JPH0158067B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、例えば集積回路形成用の基盤とな
るシリコンウエハのような円板状などの薄板と、
この薄板のキヤリヤ治具となる円形環状などのリ
ングを１枚の粘着フイルムに貼着する装置に関す
るものである。

従来では上記のようなリング状のキヤリヤ治具
に対するフイルムの貼着と、フイルムに対するシ
リコンウエハなどの貼着は手作業で行ない、リン
グの周囲からはみ出したフイルムの切り取りも手
作業で行なつていたのできわめて手数がかかり、
かつ皺ができないように張ることは困難で、熟練
を要するなどの問題があつた。

この発明は上記のようなリングにフイルムを貼
着するとともに薄板をフイルムに貼着する作業お
よびフイルムをリングに沿つて切断する作業など
を連続して自動的に能率よく行なう装置を提供す
ることを目的とするもので、定位置で待機してい
る受台上の薄板とリング上にテープを展張して貼
着し、ついでリングの上面においてテープを切り
抜いて不用なテープを巻取り、その後リングを所
定位置に送り出す操作を全自動的に行なうもので
ある。

以下にこの発明の装置を添付図面に示す実施例
に基づいて説明する。

図において、１はキヤリヤ治具となる金属製の
円形リングで、このリング１を第１図のようにマ
ガジン２に一定の間隔で積上げる。このマガジン
は第３図のようにリング１の一側の直線縁３に接
触する側壁４と、前後に接する前壁５および後壁
６と、他側の外周に接する前後の側片７，８から
なつており、このマガジン２の下部には進退自在
の受板９があり、この受板９上の１枚のリング１
が前方へ進出できるスリツト１０が前壁５の下部
に形成されている。

前記、受板９の下部の摺動部１１は支持台１２
に設けた前後方向の一対のガイド枠１３に摺動自
在に取付けられ、エアシリンダ１４により進退
し、受板９上に第３図のように左右一対の押片１
５を固定して受板９上のリング１の後側に接触さ
せるが、この押片１５は第１図のように１枚のリ
ング１の厚みより若干薄くして前進時に２枚のリ
ング１を押すことのないようにしてある。

従つて、第１図のように複数のリング１をマガ
ジン２内に積重ねて収容し、起動信号によりエア
シリンダ１４を働かせて摺動部１１を前進させる
と受板９上の１枚のリング１が押片１５で押され
てスリツト１０から進出し、リング１が一定位置
まで前進すると受板９はリング１を残して元の位
置に戻つて停止する作用を繰返す。

第１図の１６はこの発明装置全体を支えるフレ
ームで、前記支持台１２はこのフレーム１６上に
固定され、１７は同フレーム１６の側方に設けや
垂直の機箱である。

前記スリツト１０の前方には第１図のように一
対の引取りローラ２１，２２が上下に配置され、
このローラ２１，２２を機箱１７に設けた駆動機
構により第１図の矢印方向に駆動してスリツト１
０から出てきたリング１を１枚づつ引出す作用を
する。

２３は左右２本の細い無端ベルト２４を前後の
プーリ２５，２６にかけたコンベヤで、ローラ２
１，２２間から出てきたリング１を位置決め手段
Ａまで移送するものである。この位置決め手段Ａ
は第１図、第４図のようにフレーム１６上の支点
軸２８を中心に開閉する左右一対のレバー２９の
外端にそれぞれ位置決め棒３０を設け、両レバー
２９の中間部にそれぞれ連結したリンク３１を、
フレーム１６上に固定したエアシリンダ３２のロ
ツド３３に連結してロツド３３の進退により左右
の位置決め棒３０を開閉するように構成し、さら
に前方には左右一対の固定位置決め棒３４を設
け、側方にはリング１の直線縁３の方向を決める
前後一対の位置決め棒３５を設けて、これらの各
位置決め棒の上端をコンベヤ２３の搬送面より若
干突出させ、第４図の実線のように左右の位置決
め棒３０の間が開いている状態でベルト２４に載
つたリング１が図の左方から移動してきてリング
１の外周が位置決め棒３４に接触した条件でシリ
ンダ３２が働いて左右の位置決め棒３０が第４図
鎖線のようにリング１の外周に接触し、位置決め
を行なう。ただし、図示例以外の任意の位置決め
手段を用いる場合もある。

