JPH0144621B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基盤となる
シリコンなどのウエハと、このウエハのキヤリヤ
治具となる円形環状などのリングフレームに粘着
フイルムからなるテープを貼着し、かつ、この貼
着されたテープをリングフレーム上において円形
に切断したのち、不要となつたテープを巻取る操
作を半自動または全自動で行なう方法および装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

従来では上記のようなリング状のキヤリヤ治具
すなわち、リングフレームに対するフイルムの貼
着と、フイルムに対するシリコンウエハなどの貼
着は全て手作業で行ない、リングフレームの周囲
からはみ出したフイルムの切り取りも手作業で行
なつていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の手作業による貼着方法はき
わめて手数がかかり、かつ皺ができないように張
ることは困難で、熟練を要するなどの問題があつ
た。

また、半自動式のものもあるが、貼着後の不要
テープの除去などに手数がかかるなどの問題があ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明はウ
エハとこのウエハを囲むリングフレームを定位置
にあるテーブル上に支持せしめたのち、このテー
ブルの後方に待機していたテープ貼着ユニツトお
よび不要テープの巻取りユニツトを前進させて、
粘着面を下にしたテープをウエハとリングフレー
ム上に引出し、ついで、貼着ユニツトを、その貼
着ローラの下側のテープがウエハとリングフレー
ムに接触する位置まで下降させたのち、この貼着
ユニツトを巻取りユニツトを残して待機位置に後
退させるさいに、この貼着ユニツトの貼着ローラ
によりテープをウエハとリングフレーム上に貼着
し、つぎにテーブルの側方の切断ユニツトの操作
によりリングフレーム上のテープを円形に切り抜
き、その後巻取りユニツトを待機位置まで後退さ
せるさいに、ウエハとリングフレームに貼着され
た部分以外の不要テープを巻取りリールに巻取ら
せる方法および、この方法を実施する装置を提供
するものである。

〔実施例〕

図面はこの発明方法を実施する装置の一例を示
すもので、１は複数の支柱２により基板７上に支
持された支持板であり、この支持板１の上方にテ
ーブルを設けるが、このテーブルは固定テーブル
４とフローテイングテーブル５からなつている。

固定テーブル４は支持板１上の複数の支柱３上
に取付け、フローテイングテーブル５は円筒形
で、その下端の支持脚６が前記支持板１のガイド
孔に昇降自在に嵌合し、かつテーブル４の開口１
１に若干の遊隙を存して臨み、同フローテイング
テーブル５の上面が固定テーブル４の上面とほぼ
同一面となるようにバネ８で押上し、ストツパ９
で上限を限定する。また、このテーブル５には適
当な回り止めを施す。

前記テーブル５上にはウエハ１０の位置決め用
の浅い凹所または目印を設け、さらに複数の真空
吸引孔を設けてテーブル５上のウエハ１０を真空
吸引により固定するようにし、前記固定テーブル
４も同様に真空吸引式とする。

第１図の１４は前記支持板１などの設置部の前
方において基板７上に固定した左右一対の軸受、
１５は同じく支持板１などの後方において、基板
７上に固定した左右一対の軸受である。

この各軸受１４，１５には前後の横軸１６，１
７を回動自在に支承せしめ、この各横軸１６，１
７の両端には後方へ向くレバー１８，１９の前端
をそれぞれ固定する。

また、この左右の各レバー１８，１９は第１図
のように左右のロツド２０で連結して各レバー１
８，１９が同時に同角度上下に揺動するようにす
る。

２１，２２は前後の昇降枠で、前部昇降枠２１
の両側枠２３の下端は軸により前記各レバー１８
の後端に連結され、後部の昇降枠２２の両側枠２
４の下端は軸により前記各レバー１９の後端に連
結されている。

また、前部の両側枠２３と後部の両側枠２４の
上部には左右一対のガイドレール２５の前後端を
固定し、同両側枠２３，２４の下部にも左右一対
の枠材２６の両端を固定して昇降枠２１，２２を
一体に結合し、ガイドレール２５が水平の状態で
昇降し得るようにする。

また、第１図のように後方のレバー１９の中間
部にローラ２８を設け、その下方の基板７上に電
磁石、エアシリンダなどのアクチユエータ２９を
設けてレバー１９を上方へ突き上げるようにし、
かつ基板７上には各側枠２３，２４を下限で支持
する支持台３０を設けてある。

Ａはテープ貼着ユニツトである。このユニツト
Ａは前記ガイドレール２５に沿つて進退する左右
一対の側枠３１間の上下にガイドローラ３２と貼
着ローラ３３とを回動自在に架設したものであ
る。

