JPH01316617A - レーザ出力制御装置 - Google Patents
レーザ出力制御装置Info
- Publication number
- JPH01316617A JPH01316617A JP14965188A JP14965188A JPH01316617A JP H01316617 A JPH01316617 A JP H01316617A JP 14965188 A JP14965188 A JP 14965188A JP 14965188 A JP14965188 A JP 14965188A JP H01316617 A JPH01316617 A JP H01316617A
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- Japan
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ装置の発振器がら出力されるレーザ光
を高速度応答で検出し、且つ制御することができるレー
ザ出力制御装置に関するものである。
を高速度応答で検出し、且つ制御することができるレー
ザ出力制御装置に関するものである。
（従来の技術）
従来のこの種のレーザ出力制御装置に用いる光検出装置
には、第７図に示すような特開昭６０−５２０７２があ
る０図に於いて、一対の電極２ Ａ。
には、第７図に示すような特開昭６０−５２０７２があ
る０図に於いて、一対の電極２ Ａ。
２Ｂに電源３より高電圧を印加し、レーザ媒質ガスを励
起し、レーザ光を放出する。該レーザ光は全反射鏡５と
部分反射鏡６間で繰り返し反射往復することにより、レ
ーザ発振を起こし、部分反射鏡６よりレーザ光７を外部
に出方する。一方、全反射鏡５からは出力された該レー
ザ光７の強度に比較する僅かな量のレーザ光８が出力す
る。該レーザ光８は入力ボート１０ｏから積分球９ｏに
人射し、該積分球９０内面で反射を繰り返し、均一に拡
散・減光し、出力ポート１１０に配設したレーザ検出器
１２０に入射きれる。該レーザ検出器１２０に入力した
レーザ光は電気信号に変換さ娠この電気信号と目標とす
るレーザ光の出力指令値９とを比較器１０で比較し、そ
の差分信号を増幅器１１にて増幅後、電源３の出力電圧
、又は出力電流を制御することでレーザ光７の強度を一
定に保持していた。
起し、レーザ光を放出する。該レーザ光は全反射鏡５と
部分反射鏡６間で繰り返し反射往復することにより、レ
ーザ発振を起こし、部分反射鏡６よりレーザ光７を外部
に出方する。一方、全反射鏡５からは出力された該レー
ザ光７の強度に比較する僅かな量のレーザ光８が出力す
る。該レーザ光８は入力ボート１０ｏから積分球９ｏに
人射し、該積分球９０内面で反射を繰り返し、均一に拡
散・減光し、出力ポート１１０に配設したレーザ検出器
１２０に入射きれる。該レーザ検出器１２０に入力した
レーザ光は電気信号に変換さ娠この電気信号と目標とす
るレーザ光の出力指令値９とを比較器１０で比較し、そ
の差分信号を増幅器１１にて増幅後、電源３の出力電圧
、又は出力電流を制御することでレーザ光７の強度を一
定に保持していた。
（発明が解決しようとする課題）
前記、従来の技術に於ける積分球減光方式でＬ入射レー
ザ光の減光、均一分散化の目的で積分球を用いているの
で、これに起因する以下の諸問題が生じていた。
ザ光の減光、均一分散化の目的で積分球を用いているの
で、これに起因する以下の諸問題が生じていた。
（１）積分球の内壁、球面が複雑微妙のため、加工が困
難である。
難である。
（２）内壁球面全体の反射面へ、金などの貴金属をメツ
キ又はコーティングするので、コスト的に高価なものと
なる。
キ又はコーティングするので、コスト的に高価なものと
なる。
（３）積分球タイプでは、光取入口部からは、必ずその
開口面積分だけの反射光が、光源側であるレーザ本体リ
ヤミラー側へ還ることになるが、これがミラーなど、光
学部品系統へ悪影響を及ぼし、結果として発振状態が不
調をきたす恐れもある。異常出力時はもとより、定格出
力時などの大出力条件下では、前記発振状態の不調が顕
著に表れる。
開口面積分だけの反射光が、光源側であるレーザ本体リ
ヤミラー側へ還ることになるが、これがミラーなど、光
学部品系統へ悪影響を及ぼし、結果として発振状態が不
調をきたす恐れもある。異常出力時はもとより、定格出
力時などの大出力条件下では、前記発振状態の不調が顕
著に表れる。
