JPH0215131B2 - - Google Patents
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- JPH0215131B2 JPH0215131B2 JP22941082A JP22941082A JPH0215131B2 JP H0215131 B2 JPH0215131 B2 JP H0215131B2 JP 22941082 A JP22941082 A JP 22941082A JP 22941082 A JP22941082 A JP 22941082A JP H0215131 B2 JPH0215131 B2 JP H0215131B2
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- JP
- Japan
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- base material
- electrode
- resonator
- piezoelectric substrate
- plating
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は圧電基板の主面に絶縁板を接着してな
るチツプ状圧電共振子の製造方法に関するもので
ある。
るチツプ状圧電共振子の製造方法に関するもので
ある。
従来技術
従来より、第１図に示すように、入力端子１，
２と出力端子３，４間に２組のエネルギーとじこ
め型二重モードセラミツクフイルタ５と６を結合
コンデンサＣにより縦続に接続した回路構成を有
するフイルタがあつたが、チツプ状のフイルタと
して製品化されたものはなかつた。最近、コンデ
ンサや抵抗はもちろん、コイル部品や機構部品ま
でがチツプ化されつつあり、チツプ化された圧電
共振部品を要求する声が高まつていた。
２と出力端子３，４間に２組のエネルギーとじこ
め型二重モードセラミツクフイルタ５と６を結合
コンデンサＣにより縦続に接続した回路構成を有
するフイルタがあつたが、チツプ状のフイルタと
して製品化されたものはなかつた。最近、コンデ
ンサや抵抗はもちろん、コイル部品や機構部品ま
でがチツプ化されつつあり、チツプ化された圧電
共振部品を要求する声が高まつていた。
発明の目的
本発明は上述のような背景をもとになされたも
のであつて、その目的は、電極の引出しの信頼性
の向上を図るとともに大量のチツプ状圧電共振子
の外部電極を形成することである。
のであつて、その目的は、電極の引出しの信頼性
の向上を図るとともに大量のチツプ状圧電共振子
の外部電極を形成することである。
発明の要旨
このため、本発明は、主面に共振子の電極パタ
ーンを連続して複数列形成するとともにその引出
電極を形成してなる圧電基板母材と、これら引出
電極に対応する位置に夫々孔を有するとともに上
記孔の間にメツキレジスト膜を塗布した絶縁板母
材とを用意し、上記メツキレジスト膜を外側にし
て上記絶縁板母材を夫々圧電基板母材の上下両主
面に上記共振子の振動空間をおいて接着した後、
連続する上記電極パターンを間にしてその両サイ
ドを切断して長尺ユニツトを金属メツキ処理槽に
浸漬してメツキ処理した後、共振子の上記引出電
極を通る線に沿つて上記メツキレジストにほぼ直
交する方向に上記長尺ユニツトを切断してチツプ
状に分離することを特徴としている。
ーンを連続して複数列形成するとともにその引出
電極を形成してなる圧電基板母材と、これら引出
電極に対応する位置に夫々孔を有するとともに上
記孔の間にメツキレジスト膜を塗布した絶縁板母
材とを用意し、上記メツキレジスト膜を外側にし
て上記絶縁板母材を夫々圧電基板母材の上下両主
面に上記共振子の振動空間をおいて接着した後、
連続する上記電極パターンを間にしてその両サイ
ドを切断して長尺ユニツトを金属メツキ処理槽に
浸漬してメツキ処理した後、共振子の上記引出電
極を通る線に沿つて上記メツキレジストにほぼ直
交する方向に上記長尺ユニツトを切断してチツプ
状に分離することを特徴としている。
なお、実施例の説明に入るまえに、理解を助け
るために最初に実施例製法によつて得られたチツ
プ状フイルタ単品について説明する。
るために最初に実施例製法によつて得られたチツ
プ状フイルタ単品について説明する。
すなわち、本発明に係わるチツプ状フイルタ
は、第２図に示すように、一方の主面１１ａに３
