JPH0156111B2 - - Google Patents

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JPH0156111B2
JPH0156111B2 JP60196541A JP19654185A JPH0156111B2 JP H0156111 B2 JPH0156111 B2 JP H0156111B2 JP 60196541 A JP60196541 A JP 60196541A JP 19654185 A JP19654185 A JP 19654185A JP H0156111 B2 JPH0156111 B2 JP H0156111B2
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JP
Japan
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pressure
sensitive adhesive
ultraviolet
acrylic ester
ultraviolet rays
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JP60196541A
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JPS6254782A (ja
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Hideo Kuroda
Masao Taniguchi
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Bando Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Bando Chemical Industries Ltd
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Publication date
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Priority to EP19860200196 priority patent/EP0194706B1/en
Priority to DE8686200195T priority patent/DE3671577D1/de
Priority to CA000501753A priority patent/CA1252579A/en
Priority to CA000501750A priority patent/CA1272542A/en
Priority to US06/829,814 priority patent/US4720317A/en
Priority to US06/829,818 priority patent/US4818621A/en
Publication of JPS6254782A publication Critical patent/JPS6254782A/ja
Priority to US07/108,202 priority patent/US4968559A/en
Priority to US07/287,089 priority patent/US4913960A/en
Publication of JPH0156111B2 publication Critical patent/JPH0156111B2/ja
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/50Adhesives in the form of films or foils characterised by a primer layer between the carrier and the adhesive
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2423/00Presence of polyolefin
    • C09J2423/001Presence of polyolefin in the barrier layer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2427/00Presence of halogenated polymer
    • C09J2427/006Presence of halogenated polymer in the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2433/00Presence of (meth)acrylic polymer

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) 本発明は感圧接着性シートに関し、詳しくは、
紫外線照射によつて接着力を低減させることがで
きる感圧接着性シートに関する。 (従来の技術) 一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布して
なる感圧接着性シート又は粘着シートは、一般家
庭及び産業において種々の用途に使用されている
が、近年、感圧接着性シートの要求特性が多様且
つ多岐にわたり、用途に応じて種々の機能性が要
求されるに至つている。 例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウ
