JPH04130190U - 磁気浮上搬送装置用可動アーム - Google Patents
磁気浮上搬送装置用可動アームInfo
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- JPH04130190U JPH04130190U JP3590491U JP3590491U JPH04130190U JP H04130190 U JPH04130190 U JP H04130190U JP 3590491 U JP3590491 U JP 3590491U JP 3590491 U JP3590491 U JP 3590491U JP H04130190 U JPH04130190 U JP H04130190U
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Landscapes
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気浮上搬送装置の可動アームが破損したと
き、ギャップセンサーや制御ゲインを再調整することな
く簡単に修復すること。 【構成】 磁気浮上搬送装置の可動アーム７を、磁気浮
上体４に取り付けされる根部のアーム本体７ａと、ワー
ク９が載置される先端の載置部７ｂとに分割し、該アー
ム本体と載置部を中間材７ｃを介して分離自在に連結す
る 【効果】 載置部や中間材が破損したときに、可動アー
ムの固有振動数及び可動アームと磁気固定子とのギャッ
プに大きな変化を与えることなく該載置部、中間材を交
換して修復を行なえ、困難なギャップセンサーや制御ゲ
インの再調整の必要がなくなり、短時間に簡単に安定浮
上を再現できる
き、ギャップセンサーや制御ゲインを再調整することな
く簡単に修復すること。 【構成】 磁気浮上搬送装置の可動アーム７を、磁気浮
上体４に取り付けされる根部のアーム本体７ａと、ワー
ク９が載置される先端の載置部７ｂとに分割し、該アー
ム本体と載置部を中間材７ｃを介して分離自在に連結す
る 【効果】 載置部や中間材が破損したときに、可動アー
ムの固有振動数及び可動アームと磁気固定子とのギャッ
プに大きな変化を与えることなく該載置部、中間材を交
換して修復を行なえ、困難なギャップセンサーや制御ゲ
インの再調整の必要がなくなり、短時間に簡単に安定浮
上を再現できる
Description
【０００１】
本考案は、真空室内に於いて成膜等の処理が施されるワークを搬送する磁気浮
上搬送装置に設けられる可動アームに関する。
【０００２】
従来、成膜処理等が施されるワークを、真空室内に設けた磁気固定子により磁
気浮上して移動する磁気浮上体で搬送することが行われている。こうした磁気浮
上式の搬送装置は、機械的摺動部がないのでダストの発生がなく、真空室内がク
リーンに保てる有利さがある。この種の搬送装置の１例を示せば図１乃至図３の
如くであり、真空室ａ内に磁気固定子ｂを固定し、該磁気固定子ｂにこれより磁
気浮上して移動自在の磁気浮上体ｃを設け、該磁気浮上体ｃに例えばアルミニウ
ムの一体物で形成された可動アームｄを例えば接合により取り付けて構成される
。該磁気浮上体ｃは、磁気固定子ｂから磁気浮上して該真空室ａ内を往復動し、
例えば真空室ａ内のワーク受取り位置Ａとワーク処理位置Ｂとの間でワークｅを
搬送する。該受取り位置Ａには、適当な手段によりワークｅが運び込まれ、運び
出される。該真空室ａ内で処理されるワークｅは、図３に示すような該可動アー
ムｄのフォーク状に分岐した先端の載置部に載せられて搬送される。該磁気固定
子ｂの内部には、磁気浮上時に於ける磁気固定子ｂと磁気浮上体ｃとの隙間を１
０μｍ単位で検知するギャップセンサーｆ及び磁気浮上体ｃに浮上と移動を行わ
せる電磁石ｇが複数箇所に設けられ、磁気浮上体ｃの移動の制御は例えばマイク
ロプロセッサ等により行われる。
【０００３】
磁気浮上体ｃの浮上特性を安定させるには、制御系の制御ゲインの調整とギャ
ップセンサーｆの感度調整と可動アームｄの固有振動数の安定とが必要になる。
【０００４】
従来の可動アームｄは、上記したように一体物でワークｅの載置部まで形成さ
れているため、ワークｅの搬送中に載置部が真空室ａ内の別の搬送手段などに接
触して破損した場合、可動アームｄ全体を交換しないとバランスが崩れ、安定浮
上を行えなくなることがある。これは、磁気浮上方式がダイレクトドライブであ
るためで、浮上安定性が可動アームｄの振動特性に左右され易いからである。し
かし、該可動アームｄは、同じ製作図面に基づいて製作しても、製作時の作業条
件等により特性が異なり、この交換に伴なってギャップセンサーの感度の再調整
や制御系の制御ゲインを再調整しなければならず、こうした再調整は大掛かりで
可動アームｄ全体の再製作とあいまって多額の費用が掛かる不都合があった。
【０００５】
本考案は、可動アームの破損に伴なう上記した不都合を解決し、ギャップセン
サー等を再調整をすることなく安定浮上を再現できる修復可能な可動アームを提
供することを目的とするものである。
【０００６】
本考案では、磁気浮上搬送装置の磁気固定子に対して磁気により浮上する磁気