（課題を解決するための手段及び作用）本発明は、前記
従来の技術に於ける諸問題を解決するためになされたも
ので、レーザ検出装置を、微小人力高応答型感熱センサ
と、冷却制御された拡散・減光装置とにより構成し、該
拡散・減光装置を、従来の技術に於いて使用されていた
積分球の代りに、被検出光の入射直後に置かれた反射・
拡散面と、該反射・拡散面に対向すると共に、これを完
全に蔽い包み、且つ光取速用小孔を設けた光吸収面とに
より構成することにより、積分球に起因する前記従来技
術の諸問題の（１）〜（３）を解決した。又、ａ射光の
反射・拡散面として、表面粗さの調整された半球状凸面
、又は円錐体表面などの拡散形状面に金コーティング、
クロムコーティングなどの光反射処理の施された反射面
を利用するようにしたので、反射面処理領域を限定する
ことができ、前記従来技術の諸問題のうち（１）、（２
）を解決した。
従来の技術に於ける諸問題を解決するためになされたも
ので、レーザ検出装置を、微小人力高応答型感熱センサ
と、冷却制御された拡散・減光装置とにより構成し、該
拡散・減光装置を、従来の技術に於いて使用されていた
積分球の代りに、被検出光の入射直後に置かれた反射・
拡散面と、該反射・拡散面に対向すると共に、これを完
全に蔽い包み、且つ光取速用小孔を設けた光吸収面とに
より構成することにより、積分球に起因する前記従来技
術の諸問題の（１）〜（３）を解決した。又、ａ射光の
反射・拡散面として、表面粗さの調整された半球状凸面
、又は円錐体表面などの拡散形状面に金コーティング、
クロムコーティングなどの光反射処理の施された反射面
を利用するようにしたので、反射面処理領域を限定する
ことができ、前記従来技術の諸問題のうち（１）、（２
）を解決した。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述する。第１
図は、本発明の第１実施例を示す円錐型反射・拡散装置
の概略構成を示す図である。レーザ発振装置外に取り出
された被検出レーザ光は、第１図に示されるような光拡
散装置に導かれ、反射面処理の施されたコーン状の反射
体４の表面で反射拡散される。第１図に示される様な反
射体形状であれば、反射光は光取入れ口側へは一切還る
ことは無く、その反射光は極く僅かなＭ（内壁面上の受
光帯面槽に対する光取入口９の断面積に相当する割合）
が被検出光として、センサ２に取込まれる以外は、全て
冷却された支持筐体３の内壁面より、熱として吸収され
る０反射光の吸収を完全にするため、受光面に相当する
支持筺体３の内壁は黒化処理として、黒色アルマイト処
理（黒色塗料の塗布等で代用できる）を施しておく、又
、支持筐体３には冷却水通路が形成され、ホルタッ及び
底板６との合せ面には、ゴムパツキン８が介装されて、
前記の受光壁やセンサ２の周囲に適度冷却水を流して、
焼損防止やセンサ出力の安定化を図っている。又、前記
半射面には金メツキを施して、入射光を反射・拡散させ
たが、金メツキの代わりに、クロムメツキ、硫酸バリュ
ーム等ノ光に対する反射材の塗布に限らず、アルミ又は
アルミ合金材、銅材等の研磨面であっても炭酸ガスレー
ザを対象とする限りに於いては有効である。−般に、レ
ーザ光には光軸に直交する側にエネルギーの強度分布が
存在するため、反射体４とセンサ２の取付位置の相対関
係により、センサ２への入射光量を任意に設定できるが
、スペーサリング５は、この目的のために設けられ、反
射体４と共に固定ネジ７により底板６に固定される。
図は、本発明の第１実施例を示す円錐型反射・拡散装置
の概略構成を示す図である。レーザ発振装置外に取り出
された被検出レーザ光は、第１図に示されるような光拡
散装置に導かれ、反射面処理の施されたコーン状の反射
体４の表面で反射拡散される。第１図に示される様な反
射体形状であれば、反射光は光取入れ口側へは一切還る
ことは無く、その反射光は極く僅かなＭ（内壁面上の受
光帯面槽に対する光取入口９の断面積に相当する割合）
が被検出光として、センサ２に取込まれる以外は、全て
冷却された支持筐体３の内壁面より、熱として吸収され
る０反射光の吸収を完全にするため、受光面に相当する
支持筺体３の内壁は黒化処理として、黒色アルマイト処
理（黒色塗料の塗布等で代用できる）を施しておく、又
、支持筐体３には冷却水通路が形成され、ホルタッ及び
底板６との合せ面には、ゴムパツキン８が介装されて、
