JPH0131802B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0131802B2 JPH0131802B2 JP57194413A JP19441382A JPH0131802B2 JP H0131802 B2 JPH0131802 B2 JP H0131802B2 JP 57194413 A JP57194413 A JP 57194413A JP 19441382 A JP19441382 A JP 19441382A JP H0131802 B2 JPH0131802 B2 JP H0131802B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- main surfaces
- adhesive layer
- insulating substrates
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、厚みすべり振動子を行なう圧電振動
子に関するものである。
子に関するものである。
従来、厚みすべり圧電振動子の一例としてAT
カツトの水晶振動子は気密端子の２本の端子ピン
に保持バネを溶接などにより固着し、２本の保持
バネの間に水晶片を支持し、保持バネ、水晶片と
接触しない状態でキヤツプを被せ、気密端子のベ
ースとキヤツプとを封止していた。このため部品
点数が多くなり、構成が複雑であつた。また製
造、組立が煩雑であり、外形形状が大きくなると
いう欠点を持つていた。さらに水晶片は２点にて
支持されるため衝撃に弱いという不都合もあつ
た。
カツトの水晶振動子は気密端子の２本の端子ピン
に保持バネを溶接などにより固着し、２本の保持
バネの間に水晶片を支持し、保持バネ、水晶片と
接触しない状態でキヤツプを被せ、気密端子のベ
ースとキヤツプとを封止していた。このため部品
点数が多くなり、構成が複雑であつた。また製
造、組立が煩雑であり、外形形状が大きくなると
いう欠点を持つていた。さらに水晶片は２点にて
支持されるため衝撃に弱いという不都合もあつ
た。
本発明は上記欠点を除去するものであり、構成
が簡単で部品点数が少なく、製造、組立が容易で
あり、衝撃に強く、外形形状の小さい厚みすべり
圧電振動子を提供することを目的とするものであ
る。
が簡単で部品点数が少なく、製造、組立が容易で
あり、衝撃に強く、外形形状の小さい厚みすべり
圧電振動子を提供することを目的とするものであ
る。
以下本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図において、１は厚みすべり振動子の一例
としてのATカツト水晶振動子であり、厚みすべ
封振動を行う水晶片２が、その外周端部に対応す
る接着層３，４にスペーサ５，６を介在させた状
態で、接着層３，４により絶縁性の平板状基板
７，８間に封着されているものである。
としてのATカツト水晶振動子であり、厚みすべ
封振動を行う水晶片２が、その外周端部に対応す
る接着層３，４にスペーサ５，６を介在させた状
態で、接着層３，４により絶縁性の平板状基板
７，８間に封着されているものである。
水晶片２は、第２図示のように、両主面に駆動
電極２ａと外周端部に延伸する引出し電極２ｂと
が蒸着により形成してあるものであるが、この実
施例では、両主面が凸状に形成され、厚みすべり
振動の振動エネルギを中央部に集中させ、外周端
部の振動変位を極めて小さくしてある。
電極２ａと外周端部に延伸する引出し電極２ｂと
が蒸着により形成してあるものであるが、この実
施例では、両主面が凸状に形成され、厚みすべり
振動の振動エネルギを中央部に集中させ、外周端
部の振動変位を極めて小さくしてある。
水晶片２の凸面状の主面中央部が基板７，８と
非接触になるように接着層３，４そのものを厚く
すると、接着強度、気密性能の点で問題となる。
このため接着層３，４の間にスペーサ５，６を介
在させた構成とし、所要の接着強度と気密性能を
確保している。
非接触になるように接着層３，４そのものを厚く
すると、接着強度、気密性能の点で問題となる。
このため接着層３，４の間にスペーサ５，６を介
在させた構成とし、所要の接着強度と気密性能を
確保している。
スペーサ５，６は、第３，４図に示すように、
水晶片２の外周部に対向可能なリング状部５ａ，
６ａと、外方に延伸する引出し端子５ｂ，６ｂと
から構成されていいる。スペーサ５，６の素材と
しては、水晶片２と熱膨脹係数の近い金属薄板が
望ましく、本例では鉄50％、ニツケル50％の鉄ニ
ツケル合金が用いられている。
水晶片２の外周部に対向可能なリング状部５ａ，
６ａと、外方に延伸する引出し端子５ｂ，６ｂと
から構成されていいる。スペーサ５，６の素材と
しては、水晶片２と熱膨脹係数の近い金属薄板が
望ましく、本例では鉄50％、ニツケル50％の鉄ニ
ツケル合金が用いられている。
基板７，８には、水晶片と熱膨脹係数が近く通
気性のないセラミツク、ガラスなどの絶縁性材料
が適している。
気性のないセラミツク、ガラスなどの絶縁性材料
が適している。
接着層３，４は、異方導電性接着剤にて形成さ
れたものである。この異方導電性接着剤は、絶縁
性接着剤に銀粉などを20〜40重量％程度混ぜたも
ので、厚み方向（押圧方向）にのみ導通を示し、
横方向には絶縁を示すものである。駆動電極２ａ
の引出し電極２ｂとスペーサ５，６のリング状部
５ａ，６ａとが異方導電性接着剤である接着層
３，４によつて導通される。接着層３，４が異方
導電性接着剤により形成してあるから、水晶片２
の外周端において接着層３，４がはみ出して接触
しても短絡することはない。
れたものである。この異方導電性接着剤は、絶縁
性接着剤に銀粉などを20〜40重量％程度混ぜたも
ので、厚み方向（押圧方向）にのみ導通を示し、
横方向には絶縁を示すものである。駆動電極２ａ
の引出し電極２ｂとスペーサ５，６のリング状部
５ａ，６ａとが異方導電性接着剤である接着層