Ｂは不要テープの巻取りユニツトである。この
ユニツトＢは前記ガイドレール２５に沿つて進退
する左右一対の側枠３５間に不要テープの剥離手
段として、上下のピーリングローラ３６を回動自
在に架設したものである。

第１図のように前部の昇降枠２１の両側枠２３
には上下一対の横軸３８，３９を回転自在に支承
させ、後部の昇降枠２２の両側枠２４には上下一
対の横軸４０，４１を回転自在に支承させる。

上部の横軸３８，４０の両端にはそれぞれプー
リ４２，４３を固定してこれに無端状のタイミン
グベルト４４をかけ、その一部と前記テープ貼着
ユニツトＡの側枠３１とを連結片４５により連結
して、横軸４０を図示省略してある駆動手段によ
り正逆転させることによりタイミングベルト４４
を介して貼着ユニツトＡが進退するように構成す
る。

下部の横軸３９，４１の両端は上部の横軸３
８，４０の両端より外方に突出させてそれぞれプ
ーリ４７，４８を固定し、これに無端状のタイミ
ングベルト４９をかけ、その一部と前記巻取りユ
ニツトＢの側枠３５とを第３図のような倒立Ｌ形
の連結枠５０により連結して、横軸４１を図示省
略してある駆動手段により正逆転させることによ
りタイミングベルト４９を介し巻取りユニツトＢ
が進退するように構成する。

第１図ないし第３図の５１は支持板１などの設
置部の側方において基板７上に固定した左右一対
の取付枠で、この両取付枠５１の上端には支持枠
５２の一端両側の腕５３を軸５４により起伏自在
に取付ける。

支持枠５２の中央には、この枠５２を水平にし
たとき、テーブル４の開口１１と同心となる開口
５５を設け、この開口５５の上部外周にはＴ形横
断面の円形ガイドレール５６を設ける。

第３図のＣは切断ユニツトで、ガイドレール５
６に取付けた移動部材５７と、この部材５７に取
付けた自由回転の円板状カツタ５８で構成されて
いる。また、この移動部材５７上にはハンドル５
９を設ける。

第１図の６０はテープリール、６２はガイドロ
ーラ、６４はセパレータ巻軸で何れも図示省略し
てあるフレームに取付けられる。

６３は巻取りユニツトＢの側枠３５上の軸受３
７により支承された不要テープの巻取りリールで
ある。

上記貼着ユニツトＡのローラ３２，３３の何れ
かに逆転防止装置を設けてユニツトＡが前方へ走
行したとき回転せずにテープ６１を引出し、戻り
時には回転するようにし、ピーリングローラ３６
の何れかにも逆転防止装置を設けて、貼着ユニツ
トＡが前進位置から後退しつつその貼着ローラ３
３でテープ６１を貼着中はピーリングローラ３６
を逆転不可としてテープ６１が弛まないようにす
る。

前記のリール６０から引出され、セパレータ６
５を分離したテープ６１はガイドローラ６２を経
て貼着ユニツトＡのガイドローラ３２上を通り、
下部の貼着ローラ３３の後部を回り、粘着面を下
にして巻取りユニツトＢの下部のローラ３６の下
側から前側を回り、上部のローラ３６の下側から
後側を通り巻取りリール６３に巻取られ、セパレ
ータ６５は巻軸６４に巻取られる。

つぎに作用を説明すればフローテイングテーブ
５と固定テーブル４上にそれぞれウエハ１０とリ
ングフレーム１２を載せて真空吸引などで吸着固
定した条件で、第３図のように切断ユニツトＣを
上向きとしてユニツトＡ，Ｂの移動の邪魔になら
ないようにし、ついで、アクチユエータ２９の作
動で各レバー１８，１９を若干上向きにして各昇
降枠２１，２２を上昇させた条件で、ユニツト
Ａ，Ｂが第１図の右方へ前進を始める。これによ
り第４図のようにテープ６１がウエハ１０とリン
グフレーム１２上に張りわたされる。

ついで、アクチユエータ２９が復帰して、各ユ
ニツトＡ，Ｂが下り、ついで貼着ユニツトＡのみ
が元の位置へ復帰すると、その途中で貼着ローラ
３３がテープ６１をウエハ１０とリングフレーム
１２上へ第５図のように貼着する。

その後、切断ユニツトＣを第３図の鎖線のよう
に下方へ回動してハンドル５９により移動部材５
７をガイドレール５６に沿つて約２回程度回転さ
せてカツタ５８によりリングフレーム１２上でテ
ープ６１を円形に切断する。