端子型のエネルギーとじこめ形二重モードフイル
タ５，６の共通電極１２，１３、結合コンデンサ
Ｃの一方の電極１４、および該電極１４の引出電
極１５，１６およびこれらの電極を適宜接続する
電極が設けられているとともに、端面１１ｃ，１
１ｄ寄りの縁部分に帯状の電極３１，３２が設け
られている一方、第３図に示すように、他方の主
面１１ｂに３端子型フイルタ５および６の分割電
極１７，１８および１９，２０、結合コンデンサ
Ｃの他方の電極２１および引出電極２２，２３な
らびにこれらの電極を適宜接続する電極が形成さ
れてなる圧電基板１１と、第４図に示すように、
相互に分離された外部取りつけ電極２４，２５お
よび２６を有する絶縁板２７と、相互に分離され
た外部取りつけ電極２８および２９を有するいま
一つの絶縁板３０とを有する。上記圧電基板１１
の主面１１ａおよび１１ｂには夫々上記絶縁板２
７および３０を、３端子型フイルタ５および６部
分に振動空間を残して接着剤で貼り付けられてい
る。そしてフエースボンデンデングできるように
するため、圧電基板１１の端面１１ｃとその上、
下の絶縁板２７，３０の端面にわたり両面ブリツ
ジ電極が設けられており、同様に圧電基板１１の
端面１１ｄ側も同様処理されており、外表にある
電極全体に半田メツキがなされている。このよう
な構造および製法により絶縁板２７の電極２６は
切欠き３３，３４を介して引出電極１５，１６に
導通する。電極２４は引出電極２２に導通する。
電極２５は引出電極２３に導通する。
は、第２図に示すように、一方の主面１１ａに３
端子型のエネルギーとじこめ形二重モードフイル
タ５，６の共通電極１２，１３、結合コンデンサ
Ｃの一方の電極１４、および該電極１４の引出電
極１５，１６およびこれらの電極を適宜接続する
電極が設けられているとともに、端面１１ｃ，１
１ｄ寄りの縁部分に帯状の電極３１，３２が設け
られている一方、第３図に示すように、他方の主
面１１ｂに３端子型フイルタ５および６の分割電
極１７，１８および１９，２０、結合コンデンサ
Ｃの他方の電極２１および引出電極２２，２３な
らびにこれらの電極を適宜接続する電極が形成さ
れてなる圧電基板１１と、第４図に示すように、
相互に分離された外部取りつけ電極２４，２５お
よび２６を有する絶縁板２７と、相互に分離され
た外部取りつけ電極２８および２９を有するいま
一つの絶縁板３０とを有する。上記圧電基板１１
の主面１１ａおよび１１ｂには夫々上記絶縁板２
７および３０を、３端子型フイルタ５および６部
分に振動空間を残して接着剤で貼り付けられてい
る。そしてフエースボンデンデングできるように
するため、圧電基板１１の端面１１ｃとその上、
下の絶縁板２７，３０の端面にわたり両面ブリツ
ジ電極が設けられており、同様に圧電基板１１の
端面１１ｄ側も同様処理されており、外表にある
電極全体に半田メツキがなされている。このよう
な構造および製法により絶縁板２７の電極２６は
切欠き３３，３４を介して引出電極１５，１６に
導通する。電極２４は引出電極２２に導通する。
電極２５は引出電極２３に導通する。
実施例
以下、本発明で第１図の回路構造を有するチツ
プ状フイルタを得た実施例について説明する。
プ状フイルタを得た実施例について説明する。
本実施例においては、先ず、第５図に示すよう
に、１つの主面５１ａに第２図の圧電基板１１の
電極パターン５２，５２，……を連続して多数列
にわたつて、印刷もしくは蒸着等の手法によつて
形成する一方、いま一つの主面５１ｂにも、電極
パターン５２，５２，……に対向して、第３図の
圧電基板１１の電極パターン（第３図参照）を上
記と同様に形成した圧電基板母材５１を用意す
る。
に、１つの主面５１ａに第２図の圧電基板１１の
電極パターン５２，５２，……を連続して多数列
にわたつて、印刷もしくは蒸着等の手法によつて
形成する一方、いま一つの主面５１ｂにも、電極
パターン５２，５２，……に対向して、第３図の
圧電基板１１の電極パターン（第３図参照）を上
記と同様に形成した圧電基板母材５１を用意す
る。
また、圧電基板母材５１の上記電極パターン５
２，５２，……の各引出電極１５，１６および電
極３１，３２に対向するように、格子点状に円孔
５３，５３，……を設けるとともに、これら円孔
５３，５３，……が形成する列の間に、ほぼ一定
巾のメツキレジスト膜５４，５４，……を形成し
た、ガラスエポキシもしくはセラミツク等からな
る絶縁板母材５５を用意する。また、圧電基板母
