JPH01318246A - Ic支持フィルムの保持器具 - Google Patents
Ic支持フィルムの保持器具Info
- Publication number
- JPH01318246A JPH01318246A JP15142388A JP15142388A JPH01318246A JP H01318246 A JPH01318246 A JP H01318246A JP 15142388 A JP15142388 A JP 15142388A JP 15142388 A JP15142388 A JP 15142388A JP H01318246 A JPH01318246 A JP H01318246A
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- JP
- Japan
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- film
- positioning
- carrier
- chip
- holes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
チップ状態のままでICを支持しているフィルムを、I
Cテストのためのパッドを位置決めして保持する器具に
関し、 将来ICが多ピン化された時でも、テストパッドとテス
トビンとの高精度の位置決めを可能とするキャリアを実
現することを目的とし、中央部にICチップが配置され
、ICチップの周囲に、リードを介して多数のパッドが
配置されるとともに、該パラ−F’の外側の左右両側に
、キャリアの突起が係合する複数の係合穴が形成された
IC支持フィルムと、 中央部に矩形の窓穴が形成され、該窓穴の外側の左右両
側に複数の突起が設けられたキャリアとを備え、 前記フィルムをキャリアに搭載し、突起を保合穴に係合
させた状態で、テストピンをフィルムのパッドに当てる
ことにより、ICチップの試験を行なう器具において、 該キャリアの窓穴は、ICチップより大きく、フィルム
の係合穴の列より小さく、 該キャリアは、窓穴の前後左右の4辺に、位置決めピン
が挿入される少なくとも4個の位置決め穴が形成されて
おり、かつこれらの位置決め穴はフィルムの外周を囲む
形に配置されており、スライドキャリアに被試験フィル
ムが搭載され、スライドキャリアの前記位置決め穴に、
装置側の位置決めビンが挿入された状態において、各位
置決めピンでフィルムの外周が囲まれ位置決めされるよ
うに構成する。
Cテストのためのパッドを位置決めして保持する器具に
関し、 将来ICが多ピン化された時でも、テストパッドとテス
トビンとの高精度の位置決めを可能とするキャリアを実
現することを目的とし、中央部にICチップが配置され
、ICチップの周囲に、リードを介して多数のパッドが
配置されるとともに、該パラ−F’の外側の左右両側に
、キャリアの突起が係合する複数の係合穴が形成された
IC支持フィルムと、 中央部に矩形の窓穴が形成され、該窓穴の外側の左右両
側に複数の突起が設けられたキャリアとを備え、 前記フィルムをキャリアに搭載し、突起を保合穴に係合
させた状態で、テストピンをフィルムのパッドに当てる
ことにより、ICチップの試験を行なう器具において、 該キャリアの窓穴は、ICチップより大きく、フィルム
の係合穴の列より小さく、 該キャリアは、窓穴の前後左右の4辺に、位置決めピン
が挿入される少なくとも4個の位置決め穴が形成されて
おり、かつこれらの位置決め穴はフィルムの外周を囲む
形に配置されており、スライドキャリアに被試験フィル
ムが搭載され、スライドキャリアの前記位置決め穴に、
装置側の位置決めビンが挿入された状態において、各位
置決めピンでフィルムの外周が囲まれ位置決めされるよ
うに構成する。
本発明は、IC支持フィルムの保持器具に係り、詳しく
はチップ状態のままでICを支持しているフィルムを、
ICテストのためのパッドを位置決めして保持する器具
に関する。
はチップ状態のままでICを支持しているフィルムを、
ICテストのためのパッドを位置決めして保持する器具
に関する。
−Sに、LSIでは、チップを保護するために、パッケ
ージされているが、LSIの高密度実装化のために、ワ
イヤレスボンディング方式等が実用化されてきている。
ージされているが、LSIの高密度実装化のために、ワ
イヤレスボンディング方式等が実用化されてきている。
この方式は、チップ上の全パッドを金属リード等により
、直接、−斉に接続する手法である。
、直接、−斉に接続する手法である。
ワイヤレスボンディング方式は、チップの実装密度の向
上がはかれ、マルチチップ化に向くため、今後のLSI
の高速高集積化に期待されている組立て方式である。
