JPS6232309U - - Google Patents

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JPS6232309U
JPS6232309U JP12441385U JP12441385U JPS6232309U JP S6232309 U JPS6232309 U JP S6232309U JP 12441385 U JP12441385 U JP 12441385U JP 12441385 U JP12441385 U JP 12441385U JP S6232309 U JPS6232309 U JP S6232309U
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light
line image
image sensor
light source
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の全体の系統図、第
２図はラインイメージセンサＡ１，Ｂ１の受光面
を示す図、第３図は本考案の他の実施例の一部の
系統図、第４図は第３図に示された実施例におけ
るラインイメージセンサＡ１，Ｂ１の受光面を示
す図、第５図は先行技術の系統図である。 １１…光源手段、１２…光源、１３…遮光部材
、１４…スリツト、１５…シリンドリカルレンズ
、１６…被測定物、１７…セルフオツクレンズア
レイ、１８…ハーフミラー、２１，３７…演算回
路、２２…移動手段、３１…セレクタ、３２…コ
ンパレータ、３８…極性反転回路、Ａ１，Ｂ１…
ラインイメージセンサ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 細長いスリツト光を被測定物に照射する光源手
    段と、 被測定物上の光像を検出するための検出セルが
    配列されて構成される、一対のラインイメージセ
    ンサと、 被測定物上の光像を前記検出セルに結像する光
    学手段と、 ラインイメージセンサからの各出力をそれぞれ
    受信して、前記光像のラインイメージセンサとの
    間の距離に対応した値を算出する手段と、 光源手段と、ラインイメージセンサと、光学手
    段とを一体的にしたままで、被測定物を相対的に
    移動する移動手段とを含むことを特徴とする平面
    度測定装置。
JP12441385U 1985-08-13 1985-08-13 Pending JPS6232309U (ja)

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JP12441385U JPS6232309U (ja) 1985-08-13 1985-08-13

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JP12441385U JPS6232309U (ja) 1985-08-13 1985-08-13

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JPS6232309U true JPS6232309U (ja) 1987-02-26

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JP12441385U Pending JPS6232309U (ja) 1985-08-13 1985-08-13

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0213288U (ja) * 1988-03-17 1990-01-26
JP2008309532A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Lasertec Corp ３次元測定装置及び検査装置
JP2009139333A (ja) * 2007-12-10 2009-06-25 Internatl Business Mach Corp <Ibm> マクロ検査装置、マクロ検査方法
JP2010145230A (ja) * 2008-12-18 2010-07-01 Disco Abrasive Syst Ltd チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置計測装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0213288U (ja) * 1988-03-17 1990-01-26
JP2008309532A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Lasertec Corp ３次元測定装置及び検査装置
JP2009139333A (ja) * 2007-12-10 2009-06-25 Internatl Business Mach Corp <Ibm> マクロ検査装置、マクロ検査方法
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