浮上体に、ワークを載置する可動アームを取り付けるようにしたものに於いて、
該可動アームを、磁気浮上体に取り付けされる根部のアーム本体と、該ワークが
載置される先端の載置部とに分割し、該アーム本体と載置部を中間材を介して分
離自在に連結することにより、上記目的を達成するようにした。
【０００７】
該可動アームの載置部が破損した場合、或いは該載置部及び中間材が共に破損
した場合、該載置部が中間材を介してアーム本体に分離自在に取り付けられてい
るので、該載置部及び中間材をアーム本体から取り外して同一材の同寸法のもの
と交換してアーム本体に再取付けする。該可動アームの先端部に位置する載置部
及び中間材は、その重量及び長さが可動アーム全体の重量及び長さに比べると比
較的軽く且つ短いので、該載置部の交換による重量差、長さの差が全体の重量、
長さに対してさほどの影響を与えることがなく、該載置部及び中間材の交換によ
り可動アームの固有振動数に与える影響が殆どない。しかも、該載置部及び中間
材はギャップセンサーが測定していない部分でもあり、その交換でギャップセン
サーや制御ゲインを再調整する必要がなくなる。
【０００８】
本考案の実施例を図面に基づき説明すると、図４及び図５に於いて符号１は適
当な排気手段により真空に排気された真空室を示し、該真空室１の床面には箱形
の磁気固定子２が固定設置される。該磁気固定子２の内部を貫通して形成した長
方形の貫通口３内には平板状の磁性体で形成された磁気浮上体４が挿通され、該
磁気固定子２の内部に設けた幾つかの電磁石５の磁気により該磁気浮上体４が浮
上して移動する。該電磁石５への通電量は、磁気固定子２の内部に設けたギャッ
プセンサー６からの信号により制御される。該磁気浮上体４には、非磁性体から
成る長尺の可動アーム７が例えば接合により一体に取り付けられる。該可動アー
ム７は、その先端側の載置部で適当な他の搬送手段８からシコンウエハ等のワー
ク９を受取り、該真空室１内のスパッタリング用の電極等のウエハ処理手段を備
えた処理位置１０へと搬送し、該ワーク９の処理が終わると、可動アーム７がワ
ーク９をその処理位置１０から他の搬送手段８へ戻すべく搬送する。
【０００９】
こうした構成は、従来の磁気搬送装置と特に変わりがないが、本考案では、該
可動アーム７を、磁気浮上体４に取り付けされる根部のアーム本体７ａと、該ワ
ーク９が載置される先端のフォーク状に分岐した載置部７ｂとに分割し、該載置
部７ｂを中間材７ｃを介してアーム本体７ａに分離自在に連結する構成とし、該
可動アーム７が例えば他の搬送手段８と接触して破損した場合の修復を簡単に行
えるようにした。１１は該載置部７ｂ及び中間材７ｃをアーム本体７ａに着脱自
在に取付けるねじである。
【００１０】
該アーム本体７ａと載置部７ｂは、アルミニウムやステンレスのように真空中
での放出ガスの少ない材料で形成し、該中間材７ｃは該載置部７ｂが破損すると
きの衝撃が磁気浮上体４に伝わらないようにするために、該アーム本体７ａ及び
載置部７ｂの材料よりも機械的強度が弱く破損しやすいマシナブルセラミックス
、ポリイミド樹脂等の材料で製作した。尚、中間材７ｃの形状を、衝撃によって
簡単に変形し、衝撃を吸収しやすい形状にすれば、アーム本体７ａや載置部７ｂ
と同じ材料で形成してもよい。また、温度の高いワーク９を搬送する場合には、
該中間材７ｃを断熱性があり振動吸収性のある材料を使用することが好ましい。
可動アーム７をこうした構成とすることにより、該載置部７ｂが例えば搬送手
段８と衝突して中間材７ｃと共に破損した場合、ねじ１１を取り外して同形の載
置部７ｂと中間材７ｃに交換することによりその修復が行え、この場合、載置部
７ｂの交換で可動アーム７の全体の重量と長さに与える変化はわずかであり、し
たがって磁気浮上の変化と可動アーム７の固有振動数の変化も極めて少なく、そ
の結果ギャップセンサー６や制御ゲインの再調整が不要になる。
【００１１】
以上のように本考案に於いては、磁気浮上搬送装置の可動アームを、磁気浮上
体に取り付けされる根部のアーム本体と、先端の載置部とに分割し、該載置部を
中間材を介してアーム本体に分離自在に連結したので、該載置部、中間材が破損
したときに、可動アームの固有振動数及び可動アームと磁気固定子とのギャップ
に大きな変化を与えることなく該載置部、中間材を交換して修復を行なえ、困難
なギャップセンサーや制御ゲインの再調整の必要がなくなり、短時間に簡単に安
定浮上を再現できる等の効果がある。
【図１】 従来例の截断平面図
【図２】 図１のII-II線部分の拡大断面図
【図３】 図１のIII-III線部分の拡大断面図
【図４】 本考案の実施例の截断平面図
【図５】 図４のV-V線部分の拡大断面図
【図６】 可動アームの全体斜視図
【図７】 図６の断面図
２ 磁気固定子 ４ 磁気浮上体 ５
電磁石 ６ ギャップセンサー ７ 可動アーム ７ａ
アーム本体 ７ｂ 載置部 ７ｃ 中間材 ９
ワーク １１ ねじ
電磁石 ６ ギャップセンサー ７ 可動アーム ７ａ
アーム本体 ７ｂ 載置部 ７ｃ 中間材 ９
ワーク １１ ねじ
Claims (3)
- 【請求項１】 磁気浮上搬送装置の磁気固定子に対して
磁気により浮上する磁気浮上体に、ワークを載置する可
