JPH0155609B2 - - Google Patents
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- JPH0155609B2 JPH0155609B2 JP18887882A JP18887882A JPH0155609B2 JP H0155609 B2 JPH0155609 B2 JP H0155609B2 JP 18887882 A JP18887882 A JP 18887882A JP 18887882 A JP18887882 A JP 18887882A JP H0155609 B2 JPH0155609 B2 JP H0155609B2
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- shaped
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- insulator
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
-
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
- H03H9/1092—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices the enclosure being defined by a cover cap mounted on an element forming part of the surface acoustic wave [SAW] device on the side of the IDT's
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、板状の絶縁物により圧電振動ユニツ
トを挟持するように積層した構造を備えるチツプ
状圧電振動部品に関する。
トを挟持するように積層した構造を備えるチツプ
状圧電振動部品に関する。
従来より、共振子、発振子、フイルタ、FMデ
イスクリミネータ等の圧電振動部品では、圧電振
動ユニツトの使用振動モードの特徴により、種々
の構造のものが知られている。
イスクリミネータ等の圧電振動部品では、圧電振
動ユニツトの使用振動モードの特徴により、種々
の構造のものが知られている。
例えば、比較的周波数が低い数百KHzの周波数
帯のセラミツクフイルタでは、樹脂等を箱体状に
成形した外装ケース内に圧電振動ユニツトを収容
したケースタイプのものが用いられており、周波
数が高い数MHzから数十MHzの周波数帯のセラミ
ツクフイルタでは、エネルギ閉込め形圧電振動ユ
ニツトの振動区域を除いた区域に外装樹脂を付着
させたいわゆるデイツプ塗装形状のものが用いら
れており、あるいは表面波素子ではデイツプ塗装
形状のものもしくはハーメチツクシールドケース
を有するものが一般的に知られている。もつと
も、これらの圧電振動部品は、何れもリード端子
を有する誘電端子付の構造のものである。
帯のセラミツクフイルタでは、樹脂等を箱体状に
成形した外装ケース内に圧電振動ユニツトを収容
したケースタイプのものが用いられており、周波
数が高い数MHzから数十MHzの周波数帯のセラミ
ツクフイルタでは、エネルギ閉込め形圧電振動ユ
ニツトの振動区域を除いた区域に外装樹脂を付着
させたいわゆるデイツプ塗装形状のものが用いら
れており、あるいは表面波素子ではデイツプ塗装
形状のものもしくはハーメチツクシールドケース
を有するものが一般的に知られている。もつと
も、これらの圧電振動部品は、何れもリード端子
を有する誘電端子付の構造のものである。
近年、電子機器の小型化に伴い、電子部品の実
装密度を高めるための種々の工夫がされている。
しかしながら、上記のようなリード端子付の圧電
振動部品では、基本的に、圧電振動ユニツトを外
装部材で被覆し、該外装部材から複数本のリード
端子を突出させた構造を有するため、形状が大き
くなり、実装密度が低くなるという欠点があつ
た。
装密度を高めるための種々の工夫がされている。
しかしながら、上記のようなリード端子付の圧電
振動部品では、基本的に、圧電振動ユニツトを外
装部材で被覆し、該外装部材から複数本のリード
端子を突出させた構造を有するため、形状が大き
くなり、実装密度が低くなるという欠点があつ
た。
他方、実装作業の能率を高めかつ実装密度を高