上がはかれ、マルチチップ化に向くため、今後のLSI
の高速高集積化に期待されている組立て方式である。
ワイヤレスボンディングの一つに、TAB (tape
automated bonding)方式があり、
テープキャリアを使用している。−例として、米国特許
第4069496号明細書に記載されているものが知ら
れている。第4図は従来のTAB方式によるIC支持フ
ィルムの保持器具を示す斜視図、第5図は同フィルムの
実装状態の断面図ある。このテープキャリアは、フィル
ム7上にリードフレーム12を形成し、そのリードの両
端が、チップ8とパッド10に接合されている。またフ
ィルムの両側に5個のスプロケットホール11を穿設し
、第4図(b)のように、これらのうち4つのホール1
1に、スライドキャリア1に設けた4個の突起4を係合
させて挟持するとともに、スライドキャリア1に、アク
セスオープニングという2つの穴15を設け、これらの
穴15と前記スプロケットホール11に、位置決めビン
16を挿入することで、位置決めを行なっている。この
方式は、テープの段階で、フィルム7のパッド10にテ
ストピン14の先端を当てることで試験ができるなどの
長所がある。
automated bonding)方式があり、
テープキャリアを使用している。−例として、米国特許
第4069496号明細書に記載されているものが知ら
れている。第4図は従来のTAB方式によるIC支持フ
ィルムの保持器具を示す斜視図、第5図は同フィルムの
実装状態の断面図ある。このテープキャリアは、フィル
ム7上にリードフレーム12を形成し、そのリードの両
端が、チップ8とパッド10に接合されている。またフ
ィルムの両側に5個のスプロケットホール11を穿設し
、第4図(b)のように、これらのうち4つのホール1
1に、スライドキャリア1に設けた4個の突起4を係合
させて挟持するとともに、スライドキャリア1に、アク
セスオープニングという2つの穴15を設け、これらの
穴15と前記スプロケットホール11に、位置決めビン
16を挿入することで、位置決めを行なっている。この
方式は、テープの段階で、フィルム7のパッド10にテ
ストピン14の先端を当てることで試験ができるなどの
長所がある。
〔発明が解決しようとする課題]
ところが、従来のテープキャリアでは、フィルムのスプ
ロケットホール11を、スライドキャリアlへの保持手
段とテストパッドの位置決めに兼用する構成となってい
るため、テストピン14とテストパッド10との位置決
め精度が低いという問題があった。
ロケットホール11を、スライドキャリアlへの保持手
段とテストパッドの位置決めに兼用する構成となってい
るため、テストピン14とテストパッド10との位置決
め精度が低いという問題があった。
すなわち、5個のスプロケットホールのうちの2つの部
分でのみしか位置決めができないため、今後多ビン化さ
れたような場合、高精度の位置決めが困難になる。
分でのみしか位置決めができないため、今後多ビン化さ
れたような場合、高精度の位置決めが困難になる。
テストピン14をテストパッド10に当接してICを試
験するようなとき、ビン数が多くなると、必然的にバン
ド10の間隔が狭くなることから、位置決め精度が悪い
と、試験の際に、パッド10とテストピン14との位置
が狂い、正確な試験が行えないという結果になる。
験するようなとき、ビン数が多くなると、必然的にバン
ド10の間隔が狭くなることから、位置決め精度が悪い
と、試験の際に、パッド10とテストピン14との位置
が狂い、正確な試験が行えないという結果になる。
本発明の技術的課題は、従来のIC支持フィルムの保持
器具におけるこのような問題を解消し、将来ICが多ピ
ン化された時でも、テストパッドとテストピンとの高精
度の位置決めを可能とするキャリアを実現することにあ
る。
器具におけるこのような問題を解消し、将来ICが多ピ
ン化された時でも、テストパッドとテストピンとの高精
度の位置決めを可能とするキャリアを実現することにあ
る。
〔課題を解決するための手段]
第1図は本発明によるIC支持フィルムの保持器具の基
本原理を説明する図である。IC支持フィルム7は、中
央部にICチップ8が配置され、ICチップ8の周囲に
、リードを介して多数のパッドが配置されるとともに、
該パッドの外側の左右(上下または前後)両側に、キャ
リアの突起4が係合する複数の係合穴11が形成されて
いる。
本原理を説明する図である。IC支持フィルム7は、中
央部にICチップ8が配置され、ICチップ8の周囲に
、リードを介して多数のパッドが配置されるとともに、
該パッドの外側の左右(上下または前後)両側に、キャ
リアの突起4が係合する複数の係合穴11が形成されて
いる。
このIC支持フィルム7を搭載するためのキャリアlは
