JPS6476U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6476U JPS6476U JP9351987U JP9351987U JPS6476U JP S6476 U JPS6476 U JP S6476U JP 9351987 U JP9351987 U JP 9351987U JP 9351987 U JP9351987 U JP 9351987U JP S6476 U JPS6476 U JP S6476U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- image sensor
- state image
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- sampling
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案検査装置の一実施例の概略的構
成を示す模式図、第２図Ａ〜第２図Ｃは要部の波
形図である。 １……固体撮像素子、２……面光源、４……サ
ンプリング回路、５……検出回路、１１……半導
体ペレツト、１３……パツケージ、１４……受光
板。
成を示す模式図、第２図Ａ〜第２図Ｃは要部の波
形図である。 １……固体撮像素子、２……面光源、４……サ
ンプリング回路、５……検出回路、１１……半導
体ペレツト、１３……パツケージ、１４……受光
板。
Claims (1)
- パツケージの凹所に光電変換動作する半導体ペ
レツトを収納すると共に前記パツケージ凹所を透
光性の受光板で覆蓋する固体撮像素子の光学的検
査装置であつて、前記固体撮像素子に光照射を施
す光源と、該光源の光照射により得られた固体撮
像素子の光電変換出力をサンプリングするサンプ
リング回路と、該サンプリング回路のサンプリン
グ出力を導入し当該サンプリング出力の異常を検
出する検出回路と、を具備したことを特徴とする
固体撮像素子の光学的検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9351987U JPS6476U (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9351987U JPS6476U (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6476U true JPS6476U (ja) | 1989-01-05 |
Family
ID=30956163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9351987U Pending JPS6476U (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6476U (ja) |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP9351987U patent/JPS6476U/ja active Pending
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