材５１のいま一つの（図中下面の）上記電極パタ
ーンの各引出電極２２，２３に対向するように円
孔５６，５６，……を設けるとともに、これら円
孔５６，５６，……が形成する列の間に、ほぼ一
定巾のメツキレジスト膜５４′（一例としてメツ
キレジスト膜５４二本の幅＋電極２６の幅をも
つ。），５４′，……を形成したいま一つの絶縁板
母材５７とを用意する。
２，５２，……の各引出電極１５，１６および電
極３１，３２に対向するように、格子点状に円孔
５３，５３，……を設けるとともに、これら円孔
５３，５３，……が形成する列の間に、ほぼ一定
巾のメツキレジスト膜５４，５４，……を形成し
た、ガラスエポキシもしくはセラミツク等からな
る絶縁板母材５５を用意する。また、圧電基板母
材５１のいま一つの（図中下面の）上記電極パタ
ーンの各引出電極２２，２３に対向するように円
孔５６，５６，……を設けるとともに、これら円
孔５６，５６，……が形成する列の間に、ほぼ一
定巾のメツキレジスト膜５４′（一例としてメツ
キレジスト膜５４二本の幅＋電極２６の幅をも
つ。），５４′，……を形成したいま一つの絶縁板
母材５７とを用意する。
上記圧電基板母材５１の主面５１ａおよび５１
ｂには、第２図および第３図の共通電極１２，１
３、分割電極１７，１８および１９，２０の上下
部に、その部分の振動を許容する空間（図示せ
ず。）が残るよう接着剤の塗布部分および厚みを
考慮して、上記絶縁板母材５５および５７を夫々
接着剤で接着する。
ｂには、第２図および第３図の共通電極１２，１
３、分割電極１７，１８および１９，２０の上下
部に、その部分の振動を許容する空間（図示せ
ず。）が残るよう接着剤の塗布部分および厚みを
考慮して、上記絶縁板母材５５および５７を夫々
接着剤で接着する。
その後、上記メツキレジスト膜５４，５４，…
…の間に位置する円孔５３，５３，……の中心を
一つおきに通る線l1，l1，……に沿つて、圧電基
板母材５１、絶縁基板母材５５および５７を切断
し、第６図に示すような細長の長尺ユニツト５８
を形成する。この長尺ユニツト５８は、エツチン
グもしくは活性化等の前処理の後、無電解メツキ
（バレルメツキ法）を施し、必要に応じ膜厚を厚
くするために電界メツキ槽中にてメツキ処理して
メツキ槽（図示せず。）を形成する。
…の間に位置する円孔５３，５３，……の中心を
一つおきに通る線l1，l1，……に沿つて、圧電基
板母材５１、絶縁基板母材５５および５７を切断
し、第６図に示すような細長の長尺ユニツト５８
を形成する。この長尺ユニツト５８は、エツチン
グもしくは活性化等の前処理の後、無電解メツキ
（バレルメツキ法）を施し、必要に応じ膜厚を厚
くするために電界メツキ槽中にてメツキ処理して
メツキ槽（図示せず。）を形成する。
次いで、第６図に示すように、上記長尺ユニツ
ト５８のメツキレジスト５４，５４の間の円孔５
３，５３，……の中心を通つてこれらメツキレジ
スト５４，５４とほぼ直交する線l2，l2，……に
沿つて、上記長尺ユニツト５８を切断して半田デ
イツプすれば、第７図に示すように、第４図と全
く同一の構成を有するチツプ状フイルタ５９を得
る。メツキレジスト膜５４，５４′は除去しても
よいし残しておいてもよい。
ト５８のメツキレジスト５４，５４の間の円孔５
３，５３，……の中心を通つてこれらメツキレジ
スト５４，５４とほぼ直交する線l2，l2，……に
沿つて、上記長尺ユニツト５８を切断して半田デ
イツプすれば、第７図に示すように、第４図と全
く同一の構成を有するチツプ状フイルタ５９を得
る。メツキレジスト膜５４，５４′は除去しても
よいし残しておいてもよい。
上記チツプ状フイルタ５９は、圧電基板母材５
１と絶縁板母材５５および５７との接着剤による
接着後のメツキ処理により、電極２４，２５，２
６，２８および２９が形成され、電極２４は電極
３１に、電極２５は電極３２に、電極２６は引出
電極１５等に夫々導通し、また、電極２８は電極
２２に、電極２９は電極２３に夫々導通する。さ
らに、上記電極３１と引出電極２２、および電極
３２と引出電極２３は上記メツキ処理時に形成さ
れるメツキ層により相互に導通される。
１と絶縁板母材５５および５７との接着剤による
接着後のメツキ処理により、電極２４，２５，２
６，２８および２９が形成され、電極２４は電極
３１に、電極２５は電極３２に、電極２６は引出
電極１５等に夫々導通し、また、電極２８は電極
２２に、電極２９は電極２３に夫々導通する。さ
