JPH0138568Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は放射線環境下での目視検査を行なう際
に使用されるフアイバスコープを利用した検査装
置に於いて、放射線による前記フアイバスコープ
の伝送損失を補償する補償装置に関する。

従来、高放射線下の目視検査には、耐放射線型
ITVカメラ、或いは耐放射線型フアイバスコー
プ等が用いられていた。従来のこの種各検査装置
の構成及び問題点を第１図乃至第４図を参照して
説明する。第１図はITVカメラを用いた検査装
置の一部の構成を示したもので、被検査体１の検
査面２（被検査体１の部分的な面、或いは全域）
の目視検査を行なう場合、検査ツール３（対象に
より種々の機械要素より構成されるため、図では
簡略化して示す）によつて、ITVカメラ４を取
り付け、ミラー５等によつて投影される検査面２
を光源部６により照射し、目視検査を実施する。

しかしながら、このような構成による従来の
ITVカメラを用いた検査装置においては、ITV
カメラ４の寸法、重量大によるところから、検査
ツール３の大きさ、及び強度面からの重量が増大
し、更には、ケーブル類７の引き廻し等によつて
装置構成がかなり大がかりになるという欠点を有
していた。すなわち、検査装置がかなり大きくな
つてしまうという欠点を有していた。

そこでITVカメラに代り、フアイバスコープ
を用いた検査装置が開発された。すなわち、第２
図に示す如く、検査ツール３に、ITVカメラに
代つてフアイバスコープ８を取り付けた構成とし
たもので、これにより、ITVカメラによつて生
じた上述の欠点を改善していた。

しかしながら、これら各検査装置においては、
高放射線環境下での影響により感度劣化等の不都
合が生じるという共通の問題があつた。即ち、具
体的な放射線環境下での影響として、第１図に示
したようなITVカメラを用いた場合も、又第２
図に示したようなフアイバスコープを用いた場合
も同様に、第３図に示す如く、検査時間ｈにより
累積される放射線の集積線量Ｒに対して、ITV
カメラ、或いはフアイバスコープの感度dB、或
いは検査信号上のＳ／Ｎが著しく損われるという
現象が生じる。このことは検査進行過程上、一定
した検査が事実上不可能であることを示す。

ここで、フアイバスコープを用いた検査装置に
ついて、第４図を参照して更に詳細な説明を行な
う。尚、第４図に於いて、上記した第１図及び第
２図と同一部分に対しては同一符号を付して示し
ている。フアイバスコープ８は、対物レンズ部１
１により検査面２を投影し、フアイバスコープ８
の対面上に設けられた対物レンズ部１２により、
撮像装置１３に検査面２を撮像する構成を採る。
そして撮像装置１３により、画像を電気信号１４
に変換した上で処理装置（一般的には画像処理装
置）１５に入力し、信号処理して目視検査を実施
するシステム構成となつている。このような構成
に於いて、実際に放射線環境にさらされるのは、
フアイバスコープ８自身と光源部６、及び対物レ
ンズ部１１である。故に、この部分６，８，１１
には放射線による影響から光学的な伝送損失（主
にレンズ透光率低下、フアイバスコープ伝送損失
量増加等）が発生し、目視検査性能上に於いて著
しい影響を与える。

本考案は上記事情に鑑みなされたもので、放射
線環境下での目視検査を行なう際に使用されるフ
アイバスコープを利用した検査装置において、フ
アイバスコープと撮像装置との間に、減光フイル
タ、光学絞り、及びイメージインテンシフアイヤ
等でなる感度調節機構を設けて、放射線により照
射される時間と共に変化する光学的な伝送損失増
加量を適宜補償できるようにした補償装置を提供
することを目的とする。