前記の受光壁やセンサ２の周囲に適度冷却水を流して、
焼損防止やセンサ出力の安定化を図っている。又、前記
半射面には金メツキを施して、入射光を反射・拡散させ
たが、金メツキの代わりに、クロムメツキ、硫酸バリュ
ーム等ノ光に対する反射材の塗布に限らず、アルミ又は
アルミ合金材、銅材等の研磨面であっても炭酸ガスレー
ザを対象とする限りに於いては有効である。−般に、レ
ーザ光には光軸に直交する側にエネルギーの強度分布が
存在するため、反射体４とセンサ２の取付位置の相対関
係により、センサ２への入射光量を任意に設定できるが
、スペーサリング５は、この目的のために設けられ、反
射体４と共に固定ネジ７により底板６に固定される。
本実施例に於ける支持筐体３の内部円筒寸法は、内径４
０ｍ、長さ５０−であるが、センサ２への入射エネルギ
ーは拡散装置への入射エネルギーの約１／１０００〜１
／１００００に減光でき、センサ２は従来の積分球方式
の場合と同様、広く市販されている廉価な高速応答減熱
センサを利用することができた。向、光取入口９より取
込んだ被検出光は第７図に示す従来の技術と同様な処理
を行うことによって、レーザ光発振器の出力検出及び出
力制御が可能となる。第２図は、本発明の第２実施例を
示す図で、光軸心をずらした半球状の凸状型反射・拡散
装置の概略説明図である。第２図に於ける、構成要素番
号の１の位の数字は、第１図の構成要素に対応しており
、第１図と同様に作用する。第３図は、本発明の第３実
施例を示す図で、第１図の反射体４の代りに部分透過鏡
２０４を入射光直下に置き、更にその下にセンサ２０２
を設置しており、部分透過鏡２０４の透過率を適当に選
ぶことによって、第１図に示される拡散装置と同等の機
能が得られる。第３図に於ける、構成要素番号の１の位
の数字は、第１図の構成要素に対応しており、第１図と
同様に作用する。第４図は、本発明の第１実施例を用い
た場合の測定結果と従来の積分球方式による測定結果を
示す図である。第４図に於いて、本発明の方はゲインが
大きく、センサ出力としては優れているが、指向性が鋭
くなっていることが解る。しかし、指向性については、
本発明のレーザ出力制御装置を実装置に装着した後は、
入射角も固定されて一定の出力特性となるため、実用上
、何ら支障とはならない、尚、光の入射角のズレによっ
て生じるセンサ出力のバラツキを極力抑え、かつ、入射
光のエネルギー強度の均質化を図る目的で、反射体４の
反射面を凹凸状の梨地面にして、その上に金メツキなど
の反射面処理を施すことも有効である。第５図は、セン
サ３２の温度ドリフトに対する効果的な実施例を示す図
である。従来のセンサ出力の温度依存性は、主としてセ
ンサの感熱素子をマウントしている基板の温度と感熱素
子を取りまく雰囲気温度（光拡散装置内雰囲気又は積分
球内雰囲気温度）との相違に依っている。出力ＩＫＷ前
後のレーザ装置に設置されるセンサは、水冷されること
が多いが、その冷却水としては、本実施例の５ごとくレ
ーザ本体を冷却するため設けられる冷却水供給装置（チ
ラー）よりの水の一部を流用するのが一般的である。第
５図に於いて、チラーの水温は、冷却器３３の粗いＯＮ
−ＯＦＦｉＭｌｉで調整されるため、第６図に示される
ごとく、温度の変動幅が約５°Ｃにもなり、これが原因
となってセンサの出力が変動し、最終的には出力制御値
にまで温度ドリフトが影響してくる０本實施例に於いて
版レーザ出力制御装置の安定した出力制御を行うために
、センサ３２の上流側へ、温度変動を抑えるための減衰
タンク３４を設置することによって、実用上、支障ない
程度まで温度変動を抑えることができた。尚、前記減衰
タンク３４の容量は、冷却水流量０．２４！／ｍｉｎに
対し、数ｌ程度で十分であった。又、前記減衰タンク３
４の設置場所としては、本実施例に限るわけではなく、
温度変動を抑えたい任意箇所の上流側へ設置すれば有効
であることは勿論である０以上は、主として時間的な温
度変動の制御に効果的な手段であるが、場所毎の温度の
相違（例えば、センサ基板と雰囲気間）が存在する場合
には、センサ基板側、光拡散装置筐体側とを各々、別個
の冷却水ラインとし、バルブなどにより各ラインの流量
を適当に選ぶことにより、温度差を小さくすることがで
きる。更に、第５図に示すごとく、センサ３２以外の装
置でも温度変動を小さく抑えた同一冷却水ライン上に、
他のミラー３５、光学支持系３６を設置することで、こ
れまで以上の出力安定性が実現できると言う付加的なメ