動アームを取り付け、該磁気固定子と磁気浮上体との隙
間を検出するギャップセンサーを設けるようにしたもの
に於いて、該可動アームを、磁気浮上体に取り付けされ
る根部のアーム本体と、該ワークが載置される先端の載
置部とに分割し、該載置部を中間材を介してアーム本体
に分離自在に連結したことを特徴とする磁気浮上搬送装
置用可動アーム。 - 【請求項２】 上記中間材をアーム本体よりも破損し易
い材料で形成するか、破損し易い形状に形成し、上記載
置部を該中間材と共にアーム本体にねじで取り付けたこ
とを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置用可
動アーム。 - 【請求項３】 上記アーム本体及び載置部を、アルミニ
ウム又はステンレスで製作し、上記中間材をマシナブル
セラミックス又はポリイミド樹脂で製作したことを特徴
とする請求項１に記載の磁気浮上装置用可動アーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3590491U JPH04130190U (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 磁気浮上搬送装置用可動アーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3590491U JPH04130190U (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 磁気浮上搬送装置用可動アーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130190U true JPH04130190U (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=31917960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3590491U Pending JPH04130190U (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 磁気浮上搬送装置用可動アーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04130190U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011155320A1 (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | ナブテスコ株式会社 | ロボットアーム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS609694A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-18 | フアナツク株式会社 | 工業用ロボツトの安全継手 |
| JPS6360590B2 (ja) * | 1980-02-04 | 1988-11-24 | ||
| JPH01316191A (ja) * | 1988-06-14 | 1989-12-21 | Seiko Seiki Co Ltd | 磁気浮上搬送装置 |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP3590491U patent/JPH04130190U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360590B2 (ja) * | 1980-02-04 | 1988-11-24 | ||
| JPS609694A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-18 | フアナツク株式会社 | 工業用ロボツトの安全継手 |
| JPH01316191A (ja) * | 1988-06-14 | 1989-12-21 | Seiko Seiki Co Ltd | 磁気浮上搬送装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011155320A1 (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | ナブテスコ株式会社 | ロボットアーム |
| JP2011258793A (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-22 | Nabtesco Corp | ロボットアーム |
| US8915693B2 (en) | 2010-06-10 | 2014-12-23 | Nabtesco Corporation | Robot arm having lower arm link separable into two parts |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970805 |