３，４によつて導通される。接着層３，４が異方
導電性接着剤により形成してあるから、水晶片２
の外周端において接着層３，４がはみ出して接触
しても短絡することはない。
水晶片２と基板７との間の空間および水晶片２
と基板８との間の空間は気密状態となつており、
真空あるいは不活性ガス置換されている。なお水
晶片２外周部に基板７，８に接するようにワツク
スなどを充填すれば気密性能をより向上させるこ
とができる。
と基板８との間の空間は気密状態となつており、
真空あるいは不活性ガス置換されている。なお水
晶片２外周部に基板７，８に接するようにワツク
スなどを充填すれば気密性能をより向上させるこ
とができる。
以上述べたように本発明によれば、圧電素子を
１対の基板間に狭持封着するに際し、この狭持封
着を異方導電性接着剤による接着層によつて行な
うとともに、接着層に外部接続用の引出し端子を
有するスペーサを介在させて介在させているか
ら、封着と同時にスペーサと圧電素子との導通が
計れ、しかもこの封着作業時に接着剤がはみ出し
たとしても短絡することがない。したがつて製造
組立が非常に容易になる。また、部品点数が少な
く構成が簡単であるから小型化できる。さらに、
耐衝撃性、気密性能に優れた厚みすべり圧電振動
子を提供することができる。
１対の基板間に狭持封着するに際し、この狭持封
着を異方導電性接着剤による接着層によつて行な
うとともに、接着層に外部接続用の引出し端子を
有するスペーサを介在させて介在させているか
ら、封着と同時にスペーサと圧電素子との導通が
計れ、しかもこの封着作業時に接着剤がはみ出し
たとしても短絡することがない。したがつて製造
組立が非常に容易になる。また、部品点数が少な
く構成が簡単であるから小型化できる。さらに、
耐衝撃性、気密性能に優れた厚みすべり圧電振動
子を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は
水晶片の正面図、第３，４図はスペーサの正面図
である。 １……水晶振動子、２……水晶片、２ａ……駆
動電極、２ｂ……引出し電極、３，４……接着
層、５，６……スペーサ、５ａ，６ａ……リング
状部、５ｂ，６ｂ……引出し端子、７，８……基
板。
水晶片の正面図、第３，４図はスペーサの正面図
である。 １……水晶振動子、２……水晶片、２ａ……駆
動電極、２ｂ……引出し電極、３，４……接着
層、５，６……スペーサ、５ａ，６ａ……リング
状部、５ｂ，６ｂ……引出し端子、７，８……基
板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 駆動電極と、この駆動電極から外周端部へ延
出形成してある引出し電極とが両主面に形成して
ある厚みすべりを行なう圧電素子と、 上記圧電素子の上記両主面と対向して位置する
１対の平板状の絶縁性基板と、 上記圧電素子の上記両主面外周部と上記両絶縁
性基板との間を封止する異方導電性接着剤により
形成された接着層と、 上記圧電素子の上記両主面を上記両絶縁性基板
と非接触状態に保つために上記接着層中に埋設し
てあり、上記異方導電性接着剤を介して上記引出
し電極と電気的に接続しているリング状部と、こ
のリング状部から外方へ一体に延出形成された外
部接続用の引出し端子とを備えた１対の金属性ス
ペーサと、 からなることを特徴とする厚みすべり圧電振動
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441382A JPS5985119A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441382A JPS5985119A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985119A JPS5985119A (ja) | 1984-05-17 |
| JPH0131802B2 true JPH0131802B2 (ja) | 1989-06-28 |
Family
ID=16324184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19441382A Granted JPS5985119A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985119A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03184411A (ja) * | 1989-12-13 | 1991-08-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動部品 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52123888A (en) * | 1976-04-12 | 1977-10-18 | Matsushima Kogyo Kk | Thickness slip quartz oscillator |
| JPS5748089Y2 (ja) * | 1976-07-02 | 1982-10-22 | ||
| JPS5433714A (en) * | 1977-08-19 | 1979-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic playing envelope generating system |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP19441382A patent/JPS5985119A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5985119A (ja) | 1984-05-17 |
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