以下第５図を参照して本考案の一実施例を説明
する。第５図に於いて、第４図と同一部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。ここでは、
撮像装置１３の入力を補償するため、フアイバス
コープ８の対物レンズ部１２と撮像装置１３との
間に、多種類の減光率の異なるフイルタを任意設
定できる構成の減光フイルタ２１、及び光学絞り
２２と、イメージインテンシフアイヤ２３とでな
る感度調節機構を設けて、放射線による伝送損失
増加量の補償を行なう構成としている。２４はイ
メージインテンシフアイヤ２３と撮像装置１３と
の間を接続するための対物レンズである。又、光
源６に対してはその光量を光量調節器２５により
任意に調整できる構成としている。

ここで一実施例の作用を説明する。放射線によ
る光学的な伝送損失増加量は、前述した如く放射
線にさらされる時間と共に増加する集積線量Ｒに
よつて増大する。ここでは、その伝送損失増加を
光源部６の光量調整と、減光フイルタ２１、光学
絞り２２、及びイメージインテンシフアイヤ２３
でなる感度調節機構とによつて補償するものであ
る。通常、イメージインテンシフアイヤ２３は超
高感度イメージ管であることから、10^-5ルクス程
度まで検出可能であり、かつ感度調整が可能な構
成とつている。従つて放射線未照射状態下におけ
るフアイバスコープに対しては十分すぎる感度で
あり、このままでは明る過ぎるため、減光フイル
タ２１と光学絞り２２とにより、イメージインテ
ンシフアイヤ２３に入力される光量を調節する。
この場合、光源部６は光量調節器２５によつて任
意に光量調整でき、減光フイルタ２１の設定に対
して、光源部６の光量を適切な状態に調整でき
る。そして、放射線の集積線量Ｒが増大し伝送損
失が増加する毎に、減光フイルタ２１、及び光学
絞り２２を明るくするよう調整すると共に、光源
部６の光量を増すよう調整することにより、常に
適切な明るさを保つた光学像がイメージインテン
シフアイヤ２３に入力される。即ち、撮像装置１
３に常に一定した光学像を入力することができ
る。このような光源部６と、減光フイルタ２１、
及び光学絞り２２とによる光量調整によつて、適
切な光学像が放射線未照射状態から累積状態に至
つても得ることが可能となる。又、それぞれの微
妙な調整のばらつきはイメージインテンシフアイ
ヤ２３自体の自動感度調節機能によつても一定化
され、実用的なコントラストが得られる。

上述の如く、初期状態に減光量を増加させ、放
射線の集積線量増加に伴う伝送損失の増加に伴つ
て減光を徐々に解除し、平常に戻してゆくことに
より、伝送損失増加量の補償が十分に行なえ、放
射線環境下での伝送損失増加量の補償による実用
的な目視検査の実施が可能となる。

以上詳記したように本考案の補償装置によれ
ば、放射線環境下での目視検査を行なう際に使用
されるフアイバスコープを利用した検査装置にお
いて、フアイバスコープと撮像装置との間に、減
光フイルタ、光学絞り、及びイメージインテンシ
フアイヤ等でなる感度調節機構を設けて、放射線
により照射される時間と共に変化する光学的な伝
送損失増加量を適宜補償できるようにしたとによ
り、放射線環境下での伝送損失増加量の補償によ
る実用的な目視検査が実施できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、及び第４図はそれぞれ従来の
検査装置の構成を示す図、第３図は上記第１図、
及び第２図の構成による検査装置の放射線集積線
量に対する伝送損失特性を説明するための図、第
５図は本考案の一実施例による構成を示す図であ
る。 ６……光源部、８……フアイバスコープ、１
１，１２……対物レンズ部、２１……減光フイル
タ、２２……光学絞り、２３……イメージインテ
ンシフアイヤ、２４……対物レンズ、２５……光
量調節器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 放射線環境下での目視検査のためのフアイバス
   コープを用いた検査装置において、前記フアイバ
   スコープと該フアイバスコープを介して伝送され
   た被検査面の光学像を撮像する撮像装置との間
   に、減光フイルタ、光学絞り、及びイメージイン
   テンシフアイヤでなる感度調節機構を介在せし
   め、前記感度調節機構により、放射線による前記
   フアイバスコープを含む光学系の伝送損失増加量
   を補償することを特徴とした補償装置。