第１図のＢはリング移送手段である。この移送
手段は機箱１７の側面に設けた上下のガイドレー
ル３９に沿つて移動する。すなわち、第５図のよ
うにガイドレール３９に摺動自在に係合した取付
台４０に昇降枠４１を取付け、この枠４１の上端
の腕４２の先端に吸着器４３を取付けたものであ
る。

この吸着器４３はリング１が鉄のような強磁性
体の場合は電磁石でもよいが、図示例の場合は真
空吸引式である。この場合、吸着器４３を中空円
板状とし、その下面周囲部に多数の小径吸引孔４
４を設け、吸着器４３内と図示省略してある真空
吸引装置とをフレキシブルパイプで連通して電磁
弁などによつて必要に応じて真空吸引が行なえる
ようにしてある。

また、図示省略してあるが、取付台４０は機箱
１７に設けたシリンダ機構、ラツクピニオン機
構、送りネジ機構などの任意の機構により、ガイ
ドレール３９に沿つて移動し、昇降枠４１は取付
台４０に設けた電磁石などで昇降する。

第２図および第６図、第７図の４５はフレーム
１６上に設けたマガジンで、その両側壁の内側に
多段状に設けた多数の溝２７に多数の薄板４６の
外周を係合させることにより一定の間隔で積上げ
たものである。

第６図、第７図の４７はフレーム１６の上に固
定した支持板で、この支持板には上端から深い凹
所４８を設け、この凹所４８内を昇降する横向き
の支持台４９を設けてある。この台４９は第７図
のように支持板４７の側方に設けた支柱５０に沿
つて昇降し、図示省略してある駆動機構により一
定ピツチで最上端から一定の位置まで間欠的に下
降したのち、元の高さまで上昇する作用を行なう
ものである。

５２は前記支持台４９の上面に固定した左右一
対のガイド板で、第７図のように支持板４７の上
部両側に位置している。

第６図ないし第８図の５４は左右一対の無端ベ
ルトで、支持板４７、凹所４８の両側の上下に設
けた複数の溝プーリにかけたのち、凹所４８の前
方における支持板４７の両側に設けた溝プーリ５
５にかけて、上部のプーリ上を第６図の矢印方向
にこのベルト５４が走行するようにプーリを適宜
の駆動装置により駆動する。

第２図、第８図のように支持板４７の上端前方
にはプリアライメント部Ｃを設ける。すなわち、
支持板４７の前部上端附近には前記ベルト５４の
先端の折返し部を受ける前記プーリ５５の軸５６
があり、この軸５６に左右一対のレバー５７の中
程が揺動自在に取付けてあり、この両レバー５７
の先端の内側にそれぞれ溝プーリ５８が設けてあ
る。前記各溝プーリ５５は第２図のようにそれぞ
れ２本の溝があり、内側の溝にベルト５４がかか
り、外側の溝と前記溝プーリ５８には左右一対の
無端ベルト６０を係合させ、左右のレバー５７は
枠６１で一体に連結し、一方のレバー５７の後側
は支持板４７に取付けたエアシリンダ５９に連結
してレバー５７を揺動し得るように構成する。

第８図において、６８は前記一方のレバー５７
の下方において、支持板４７の一側に軸６９によ
り中程を揺動自在に取付けたレバーであり、その
前端にモータなどの駆動装置７０により縦軸の回
りに回転する溝プーリ７１を設け、レバー６８の
前部から前記レバー５７の前部寄り下方に向けて
設けた取付台７２には第９図のように３本の回転
棒７３，７４，７５を設け、これら各棒の下端の
溝プーリと前記プーリ７１に無端ベルト７６を係
合させて、回転棒７３，７４，７５が第９図矢印
のように回転するように構成し、中央の回転棒７
４を若干前寄りにしておく。