リットもある。第６図は、前記第５図の装置による測定
結果を示す図で、上段志センサ冷却水の温度変動の時間
的推移をみたものであるが、減衰タンク３４を設置する
ことにより、減衰タンク３４がない場合に比べ、温度の
変動幅を１／１０以下の０．４％となり、それに対応し
て、パワーフィードバックによる出力制御状況も、第６
図下段に示すごとく、約６％の変動幅が、減衰タンク３
４を設けることにより、はぼ０の安定した制御を行うこ
とができる。
０ｍ、長さ５０−であるが、センサ２への入射エネルギ
ーは拡散装置への入射エネルギーの約１／１０００〜１
／１００００に減光でき、センサ２は従来の積分球方式
の場合と同様、広く市販されている廉価な高速応答減熱
センサを利用することができた。向、光取入口９より取
込んだ被検出光は第７図に示す従来の技術と同様な処理
を行うことによって、レーザ光発振器の出力検出及び出
力制御が可能となる。第２図は、本発明の第２実施例を
示す図で、光軸心をずらした半球状の凸状型反射・拡散
装置の概略説明図である。第２図に於ける、構成要素番
号の１の位の数字は、第１図の構成要素に対応しており
、第１図と同様に作用する。第３図は、本発明の第３実
施例を示す図で、第１図の反射体４の代りに部分透過鏡
２０４を入射光直下に置き、更にその下にセンサ２０２
を設置しており、部分透過鏡２０４の透過率を適当に選
ぶことによって、第１図に示される拡散装置と同等の機
能が得られる。第３図に於ける、構成要素番号の１の位
の数字は、第１図の構成要素に対応しており、第１図と
同様に作用する。第４図は、本発明の第１実施例を用い
た場合の測定結果と従来の積分球方式による測定結果を
示す図である。第４図に於いて、本発明の方はゲインが
大きく、センサ出力としては優れているが、指向性が鋭
くなっていることが解る。しかし、指向性については、
本発明のレーザ出力制御装置を実装置に装着した後は、
入射角も固定されて一定の出力特性となるため、実用上
、何ら支障とはならない、尚、光の入射角のズレによっ
て生じるセンサ出力のバラツキを極力抑え、かつ、入射
光のエネルギー強度の均質化を図る目的で、反射体４の
反射面を凹凸状の梨地面にして、その上に金メツキなど
の反射面処理を施すことも有効である。第５図は、セン
サ３２の温度ドリフトに対する効果的な実施例を示す図
である。従来のセンサ出力の温度依存性は、主としてセ
ンサの感熱素子をマウントしている基板の温度と感熱素
子を取りまく雰囲気温度（光拡散装置内雰囲気又は積分
球内雰囲気温度）との相違に依っている。出力ＩＫＷ前
後のレーザ装置に設置されるセンサは、水冷されること
が多いが、その冷却水としては、本実施例の５ごとくレ
ーザ本体を冷却するため設けられる冷却水供給装置（チ
ラー）よりの水の一部を流用するのが一般的である。第
５図に於いて、チラーの水温は、冷却器３３の粗いＯＮ
−ＯＦＦｉＭｌｉで調整されるため、第６図に示される
ごとく、温度の変動幅が約５°Ｃにもなり、これが原因
となってセンサの出力が変動し、最終的には出力制御値
にまで温度ドリフトが影響してくる０本實施例に於いて
版レーザ出力制御装置の安定した出力制御を行うために
、センサ３２の上流側へ、温度変動を抑えるための減衰
タンク３４を設置することによって、実用上、支障ない
程度まで温度変動を抑えることができた。尚、前記減衰
タンク３４の容量は、冷却水流量０．２４！／ｍｉｎに
対し、数ｌ程度で十分であった。又、前記減衰タンク３
４の設置場所としては、本実施例に限るわけではなく、
温度変動を抑えたい任意箇所の上流側へ設置すれば有効
であることは勿論である０以上は、主として時間的な温
度変動の制御に効果的な手段であるが、場所毎の温度の
相違（例えば、センサ基板と雰囲気間）が存在する場合
には、センサ基板側、光拡散装置筐体側とを各々、別個
の冷却水ラインとし、バルブなどにより各ラインの流量
を適当に選ぶことにより、温度差を小さくすることがで
きる。更に、第５図に示すごとく、センサ３２以外の装
置でも温度変動を小さく抑えた同一冷却水ライン上に、
他のミラー３５、光学支持系３６を設置することで、こ
れまで以上の出力安定性が実現できると言う付加的なメ
リットもある。第６図は、前記第５図の装置による測定
結果を示す図で、上段志センサ冷却水の温度変動の時間
的推移をみたものであるが、減衰タンク３４を設置する
ことにより、減衰タンク３４がない場合に比べ、温度の
