JPH0143027B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0143027B2 JPH0143027B2 JP18871180A JP18871180A JPH0143027B2 JP H0143027 B2 JPH0143027 B2 JP H0143027B2 JP 18871180 A JP18871180 A JP 18871180A JP 18871180 A JP18871180 A JP 18871180A JP H0143027 B2 JPH0143027 B2 JP H0143027B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- shaft
- filament
- twisted
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 7
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は複数本のワイヤを撚線してストランド
を製造する方法、特にタングステン等のワイヤに
より蒸着用フイラメントを製造する方法に関す
る。
を製造する方法、特にタングステン等のワイヤに
より蒸着用フイラメントを製造する方法に関す
る。
通常のストランドの製造に使用される撚線機の
要部の概略構成を第１図に示す。
要部の概略構成を第１図に示す。
図において、回転軸に沿つて延びるシヤフト１
１にバーレル１２が一体的に回転できるように固
定されており、バーレル１２にはワイヤ１４を巻
回した複数個のスプール１３が取付けられてい
る。各スプール１３から引出されたワイヤー１４
はシヤフト１１に固定された第１のガイド１５及
び第２のガイド１６を介して、捩れることなく撚
線部１７に導かれる。撚線部１７は回転軸の延長
線上に通孔を有するダイスを備えており、その通
孔はワイヤ１４の入口側に、ワイヤ１４の引出方
向に漸次狭くなるようなテーパが付けられてい
る。
１にバーレル１２が一体的に回転できるように固
定されており、バーレル１２にはワイヤ１４を巻
回した複数個のスプール１３が取付けられてい
る。各スプール１３から引出されたワイヤー１４
はシヤフト１１に固定された第１のガイド１５及
び第２のガイド１６を介して、捩れることなく撚
線部１７に導かれる。撚線部１７は回転軸の延長
線上に通孔を有するダイスを備えており、その通
孔はワイヤ１４の入口側に、ワイヤ１４の引出方
向に漸次狭くなるようなテーパが付けられてい
る。
この形式では、各スプールから引出されたワイ
ヤ１４を回転軸上の一点に収束させ、バーレル１
２を回転させることにより収束点で自動的にワイ
ヤ１４を撚線し、一本のストランドを形成でき
る。１８は巻取スプールである。
ヤ１４を回転軸上の一点に収束させ、バーレル１
２を回転させることにより収束点で自動的にワイ
ヤ１４を撚線し、一本のストランドを形成でき
る。１８は巻取スプールである。
勿論、蒸着用フイラメントを製造する場合に
は、ワイヤ１４としてタングステン、モリブデン
等のフイラメント材料が用いられるが、これまで
のものは数本のワイヤが密着して撚線されている
ため、蒸着の際にはこのフイラメントに別の蒸着
用金属材料を装着する必要があり、蒸着材料の蒸
発に際してはフイラメントに対する溶融蒸着材料
のぬれにむらが生じ易く、断線に至るまでの寿命
を短かくしたり、蒸着にもむらが生じてしまうと
いう欠点があつた。
は、ワイヤ１４としてタングステン、モリブデン
等のフイラメント材料が用いられるが、これまで
のものは数本のワイヤが密着して撚線されている
ため、蒸着の際にはこのフイラメントに別の蒸着
用金属材料を装着する必要があり、蒸着材料の蒸
発に際してはフイラメントに対する溶融蒸着材料
のぬれにむらが生じ易く、断線に至るまでの寿命
を短かくしたり、蒸着にもむらが生じてしまうと
いう欠点があつた。
本発明はフイラメントに対する蒸着用金属材料
のぬれ性が良好な蒸着用フイラメントの製造方法
を提供しようとするものである。
のぬれ性が良好な蒸着用フイラメントの製造方法
を提供しようとするものである。
本発明はまた蒸着用金属材料の装着が容易な蒸
着用フイラメントの製造方法を提供しようとする
ものである。
着用フイラメントの製造方法を提供しようとする
ものである。
本発明は、撚線工程時に蒸着用金属材料を心線
としてフイラメント用ワイヤの撚線を行なうよう
にしたものである。
としてフイラメント用ワイヤの撚線を行なうよう
にしたものである。
以下に本発明の実施例を説明する。
第２図は本発明の一実施例を撚線部近傍につい
て示す。
て示す。
第２図において、シヤフト１１はその回転軸方
向に沿つて中空部を有し、撚線部におけるダイス
１９に近接してノズル部１１１を有している。ノ
ズル部１１１はシヤフト１１に対し回転軸方向に
移動可能に設けられている。ノズル部１１１と反