また、前記レバー６８は図示省略してあるエア
シリンダにより上下に揺動させ得るようにする。

この構成において、第７図のように多数の薄板
４６を積上げたマガジン４５をガイド板５２上に
載せると最下部の薄板４６がベルト５４に接触し
てこのベルト５４により前方へ送り出され、ほぼ
水平となつているベルト６０上へ送り出される。
このとき３本の回転棒７３，７４，７５の上端は
第８図のようにベルト６０の上方に出ているから
ベルト６０上を移動してきた薄板４６の外周が棒
７３，７４，７５の外周に接する。薄板４６の弧
状の周縁が接している場合は第１０図のように全
ての棒７３，７４，７５が薄板４６の周縁に接す
るから薄板４６は２本の棒７４，７５の方向に回
される。こうして薄板４６が回り、その直線縁７
７が棒７３，７４，７５の部分へくると第１１図
のように棒７４が直線縁７７から離れて相反する
回転方向の２本の棒７３，７５が接するので薄板
４６は直線縁７７を前向きとして停止する。

薄板４６が棒７３，７５に当つて停止した頃タ
イマーなどの信号によりエアシリンダ５９が働
き、レバー５７が動き、ベルト６０が若干前下り
となり、同時にレバー６８の駆動シリンダも働い
て取付台７２を下げ、各回転棒７３，７４，７５
を下げてその上端をベルト６０より下げるから、
薄板４６はベルト６０に沿つて前下りに前進し、
その前部の直線縁７７をつぎのアライメント部Ｄ
の無端ベルト８０上へ移動する。この無端ベルト
８０は左右一対の細いベルトで第２図、第８図の
ように前後のプーリ８１，８２にかけてあり、プ
ーリ８１，８２の何れかを駆動してベルト８０を
第８図の矢印方向へ走行させる。アライメント部
Ｄは第２図、第８図のように支点軸８３を中心に
開閉する左右一対のレバー８４の外端にそれぞれ
位置決め棒８５を設け、両レバー８４の中間部に
それぞれ連結したリンク８６を、フレーム１６上
に固定したエアシリンダ８７のロツド８８に連結
してロツド８８の進退により左右の位置決め棒８
５を開閉するようにしたもので、前記の位置決め
手段Ａと同様の機構である。また、このアライメ
ント部Ｄの前部には左右一対の位置決め棒８９を
固定し、ベルト８０上に載つてきた薄板４６の直
線縁７７がこの位置決め棒８９に当つて停止した
条件で、エアシリンダ８７が働いてロツド８８を
動かし、左右のレバー８４を内方へ回動して、第
２図の実線の位置にあつた左右の位置決め棒８５
を内方へ寄せ、第２図の鎖線のように薄板４６の
外周に接触させて薄板４６の位置を正確に補正す
る。

なお、前記プリアライメント部Ｃおよびアライ
メント部Ｄの機構は図示例以外のものとしてもよ
い。

第１図、第２図、第８図のＥは薄板搬送手段
で、アライメント部Ｄの前方から前記コンベヤ２
３の前方のテープ貼着手段Ｆへ向けて設けたガイ
ドレール９２に沿つて適宜の駆動装置により移動
する移動台９３と、その上部に設けた薄板の受台
９４からなり、この台９４は軸９５を中心に反転
自在となつている。

この受台９４は中空で、第８図の実線のように
移動台９３上にあるときに上面となる吸着面９６
に多数の吸引孔を設け、受台９４内と図示省略し
てある真空吸引装置とをフレキシブルパイプで連
通して電磁弁などによつて必要に応じて真空吸引
が行なえるようにしてある。

また、上記受台９４もエアシリンダなどにより
回動するものであるから、第８図のように薄板４
６がベルト８０上で位置決めされ、このベルト８
０の前方に移動台９３が戻つてきた条件で、受台
９４が半回転して第８図の鎖線のようにベルト８
０上に重なる。

ついで、真空吸引が働いて薄板４６を吸着面９
６に吸着し、そのまま180゜回動して元の位置にな
ると第８図のように上向きになつた吸着面９６上
に薄板４６が吸着されたまま台９４上となる。

ガイドレール９２は前記のようにテープ貼着手
段Ｆの下方に達しており、貼着手段Ｆが作動する
前に移動台９３が進入するようになつている。

こうして薄板４６を載せた受台９４が移動台９
３とともに貼着手段Ｆへ進入した条件で、第１図
の位置にある吸着器４３が下降して位置決め手段
Ａ上のリング１を吸着して上昇し、第１図鎖線ａ
の位置まで移動して下降し、リング１の吸着を解
くとリング１は受台９４上に載つて薄板４６をリ
ング１で囲んだ状態となる。その後吸着器４３は
上昇して第１図実線の元の位置に戻る。

