JPH0157409B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気センサー、磁気ヘツド等の電気磁
気変換素子とその製造方法に関する。

従来の磁気ヘツドや磁気センサーは、磁性金属
または磁性フエライト等の磁気空隙を有するリン
グ状その他の形状のコアと、その一部に巻かれた
導体コイルとより成るものである。この方法によ
るとコアの製造と巻線作業とが分離されて一貫性
を欠いているし、また巻線工程が時間を要する。
また一般に磁気コアは２分割に構成しないとコイ
ルの取付けに不便があつた。

本発明は従来の磁気ヘツドまたは磁気センサー
とは傾向の異つた、全く新しい着想による電気磁
気変換素子とその製造方法を提供することを目的
とする。すなわち、本発明は磁気コアも巻線もす
べて膜状の層から構成し、薄型・小型の素子とす
ることを特徴とするものであり、また磁気コアも
巻線もすべて印刷積層技術その他の薄膜技術（ス
パツタリング、或いはイオンプレーテイング等）
を用いて一貫した工程で製造することを特徴とす
るものである。

薄型の磁気ヘツド等は例えばビデオヘツドとし
て、或いはデジタル検出器等として有用である。
本発明の電気磁気変換素子は製造が容易であり、
印刷技術の応用により同時に多数の素子の製造が
可能になる等の利点を有する。

以下図面に関連して本発明を詳しく説明する。
第１図ないし第４図は本発明の１実施例による電
気磁気変換素子の製造方法を示す平面図である。
第１図に示すように、先ず適当な平らなプラスチ
ツクフイルム（図示せず）の上に磁性体層１を印
刷する。磁性体としては高μ用のフエライト粉末
を適当なバインダーと混練りした磁性ペーストを
用いる。磁性体層１の印刷は実際には第５図に示
したようにプラスチツクフイルム２の表面に多数
同時に行われるものであり、第２図以下の工程も
同様である。磁性体層１は逆Ｕ字形をなし、両脚
部が大きく離間して磁気空隙３を形成した形に画
いてあるが、作図の都合であり、実際には両脚は
極く接近しているのが普通である。磁性体層１の
厚さは余り薄くては機械的強度が出せず、又余り
厚いと段差が大きくなり導電ペーストの印刷のみ
で下記の貫通孔（パンチ孔）を通して表裏の薄膜
導体の接続を行なうことが出来ない。従つて、約
20μmないし約40μmの厚さにすべきである。

磁性体層１を乾燥し、次に第２図のように食違
い関係に配列された２列の貫通孔４をパンチして
形成する。磁性体層１は第５図のようにプラスチ
ツクフイルムに支持されているから貫通孔はプラ
スチツクフイルムまで貫通してよい。

第３図の工程に移り、上下２列の貫通孔を結合
するように導体５を平行に印刷し、また縁部に向
けて引出導体Ａを印刷する。導体は例えばPd、
Pd−Ag等の耐熱性金属粉末を適当なバインダー
と混練りした導電ペーストを用いる。導体が乾燥
したら、磁性体層１をプラスチツクフイルムから
剥して他の平らなプラスチツクフイルムへ表裏逆
にして支持させるか、或いは適当な定規により印
刷機用の物品送り手段に位置づける。前者の場合
には磁性体層の相互の関係を乱さないように例え
ば接着剤を有する平らなプラスチツクフイルムを
第３図までの工程を終つた印刷体の上へ重畳押圧
して転写させる等の方法を用いる。

次で第４図に示すように、磁性体層１の裏面
に、第３図で用いたと同じ導電ペーストを貫通孔
４を通して導体５へ接続できるように斜め平行に
印刷して第２の導体６を印刷し、また引出線Ｂを
印刷する。このようにして、貫通孔４を通して磁
性体層１の一辺を周回するコイルが形成される。
導体６が乾燥したら、各積層体を焼成炉に入れて
適当な温度で焼成して磁性体層１を焼結させると
共に導体５，６，Ａ，Ｂを磁性体層１へ強固に結
合させる。

第６図は完成した磁気ヘツドの等価的な図を示
す、第７図は応用例で、回転軸の角度センサーと
しての使用を示す。７は回転軸に取付けられた定
間隔着磁磁石であり、本発明の磁気センサー８が
これに対向して設けられている。

上に示した例は最も簡単な例であるが、色々な
変形例が可能である。

先ず、第１〜７図の例では磁性体層１に導体
５，６，Ａ，Ｂを印刷した後で焼成処理を行つ
た。しかしこの場合には導電ペーストとして耐熱
性金属粉末を利用しなければならない。従つて、
第２図の工程が終つたら先ず焼成を行い、適当な
治具を用いて印刷機に１個ずつ焼成済の磁性体層
１を送つて導電ペーストを印刷してもよい。この
導電ペーストは例えば銀、銅等の粉末を含むもの
でよい。

