JPS6322731U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6322731U JPS6322731U JP11722586U JP11722586U JPS6322731U JP S6322731 U JPS6322731 U JP S6322731U JP 11722586 U JP11722586 U JP 11722586U JP 11722586 U JP11722586 U JP 11722586U JP S6322731 U JPS6322731 U JP S6322731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- optical system
- irradiating
- voltage
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Description
第１図はアライメントマークの深さを変えた場
合のステージ位置に対するＸ軸方向の電位差の変
化図、第２図は位置合わせ精度測定用マーク図、
第３図は本実施例による信号処理図、第４図は従
来の位置合わせ装置のブロツク図、第５図はフレ
ネルゾーンプレートの平面図及び断面図、第６図
はアライメントマークと４分割検出器との位置関
係図、第７図はステージ位置に対する検出信号差
の比較図である。
合のステージ位置に対するＸ軸方向の電位差の変
化図、第２図は位置合わせ精度測定用マーク図、
第３図は本実施例による信号処理図、第４図は従
来の位置合わせ装置のブロツク図、第５図はフレ
ネルゾーンプレートの平面図及び断面図、第６図
はアライメントマークと４分割検出器との位置関
係図、第７図はステージ位置に対する検出信号差
の比較図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 縮小投影露光装置内の光学系と基板とを位置合
わせするための装置において、 前記光学系を通して基板にレーザ光を照射する
手段と、 前記レーザ光の基板による反射光を検出する手
段と、 検出した反射光強度を電圧に変換する手段と、 前記電圧を増幅もしくは整形する手段とを有し
、 増幅もしくは整形した信号によつて位置合わせ
完了の判断を行うことを特徴とする位置合わせ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11722586U JPS6322731U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11722586U JPS6322731U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6322731U true JPS6322731U (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=31002541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11722586U Pending JPS6322731U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6322731U (ja) |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP11722586U patent/JPS6322731U/ja active Pending
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