テープ貼着手段Ｆは第１図のように後部移動枠
１００と前部移動枠１０１とを有する。この両移
動枠１００，１０１は前記ガイドレール３９とそ
の上部のガイドレール３６に沿つて移動するもの
で、その駆動手段としてはシリンダ機構、送りネ
ジ機構、ラツクピニオン機構などの任意の機構を
利用できる。

また、上記の各移動枠１００，１０１の上部寄
りにはそれぞれ上下一対のローラ６２，６３を設
け移動枠１００の下部寄りにはゴムからなるテー
プの貼着ローラ６４を設け、移動枠１０１の下部
寄りには切り抜き後のテープの引取りローラ６５
を取付ける。

第１図の６６は機箱１７に設けたテープリール
で、このリール６６から引出された粘着テープ１
８の粘着面には皺寄りを防止するためにセパレー
タ１９を重ねてある。リール６６から引出された
テープ１８はガイドローラ６７により粘着面を下
にして前方に誘導され、この部分で剥離したセパ
レータ１９は機箱１７に設けた巻軸７６に巻取ら
れる。

ガイドローラ６７の下部から前方へ導かれたテ
ープ１８は移動枠１００の上下のローラ６２間に
挾まれて下後方へ導かれ、貼着ローラ６４の後側
から下側を経て、移動枠１０１に設けた引取りロ
ーラ６５の下側から前側を経て後方へ向い、上部
のローラ６３間に挾まれて機箱１７に設けたガイ
ドローラ７８の下部から前部を回り、機箱１７に
設けた巻取り用リール７９により巻取られる。

前記巻軸７６にはセパレータ１９を巻取るため
に矢印方向への間欠駆動手段を設け、リール６６
にはテープ１８を繰出すための間欠駆動手段と、
切抜き後のテープ巻取り時にテープ１８の繰出し
を防止する制御手段を設け、リール７９にも切抜
き後のテープを巻取るため間欠駆動手段と、テー
プ貼着時のテープの戻りを防止する制御手段を設
ける。

第１図、第１２図の９８はエアシリンダで、機
箱１７に取付けたブラケツト９９に固定され、こ
のエアシリンダ９８のピストン杆に固定した昇降
枠１０５に切抜き手段Ｇを取付ける。この切抜き
手段Ｇは第１２図のように昇降枠１０５上に固定
したギヤモータ１０６で駆動される旋回枠１０７
に軸１０８を支点として揺動するカツタアーム１
０９を取付け、このアーム１０９の先端に自由回
転の円板状カツタ３７を取付けたもので、アーム
１０９の先端はバネ３８により押下される。

また、旋回枠１０７の中心に固定した垂直の軸
１１１の下端には円板状の押え板１１２を回動自
在に取付け、この押え板１１２の外周下面には円
形環状のゴム１１３を取付け、前記旋回枠１０７
の下部周囲に設けた複数の脚の下部には押え板１
１２上に接するローラ１１４を設ける。

第１図のＨは送出し手段で、前記の移送手段Ｂ
の吸着器４３と同じ構造の吸着器１０３を有し、
この吸着器１０３はガイドレール３９に沿つて移
動する取付台５１に取付けた昇降枠５３の腕に取
付けたもので駆動手段も移送手段Ｂの場合と類似
したものを用いる。また、第１図の１１５は貼着
手段Ｆの前方に設けたコンベヤで、左右一対の細
い無端ベルト１１６を前後のプーリ１１７，１１
８にかけたものである。

上記の貼着手段Ｆの作用を説明すれば、前記の
ように貼着手段Ｆの位置にリング１と薄板４６を
載せた受台９４が停止し、移動枠１００，１０１
が第１図の位置にある条件において、テープリー
ル６６と巻取り用リール７９が制動され、移動枠
１０１が固定された状態で移動枠１００が後方、
すなわち、第１図に向つて左方へ移動すると、第
１５図のようにローラ６４，６５間にテープ１８
が展張される。このようにローラ６４がテープ１
８を展張しつつ後方へ移動するさい、ゴム製のロ
ーラ６４がテープ１８をリング１と薄板４６上に
押し付けていくことによりテープ１８はリング１
と薄板４６に貼着される。