対側のシヤフト１１の端部には、支持台を介して
リール（いずれも図示省略）が固定され、このリ
ールにはワイヤ１４とは異なるアルミニウムAl、
ニツケルNi、クロムCr等の蒸着用金属材料によ
るワイヤ２０が巻回され、このワイヤ２０はシヤ
フト１１の中空部を経てノズル１１１から引出さ
れる。
向に沿つて中空部を有し、撚線部におけるダイス
１９に近接してノズル部１１１を有している。ノ
ズル部１１１はシヤフト１１に対し回転軸方向に
移動可能に設けられている。ノズル部１１１と反
対側のシヤフト１１の端部には、支持台を介して
リール（いずれも図示省略）が固定され、このリ
ールにはワイヤ１４とは異なるアルミニウムAl、
ニツケルNi、クロムCr等の蒸着用金属材料によ
るワイヤ２０が巻回され、このワイヤ２０はシヤ
フト１１の中空部を経てノズル１１１から引出さ
れる。
撚線に際しては、使用するタングステン、モリ
ブデン等のワイヤ１４の表面に付着した潤滑剤を
あらかじめ除去した（CC仕上げしたもの）もの
をスプールに巻替え、バーレル上に固定して各ス
プールから引出したワイヤ１４をノズル１１１か
ら引出したワイヤ２０を心線として回転軸上の一
点に収束させる。そしてこれらのワイヤの先端は
通孔１９１を通して巻取スプールに固定する。更
に目標とする撚りピツチに合せた位置に通孔１９
１の入口が位置するようにダイス１９を移動さ
せ、通常はノズル１１１の先端もワイヤ１４の収
束位置に合せる。
ブデン等のワイヤ１４の表面に付着した潤滑剤を
あらかじめ除去した（CC仕上げしたもの）もの
をスプールに巻替え、バーレル上に固定して各ス
プールから引出したワイヤ１４をノズル１１１か
ら引出したワイヤ２０を心線として回転軸上の一
点に収束させる。そしてこれらのワイヤの先端は
通孔１９１を通して巻取スプールに固定する。更
に目標とする撚りピツチに合せた位置に通孔１９
１の入口が位置するようにダイス１９を移動さ
せ、通常はノズル１１１の先端もワイヤ１４の収
束位置に合せる。
このようにワイヤ１４の収束位置にノズル１１
１の先端を合せることにより、ダイス１９の通孔
１９１から引出される撚線は、第３図に拡大して
示すようにワイヤ２０を心線としてここでは２本
のワイヤ１４が所定のピツチで撚られたものとな
る。この時ワイヤ２０を心線として撚線を行なう
には、ワイヤ２０へのバツクテンシヨンを破断荷
重の70〜80％に設定することが要求される。
１の先端を合せることにより、ダイス１９の通孔
１９１から引出される撚線は、第３図に拡大して
示すようにワイヤ２０を心線としてここでは２本
のワイヤ１４が所定のピツチで撚られたものとな
る。この時ワイヤ２０を心線として撚線を行なう
には、ワイヤ２０へのバツクテンシヨンを破断荷
重の70〜80％に設定することが要求される。
また撚線ピツチは、バーレルの回転数及び巻取
スプールの回転数によつて定まるが、ワイヤ１４
の収束位置とノズル１１１の先端位置とによつて
撚り状態が変化する。すなわち、第２図に示すよ
うにワイヤ１４の収束位置をダイス１９の通孔１
９１内にしてこれにノズル１１１の先端を合せた
場合には、第３図のような通常の撚り状態が得ら
れるが、第４図に示すようにダイス１９をワイヤ
１４の引出方向に移動させると共に、ノズル１１
１をバーレル側に移動させて収束位置を通孔１９
１外に設定しノズル１１１の先端もこれから離す
と、第５図に示すようにワイヤ２０を心線として
ここでは３本のワイヤ１４が一定の配列状態で密
着してしかも一定のピツチで撚られた撚線状態が
得られる。この他、ワイヤ本数、撚線状態等は
様々に変更可能である。
スプールの回転数によつて定まるが、ワイヤ１４
の収束位置とノズル１１１の先端位置とによつて
撚り状態が変化する。すなわち、第２図に示すよ
うにワイヤ１４の収束位置をダイス１９の通孔１
９１内にしてこれにノズル１１１の先端を合せた
場合には、第３図のような通常の撚り状態が得ら
れるが、第４図に示すようにダイス１９をワイヤ
１４の引出方向に移動させると共に、ノズル１１
１をバーレル側に移動させて収束位置を通孔１９
１外に設定しノズル１１１の先端もこれから離す
と、第５図に示すようにワイヤ２０を心線として
ここでは３本のワイヤ１４が一定の配列状態で密
着してしかも一定のピツチで撚られた撚線状態が
得られる。この他、ワイヤ本数、撚線状態等は
様々に変更可能である。
このようにして本発明により得られた蒸着用フ
イラメントは、あらかじめ蒸着材料が撚り込んで
あるので一回目の蒸着に際しては蒸着材料の装着
が不要である。したがつて特に蒸着材料がニツケ
ルNiやクロムCr等で使用回数が一回に限られる
フイラメントの場合に非常に効果的である。蒸着
材料がアルミニウムAlで繰り返し使用すること
ができるものでは、以後の蒸着に使用する際に蒸
着材料が蒸発して中空になつた部分に蒸着材料を
新たに装填でき、この作業は従来の装着方法に比
してはるかに容易である。また一回使用したフイ