らに、上記電極３１と引出電極２２、および電極
３２と引出電極２３は上記メツキ処理時に形成さ
れるメツキ層により相互に導通される。
上記のようにすれば、メツキ処理前に第６図の
絶縁板母材５５および５７の円孔５３，５３，…
…および５６，５６，……内に接着剤が滲み出し
ていても、長尺ユニツト５８のメツキ処理の前
に、エツチングや活性化等のメツキの前処理を行
うときのエツチング剤や活性剤を選択することに
よつて、メツキ処理を完全なものとすることがで
き、上記導通を完全なものとすることができる。
絶縁板母材５５および５７の円孔５３，５３，…
…および５６，５６，……内に接着剤が滲み出し
ていても、長尺ユニツト５８のメツキ処理の前
に、エツチングや活性化等のメツキの前処理を行
うときのエツチング剤や活性剤を選択することに
よつて、メツキ処理を完全なものとすることがで
き、上記導通を完全なものとすることができる。
なお、上記実施例において、半田くわれを防ぐ
ため、メツキ処理によつて形成するメツキ層は、
ニツケル（Ni）と銅（Cu）等の多層メツキ層と
することが好ましい。
ため、メツキ処理によつて形成するメツキ層は、
ニツケル（Ni）と銅（Cu）等の多層メツキ層と
することが好ましい。
また、上記実施例において、絶縁板母材５７は
絶縁母材５６と同一のものを使用することもでき
る。
絶縁母材５６と同一のものを使用することもでき
る。
本発明は、上記実施例において説明したような
エネルギー閉じ込め形のフイルタの他に、二端子
形あるいは三端子形の同様な発振子、FMデイス
クリミネータ用共振子等の圧電共振子や表面波利
用部品に広く適用することができる。
エネルギー閉じ込め形のフイルタの他に、二端子
形あるいは三端子形の同様な発振子、FMデイス
クリミネータ用共振子等の圧電共振子や表面波利
用部品に広く適用することができる。
発明の効果
以上、詳述したことからも明らかなように、本
発明は、圧電基板の両主面に夫々絶縁板を夫々接
着してなるチツプ状圧電共振子の製造方法におい
て、圧電基板母材に絶縁板母材を接着した後、メ
ツキ処理するようにしたから、接着剤部分にもメ
ツキ膜が形成され、電極の引出しの信頼性が大巾
に向上するばかりでなく、一度のメツキ工程で大
量の圧電共振子に外部電極を形成することがで
き、圧電共振子の製造コストを大巾に引き下げる
ことができる。また、圧電基板と絶縁板との境界
部はメツキ層で完全に封止されるので、接着はが
れが減少し、また、圧電共振子内部への湿気、ガ
ス等の侵入が完全に防止される。
発明は、圧電基板の両主面に夫々絶縁板を夫々接
着してなるチツプ状圧電共振子の製造方法におい
て、圧電基板母材に絶縁板母材を接着した後、メ
ツキ処理するようにしたから、接着剤部分にもメ
ツキ膜が形成され、電極の引出しの信頼性が大巾
に向上するばかりでなく、一度のメツキ工程で大
量の圧電共振子に外部電極を形成することがで
き、圧電共振子の製造コストを大巾に引き下げる
ことができる。また、圧電基板と絶縁板との境界
部はメツキ層で完全に封止されるので、接着はが
れが減少し、また、圧電共振子内部への湿気、ガ
ス等の侵入が完全に防止される。
第１図は結合コンデンサで３端子型フイルタを
縦続に接続したフイルタの回路図、第２図および
第３図は夫々第１図のフイルタの圧電基板の両主
面に夫々形成される電極パターンの説明図、第４
図は第２図および第３図の電極パターンを有する
圧電基板を使用したチツプ状フイルタの分解斜視
図、第５図、６図および第７図は夫々本発明に係
るチツプ状圧電共振子の製造方法を適用したチツ
プ状フイルタの製造方法の一実施例の説明図であ
る。 ５１……圧電基板母材（５１ａ，５１ｂ……主
面）、５２……電極パターン、５３……円孔、５
４……メツキレジスト膜、５５……絶縁板母材、
５６……円孔、５７……絶縁板母材。
縦続に接続したフイルタの回路図、第２図および
第３図は夫々第１図のフイルタの圧電基板の両主
面に夫々形成される電極パターンの説明図、第４
図は第２図および第３図の電極パターンを有する
圧電基板を使用したチツプ状フイルタの分解斜視
図、第５図、６図および第７図は夫々本発明に係
るチツプ状圧電共振子の製造方法を適用したチツ
プ状フイルタの製造方法の一実施例の説明図であ
る。 ５１……圧電基板母材（５１ａ，５１ｂ……主
面）、５２……電極パターン、５３……円孔、５
４……メツキレジスト膜、５５……絶縁板母材、
５６……円孔、５７……絶縁板母材。
Claims (1)
