JPH0167733U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0167733U JPH0167733U JP1987161356U JP16135687U JPH0167733U JP H0167733 U JPH0167733 U JP H0167733U JP 1987161356 U JP1987161356 U JP 1987161356U JP 16135687 U JP16135687 U JP 16135687U JP H0167733 U JPH0167733 U JP H0167733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- light
- irradiating
- moving table
- lithography apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 4
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 claims 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本案の全体構成図、第２図は電子ビー
ムによるマーク検出方法を示す図、第３図は光に
よるマーク検出方法を示す図である。 １……電子ビーム、２……レンズ、３……偏向
器、４……反射電子検出器、５……光源、６……
イメージセンサ、７……標準マーク、８……ミラ
ー、９……駆動系、１０……ステージ、１１，１
２……レーザ干渉計、１３……ステージ制御系、
１４……コンピユータ、１５……偏向制御系、１
６，１７……マーク検出回路、１８……試料、１
９……マーク。
ムによるマーク検出方法を示す図、第３図は光に
よるマーク検出方法を示す図である。 １……電子ビーム、２……レンズ、３……偏向
器、４……反射電子検出器、５……光源、６……
イメージセンサ、７……標準マーク、８……ミラ
ー、９……駆動系、１０……ステージ、１１，１
２……レーザ干渉計、１３……ステージ制御系、
１４……コンピユータ、１５……偏向制御系、１
６，１７……マーク検出回路、１８……試料、１
９……マーク。
Claims (1)
- 電子ビームを所望の形状と電流密度に制御する
ための電子レンズと、該電子ビームを所望の位置
に照射するための電子ビーム偏向器と、該電子ビ
ームを固体表面上の所望の位置に照射するための
移動台と該移動台の位置計測を行なう光干渉計を
有する電子線描画装置において、発光体から発生
する光を上記固体表面上に照射し、反射光を検出
する手段を有し、あらかじめ上記固体上に作成さ
れた基準マーク位置を光を照射して検出する場合
と電子ビームを用いて検出する場合の上記移動台
の位置差をレーザ干渉計で計測、記憶し、マーク
の種類によつて光と電子ビームを使い分けて位置
検出し、光を用いる場合は上記位置差を加算する
ことを特徴とした電子線描画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161356U JPH0167733U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161356U JPH0167733U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0167733U true JPH0167733U (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=31444218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987161356U Pending JPH0167733U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0167733U (ja) |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP1987161356U patent/JPH0167733U/ja active Pending
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