JPH0138571Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は放射線環境下での目視検査を行なう際
に使用されるフアイバスコープを利用した検査装
置に於いて、放射線による伝送損失を補償する補
償装置に関する。

従来、高放射線下の目視検査には、耐放射線型
ITVカメラ、或いは耐放射線型フアイバスコー
プ等が用いられていた。従来のこの種各検査装置
の構成及び問題点を第１図乃至第４図を参照して
説明する。第１図はITVカメラを用いた検査装
置の一部の構成を示したもので、被検査体１の検
査面２（被検査体１の部分的な面、或いは全域）
の目視検査を行なう場合、検査ツール３（対象に
より種々の機械要素より構成されるため、図では
簡略化して示す）によつて、ITVカメラ４を取
り付け、ミラー５等によつて投影される検査面２
を光源６により照射し、目視検査を実施する。

しかしながら、このような構成による従来の
ITVカメラを用いた検査装置においては、ITV
カメラ４の寸法、重量大によるところから、検査
ツール３の大きさ、及び強度面からの重量が増大
し、更にはケーブル類７の引き廻し等によつて装
置構成がかなり大がかりになるという欠点を有し
ていた。すなわち、検査装置がかなり大きくなつ
てしまうという欠点を有していた。

そこでITVカメラに代り、フアイバスコープ
を用いた検査装置が開発された。すなわち、第２
図に示す如く、検査ツール３に、ITVカメラに
代つてフアイバスコープ８を取り付けた構成とし
たもので、これによりITVカメラによつて生じ
た上述の欠点を改善していた。

しかしながら、これら各検査装置においては高
放射線環境下での影響により感度劣化等の不都合
が生じるという共通の問題があつた。即ち、具体
的な放射線環境下での影響として、第１図に示し
たようなITVカメラを用いた場合も、又第２図
に示したようなフアイバスコープを用いた場合も
同様に、第３図に示す如く、検査時間ｈにより累
積される放射線の集積線量Ｒに対して、ITVカ
メラ、或いはフアイバスコープの感度dB、或い
は検査信号上のＳ／Ｎが著しく損われるという現
象が生じる。このことは検査進行過程上、一定し
た検査が事実上不可能であることを示す。

ここで、フアイバスコープを用いた検査装置に
ついて第４図を参照して更に詳細な説明を行な
う。尚、第４図に於いて、上記した第１図、及び
第２図と同一部分に対しては同一符号を付して示
している。フアイバスコープ８は、対物レンズ部
１１により検査面２を投影し、フアイバスコープ
８の対面上に設けられた対物レンズ部１２によ
り、撮像装置１３に検査面２を撮像する構成を採
る。そして撮像装置１３により、画像を電気信号
（映像信号）１４に変換した上で処理装置（一般
的には画像処理装置）１５に入力し、信号処理し
て目視検査を実施するシステムとなつている。こ
のような構成に於いて、実際に放射線環境にさら
されるのはフアイバスコープ８自身と光源部６、
及び対物レンズ部１１である。故にこの部分６，
８，１１には放射線による影響から光学的な伝送
損失（主にレンズ透光率低下、フアイバスコープ
伝送損失量増加等）が発生し、目視検査性能上に
於いて著しい影響を与える。

本考案は上記実情に鑑みなされたもので、放射
線環境下での目視検査を行なう際に使用されるフ
アイバスコープを利用した検査装置において、前
記フアイバスコープと該フアイバスコープを介し
て得られる光学像を入力する撮像装置との間に、
光増幅装置を介在せしめ、該光増幅装置の増幅
度、及び被検査体の検査面を照射する光源の光量
を前記撮像装置内の受光感度を示す特定の信号に
もとづき自動的に制御する構成として、前記撮像
装置における受光感度を一定に保ち、放射線環境
下での伝送損失増加量を自動的に補償できるよう
にした補償装置を提供することを目的とする。

以下第５図を参照して本考案の一実施例を説明
する。第５図は本考案の一実施例における要部の
構成を示すもので、図中、第４図と同一部分には
同一符号を付してその説明を省略する。ここで
は、フアイバスコープ８に取付けられた対物レン
ズ部１２と撮像装置１３の受光面との間に、フア
イバスコープ８等の伝送損失量を補償するための
光増幅装置としてイメージインテンシフアイヤ２
１を設け、該イメージインテンシフアイヤ２１の
出力光学像を接続（対物）レンズ２２を介し撮像
装置１３に入力する構成としている。又、撮像装
置１３より特定の受光感度出力信号（具体的には
撮像管出力信号、或いはこれと同等な映像信号）
を取出し、この信号を受光感度を示す参照信号Ｓ
として制御装置２３に入力する。この制御装置２
３は、撮像装置１３からの参照信号Ｓにもとづい
て、イメージインテンシフアイヤ２１の光増幅
度、及び光源６の光量を制御し、撮像装置１３へ
入力される光学像が常に一定レベル状態となるよ
う、即ち、撮像装置１３の受光感度を一定にすべ
く、伝送損失量に対する自動補償制御を行なう。