エハーを所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシン
グを行なつてダイスを得るためには、所謂ダイシ
ングフイルムと呼ばれる感圧接着性シート上にシ
リコンウエハーを載置し、ダイシングフイルム上
に感圧接着固定し、裁断した後、これをダイシン
グフイルムからピツクアツプ、即ち、剥離して取
り上げる。従つて、シリコンウエハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシ
ングフイルムがシリコンウエハーに対して強い接
着力を有し、一方、得られたダイスをダイシング
フイルムからピツクアツプするに際しては、ダイ
シングフイルムはその接着力が弱いことが必要で
ある。何ら制限されるものではないが、例えば、
シリコンウエハーのダイシングに際しては、ダイ
シングフイルムは100〜500g/25mm程度又はこれ
以上の接着力を有し、一方、ダイスのピツクアツ
プに際しては、ダイシングフイルムは約20〜50
g/25mm程度又はこれ以下の接着力を有すること
が望ましいといわれている。 しかし、このように、被着面に適用後に、必要
に応じて、その接着力を低減させ得る感圧接着性
シートは、未だ知られていない。 他方、例えば、一般に接着剤の分野において、
光重合性オリゴマー、光重合性モノマー、光重合
開始剤及びその他の添加剤からなる紫外線架橋性
接着剤が既に知られており、これは無溶剤型、一
液型の接着剤であり、速硬化性であつて、加熱を
要しない等の点ですぐれているが、この接着剤に
おいては、紫外線照射は、本来、接着剤に所要の
接着力を発現させるために行なわれる。 (発明の目的) 本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要
に応じてその接着力を低減し得る感圧接着性シー
トのための接着剤組成物を得るために鋭意研究し
た結果、予期しないことに、弾性重合体と紫外線
架橋性アクリル酸エステルとを主成分として含有
する感圧接着剤組成物に紫外線を照射するとき、
その接着力が著しく低減することを見出し、更
に、紫外線を透過し得る基材樹脂シート上にかか
る感圧接着剤組成物の層を形成して、感圧接着性
シートとするとき、かかる感圧接着性シートは、
所要の被着面に適用した後、上記基材樹脂シート
側から紫外線を照射することによつて、その接着
力が著しく低減するので、被着面から容易に剥離
することができることを見出した。 しかし、基材樹脂シートとして、例えば、可塑
化塩化ビニル樹脂シートを用いるとき、この樹脂
シートに含まれる可塑剤が感圧接着剤組成物中に
移行し、また、感圧接着剤組成物に含まれる紫外
線架橋性アクリル酸エステルが樹脂シート中に移
行して、紫外線照射による接着力の低減効果が経
時的に減少することも見出した。 そこで、本発明者らは、かかる問題を解決する
ために鋭意研究した結果、可塑剤を含有する基材
樹脂シートと感圧接着剤組成物との間に上記可塑
剤及び紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過し
ない樹脂からなるバリヤー層を形成して、これら
の相互移行を阻止することによつて、紫外線照射
による接着力の低減効果が長期間にわたつて保持
されることを見出して、本発明に至つたものであ
る。 従つて、本発明は、紫外線を照射しないときは
強い接着力を有し、これに紫外線を照射すること
により、接着力を著しく低減させることができ、
且つ、この効果が経時的に実質的に変化しない感
圧接着性シートを提供することを目的とする。 (発明の構成) 本発明の紫外線照射によつて接着力を低減し得
る感圧接着性シートは、可塑剤を含有し、且つ、
紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に、弾性
重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと重合
開始剤とを含有する感圧接着剤の層が、上記可塑
剤及び紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過さ
せないが、紫外線を透過させる樹脂層を介して形
成されていることを特徴とする。 従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接
着ハンドブツク(第2版)」(日本接着協会編集、
日刊工業新聞社発行、1980年)第398〜414頁に記
載されているように知られているが、代表的な感
圧接着剤組成物は弾性重合体を主成分とし、これ
に相溶性の良好な粘着付与剤や可塑剤、更には、
必要に応じて充填剤、老化防止剤、着色剤等を均
一に混合してなる混合物である。本発明において
は、かかる弾性重合体として、特に、飽和共重合
ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及び
アクリル酸エステルの共重合体を好ましく用いる
ことができる。 先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例え
ば、「工業材料」第25巻第11号101〜106頁に記載
されているように、通常、異なる2種以上の飽和
2価カルボン酸と飽和2価アルコールとを重縮合
させて得られるガラス転移点の比較的低い飽和共
重合樹脂であり、通常、飽和2価カルボン酸とし
て、芳香族2価カルボン酸と脂肪族2価カルボン