めるために、種々の電子部品においてリードレス
タイプのチツプ形の構造とすることが望まれてい
る。しかしながら、圧電基板の両主面に励振電極
を有し、該圧電基板の両主面において外部に電気
的に引出す必要のある形式の圧電振動部品では、
フエースボンデイング可能なチツプ部品とするこ
とが困難であつた。
めるために、種々の電子部品においてリードレス
タイプのチツプ形の構造とすることが望まれてい
る。しかしながら、圧電基板の両主面に励振電極
を有し、該圧電基板の両主面において外部に電気
的に引出す必要のある形式の圧電振動部品では、
フエースボンデイング可能なチツプ部品とするこ
とが困難であつた。
よつて、本発明の目的は、両主面に外部に引出
すべき励振電極を有する圧電振動ユニツトを用い
た圧電振動部品において、実装作業を容易としか
つ実装密度の改善を図り得るものを提供すること
にある。
すべき励振電極を有する圧電振動ユニツトを用い
た圧電振動部品において、実装作業を容易としか
つ実装密度の改善を図り得るものを提供すること
にある。
本発明のチツプ状圧電振動部品では、板状の絶
縁物の少なくとも2箇所に切欠部が設けられてお
り、これら切欠部の絶縁物の厚み方向壁面にそれ
ぞれ導電膜が形成されており、該絶縁物で圧電振
動ユニツトが挟持するように積層された構造を少
なくとも有する。圧電振動ユニツトの引出し電極
は、上記絶縁物に設けられた導電膜に電気的に接
続されている。
縁物の少なくとも2箇所に切欠部が設けられてお
り、これら切欠部の絶縁物の厚み方向壁面にそれ
ぞれ導電膜が形成されており、該絶縁物で圧電振
動ユニツトが挟持するように積層された構造を少
なくとも有する。圧電振動ユニツトの引出し電極
は、上記絶縁物に設けられた導電膜に電気的に接
続されている。
上記圧電振動ユニツトは、圧電基板の表裏面に
一対の励振電極を設けた構造を有する。そして、
圧電基板の一方面側の励振電極が、チツプ状圧電
振動部品の側面に設けられた電極膜を介して、該
圧電基板の他方面側に配置された板状の絶縁物の
導電膜に電気的に接続されている。
一対の励振電極を設けた構造を有する。そして、
圧電基板の一方面側の励振電極が、チツプ状圧電
振動部品の側面に設けられた電極膜を介して、該
圧電基板の他方面側に配置された板状の絶縁物の
導電膜に電気的に接続されている。
圧電基板の一方面側に設けられた励振電極が、
振動部品の側面に設けられた電極膜を介して圧電
基板の他方面側に配置された絶縁物の導電膜に接
続されている構成を有するので、圧電基板の他方
面側に設けられた励振電極と、圧電基板の他方面
側に配置された絶縁物の導電膜とを利用して、プ
リント基板等の実装部分にフエースボンデイング
により実装することができる。従つて、実装作業
が容易とされ、またリードレスタイプのチツプ部
品であるため、実装密度を効果的に高めることが
可能とされている。
振動部品の側面に設けられた電極膜を介して圧電
基板の他方面側に配置された絶縁物の導電膜に接
続されている構成を有するので、圧電基板の他方
面側に設けられた励振電極と、圧電基板の他方面
側に配置された絶縁物の導電膜とを利用して、プ
リント基板等の実装部分にフエースボンデイング
により実装することができる。従つて、実装作業
が容易とされ、またリードレスタイプのチツプ部
品であるため、実装密度を効果的に高めることが
可能とされている。
以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
まず、第1図及び第2図を参照して、本実施例
の圧電振動部品に用いられる圧電振動ユニツトの
構造を説明する。
の圧電振動部品に用いられる圧電振動ユニツトの
構造を説明する。
第1図を参照して圧電セラミツク基板101の
一方表面には、図示のような電極が形成されてい
る。すなわち、第1のエネルギ閉込め形圧電セラ
ミツクフイルタ素子部分102を構成するように
励振電極102a,102bが、第2のエネルギ
閉込め形圧電セラミツクフイルタ素子部分103
を構成するように励振電極103a,103bが
形成されている。なお、104,105は引出し
電極を、106はコンデンサを構成するための電
極を示す。
一方表面には、図示のような電極が形成されてい
る。すなわち、第1のエネルギ閉込め形圧電セラ
ミツクフイルタ素子部分102を構成するように
励振電極102a,102bが、第2のエネルギ
閉込め形圧電セラミツクフイルタ素子部分103
を構成するように励振電極103a,103bが