こうしてローラ６４，６５間にテープ１８が張
られた状態となつた条件で第１２図の切抜き手段
Ｇのシリンダ９８が働き、第１図、第１２図のよ
うに上昇位置にある昇降枠１０５を旋回枠１０７
とともに下降させ、押え板１１２の下側のゴム１
１３がリング１上のテープ１８をリング１ととも
に受台９４上に押し付けて停止する。また、シリ
ンダ９８が起動すると同時に、ギヤモータ１０６
も起動し、カツタ３７の外周の刃がリング１上の
テープ１８をカツトしつつ軸１１１を中心に回転
するが、この間、軸１１１やローラ１１４は回る
が押え板１１２は回らない。こうしてテープ１８
を完全に切るため、カツタ３７が２回転すると、
ギヤモータ１０６は止り、シリンダ９８が働いて
昇降枠１０５が上昇し、切抜き手段Ｇはリング１
上から離れる。

テープ１８を熱収縮性として、リング１に張着
後テープ１８を加熱収縮させる場合は、受台９４
内に電熱などのヒータを設け、リング１上にテー
プ１８を張着したのち、ヒータを発熱させてリン
グ１内に張られたテープ１８を加熱収縮させて緊
張させる。

上記のように、リング１上にテープ１８が貼着
され、テープ１８がカツタ３７により切抜かれた
のち、移動枠１０１が後方へ移動し始める。この
とき、リール６６，７９は制動状態のままである
から、第１６図のように切抜き後のテープはリン
グ１上から離れる。第１６図のように移動枠１０
０と１０１が後端に位置して停止している条件
で、今度は送出し手段Ｈが起動し、その吸着器１
０３がリング１上へ移動して、第１６図の鎖線ｂ
のように下降し、リング１を吸着して上昇し、再
び元に戻つて下降し、第１６図の鎖線ｃのよう
に、コンベヤ１１５上へリング１を載せて上昇す
る。このとき、リング１の上面にはテープ１８か
ら切抜かれたプラスチツクフイルムが張られ、こ
のフイルムの下面に薄板４６が貼着された状態で
あり、この状態のリング１がコンベヤ１１５によ
り送り出される。

ついでリール６６の制動を解いて自由回転と
し、巻軸７６やリール７９は巻取り方向に駆動し
ながら移動枠１００，１０１を共に前進させると
セパレータ１９を剥離されたテープ１８がガイド
ローラ６７とローラ６２間に張られ、切抜き後の
テープ１８は巻取り用リール７９に巻取られ、第
１図の状態に戻る。

このように移動枠１００，１０１を前進させる
さい、テープリール６６を適宜に制動するとガイ
ドローラ６７とローラ６２間に張られるテープ１
８が緊張する。従つてテープリール６６の制動力
を調節することによりテープ１８の張力を調節で
きる。

第１図のＩはフレーム１６の前方のマガジン支
持手段である。この支持手段Ｉはフレーム１６に
固定した基枠に昇降機構１２１により昇降される
昇降台１２２を設けたもので、この昇降台１２２
上にはリング収納用のマガジン９７が載せられる
が、このマガジン９７は第１３図、第１４図のよ
うなものである。

すなわち、マガジン９７は左右一対の側板１１
９の上部を複数本の横方向の連結棒１２０と上部
の補強材１２３により一体に連結し、両側板１１
９の相対向する面にはリング１の両側がはまる多
数の溝１２４が一定間隔で形成されている。

上記のマガジン支持手段Ｉにおいて、最初は昇
降台１２２が最下部にあり、このときマガジン９
７の最上段の溝１２４がコンベヤ１１５の上面と
同一面となつている。従つてコンベヤ１１５で送
り出されてきたリング１はマガジン９７内に入り
その両側が最上段の溝１２４内に入る。

こうして、リング１が最上段の溝１２４により
支持された条件で昇降機構１２１が働いてマガジ
ン９７の上から２番目の溝１２４をコンベヤ１１
５の上面に一致させる。

この作用の繰返しにより前記のように円板状フ
イルムと薄板４６を貼着されたリング１がマガジ
ン９７の各溝１２４毎に収納され、マガジン９７
内がリング１で一杯になると昇降台１２２を下げ
別の空のマガジン９７を載せる。