酸とが併用され、飽和2価アルコールとして脂肪
族又は脂環式2価アルコール、即ち、グリコール
が用いられる。特に、本発明においては、芳香族
2価カルボン酸/脂肪族2価カルボン酸モル比が
80/20乃至20/80、好ましくは70/30乃至50/50
である飽和2価カルボン酸混合物とグリコールと
を等モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポ
リエステル樹脂が好ましく用いられる。本発明に
おいては、芳香族2価カルボン酸としてテレフタ
ル酸、脂肪族多価カルボン酸としてセバシン酸、
アジピン酸、グリコールとしてエチレングリコー
ル、1,4―ブタンジオール、プロピレングリコ
ール等を用いて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、
飽和共重合ポリエステル樹脂の製造においては、
カルボン酸成分として3価以上の飽和多価カルボ
ン酸や、3価以上の多価アルコールが一部併用さ
れてもよい。 また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸
の共重合体としては、従来よりアクリル系粘着剤
として知られている粘着剤において、主成分であ
る弾性重合体として用いられている任意のものを
含む。アクリル系粘着剤において弾性重合体とし
て用いられている重合体は、通常、実質的にアク
リル酸エステル共重合体である。この共重合体
は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス
転移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチ
ル、アクリル酸ブチル、アクリル酸―2―エチル
ヘキシル等のアクリル酸アルキルエステルを主モ
ノマーとし、凝集性を有せしめるために高いガラ
ス転移点を有する硬い重合体を形成するコモノマ
ー、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、ス
チレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル
等、及び架橋性や接着性の改良のためにカルボン
酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロ
キシルメチル基等の官能基を有する単量体、例え
ば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒ
ドロキシルエチルメタクリレート、ヒドロキシル
プロピルメタクリレート、アクリルアミド、グリ
シジルメタクリレート等のモノマーを共重合させ
てなる共重合体である。 本発明において用いる紫外線架橋性アクリル酸
エステルは、紫外線の照射によつて架橋するオリ
ゴマー又はモノマーとしてのアクリル酸エステル
又はメタクリル酸エステルをいい、分子内に少な
くとも2つのアクリロイル基又はメタクリロイル
基を有する。具体的には、かかるオリゴマーとし
ては、例えばオリゴエステルアクリレート等を、
また、モノマーとしては、例えば、1,6―ヘキ
サンジオールジアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、テトラメチロールメタ
ンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート等の多価アルコールとアクリ
ル酸のエステル、或いは1,6―ヘキサンジオー
ルジメタクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タメタクリレート等の多価アルコールとメタクリ
ル酸のエステル等を挙げることができる。 本発明において、感圧接着剤組成物は、前記弾
性重合体100重量部について、上記紫外線架橋性
アクリル酸エステルを15〜200重量部、好ましく
は50〜150重量部の範囲にて含有する。弾性重合
体100重量部について、上記紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルが15重量部よりも少ないときは、得
られる接着着剤組成物に紫外線を照射しても、そ
の接着力が実質的に変化せず、一方、200重量部
を越えるときは、紫外線照射によつて、その接着
力を低減させることはできるが、例えば、シリコ
ンウエハーのダイシング後のダイスのピツクアツ
プ時に、ダイスに接着剤が残留することがあり、
好ましくないからである。 本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好
ましくは、更に粘着付与剤を含有する。特に、用
いる弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂で
ある場合は、この粘着付与剤を併用することが好
ましい。用い得る粘着付与剤は特に制限されず、
従来より一般に粘着剤の製造において用いられて
いるものが適宜に用いられる。このような粘着付
与剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや重
合ロジン、水添ロジン、ロジンエステル等の変性
ロジン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフエノー
ル樹脂、ロジンフエノール樹脂等のテルペン系樹
脂、脂肪族系、芳香族系及び脂環式系石油樹脂、
クマロン樹脂、スチレン系樹脂、アルキルフエノ