ラメントは撚りピツチに隙間ができるが、以後の
蒸着時においてフイラメントを構成している各ワ
イヤ間に隙間を通して蒸着用金属材料が均一に分
布して平均したぬれ状態が得られ、ぬれむらが無
くなる。これによつて被蒸着部に対する均一な蒸
着が期待できるだけでなく、従来のフイラメント
の使用回数寿命がぬれむらのために５〜10回であ
つたのに対し、本発明では20〜30回まで寿命を延
ばせることが確認された。
イラメントは、あらかじめ蒸着材料が撚り込んで
あるので一回目の蒸着に際しては蒸着材料の装着
が不要である。したがつて特に蒸着材料がニツケ
ルNiやクロムCr等で使用回数が一回に限られる
フイラメントの場合に非常に効果的である。蒸着
材料がアルミニウムAlで繰り返し使用すること
ができるものでは、以後の蒸着に使用する際に蒸
着材料が蒸発して中空になつた部分に蒸着材料を
新たに装填でき、この作業は従来の装着方法に比
してはるかに容易である。また一回使用したフイ
ラメントは撚りピツチに隙間ができるが、以後の
蒸着時においてフイラメントを構成している各ワ
イヤ間に隙間を通して蒸着用金属材料が均一に分
布して平均したぬれ状態が得られ、ぬれむらが無
くなる。これによつて被蒸着部に対する均一な蒸
着が期待できるだけでなく、従来のフイラメント
の使用回数寿命がぬれむらのために５〜10回であ
つたのに対し、本発明では20〜30回まで寿命を延
ばせることが確認された。
第１図は従来の撚線機の要部の概略構成図、第
２図は本発明を実施するための撚線部近傍の概略
構成を示した図、第３図はこれによつて得られた
撚線状態を示した図、第４図及び第５図は本発明
の他の実施例の要部及び撚線状態を示した図。 図中、１１はシヤフト、１２はバーレル、１３
はスプール、１４，２０はワイヤ、１５，１６は
ガイド、１７は撚線部、１８は巻取スプール、１
９はダイス。
２図は本発明を実施するための撚線部近傍の概略
構成を示した図、第３図はこれによつて得られた
撚線状態を示した図、第４図及び第５図は本発明
の他の実施例の要部及び撚線状態を示した図。 図中、１１はシヤフト、１２はバーレル、１３
はスプール、１４，２０はワイヤ、１５，１６は
ガイド、１７は撚線部、１８は巻取スプール、１
９はダイス。
Claims (1)
- １ 回転軸に沿つて延びるシヤフトに取付けられ
た回転台上に、フイラメント用ワイヤを巻回した
複数個のスプールが固定され、前記回転軸上に通
孔を有するダイスを備えた撚線部において前記各
スプールから引出されたワイヤを前記回転軸上の
一点に収束させて撚線する装置において、前記シ
ヤフトを中空になすと共に、前記ダイスに近接し
て前記シヤフトにノズル部を設け、該シヤフトの
中空部及びノズル部を通して蒸着用金属材料によ
るワイヤを前記撚線部における心線として供給し
て撚線するようにしたことを特徴とする蒸着用フ
イラメントの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18871180A JPS57110667A (en) | 1980-12-26 | 1980-12-26 | Production of filament for vapor deposition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18871180A JPS57110667A (en) | 1980-12-26 | 1980-12-26 | Production of filament for vapor deposition |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57110667A JPS57110667A (en) | 1982-07-09 |
| JPH0143027B2 true JPH0143027B2 (ja) | 1989-09-18 |
Family
ID=16228450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18871180A Granted JPS57110667A (en) | 1980-12-26 | 1980-12-26 | Production of filament for vapor deposition |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57110667A (ja) |
-
1980
- 1980-12-26 JP JP18871180A patent/JPS57110667A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57110667A (en) | 1982-07-09 |
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