ここで、一実施例の作用を説明する。フアイバ
スコープ８を介して伝送された検査面２上の光学
像はイメージインテンシフアイヤ２１で光増幅さ
れた後、接続レンズ２２を介して撮像装置１３に
入力される。この際、制御装置２３は、撮像装置
１３内の受光感度を示す特定信号即ち参照信号Ｓ
にもとづいて、光源部６の光量、及びイメージイ
ンテンシフアイヤ２１の増幅度を制御し、撮像装
置１３に入力される光学像が常に最適状態となる
よう、即ち、撮像装置１３における受光感度を常
に一定とするよう、フアイバスコープ８の伝送損
失量に対する自動補償を行なう。これにより放射
線環境下におけるフアイバスコープ８等の光伝送
損失量が増加し、フアイバスコープ８より出力さ
れる光学像の輝度（光強度）が低下しても、これ
をイメージインテンシフアイヤ２１にて伝送損失
量に応じた適度の増加度をもつて十分に補償し
得、撮像装置１３に常に一定した光学像を入力で
きることから、安定した目視検査を実施できる。

ここで、実質的な伝送損失量から作用を説明す
ると、フアイバスコープ８は、その特性から放射
線未照射状態でも〜20dB／100ｍ程度の伝送損失
を発生する。実質光源光量を１ルクスとすると
（dB＝10logA）より、光電面照度は１／100ルク
スに低下している。従つて放射線による損失増加
量を30dB／100ｍとすれば、全体で〜50dB／100
ｍ程度となり１／10⁵にまで低下する。よつて光
源光量の増大のみでは補償が不可能であるためイ
メージインテンシフアイヤ２１を併用して用い
る。これにより〜10^-5ルクス程度まで受光感度が
得られることから光源６との組み合わせで十分上
記伝送損失に対しての補償が可能となる。具体的
には、 １ 光源光量の補償可能範囲 光源光量（平均照度）5000ルクスまで可、 被写体反射率 0.1〜0.2程度 故に0.1×5000ルクス〜0.2×5000ルクスが可
能。

２ インテンシフアイヤの補償可能範囲 10^-5ルクス程度まで可能（自動感度調整機能
付）。

この１）．，２）．の実効値より、伝送損失によ
る補償が十分に可能であることが判る。

尚、上記した実施例においては、制御装置２３
が撮像装置１３からの参照信号にもとづいて、光
源６の光量、及びイメージインテンシフアイヤ２
１の増幅度を制御する構成としているが、次のよ
うな制御手段を採ることも可能である。即ち、放
射線によるフアイバスコープの伝送損失増加量
は、数百dB／Kmという値で発生する。これは前
述した如く集積線量Ｒによつて増大するが、フア
イバスコープ毎のその増加特性は比較的一定であ
る。従つてフアイバスコープの仕様を一定なもの
とすれば、その補償方法は一定化することが可能
となる。従つて、制御装置２３にそのプラグラム
を組込むことにより、光源６の光量とイメージイ
ンテンシフアイヤ２１の増幅度とを伝送損失増加
量に応じ時間的にコントロールすることも可能で
ある。

以上詳記したように本考案の補償装置によれ
ば、放射線環境下での目視検査を行なう際に使用
されるフアイバスコープを利用した検査装置にお
いて、前記フアイバスコープと該フアイバスコー
プを介して得られる光学像を入力する撮像装置と
の間に、光増幅装置を介在せしめ、該光増幅装置
の増幅度、及び被検査体の検査面を照射する光源
の光量を前記撮像装置内の受光感度を示す特定の
信号にもとづき自動的に制御する構成としたこと
により、前記撮像装置における受光感度を一定に
保ち、放射線環境下にあるフアイバスコープ等の
伝送損失増加量を自動的に補償できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図及び第４図は、それぞれ従来の
検査装置の構成を示す図、第３図は上記第１図、
及び第２図の構成による検査装置の放射線集積線
量に対する伝送損失特性を説明するための図、第
５図は本考案の一実施例における要部の構成を示
す図である。 ６……光源部、８……フアイバスコープ、１
１，１２……対物レンズ部、１３……撮像装置、
２１……イメージインテンシフアイヤ、２２……
接続レンズ、２３……制御装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 放射線環境下での目視検査のためのフアイバス
   コープを用いた検査装置において、前記フアイバ
   スコープと該フアイバスコープを介して伝送され
   た被検査面の光学像を撮像する撮像装置との間に
   介在された光増幅装置と、前記被検査面を照射す
   る光源部と、前記撮像装置より受光感度を示す特
   定の信号を入力し、該信号にもとづいて、前記光
   増幅装置の増幅度、及び前記光源部の光量を制御
   する制御装置とを具備し、前記制御装置の光量制
   御及び光増幅度制御により放射線環境下における
   伝送損失増加量を補償することを特徴とした補償
   装置。