変動幅を１／１０以下の０．４％となり、それに対応し
て、パワーフィードバックによる出力制御状況も、第６
図下段に示すごとく、約６％の変動幅が、減衰タンク３
４を設けることにより、はぼ０の安定した制御を行うこ
とができる。
（発明の効果）
以上、詳述したように、本発明によるレーザ出力制御装
置は次のような効果を奏する。
置は次のような効果を奏する。
（１）従来のように積分球を使用せず、又、限られた反
射面のみへメツキ等を行えばよいので、コスト的に安価
なものとなる。
射面のみへメツキ等を行えばよいので、コスト的に安価
なものとなる。
（２）従来の積分球の代わりに、本発明の拡散・減光装
置を設けたので、反射光が光源側に還ることがなく、レ
ーザ発振杖態の不調をきたすことがなく、レーザ光の出
力を正確に検知できると共に、耐光強度や応答性の向上
を図ることができる。
置を設けたので、反射光が光源側に還ることがなく、レ
ーザ発振杖態の不調をきたすことがなく、レーザ光の出
力を正確に検知できると共に、耐光強度や応答性の向上
を図ることができる。
第１図は、本発明の第１実施例を示す、円錐型反射・拡
散装置の概略構成を示す図、第２図は、本発明の第２実
施例を示す、半球状凸型反射・拡散装置の概略説明図、
第３図は、本発明の第３実施例で１部分透過鏡型反射・
拡散装置の概略説明図、第４図は、本発明第１実施例の
測定結果を示す図、第５図は、センサの温度ドリフトを
抑制するための冷却装置の実施例を示す図、第６図は、
第５図の装置による測定結果を示す図、第７図は従来の
技術を示す図である。 １．１０１．２０２・・・・ホルダ ２．１０２，２０２・・・・センサ ３．１０３，２０３・・・・支持筐体 ４．１０４． ・・・・・・・反射体２０４・・・・
・・・・・・部分透過鏡５．１０５．２０５・・・・ス
ペーサリング６．１０６・・・・・・・・底抜 ７．１０７・・・・・・・・固定ネジ ９．１０９，２０９・・・・光取入口
散装置の概略構成を示す図、第２図は、本発明の第２実
施例を示す、半球状凸型反射・拡散装置の概略説明図、
第３図は、本発明の第３実施例で１部分透過鏡型反射・
拡散装置の概略説明図、第４図は、本発明第１実施例の
測定結果を示す図、第５図は、センサの温度ドリフトを
抑制するための冷却装置の実施例を示す図、第６図は、
第５図の装置による測定結果を示す図、第７図は従来の
技術を示す図である。 １．１０１．２０２・・・・ホルダ ２．１０２，２０２・・・・センサ ３．１０３，２０３・・・・支持筐体 ４．１０４． ・・・・・・・反射体２０４・・・・
・・・・・・部分透過鏡５．１０５．２０５・・・・ス
ペーサリング６．１０６・・・・・・・・底抜 ７．１０７・・・・・・・・固定ネジ ９．１０９，２０９・・・・光取入口
Claims (3)
- （１）レーザ光の一部を取り出し、レーザ出力を検出制
御するレーザ出力制御装置に於いて、レーザ出力検出器
を、微小入力高速応答型感熱センサと、冷却制御された
拡散・減光装置とにより構成することを特徴とするレー
ザ出力制御装置。 - （２）前記第（１）項に於ける拡散・減光装置を、被検
出光の入射直後に置かれた反射・拡散面と、該反射・拡
散面に対向すると共に、これを完全に蔽い包み、且つ、
光取込用小孔を設けた光吸収面とにより構成することを
特徴とするレーザ出力制御装置。 - （３）前記第（２）項に於ける反射・拡散面として、表
面粗さの調整された半球状凸面、又は円錐体表面等の拡
散形状面に金コーティング、クロムコーティング等の光
反射処理の施された反射面を利用することを特徴とする
レーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14965188A JPH01316617A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | レーザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14965188A JPH01316617A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | レーザ出力制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316617A true JPH01316617A (ja) | 1989-12-21 |