ール樹脂等を挙げることができる。粘着付与剤
は、飽和共重合ポリエステル樹脂100重量部につ
いて、通常、10〜200重量部の範囲で用いられる。
粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、接着
力又は粘着力が不十分であり、他方、多すぎると
きは、得られる接着剤組成物に紫外線を照射した
後の接着力の低下幅が小さく、また、かかる接着
剤組成物をダイシングフイルムに適用した場合、
シリコンウエハーのダイシング後のダイスのピツ
クアツプ時に、ダイスに粘着付与剤が残留するこ
とがあり、好ましくないからである。 本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更
に重合開始剤又は光増感剤を含有し、必要に応じ
て重合禁止剤を含有する。重合開始剤は、上記紫
外線架橋性アクリル酸エステルの紫外線照射によ
る架橋を促進するために用いられる。このような
重合開始剤は、一般に、紫外線架橋重合の技術分
野においてよく知られており、本発明において
は、従来より一般に知られている重合開始剤を用
いることができる。かかる重合開始剤の具体例と
して、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアル
キルエーテル類や、ベンゾイン、ベンジル、ベン
ゾフエノン等の芳香族オキシケトン類や芳香族ケ
トン類を挙げることができるが、これらに限定さ
れるものではない。 熱重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸
エステルが紫外線照射によらず、例えば、熱によ
つて重合することを防止するために、必要に応じ
て添加されるもので、かかる重合禁止剤として
も、従来より知られている通常の重合禁止剤を用
いることができる。このような重合禁止剤として
は、例えば、ピクリン酸、フエノール、ハイドロ
キノン、ハイドルキノンモノメチルエーテル等を
用いることができる。 上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫
外線架橋重合の技術分野において一般に使用され
ているところに従えばよく、例えば、重合開始剤
は、前記紫外線架橋性アクリル酸エステル100重
量部について1〜20重量部、重合禁止剤は必要に
応じて0.1〜1重量部の範囲で用いられる。 本発明において用いる感圧接着剤組成物は、上
記した配合量にて飽和共重合ポリエステル樹脂、
紫外線架橋性アクリル酸エステル及び重合開始剤
を、必要に応じて粘着付与剤、重合禁止剤、充填
剤、老化防止剤、着色剤等と共に、これらを溶解
する適宜の有機溶剤、例えば、芳香族炭化水素、
ケトン類、又はこれらの混合物に溶解することに
よつて溶液として得ることができる。溶剤として
は、例えば、具体的にはトルエンとメチルエチル
ケトンとの混合溶剤が好ましく用いられるが、し
かし、これに限定されるものではない。また、接
着剤組成物における弾性重合体の含有量は、用途
等に応じて適宜に選ばれるが、通常、10〜50重量
%の範囲である。しかし、これに限定されるもの
ではない。 上記のような感圧接着剤組成物の調製方法は、
何ら制限されるものではないが、通常、弾性重合
体及び粘着付与剤は溶液の形態にて市販されてお
り、これらを使用することが便利であるので、例
えば、これらの溶液を混合し、これに紫外線架橋
性アクリル酸エステルと重合開始剤、更に必要に
応じて重合禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤
等を添加混合し、均一に溶解すればよい。 本発明による感圧接着性シートは、可塑剤を含
有し、且つ、紫外線を透過させ得る基材シート上
にバリヤー層を介して、上記したような弾性重合
体、紫外線架橋性アクリル酸エステル及び重合開
始剤とを主成分として含有し、必要に応じて、粘
着付与剤、重合禁止剤等を含有する感圧接着剤組
成物の層が形成されている。ここに、上記バリヤ
ー層は、上記可塑剤及び紫外線架橋性アクリル酸
エステルを透過させないが、紫外線を透過させ得
る透明な樹脂層からなる。即ち、このバリヤー層
は、紫外線の透過は何ら妨げないが、基材樹脂シ
ートに含まれている可塑剤が感圧接着剤組成物中
に移行するのを阻止すると共に、感圧接着剤組成
物中に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エス
テルが基材樹脂シートに移行するのを阻止し、こ
のようにして、基材樹脂シートに含まれている可
塑剤を基材樹脂シート中に保持し、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エス
テルを接着剤組成物中に保持することによつて、
感圧接着性シートの紫外線照射による接着力の経
時的な低下を防止する。 上記可塑剤を含有する基材樹脂シートとして
は、紫外線を透過し得る限りは、特に制限される
ことなく、種々のシートを用いることができる
が、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが
用いられる。例えば、可塑剤を含有するポリ塩化
ビニル、塩化ビニル―塩化ビニリデン共重合体樹
脂、塩化ビニル―酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化
ビニル―アクリル酸エステル共重合体樹脂、ポリ
塩化ビニリデン、アセチルセルロース等が好適に
