JPH0167737U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0167737U JPH0167737U JP1987162367U JP16236787U JPH0167737U JP H0167737 U JPH0167737 U JP H0167737U JP 1987162367 U JP1987162367 U JP 1987162367U JP 16236787 U JP16236787 U JP 16236787U JP H0167737 U JPH0167737 U JP H0167737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etched
- reaction chamber
- showing
- exciting
- surround
- Prior art date
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- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は一実施例を示す概略断面図、第２図は
同実施例においてウエハが設置される部分を示す
部分平面図、第３図はウエハ内の測定位置を示す
平面図、第４図は同実施例と従来例とにおけるエ
ツチング速度分布を示す図、第５図は従来のプラ
ズマエツチング装置の一例を示す概略断面図であ
る。 ２……反応室、４……下部電極、６……上部電
極、８ａ……ウエハ設置台、１０……被エツチン
グ物、２０……永久磁石。
同実施例においてウエハが設置される部分を示す
部分平面図、第３図はウエハ内の測定位置を示す
平面図、第４図は同実施例と従来例とにおけるエ
ツチング速度分布を示す図、第５図は従来のプラ
ズマエツチング装置の一例を示す概略断面図であ
る。 ２……反応室、４……下部電極、６……上部電
極、８ａ……ウエハ設置台、１０……被エツチン
グ物、２０……永久磁石。
Claims (1)
- 反応室内に設置された被エツチング物に対し、
反応ガスを励起して前記被エツチング物をエツチ
ングするドライエツチング装置において、前記被
エツチング物が設置される部分の側方周辺を取り
囲んで永久磁石を配置したことを特徴とするドラ
イエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987162367U JPH0167737U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987162367U JPH0167737U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0167737U true JPH0167737U (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=31446126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987162367U Pending JPH0167737U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0167737U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58911A (ja) * | 1981-06-18 | 1983-01-06 | ロレアル | 染色組成物およびその酸化防止法 |
| JPS58151028A (ja) * | 1982-01-26 | 1983-09-08 | マテリアルズ・リサ−チ・コ−ポレ−シヨン | 磁気的に強められたプラズマ処理方法および装置 |
| JPS63186429A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | ドライプロセス装置 |
-
1987
- 1987-10-22 JP JP1987162367U patent/JPH0167737U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58911A (ja) * | 1981-06-18 | 1983-01-06 | ロレアル | 染色組成物およびその酸化防止法 |
| JPS58151028A (ja) * | 1982-01-26 | 1983-09-08 | マテリアルズ・リサ−チ・コ−ポレ−シヨン | 磁気的に強められたプラズマ処理方法および装置 |
| JPS63186429A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | ドライプロセス装置 |