なお、上記の各部分の作用中における各シリン
ダやモータなどの作動条件は各所に設けた位置検
出センサやタイマなどからの信号により得るもの
である。

この発明は上記のように間欠的に送り出されて
くる薄板をほぼ一定の向きにするプリアライメン
ト部と、このプリアライメント部でほぼ一定の向
きとなつた薄板の向きを微調整して正確な向きと
するアライメント部とを有し、このアライメント
部により正確な向きとなつた薄板を、受台の上面
に載せて、テープ貼着手段へと搬送する薄板搬送
手段と、間欠的に送出されてくるリングを位置決
めする位置決め手段と、位置決め後のリングを前
記テープ貼着手段に移送し、ここで薄板を載せて
待機している受台上に載せ、リングにより薄板を
囲む状態とするリング移送手段と、下面を粘着面
とした粘着テープを、前記リングと薄板上に展張
圧着して薄板とリングを共に貼着するテープ貼着
手段と、受台上のテープ貼着後のリング上におい
て、テープを切り抜く切り抜き手段と、切り抜か
れたのちの不用なテープを引取る引取り手段と、
テープ貼着後のリングを所定位置へ１枚づつ送り
出す送出し手段とからなるものであり、位置決め
手段やアライメント部により正確に位置決めされ
た薄板とリングを載せて停止している受台上へ貼
着手段によりテープを展張して、このテープをリ
ングと薄板に押し付けて貼着するものであるから
貼着時に位置が狂うおそれが少なくなる。また薄
板とリングへのテープの貼着とリング上へテープ
を貼着したのちのテープの切抜きを一個所で行な
うので、装置が小さくなる。位置決め手段やアラ
イメントを変更することにより薄板やリングの向
きを任意に設定できる。その他に、貼着手段にお
いて、テープの張力を自由に調整できるなどの効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明装置の一実施例を示す一部縦
断側面図、第２図は同上の平面図、第３図はリン
グ用マガジンの拡大平面図、第４図はリングの位
置決め手段の一例を示す拡大平面図、第５図はリ
ング移送手段の一例を示す一部縦断拡大正面図、
第６図は薄板のマガジン支持部とプリアライメン
ト部附近の側面図、第７図は第６図の−線の
拡大縦断面図、第８図はプリアライメントとアラ
イメント部の一部縦断拡大側面図、第９図はプリ
アライメント部の要部の拡大平面図、第１０図、
第１１図は同上の作用を説明する拡大平面図、第
１２図はテープの切抜き手段の一例を示す要部縦
断拡大正面図、第１３図はフイルム貼着後のリン
グ収納マガジン附近の一部横断平面図、第１４図
は同上マガジンの正面図、第１５図、第１６図は
テープ貼着手段の各状態の側面図である。 １……円形リング、２，４５，９７……マガジ
ン、１８……粘着テープ、２３，１１５……コン
ベヤ、４３，１０３……吸着器、４６……薄板、
６４……貼着ローラ、６６……テープリール、６
７……ガイドローラ、７６……巻軸、７９……巻
取り用リール、９４……受台、１００，１０１…
…移動枠、Ａ……位置決め手段、Ｂ……移送手
段、Ｃ……プリアライメント部、Ｄ……アライメ
ント部、Ｅ……薄板搬送手段、Ｆ……テープ貼着
手段、Ｇ……切抜き手段、Ｈ……送出し手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 間欠的に送り出されてくる薄板をほぼ一定の
   向きにするプリアライメント部と、このプリアラ
   イメント部でほぼ一定の向きとなつた薄板の向き
   を微調整して正確な向きとするアライメント部と
   を有し、このアライメント部により正確な向きと
   なつた薄板を、受台の上面に載せて貼着手段へと
   搬送する薄板搬送手段と、間欠的に送り出されて
   くるリングを位置決めする位置決め手段と、位置
   決め後のリングを前記貼着手段に移送し、ここ
   で、薄板を載せて待機している受台上に載せ、リ
   ングにより薄板を囲む状態とするリング移送手段
   と、下面を粘着面とした粘着テープを、前記リン
   グと薄板上に展張圧着して薄板とリングを共に貼
   着するテープ貼着手段と、受台上のテープ貼着後
   のリング上において、テープを切り抜く切抜き手
   段と、切抜かれたのちの不用なテープを引取る引
   取り手段と、テープ貼着後のリングを所定位置へ
   １枚づつ送り出す送出し手段とからなる薄板とリ
   ングの貼り合せ装置。