用いられる。 ここに、可塑剤としては、特に制限されるもの
ではないが、例えば、ジブチルフタレート、ジオ
クチルフタレート、ジデシルフタレート、ジトリ
デシルフタレート、ブチルベンジルフタレート等
のフタル酸ジエステル、トリクレジルホスフエー
ト、トリオクチルホスフエート、トリフエニルホ
スフエート、2―エチルヘキシルジフエニルホス
フエート、クレジルジフエニルホスフエート等の
リン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオク
チルセバケート、ジオクチルアゼレート、アセチ
ルクエン酸トリ―2―エチルヘキシル等の脂肪酸
ジエステル、ポリプロピレンアジペート、ポリプ
ロピレンセバケート等のポリエステル系可塑剤、
エポキシ化大豆油等のエポキシ系可塑剤、塩素化
パラフイン、塩素化脂肪酸エステル等の塩素系可
塑剤等を挙げることができる。 前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ポリ
プロピレン等のポリ―α―オレフイン、ポリエチ
レンテレフタレート等のポリアルキレンテレフタ
レートのフイルムや、樹脂塗膜、例えば、変性ポ
リアクリル樹脂等の樹脂塗膜層が好適に用いられ
る。従つて、バリヤー層は、基材樹脂シート上に
前記例示した樹脂からなるフイルムを圧着し、又
はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しくは
上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによつ
て、形成することができる。また、例えば、変性
ポリアクリル樹脂溶液を塗布、必要に応じて加熱
乾燥させて、塗膜を形成させることによつても、
バリヤー層を得ることができる。 上記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、
種々のものが知られているが、本発明において
は、一般に、耐溶剤性にすぐれ、従つて、紫外線
架橋性アクリル酸エステルや基材樹脂シートに含
まれる可塑剤に溶解、膨潤しないアルキド変性ポ
リアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリル樹脂が
好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂としては、
例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型
等が好適に用いられる。 本発明による感圧接着性シートは、例えば、基
材樹脂シート上に上記したようなバリヤー層を積
層形成し、この上に上述したような感圧接着剤組
成物の溶液を塗布し、乾燥することによつて得る
ことができる。 本発明による感圧接着シートを所要の被着面に
適用した後に、これに紫外線を照射する手段及び
照射する方法は特に制限されず、紫外線硬化性樹
脂塗料や紫外線硬化性接着剤の技術分野におい
て、従来より通常に行なわれている手段及び方法
によることができる。例えば、照射手段として、
キセノンランプ、低圧、中圧、高圧或いは超高圧
水銀灯灯のような紫外線源を使用し、数秒乃至数
分、照射すればよい。 (発明の効果) 以上のように、本発明による感圧接着性シート
は、紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に弾
性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと重
合開始剤とを主成分として含有する感圧接着剤の
層がバリヤー層を介して形成されており、ここ
に、上記感圧接着剤組成物は、その理由は必ずし
も明らかではないが、紫外線の照射によつてその
接着力が著しく低減するので、かかる感圧接着性
シートを被着面に適用した後、上記基材樹脂シー
ト側から紫外線を照射することによつて、この感
圧接着性シートを被着面から容易に剥離すること
ができる。 しかも、本発明による感圧接着性シートは、上
記感圧接着剤組成物と基材樹脂シートの間にバリ
ヤー層が介在するので、基材樹脂シートに含まれ
る可塑剤は感圧接着剤組成物中に移行せず、ま
た、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルも基材
樹脂シート側に移行しないので、長期間にわたつ
て、紫外線照射による接着力の低減効果を保つこ
とができる。 従つて、本発明による感圧接着性シートは、例
えば、前述したように、シリコンウエハーのダイ
シング用フイルムとして好適に用いることができ
る。 (実施例) 以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例
に限定されるものではない。また、実施例中、部
とあるのは重量部を示す。 実施例 1 離型紙上に第1表に示す配合の感圧接着剤を塗
布し、120℃で1分間乾燥し、感圧接着剤の層を
固形分として10μm厚みに形成した。 ここに、飽和共重合ポリエステル樹脂として
は、テレフタル酸/セバシン酸モル比70/30の飽
和2価カルボン酸混合物とエチレングリコールと
を等モルにて重縮合させて得られるガラス転移点
約10℃の樹脂を用いた。 また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸
エステルの共重合体を弾性重合体として用いる場
合は、市販のアクリル系粘着剤溶液に所定量の紫
外線架橋性アクリル酸エステル及び重合開始剤を