形成されている。なお、104,105は引出し
電極を、106はコンデンサを構成するための電
極を示す。
他方、圧電セラミツク板101の下方表面に
は、第2図に示すように各電極が形成されてい
る。すなわち、第1、第2の圧電セラミツクフイ
ルタ素子部分を構成するための励振電極102
c,103c、コンデンサを構成するためのコン
デンサ電極106、並びに引出し電極107,1
08が形成されている。
は、第2図に示すように各電極が形成されてい
る。すなわち、第1、第2の圧電セラミツクフイ
ルタ素子部分を構成するための励振電極102
c,103c、コンデンサを構成するためのコン
デンサ電極106、並びに引出し電極107,1
08が形成されている。
上記圧電振動ユニツトの回路構成を、第3図に
回路図で示す。
回路図で示す。
本実施例の圧電振動部品では、上述した圧電振
動ユニツトの上面に、第4図及び第5図に示す第
1の板状絶縁物109が接着剤を介して積層され
る。この板状絶縁物109は、プリント基板、ス
ルーホールメツキ基板としてよく用いられるガラ
スエポキシ基板等の合成樹脂やアルミナ等のセラ
ミツクスからなる。
動ユニツトの上面に、第4図及び第5図に示す第
1の板状絶縁物109が接着剤を介して積層され
る。この板状絶縁物109は、プリント基板、ス
ルーホールメツキ基板としてよく用いられるガラ
スエポキシ基板等の合成樹脂やアルミナ等のセラ
ミツクスからなる。
板状絶縁物109には、コーナ部分に切欠部1
10a〜110dが、長辺側中央部分に半円状の
切欠部110e,110fが形成されている。そ
して、これらの切欠部110a〜110fの厚み
方向の壁面及び板状絶縁物109の切欠部110
a〜110f近傍の両主表面上に渡る導電膜11
1〜114が形成されている。
10a〜110dが、長辺側中央部分に半円状の
切欠部110e,110fが形成されている。そ
して、これらの切欠部110a〜110fの厚み
方向の壁面及び板状絶縁物109の切欠部110
a〜110f近傍の両主表面上に渡る導電膜11
1〜114が形成されている。
導電膜111は、板状絶縁物109の上面すな
わち圧電セラミツク基板101と対向しない側の
外側表面において、切欠部110a,110b部
分に設けられた導電膜を連続的に形成したもので
あり、同様に導電膜112は切欠部110c,1
10d部分の導電膜を連続的に形成したものであ
る。この点において、通常のスルーホール電極形
成技術により形成された導電膜113,114と
異なる。
わち圧電セラミツク基板101と対向しない側の
外側表面において、切欠部110a,110b部
分に設けられた導電膜を連続的に形成したもので
あり、同様に導電膜112は切欠部110c,1
10d部分の導電膜を連続的に形成したものであ
る。この点において、通常のスルーホール電極形
成技術により形成された導電膜113,114と
異なる。
圧電セラミツク基板109の下面側にも、同様
の切欠部110a〜110fが形成された第2の
板状絶縁物(第6図に下方表面から見た図のみを
示す)が接着剤を介して貼付けられる。この第2
の板状絶縁物においても、切欠部110a〜11
0fの厚み方向壁面及び絶縁物の両主表面に切欠
部近傍に渡る導電膜111〜114が形成されて
いる。もつとも、第2の板状絶縁物の下面の電極
形状は、第6図に示すとおりとなつている。すな
わち、第4図に示した導電膜111,112と同
一の導電膜111,112が切欠部110a,1
10bまたは切欠部110c,110dの壁面に
形成された導電膜と連続するように形成されてお
り、かつ中央の切欠部110e,110fの壁面
に形成された導電膜を連続するように導電膜11
6が下面中央領域に付与されている。
の切欠部110a〜110fが形成された第2の
板状絶縁物(第6図に下方表面から見た図のみを
示す)が接着剤を介して貼付けられる。この第2
の板状絶縁物においても、切欠部110a〜11
0fの厚み方向壁面及び絶縁物の両主表面に切欠
部近傍に渡る導電膜111〜114が形成されて
いる。もつとも、第2の板状絶縁物の下面の電極
形状は、第6図に示すとおりとなつている。すな
わち、第4図に示した導電膜111,112と同
一の導電膜111,112が切欠部110a,1
10bまたは切欠部110c,110dの壁面に
形成された導電膜と連続するように形成されてお
り、かつ中央の切欠部110e,110fの壁面
に形成された導電膜を連続するように導電膜11