、中央部に矩形の窓穴3が形成され、該窓穴3の外側の
左右(上下または前後)両側に複数の突起4が設けられ
ている。
、中央部に矩形の窓穴3が形成され、該窓穴3の外側の
左右(上下または前後)両側に複数の突起4が設けられ
ている。
ICチップ8の試験に先立って、前記フィルム7をキャ
リア1に搭載し、突起4を係合穴11に係合させること
で、フィルム7をキャリア1に取り付ける。
リア1に搭載し、突起4を係合穴11に係合させること
で、フィルム7をキャリア1に取り付ける。
このようなIC支持フィルムの保持器具において、キャ
リア1の窓穴3は、ICチップより大きく、フィルム7
の係合穴11の列より小さい。また、該キャリア1は、
窓穴3の前後左右の4辺に、位置決めピン13が挿入さ
れる少なくとも4個の位置決め六6が形成されており、
かつこれらの位置決め穴6はフィルム7の外周を囲む形
に配置されている。
リア1の窓穴3は、ICチップより大きく、フィルム7
の係合穴11の列より小さい。また、該キャリア1は、
窓穴3の前後左右の4辺に、位置決めピン13が挿入さ
れる少なくとも4個の位置決め六6が形成されており、
かつこれらの位置決め穴6はフィルム7の外周を囲む形
に配置されている。
キャリア1に被試験フィルム7が搭載され、キャリアl
の前記位置決め穴6に、装置側の位置決めピン13が挿
入された状態において、各位置決めピン13・・・でフ
ィルム7の外周が囲まれ位置決めされる。
の前記位置決め穴6に、装置側の位置決めピン13が挿
入された状態において、各位置決めピン13・・・でフ
ィルム7の外周が囲まれ位置決めされる。
(作用〕
フィルム7をキャリア】に実装した状態で、位illめ
ピン13を、キャリア1の位置決め六6に挿入すると、
フィルム7の外周が、各位置決め六〇で囲まれる。この
とき、窓穴3の各辺に対応して、少なくとも1本の位置
決めピンが存在するため、フィルム7の4辺において、
位置決めが行なわれる。
ピン13を、キャリア1の位置決め六6に挿入すると、
フィルム7の外周が、各位置決め六〇で囲まれる。この
とき、窓穴3の各辺に対応して、少なくとも1本の位置
決めピンが存在するため、フィルム7の4辺において、
位置決めが行なわれる。
このように、本発明では、フィルム7の全ての辺で位置
決めが行なわれるため、位置決め精度が向上する。位置
決め穴6や位置決めピン13を増やすことで、位置決め
精度は更に向上する。
決めが行なわれるため、位置決め精度が向上する。位置
決め穴6や位置決めピン13を増やすことで、位置決め
精度は更に向上する。
また、従来のように、保持手段として設けられた係合穴
を、位置決めに兼用する必要がなく、キャリア上の位置
決め穴の数および配置を自由に選択することが可能とな
る。
を、位置決めに兼用する必要がなく、キャリア上の位置
決め穴の数および配置を自由に選択することが可能とな
る。
〔実施例]
次に本発明によるIC支持フィルムの保持器具が実際上
どのように具体化されるかを実施例で説明する。第2図
、第3図は、本発明に係るIC支持フィルムの保持器具
の一実施例を示す回である。
どのように具体化されるかを実施例で説明する。第2図
、第3図は、本発明に係るIC支持フィルムの保持器具
の一実施例を示す回である。
キャリア1の外周部1aには、該外周部1aに対して所
定のくぼみ2を有する凹部1bが形成されており、凹部
1bの中央部には、テストパッドにアクセスするための
長方形の窓穴3が開口している。窓穴3の上端部および
下端部近傍には、それぞれ2対の突起(ラグ)4が設け
られており、これらのラグ4は、後述するフィルム7の
スプロケットホール(係合穴)11に、第4図(b)の
場合と同様にして係合する。なおスライドキャリア1の
外周部1aには、スライドキャリア1を他の部材に接続
するための凹部1cが設けられている。
定のくぼみ2を有する凹部1bが形成されており、凹部
1bの中央部には、テストパッドにアクセスするための
長方形の窓穴3が開口している。窓穴3の上端部および
下端部近傍には、それぞれ2対の突起(ラグ)4が設け
られており、これらのラグ4は、後述するフィルム7の
スプロケットホール(係合穴)11に、第4図(b)の
場合と同様にして係合する。なおスライドキャリア1の
外周部1aには、スライドキャリア1を他の部材に接続
するための凹部1cが設けられている。
フィルム7は、中央部にICチップ8が配置されている
。フィルム7は、映写フィルムの1コマ毎のものと同様
のものである。ICチップ8は、リード9を介してフィ
ルム7のパッド10に接続されている。パッド10は、
ICチップ8を前後左右に囲んでパッド列を形成してお
り、パッド10の更に側方には、キャリア1のラグ4に
係合するスブロケ・7トホール11が形成されている。