添加して、感圧接着剤組成物を調製し、これを上
記と同様にして、離型紙上に塗布し、乾燥し、感
圧接着剤の層を固形分として10μm厚みに形成し
た。 次に、平均重合度1300のポリ塩化ビニル100部、
可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエス
テル系可塑剤35部及び適宜量の安定剤からなる塩
化ビニル樹脂組成物から成形した厚み0.1mmのシ
ート上に第1表に示すバリヤー層を形成した。こ
の基材樹脂シートのバリヤー層の表面に上記感圧
接着剤層を重ねて貼り合わせて、本発明による感
圧接着性シートを得た。 また、比較のために、上記した感圧接着性シー
トの調製において、バリヤー層を設けない以外
は、全く同様にして、感圧接着性シートを得た
(比較例1)。 このようにして得たそれぞれの感圧接着性シー
トを所定の温度で所定の時間放置した後、離型紙
を剥離して、そのままにて接着力を測定し、ま
た、別に塩化ビニル樹脂シート側から主波長
365mμ、120W/cmにて紫外線を7秒間照射した
後、接着力を測定した、結果を第1表に示す。 本発明の感圧接着性シートによれば、長期間後
も紫外線照射による接着力の低下が顕著であり、
適当な配合設計によつて、当初250〜800g/25mm
の接着力を有せしめ、紫外線照射後は数十g/25
乃至約100g/25mm程度にまで接着力を減少させ
ることができるので、前述したように、シリコン
ウエハーのダイシングに好適に用いることができ
る。 しかし、比較例1の感圧接着性シートによれ
ば、その調製の直後は、紫外線照射前の接着力に
比較して、紫外線照射後のそれは著しく低減する
が、紫外線の照射による接着力の低減効果は、経
時的に著しく減少し、場合によつては、経時的に
接着力が増加する。 更に比較のために、紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルを含有しない感圧接着剤組成物を用いて、
同様に感圧接着性シートを調製した(比較例2)。
この感圧接着性シートは、紫外線照射によつて
も、その接着力が実質的に変化しない。 尚、接着力の測定方法は次のとおりである。即
ち、感圧接着性シートを幅25mm、長さ100mmに裁
断して試験片とし、これを被着体としてのステン
レス板上に重ね、3Kgローラにて5回往復して押
圧した後、シヨツパーにて引張速度300mm/分に
て180゜剥離試験を行なつた。 実施例 2 弾性重合体としてポリアクリル酸エステル又は
アクリル酸エステルの共重合体を含むアクリル系
粘着剤溶液(三洋化成工業(株)製ポリシツク
610SA、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸
エステル共重合体含有量約40重量%)100重量部
に第2表に示す量にてジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート及びベンゾインイソプロピルエ
ーテルを溶解して、感圧接着剤組成物を調製し
た。 この感圧接着剤組成物を離型紙上に塗布し、
120℃で1分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分
として10μm厚みに形成した。 次に、実施例1におけると同じ厚み0.1mmのシ
ート上に、実施例1と同じ変性アクリル樹脂を塗
布し、乾燥して、バリヤー層を形成した後、この
基材樹脂シートのバリヤー層の表面に上記感圧接
着剤層を重ねて貼り合わせて、本発明による感圧
【表】
【表】
【表】
【表】 接着性シートを得た。 このようにして得た感圧接着性シートについ
て、実施例1と同様にして、紫外線照射後の接着
力を測定した。結果を第2表に示す。 比較のために、紫外線架橋性アクリル酸エステ
ルを含有しない感圧接着剤組成物を用いて、同様
に感圧接着性シートを調製した(比較例3)。こ
の感圧接着性シートは、紫外線照射によつても、
その接着力が実質的に変化しない。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 可塑剤を含有し、且つ、紫外線を透過させ得
    るポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体から
    なる基材樹脂シート上に、弾性重合体と紫外線架
    橋性アクリル酸エステルと重合開始剤と粘着付与
    材とを含有する感圧接着剤の層が、上記可塑剤及
    び紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過させな
    いが、紫外線を透過させるポリエチレン、ポリプ
    ロピレン、ポリアルキレンテレフタレート及び変
    性アルキド樹脂から選ばれる樹脂層を介して形成
    されていることを特徴とする紫外線照射によつて
    接着力を低減し得る感圧接着性シート。 2 弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の感圧接着性シート。 3 弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はア
    クリル酸エステルの共重合体であることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の感圧接着性シー
    ト。
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