6が下面中央領域に付与されている。
なお、第2の板状絶縁物115の上面側、すな
わち圧電セラミツク基板101に対向する側は、
第1の板状絶縁物109の下面(第5図に示した
電極形状)と同様とされているため、その図示は
省略する。
わち圧電セラミツク基板101に対向する側は、
第1の板状絶縁物109の下面(第5図に示した
電極形状)と同様とされているため、その図示は
省略する。
なお、板状絶縁物109は、板状絶縁物115
と同一の電極形状を有するように構成してもよ
い。
と同一の電極形状を有するように構成してもよ
い。
第7図は上記の圧電セラミツク基板101、第
1、第2の板状絶縁物109,115を貼合わせ
た状態を示す。板状絶縁物109,115は、接
着剤118を介して圧電セラミツク基板101の
上面及び下面にそれぞれ接着されている。このと
き、振動を阻害しないための空隙が、振動領域上
に生じるように、接着剤118の厚み及び塗布範
囲を定めておく必要がある。
1、第2の板状絶縁物109,115を貼合わせ
た状態を示す。板状絶縁物109,115は、接
着剤118を介して圧電セラミツク基板101の
上面及び下面にそれぞれ接着されている。このと
き、振動を阻害しないための空隙が、振動領域上
に生じるように、接着剤118の厚み及び塗布範
囲を定めておく必要がある。
第8図に略図的側面図で示すように、圧電セラ
ミツク板101及び板状絶縁物109,115か
らなる積層体の2つの短辺側側面に、電極膜11
7,117が形成されている。この電極膜117
は、板状絶縁物109の導電膜111と、第2の
板状絶縁物115の導電膜111とを導通させ、
同様に、第1の板状絶縁物109の導電膜112
と第2の板状絶縁物115の導電膜112とを導
通させている。
ミツク板101及び板状絶縁物109,115か
らなる積層体の2つの短辺側側面に、電極膜11
7,117が形成されている。この電極膜117
は、板状絶縁物109の導電膜111と、第2の
板状絶縁物115の導電膜111とを導通させ、
同様に、第1の板状絶縁物109の導電膜112
と第2の板状絶縁物115の導電膜112とを導
通させている。
上記電極膜117の形成方法としては、スバツ
タリング、蒸着、イオンプレーテイングが考えら
れるが、形成面への電極膜117の密着性を考慮
すれば、スパツタリングによるのが最適である。
タリング、蒸着、イオンプレーテイングが考えら
れるが、形成面への電極膜117の密着性を考慮
すれば、スパツタリングによるのが最適である。
また、はんだ付時の銀喰われ現象を防止するた
めに、下地電極として、基板との密着性に優れた
モネル金属(Cu30%、Ni65%、)をスパツタリン
グした上に、膜形成スピードの点からスパツタリ
ングに代えて、銅を蒸着し、さらに銀を蒸着して
必要電極膜厚みにするとよい。
めに、下地電極として、基板との密着性に優れた
モネル金属(Cu30%、Ni65%、)をスパツタリン
グした上に、膜形成スピードの点からスパツタリ
ングに代えて、銅を蒸着し、さらに銀を蒸着して
必要電極膜厚みにするとよい。
上記のように電極膜117を設けることによ
り、プリント基板等にフエイスボンデイングし得
る構造が実現される。すなわち、第7図及び第8
図から明らかなように、圧電セラミツク基板10
1の上面側に設けられた励振電極102a,10
3a(第1図)に接続された引出し電極104,
105であつても、電極膜117を介して、圧電
セラミツク基板の他方面側すなわち下方側に配置
された板状絶縁物115の導電膜111,112
に電気的に接続されているため、第7図の向きの
ままプリント回路基板等にフエイスボンデイング
により実装することができる。
り、プリント基板等にフエイスボンデイングし得
る構造が実現される。すなわち、第7図及び第8
図から明らかなように、圧電セラミツク基板10
1の上面側に設けられた励振電極102a,10
3a(第1図)に接続された引出し電極104,
105であつても、電極膜117を介して、圧電
セラミツク基板の他方面側すなわち下方側に配置
された板状絶縁物115の導電膜111,112
に電気的に接続されているため、第7図の向きの
ままプリント回路基板等にフエイスボンデイング
により実装することができる。
なお、第1の板状絶縁物109の電極構造を、
第2の板状絶縁物115と同一とし、引出し電極
107にも電極膜117と同様の機能の電極膜を
形成すれば上下左右対象の方向性の無いフイルタ