- １ 主面に共振子の電極パターンを連続して複数
列形成するとともにその引出電極を形成してなる
圧電基板母材と、これら引出電極に対応する位置
に夫々孔を有するとともに上記孔の間にメツキレ
ジスト膜を塗布した絶縁板母材とを用意し、上記
メツキレジスト膜を外側にして上記絶縁板母材を
夫々圧電基板母材の上下両主面に上記共振子の振
動空間をおいて接着した後、連続する上記電極パ
ターンを間にしてその両サイドを切断して長尺ユ
ニツトに分離し、この長尺ユニツトを金属メツキ
処理槽に浸漬してメツキ処理した後、共振子の上
記引出電極を通る線に沿い上記メツキレジストに
ほぼ直交する方向に上記長尺ユニツトを切断して
チツプ状に分離することを特徴とするチツプ状圧
電共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22941082A JPS59122007A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | チツプ状圧電共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22941082A JPS59122007A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | チツプ状圧電共振子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59122007A JPS59122007A (ja) | 1984-07-14 |
| JPH0215131B2 true JPH0215131B2 (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=16891777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22941082A Granted JPS59122007A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | チツプ状圧電共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59122007A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05305148A (ja) * | 1992-05-07 | 1993-11-19 | Akiko Toyama | 遠赤外線ローラ健康器 |
| JPH0650640U (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-12 | 茂 石橋 | 電気震動ローラー |
| JPH06319819A (ja) * | 1991-06-11 | 1994-11-22 | Raifu Advance Japan:Kk | 健康／美容器具 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0394508A (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品の周波数調整方法 |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP22941082A patent/JPS59122007A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06319819A (ja) * | 1991-06-11 | 1994-11-22 | Raifu Advance Japan:Kk | 健康／美容器具 |
| JPH05305148A (ja) * | 1992-05-07 | 1993-11-19 | Akiko Toyama | 遠赤外線ローラ健康器 |
| JPH0650640U (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-12 | 茂 石橋 | 電気震動ローラー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59122007A (ja) | 1984-07-14 |
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