JPH0170111U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0170111U JPH0170111U JP1987165184U JP16518487U JPH0170111U JP H0170111 U JPH0170111 U JP H0170111U JP 1987165184 U JP1987165184 U JP 1987165184U JP 16518487 U JP16518487 U JP 16518487U JP H0170111 U JPH0170111 U JP H0170111U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conversion
- transparent substrate
- outputs
- laser light
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の原理を示す概略図、第２図は
その要部を示すブロツク図、第３図はその動作説
明に供する線図、第４図は従来例を示す断面図で
ある。 １……透明基板、３……レーザ光源、４……位
置センサ、５……処理回路。
その要部を示すブロツク図、第３図はその動作説
明に供する線図、第４図は従来例を示す断面図で
ある。 １……透明基板、３……レーザ光源、４……位
置センサ、５……処理回路。
Claims (1)
- 透明基板にレーザ光を照射するレーザ光源と、
この反射光を検出する複数の光電変換素子と、上
記光電変換素子の変換出力を直列データに変換す
る手段と、上記直列データと可変の基準電圧とを
比較して、上記各変換出力のうち出力レベルが上
位の２つの変換出力を得る手段と、該２つの変換
出力の発生時刻の差異を検出する手段とを有する
ことを特徴とする透明基板の平行度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165184U JPH0170111U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165184U JPH0170111U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0170111U true JPH0170111U (ja) | 1989-05-10 |
Family
ID=31451441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987165184U Pending JPH0170111U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0170111U (ja) |
-
1987
- 1987-10-28 JP JP1987165184U patent/JPH0170111U/ja active Pending
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