とすることができる。
第2の板状絶縁物115と同一とし、引出し電極
107にも電極膜117と同様の機能の電極膜を
形成すれば上下左右対象の方向性の無いフイルタ
とすることができる。
また、上述した各電極膜及び導電膜には、はん
だめつきが施されることが好ましい。装置(TV
やラジオ等)の配線基板(図示せず)に設けたプ
リント導体には、第6図の導電膜111,11
2,116が対向されてはんだ付けがなされる。
引出し電極104は、板状絶縁物109,115
の導電膜111,111に、電極膜117とはん
だにより確実に導通されることになる。同様に、
引出し電極105も、板状絶縁物109,115
の導電膜112,112に電極膜117及びはん
だにより確実に導通されることになる。
だめつきが施されることが好ましい。装置(TV
やラジオ等)の配線基板(図示せず)に設けたプ
リント導体には、第6図の導電膜111,11
2,116が対向されてはんだ付けがなされる。
引出し電極104は、板状絶縁物109,115
の導電膜111,111に、電極膜117とはん
だにより確実に導通されることになる。同様に、
引出し電極105も、板状絶縁物109,115
の導電膜112,112に電極膜117及びはん
だにより確実に導通されることになる。
また、引出し電極107は導電膜113,11
4によりはんだにより確実に導通されている。
4によりはんだにより確実に導通されている。
なお、本発明は、上述した2段のフイルタにの
み適用されるものに限定されず、2端子型あるい
は3端子型の共振子(発振子)、FMデイスクリ
ミネータユニツト等の用途にも適用できる。ま
た、フイルタの場合でも、その段数は任意であ
る。同様に、結合コンデンサは必ずしも設けなく
ともよい。
み適用されるものに限定されず、2端子型あるい
は3端子型の共振子(発振子)、FMデイスクリ
ミネータユニツト等の用途にも適用できる。ま
た、フイルタの場合でも、その段数は任意であ
る。同様に、結合コンデンサは必ずしも設けなく
ともよい。
エネルギ閉じ込め型共振子(フイルタ)の構造
も実施例に限らず、特開昭55−149520号公報に掲
載されているものや、実開昭56−157829号公報に
掲載されているようなものにも適用し得る。
も実施例に限らず、特開昭55−149520号公報に掲
載されているものや、実開昭56−157829号公報に
掲載されているようなものにも適用し得る。
2端子型共振子(フイルタ)のときには、切欠
部110e,110fに形成せずともよい。
部110e,110fに形成せずともよい。
導電膜111,112,113,114,11
6の形成方法の一例を説明する。まず、板状絶縁
物母材を用意し、製造する単位板状絶縁物の幅及
び長さに等しくなる位置に、例えば丸孔あるいは
母材の端縁部には半丸孔を形成し、スルーホール
めつきの手法により、上記丸孔及び半丸孔の内壁
面及びその両開口端面周縁部に導電膜をそれぞれ
形成する。次に、該絶縁物母材を切断することに
より、絶縁物母材から上記のような第1、第2の
板状絶縁物を効率よく量産することができる。
6の形成方法の一例を説明する。まず、板状絶縁
物母材を用意し、製造する単位板状絶縁物の幅及
び長さに等しくなる位置に、例えば丸孔あるいは
母材の端縁部には半丸孔を形成し、スルーホール
めつきの手法により、上記丸孔及び半丸孔の内壁
面及びその両開口端面周縁部に導電膜をそれぞれ
形成する。次に、該絶縁物母材を切断することに
より、絶縁物母材から上記のような第1、第2の
板状絶縁物を効率よく量産することができる。
なお、上記実施例の導電膜111,112,1
16は、板状絶縁物109,115の表面に導電
膜を全面に付与し、エツチングする際に切欠部分
110a,110b間、110c,110d間、
110e,110f間の一面側の導電膜を残して
おくことにより形成し得る。
16は、板状絶縁物109,115の表面に導電
膜を全面に付与し、エツチングする際に切欠部分
110a,110b間、110c,110d間、
110e,110f間の一面側の導電膜を残して
おくことにより形成し得る。
以上のように、本発明では、少なくとも2箇所
の切欠部を設けてその部分に導電膜を形成した板
状絶縁物を圧電振動ユニツトの上下に積層して、
その引出し電極を上記導電膜に導通させてなる構
造を少なくとも有し、圧電振動ユニツトが圧電基
板の表裏に一対の励振電極を有するものであるに
も関わらず、一方面側の励振電極がチツプ状の圧