こうしてテープ６１を切断したのち、切断ユニ
ツトＣを第３図の実線の位置まで上昇させ。巻取
りユニツトＢを後退させるとともに巻取りリール
６３によりテープ６１を巻取ると、リングフレー
ム１２およびウエハ１０に貼着されたテープを残
した不要なテープ６１′が巻取りリール６３に巻
取られ、ユニツトＢは元に戻つて第１図の位置に
なつて１行程が終了する。

なお、前記切断ユニツトＣを、自動的に昇降
し、かつ下降時にカツタが自動的に回転してテー
プを切断するようにして、これを他のユニツト
Ａ，Ｂの動作と関連させて動かすようにすれば全
自動となる。

〔効果〕 この発明は上記のように、テーブル上のウエハ
とその外側を囲むリングフレームへの粘着テープ
の貼着を貼着ユニツトにより自動的に行なうの
で、従来の手作業による貼着方法に比較して、熟
練者でなくともテープの貼着が正確にできるよう
になる。また、図示例の場合、切断ユニツトのカ
ツタのみが手作業であるが、カツタはガイドレー
ルに沿つて動かすので切断は容易であり、切断後
の余分なテープは巻取りユニツトにより自動的に
剥離するので剥離作業もきわめて能率的に行な
え、全自動化も容易であるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の一実施
例を示す縦断側面図、第２図は同上の平面図、第
３図は同正面図、第４図、第５図は要部の作用を
説明する側面図である。 ４…固定テーブル、５…フローテイングテーブ
ル、１０…ウエハ、１２…リングフレーム、６１
…テープ、Ａ…テープ貼着ユニツト、Ｂ…テープ
巻取りユニツト、Ｃ…切断ユニツト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ウエハとこのウエハを囲むリングフレームを
   定位置にあるテーブル上に支持せしめたのち、こ
   のテーブルの後方に待機していたテープ貼着ユニ
   ツトおよび不要テープの巻取りユニツトを前進さ
   せて、粘着面を下にしたテープをウエハとリング
   フレーム上に引出し、ついで、貼着ユニツトを、
   その貼着ローラの下側のテープがウエハとリング
   フレームに接触する位置まで下降させたのち、こ
   の貼着ユニツトを巻取りユニツトを残して待機位
   置に後退させるさいに、この貼着ユニツトの貼着
   ローラによりテープをウエハとリングフレーム上
   に貼着し、つぎにテーブルの側方の切断ユニツト
   の操作によりリングフレーム上のテープを円形に
   切り抜き、その後巻取りユニツトを待機位置まで
   後退させるさいに、ウエハとリングフレームに貼
   着された部分以外の不要テープを巻取りリールに
   巻取らせることを特徴とするウエハとリングフレ
   ームの貼り合せ方法。 ２ ウエハとこのウエハを囲むリングフレームを
   支持するテーブルの前後に配置され、枠材によつ
   て一体に結合した昇降枠に左右一対のガイドレー
   ルの前後端を固定するとともに、この昇降枠を昇
   降させる駆動手段を設け、上記ガイドレールには
   テープ貼着ユニツトと、その前方に位置する不要
   テープの巻取りユニツトをそれぞれ進退自在に装
   着するとともに、これら両ユニツトを別個に駆動
   する駆動手段を設け、貼着ユニツトには、この貼
   着ユニツトが不要テープの巻取りユニツトととも
   に上昇して後端の待機位置から前進するさいに、
   その後方のテープリールから引出したテープをウ
   エハとリングフレーム上に展張する作用を行うガ
   イドローラと、前進位置の貼着ユニツトが下降し
   て待機位置まで戻る間に、ウエハとリングフレー
   ム上にテープを貼着する作用を行う貼着ローラと
   を上下に設け、前記テーブルの側方には前記両ユ
   ニツトの移動の妨げにならない上昇位置と、ウエ
   ハとリングフレーム上に貼着されたテープ上に接
   近する下降位置の二ツの位置に移動する切断ユニ
   ツトを設け、この切断ユニツトには、下降位置に
   おいて、リングフレームと同芯となる円形ガイド
   レールを設け、このガイドレールには切断ユニツ
   トの下降位置において、リングフレーム上のテー
   プを円形に切断するカツタを有する移動部材を装
   着し、前記不要テープの巻取りユニツトには、上
   記貼着ユニツトが待機位置に戻り、テープが切断
   されたのち、後退するさいに、両ユニツト間の不
   要テープをテーブル上のリングフレームから剥離
   する剥離手段と、剥離した不要テープを巻取る巻
   取りリールを設けたことを特徴とするウエハとリ
   ングフレームの貼り合せ装置。