Family
ID=15479883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14965188A Pending JPH01316617A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | レーザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01316617A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006324321A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Miyachi Technos Corp | 高調波レーザ装置及びレーザ加工装置 |
| WO2008025958A3 (en) * | 2006-08-29 | 2008-07-03 | Univ Heriot Watt | Optical characteristic mapping instrument |
| JP2012508876A (ja) * | 2008-11-17 | 2012-04-12 | ティーエム テック カンパニー リミテッド | 太陽光位置追跡用光センサホルダ |
| CN105181128A (zh) * | 2015-10-12 | 2015-12-23 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种高能激光全吸收能量测量装置 |
| CN115494569A (zh) * | 2022-11-16 | 2022-12-20 | 中国航天三江集团有限公司 | 一种无水化和差异吸收率的激光截止器 |
| JP2023114654A (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-18 | 三菱重工業株式会社 | レーザプロファイル計測装置、及びレーザプロファイル計測方法 |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP14965188A patent/JPH01316617A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006324321A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Miyachi Technos Corp | 高調波レーザ装置及びレーザ加工装置 |
| WO2008025958A3 (en) * | 2006-08-29 | 2008-07-03 | Univ Heriot Watt | Optical characteristic mapping instrument |
| US8253087B2 (en) | 2006-08-29 | 2012-08-28 | Powerphotonic Ltd | Optical characteristic mapping instrument |
| JP2012508876A (ja) * | 2008-11-17 | 2012-04-12 | ティーエム テック カンパニー リミテッド | 太陽光位置追跡用光センサホルダ |
| CN105181128A (zh) * | 2015-10-12 | 2015-12-23 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种高能激光全吸收能量测量装置 |
| JP2023114654A (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-18 | 三菱重工業株式会社 | レーザプロファイル計測装置、及びレーザプロファイル計測方法 |
| CN115494569A (zh) * | 2022-11-16 | 2022-12-20 | 中国航天三江集团有限公司 | 一种无水化和差异吸收率的激光截止器 |
| CN115494569B (zh) * | 2022-11-16 | 2023-02-03 | 中国航天三江集团有限公司 | 一种无水化和差异吸收率的激光截止器 |
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