電振動部品の側面に設けられた電極膜を介して圧
電基板の他方面側にある板状の絶縁物の導電膜に
接続されているので、フエイスボンデイング可能
なチツプ部品とされている。従つて、プリント回
路基板等の実装部分への実装が極めて容易であ
り、かつ実装密度を効果的に高めることが可能で
ある。
の切欠部を設けてその部分に導電膜を形成した板
状絶縁物を圧電振動ユニツトの上下に積層して、
その引出し電極を上記導電膜に導通させてなる構
造を少なくとも有し、圧電振動ユニツトが圧電基
板の表裏に一対の励振電極を有するものであるに
も関わらず、一方面側の励振電極がチツプ状の圧
電振動部品の側面に設けられた電極膜を介して圧
電基板の他方面側にある板状の絶縁物の導電膜に
接続されているので、フエイスボンデイング可能
なチツプ部品とされている。従つて、プリント回
路基板等の実装部分への実装が極めて容易であ
り、かつ実装密度を効果的に高めることが可能で
ある。
また、上記板状絶縁物は、切欠部を設け、該切
欠部の厚み方向壁面に導電膜を形成した構造を有
するものであるため、絶縁物母材から比較的簡単
に量産することができ、また圧電振動ユニツト母
材と積層してから切断することも可能である。従
つて、容易に大量の圧電振動部品を量産すること
ができる。よつて、安価でかつ不良品の発生率の
少ない信頼性に優れた圧電振動部品を得ることが
可能となる。
欠部の厚み方向壁面に導電膜を形成した構造を有
するものであるため、絶縁物母材から比較的簡単
に量産することができ、また圧電振動ユニツト母
材と積層してから切断することも可能である。従
つて、容易に大量の圧電振動部品を量産すること
ができる。よつて、安価でかつ不良品の発生率の
少ない信頼性に優れた圧電振動部品を得ることが
可能となる。
第1図は本発明の一実施例に用いられる圧電セ
ラミツク基板の平面図、第2図は圧電基板の底面
図、第3図は圧電基板の回路構成を示す図、第4
図は第1板状絶縁物の平面図、第5図は第1の板
状絶縁物の平面図であり圧電セラミツク基板の上
面に対向する側を示し、第6図は第2の板状絶縁
物の底面図、第7図は本発明の一実施例におい
て、電極膜を付与する前の状態を示す側面図、第
8図は本発明の一実施例における電極膜の機能を
説明するための略図的側面図である。 図において、101は圧電セラミツク基板、1
02a,102b,103a,103b,102
c,103cは励振電極、104,105,10
7は引出し電極、109は第1の板状絶縁物、1
10a〜110fは切欠部、111,112,1
13,114は導電膜、115は第2の板状絶縁
物、117は電極膜を示す。
ラミツク基板の平面図、第2図は圧電基板の底面
図、第3図は圧電基板の回路構成を示す図、第4
図は第1板状絶縁物の平面図、第5図は第1の板
状絶縁物の平面図であり圧電セラミツク基板の上
面に対向する側を示し、第6図は第2の板状絶縁
物の底面図、第7図は本発明の一実施例におい
て、電極膜を付与する前の状態を示す側面図、第
8図は本発明の一実施例における電極膜の機能を
説明するための略図的側面図である。 図において、101は圧電セラミツク基板、1
02a,102b,103a,103b,102
c,103cは励振電極、104,105,10
7は引出し電極、109は第1の板状絶縁物、1
10a〜110fは切欠部、111,112,1
13,114は導電膜、115は第2の板状絶縁
物、117は電極膜を示す。
Claims (1)
- 1 板状の絶縁物の少なくとも2箇所に切欠部を
設け、これら切欠部の上記絶縁物の厚み方向の壁
面にそれぞれ導電膜を形成し、上記圧電振動ユニ
ツトを2枚の上記絶縁物で挟持するように積層し
た構造を少なくとも有し、上記圧電振動ユニツト
の引出し電極を上記導電膜に電気的に接続したチ
ツプ状圧電振動部品であつて、圧電振動ユニツト
が圧電基板の表裏に一対の励振電極を設けた構造
を有し、該圧電基板の一方面側の励振電極が、チ
ツプ状圧電振動部品の側面に設けられた電極膜を
介して、該圧電基板の他方面側に配置された板状
の絶縁物の導電膜に電気的に接続されていること