。フィルム7は、映写フィルムの1コマ毎のものと同様
のものである。ICチップ8は、リード9を介してフィ
ルム7のパッド10に接続されている。パッド10は、
ICチップ8を前後左右に囲んでパッド列を形成してお
り、パッド10の更に側方には、キャリア1のラグ4に
係合するスブロケ・7トホール11が形成されている。
キャリア1のラグ4の外側と、窓穴3の側方でラグ4の
無い辺の外側に位置決め穴6が形成されている。
無い辺の外側に位置決め穴6が形成されている。
第3図はスライドキャリア1にフィルム7を保持した状
態で、第1図のA−A断面図である。第3し1において
、スプロケットホール11にラグ4が係合することによ
り、フィルム7が窓穴3に対し位置決めされ保持される
。これにより、フィルム7のパッド10の部分は、スラ
イドキャリア1の窓穴3の枠内に納まることになる。
態で、第1図のA−A断面図である。第3し1において
、スプロケットホール11にラグ4が係合することによ
り、フィルム7が窓穴3に対し位置決めされ保持される
。これにより、フィルム7のパッド10の部分は、スラ
イドキャリア1の窓穴3の枠内に納まることになる。
この後、キャリア1に設けられた位置決め穴6を通して
、図示されていないテスト装置から、位置決めピン13
を挿入することにより、フィルム7の外周に位置決めピ
ン13を接触させる。これにより、パッド10とテスト
ピン14とが高精度に位置決めされる。このようにして
、パッド10とテストビン14とが相互に確実に位置決
めされ接触した後、テスト装置により、ICチップ8に
ついて各種の試験が行われる。
、図示されていないテスト装置から、位置決めピン13
を挿入することにより、フィルム7の外周に位置決めピ
ン13を接触させる。これにより、パッド10とテスト
ピン14とが高精度に位置決めされる。このようにして
、パッド10とテストビン14とが相互に確実に位置決
めされ接触した後、テスト装置により、ICチップ8に
ついて各種の試験が行われる。
なお、本実施例では、キャリアlに8個の位置決め穴6
を形成し、8箇所で位置決めしているので、従来と比較
して、テストピン14とパッド10との相互の位置決め
精度を格段と向上させることができる。
を形成し、8箇所で位置決めしているので、従来と比較
して、テストピン14とパッド10との相互の位置決め
精度を格段と向上させることができる。
(発明の効果〕
以上のように本発明によれば、キャリア上にフィルムを
保持した際、フィルムの外周を囲む形に、少なくとも4
個の位置決め六6と位置決めピン13を配設している。
保持した際、フィルムの外周を囲む形に、少なくとも4
個の位置決め六6と位置決めピン13を配設している。
そのため、保持手段として設けられた係合穴を位置決め
としても兼用する必要がなくなり、位置決め穴の数およ
び配置を自由に選定し、テストピンに対するフィルム上
のパッドの位置決め精度を飛躍的に向上させることがで
きるとともに、今後多ピン化された場合でも高精度に位
置決めを行うことができる。
としても兼用する必要がなくなり、位置決め穴の数およ
び配置を自由に選定し、テストピンに対するフィルム上
のパッドの位置決め精度を飛躍的に向上させることがで
きるとともに、今後多ピン化された場合でも高精度に位
置決めを行うことができる。
第1図は本発明によるIC支持フィルムの保持器具の基
本原理を説明する図、第2図、第3図は本発明に係るI
C支持フィルムの保持器具の一実施例を示す図で、第2
図は斜視図、第3図は第2図のA−A断面図である。第
4図、第5図は従来のIC支持フィルムの保持器具を示
す図である。 図において、1はスライドキャリア、3は窓穴、4は突
起、6は位置決め穴、7はフィルム、8はICチップ、
9はリード、10はパッド、11はスプロケントホール
、13は位置決めピンをそれぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 復代理人 弁理士 福 島 康 文 、水、冶≦日月の基A(bたプE 第1図 /A *施例の斜現面 第2図 実施例の実装状態 第3図 第4図(a) フィルム狭詩4尺盾、 第4図(b) 従来の実装状態 第5図
本原理を説明する図、第2図、第3図は本発明に係るI
C支持フィルムの保持器具の一実施例を示す図で、第2
図は斜視図、第3図は第2図のA−A断面図である。第
4図、第5図は従来のIC支持フィルムの保持器具を示
す図である。 図において、1はスライドキャリア、3は窓穴、4は突
起、6は位置決め穴、7はフィルム、8はICチップ、
9はリード、10はパッド、11はスプロケントホール
