アルミナグリーンシート２の上面に通常のス
クリーン印刷法にて、板状の誘導電極３をタングステン
メタライズインクにより印刷し、その上に前記アルミナ
グリーンシート１を載置し、更に、その上面6aに線状の
放電電極７を、さきほどのアルミナを30％含むメタライ
ズインクにより印刷して圧着した後、これを1400〜1600
℃の非酸化雰囲気で焼成してセラミック放電体６を形成
する。
クリーン印刷法にて、板状の誘導電極３をタングステン
メタライズインクにより印刷し、その上に前記アルミナ
グリーンシート１を載置し、更に、その上面6aに線状の
放電電極７を、さきほどのアルミナを30％含むメタライ
ズインクにより印刷して圧着した後、これを1400〜1600
℃の非酸化雰囲気で焼成してセラミック放電体６を形成
する。
アルミナ粉末の添加量は、重量比で５〜60％と、広範囲
に渡り、放電電極のスパッタを減少させる効果がある。
に渡り、放電電極のスパッタを減少させる効果がある。
又、アルミナ添加比率は、本電界装置の使用目的に応じ
て決めるものとするが、該添加比が５％以下であると、
放電電極のスパッタを減少させる効果がなくなり、又、
60％以上であると、メタライズが不導体となる為、放電
阻害が起こる。
て決めるものとするが、該添加比が５％以下であると、
放電電極のスパッタを減少させる効果がなくなり、又、
60％以上であると、メタライズが不導体となる為、放電
阻害が起こる。
ここで、タングステンメタライズへのアルミナ添加量
と、スパッタ量、及び放電の強さとの関係を述べると、
アルミナ添加量が少ない場合は、スパッタ量は多いが、
放電は、強い傾向にあり、また、逆にアルミナ添加量が
多い場合は、スパッタ量は少ないが、放電は、弱くなる
傾向にある。
と、スパッタ量、及び放電の強さとの関係を述べると、
アルミナ添加量が少ない場合は、スパッタ量は多いが、
放電は、強い傾向にあり、また、逆にアルミナ添加量が
多い場合は、スパッタ量は少ないが、放電は、弱くなる
傾向にある。
この為、本電界装置を良好なる条件、例えば、乾燥空気
中での使用の場合は、アルミナ添加量を少なくし、他
方、高湿度雰囲気等の悪条件の場合は、放電電極の劣化
が激しくなる為、アルミナの添加比を増すこととする。
中での使用の場合は、アルミナ添加量を少なくし、他
方、高湿度雰囲気等の悪条件の場合は、放電電極の劣化
が激しくなる為、アルミナの添加比を増すこととする。
次に、この実施例の作動につき説明すると、導体４、９
に接続する端子10を介して、高周波高流高圧電源12より
放電電極７と誘導電極３との間に高周波高流高圧を印加
すると、放電電極７の端縁から高周波放電が誘電体基板
１の上面6aに沿って発生し豊富な正負イオンを含むプラ
ズマを形成する。
に接続する端子10を介して、高周波高流高圧電源12より
放電電極７と誘導電極３との間に高周波高流高圧を印加
すると、放電電極７の端縁から高周波放電が誘電体基板
１の上面6aに沿って発生し豊富な正負イオンを含むプラ
ズマを形成する。
従って、これを帯電物体の近傍に近ずけると、その電荷
と逆極性のイオンがこのプラズマから該帯電物体に向か
って供給され、これを迅速に除電する。
と逆極性のイオンがこのプラズマから該帯電物体に向か
って供給され、これを迅速に除電する。
このとき、放電のスパッタにより放電電極７の表面層7a
のタングステンＷは飛散するが、アルミナＡは飛散せず
そのままの状態を維持する。そのため、放電電極７の内
部7bのタングステンは、アルミナＡに邪魔されて飛散す
ることができない。
のタングステンＷは飛散するが、アルミナＡは飛散せず
そのままの状態を維持する。そのため、放電電極７の内
部7bのタングステンは、アルミナＡに邪魔されて飛散す
ることができない。
従って、放電電極７の表面層7aのタングステンだけが飛
散し、該表面層7aだけが、第１図に示すように、凸凹状
となるにすぎないので、放電電極７の劣化は極めてわず
かなものとなる。
散し、該表面層7aだけが、第１図に示すように、凸凹状
となるにすぎないので、放電電極７の劣化は極めてわず
かなものとなる。
発明の効果 この発明は以上の様に構成されているので、放電時のス
パッタによるタングステンの飛散現象は放電電極の表面
層のみに発生し、その内部においては発生しない。
パッタによるタングステンの飛散現象は放電電極の表面
層のみに発生し、その内部においては発生しない。
従って、放電電極の劣化は極めてわずかなものとなるの
で、従来例の放電電極に比べ使用寿命が長くなり長期間
安定した放電が得られる。
で、従来例の放電電極に比べ使用寿命が長くなり長期間
安定した放電が得られる。
又、この放電電極を使用して、オゾナイザを形成する
と、タングステンの飛散が少ないので、発生するオゾン
ガスは極めてクリーンなものとなる。
と、タングステンの飛散が少ないので、発生するオゾン
ガスは極めてクリーンなものとなる。
更に、重量比で５〜60％のアルミナをタングステンメタ
ライズに添加すると、電界装置の使用条件に対応する最
適な放電電極を得ることができる。
ライズに添加すると、電界装置の使用条件に対応する最
適な放電電極を得ることができる。
そのため、乾燥空気中や高湿雰囲気中等の悪条件下で電
界装置を用いても、放電電極のスパッタを減少させる効
果を十分得ることができると共に、放電阻害も発生する
ことはない。
界装置を用いても、放電電極のスパッタを減少させる効
果を十分得ることができると共に、放電阻害も発生する
ことはない。
第１図は、本発明の実施例を示す断面で、第２図の要部
拡大断面図、第２図は、本発明の使用状態を示す縦断面
図である。 １、２……誘電体基板 ３……誘導電極 ７……放電電極 Ａ……アルミナ Ｗ……タングステン
拡大断面図、第２図は、本発明の使用状態を示す縦断面
図である。 １、２……誘電体基板 ３……誘導電極 ７……放電電極 Ａ……アルミナ Ｗ……タングステン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−44782（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】放電電極と誘導電極とを誘電体基板を介し
て対向せしめた電界装置において；該放電電極が、重量
比で５〜60％のアルミナを添加したタングステンメタラ
イズにより形成されていることを特徴とする電界装置の
放電電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63147317A JPH0732056B2 (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | 電界装置の放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63147317A JPH0732056B2 (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | 電界装置の放電電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01315978A JPH01315978A (ja) | 1989-12-20 |
| JPH0732056B2 true JPH0732056B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=15427455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63147317A Expired - Lifetime JPH0732056B2 (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | 電界装置の放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0732056B2 (ja) |
-
1988
- 1988-06-15 JP JP63147317A patent/JPH0732056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01315978A (ja) | 1989-12-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090410 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090410 Year of fee payment: 14 |