を特徴とするチツプ状圧電振動部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18887882A JPS5977715A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | チツプ状圧電振動部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18887882A JPS5977715A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | チツプ状圧電振動部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5977715A JPS5977715A (ja) | 1984-05-04 |
| JPH0155609B2 true JPH0155609B2 (ja) | 1989-11-27 |
Family
ID=16231455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18887882A Granted JPS5977715A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | チツプ状圧電振動部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5977715A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0724810Y2 (ja) * | 1988-08-12 | 1995-06-05 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
| JPH0744418B2 (ja) * | 1988-08-31 | 1995-05-15 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子 |
| JPH0257621U (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-25 | ||
| JPH02116126U (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-18 | ||
| JPH083060Y2 (ja) * | 1989-06-02 | 1996-01-29 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
| JPH083061Y2 (ja) * | 1989-06-02 | 1996-01-29 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子 |
| US5170303A (en) * | 1990-04-30 | 1992-12-08 | Seagate Technology Inc. | Inductive thin film head having improved readback characteristics |
| JPH0412712U (ja) * | 1990-05-23 | 1992-01-31 | ||
| US5237235A (en) * | 1991-09-30 | 1993-08-17 | Motorola, Inc. | Surface acoustic wave device package |
| US5382929A (en) * | 1992-07-31 | 1995-01-17 | Ndk, Nihon Dempa Kogyo Company, Ltd. | Monolithic crystal filter |
| US5729185A (en) * | 1996-04-29 | 1998-03-17 | Motorola Inc. | Acoustic wave filter package lid attachment apparatus and method utilizing a novolac epoxy based seal |
| JP2006148758A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子パッケージ |
-
1982
- 1982-10-26 JP JP18887882A patent/JPS5977715A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5977715A (ja) | 1984-05-04 |
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