、13は位置決めピンをそれぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 復代理人 弁理士 福 島 康 文 、水、冶≦日月の基A(bたプE 第1図 /A *施例の斜現面 第2図 実施例の実装状態 第3図 第4図(a) フィルム狭詩4尺盾、 第4図(b) 従来の実装状態 第5図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 中央部にICチップ(8)が配置され、ICチップ(
8)の周囲に、リードを介して多数のパッドが配置され
るとともに、該パッドの外側の左右両側に、キャリアの
突起(4)が係合する複数の係合(11)が形成された
IC支持フィルム(7)と、 中央部に矩形の窓穴(3)が形成され、該窓穴(3)の
外側の左右両側に複数の突起(4)が設けられたキャリ
ア(1)とを備え、 前記フィルム(7)をキャリア(1)に搭載し、突起(
4)を係合穴(11)に係合させた状態で、テストピン
をフィルム(7)のパッドに当てることにより、ICチ
ップ(8)の試験を行なう器具において、 該キャリア(1)の窓穴(3)は、ICチップより大き
く、フィルム(7)の係合穴(11)の列より小さく、
該キャリア(1)は、窓穴(3)の前後左右の4辺に、
位置決めピン(13)が挿入される少なくとも4個の位
置決め穴(6)が形成されており、かつこれらの位置決
め穴(6)はフィルム(7)の外周を囲む形に配置され
ており、 スライドキャリア(1)に被試験フィルム(7)が搭載
され、スライドキャリア(1)の前記位置決め穴(6)
に、装置側の位置決めピン(13)が挿入された状態に
おいて、各位置決めピン(13)でフィルム(7)の外
周が囲まれ位置決めされるように構成されていることを
特徴とするIC支持フィルムの保持器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15142388A JPH01318246A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Ic支持フィルムの保持器具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15142388A JPH01318246A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Ic支持フィルムの保持器具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01318246A true JPH01318246A (ja) | 1989-12-22 |
Family
ID=15518297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15142388A Pending JPH01318246A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Ic支持フィルムの保持器具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01318246A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346877A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-12-15 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブとその製造方法、および前記コンタクトプローブを用いたプローブ装置とその製造方法 |
| KR200471999Y1 (ko) * | 2012-09-06 | 2014-03-28 | 주식회사 원강테크닉스 | 반도체 패키지 제조용 보트 캐리어 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP15142388A patent/JPH01318246A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346877A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-12-15 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブとその製造方法、および前記コンタクトプローブを用いたプローブ装置とその製造方法 |
| KR200471999Y1 (ko) * | 2012-09-06 | 2014-03-28 | 주식회사 원강테크닉스 | 반도체 패키지 제조용 보트 캐리어 |
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