別法として、プラスチツクフイルム２（第５
図）の代りに生の磁性体シートを用い、これに第
２図と同様な貫通孔を直接形成し、第３図及び第
４図と同様な導体Ａ，Ｂ，５，６を印刷し、次で
パンチ型によりＵ字形の外形に打抜き、そして焼
成を行つてもよい。

なお、磁性体層１は唯１層であるが、目的に応
じて２層、３層等にできる。例えば第１−７図の
例で積層印刷体の表裏にさらに磁性体層を印刷し
てもよい。

第８−１１図は本発明の電気磁気変換素子の製
造方法を示す。第８図に示すようにプラスチツク
ベース１０の上に空隙のない正方形（又は長方形
等の任意形状）の形に磁性体層１１を印刷し、次
で第２図に関連して述べたと同様なパンチ孔（図
示せず）を形成し、次に第３図に関連して述べた
と同様な導体１２を印刷する。この工程が終つた
ら、第８図の鎖線にそつてプラスチツクベースを
切断して第９図のようなストリツプを得る。次に
抜型を用いて空隙部１３を形成する。第４図に関
連したと同様にして磁性体層１１を他のプラスチ
ツクベース１４（第１１図）へ転写させ、ベース
フイルム１０を剥離する。次で、導体１５をパン
チ孔を通して下側の導体１２へ接続するように印
刷して磁性体層１１の上辺を周回する導体コイル
とする（第４図相当）。この工程が終つたら、フ
イルムベース１４から積層体を剥離して、所要温
度及び時間焼成し、最後に適当な外部端子を導体
１２，１５の末端に焼付けて電気磁気変換素子を
完成する。本実施例では磁気空隙部が印刷による
よりも精密に形成できる利益が得られる。

直前に述べた実施例における空隙１３のパンチ
ング工程とフイルムの切断工程は逆にしても良
い。すなわち、第８図の工程が終つたら空隙１３
をパンチングして形成し、次に鎖線に沿つて切断
してもよい。

以上のすべての実施例において、空隙部を保護
するために、セラミツクやガラスを印刷法により
空隙へ充填することも可能である。例えばアルミ
ナやガラス粉末を含有するペーストを用意し、第
１図の工程の後に空隙３へこのペーストを印刷す
るとか、第１１図の工程の前または後に空隙１３
へこのペーストを印刷するとかの方法が採用でき
る。このようなセラミツクまたはガラス層は空隙
を保護し、また磁気テープ等へ本発明の変換素子
が接触するときの目づまりや摩耗を減じることが
できる。

以上の説明から明らかなように、本発明の電気
磁気変換装置は膜型でしかも小型にできる。それ
にも拘らず製造容易であり、大量生産が可能であ
る。また本発明によると面倒な巻線の必要がなく
なる。以上のように、本発明は従来の磁気ヘツド
とは全く異つた技術手段を採用したことにより、
すぐれた作用効果を得ることができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の電気・磁気変換素子の製造に
おける第１工程を示す平面図、第２図は同第２工
程を示す平面図、第３図は同第３工程を示す平面
図、第４図は同最終工程を示す平面図、第５図は
大量生産時における割付けを示す平面図、第６図
は完成した素子の平面図、第７図は使用状態を示
す正面図及び第８図から第１１図までは本発明の
他の実施例による製造方法の各順次工程を示す平
面図である。図中主な部分は次の通りである。 １，１１：磁性体層、３，１３：磁気空隙、
４：貫通孔、５，６，１２，１５：導体、Ａ，
Ｂ：引出導体。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ほぼＵ字形を成し且つ端部が狭い磁気空〓部
   を介して対向しているフエライト磁性膜であつ
   て、前記Ｕ字形の一部に沿つてほぼ一定間隔で配
   列した２列の貫通孔を互いに食違い関係に具備し
   た絶縁性で且つ透磁性のフエライト磁性膜と、前
   記貫通孔を介して周回するコイルを形成するよう
   にフエライト磁性膜の表裏面上で一方の列の貫通
   孔から他方の列の貫通孔まで延び且つ貫通孔で表
   裏が電気的に接続されている平行な複数の薄膜導
   体と、より成ることを特徴とする電気磁気変換素
   子。 ２ 絶縁性で且つ透磁性のフエライト粉末をペー
   スト化した磁性ペーストを印刷してほぼＵ字形を
   成し且つ端部が狭い磁気空〓部を介して対向して
   いる磁性体層を形成し、この磁性体層に前記Ｕ字
   形の一部に沿つてほぼ一定間隔で配列した２列の
   互いに食違い関係になるパンチ孔を形成し、前記
   パンチ孔を介して周回するコイルを形成するよう
   にフエライト磁性膜の表裏面に一方の列のパンチ
   孔の中から他方の列のパンチ孔の中まで延びる平
   行な複数の薄膜導体を印刷して導体コイルを形成
   し、次いで焼結することを特徴とする、電気磁気
   変換素子の製造方法。